DE102012223982A1 - Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe (14), in der ein auf einem Verdrahtungsträger (32) getragenes elektronisches Bauelement (26, 30) mit einem Verkapselungsmaterial (38) verkapselt ist, umfassend: – Anordnen des elektronischen Bauelements (26, 30) auf dem Verdrahtungsträger (32) derart, dass ein Stresseintrag durch das Verkapselungsmaterial (38) auf das elektronische Bauelement (26, 30) einen vorbestimmten Wert unterschreitet, und – Verkapseln des elektronischen Bauelements (26, 30) mit dem Verkapselungsmaterial (38).
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe und eine elektronische Baugruppe.
- Aus der
DE 10 2007 060 931 A1 ist eine elektronische Baugruppe mit einem verkapselten elektronischen Bauelement bekannt (in der Druckschrift verkapselte Struktur genannt), das auf einem Substrat in Form einer Leiterplatte mit einer elektrischen Beschaltung gehalten und über Bond-Drähte mit der elektrischen Beschaltung verschalten ist. Das Substrat mit dem elektronischen Bauelement ist in einem Gehäuse fixiert, das mit einem Einbettungsmaterial ausgegossen ist. Das ausgegossene ist mit einem als Schirmung dienenden Deckel verschlossen. - Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung die bekannte elektronische Baugruppe zu verbessern.
- Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
- Gemäß einem Aspekt der Erfindung umfasst ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe, in der ein auf einem Verdrahtungsträger getragenes elektronisches Bauelement mit einem Verkapselungsmaterial verkapselt ist die Schritte Anordnen des elektronischen Bauelements auf dem Verdrahtungsträger derart, dass ein Stresseintrag durch das Verkapselungsmaterial auf das elektronische Bauelement einen vorbestimmten Wert unterschreitet und Verkapseln des elektronischen Bauelements mit dem Verkapselungsmaterial.
- Dem angegebenen Verfahren liegt die Überlegung zugrunde, dass die eingangs genannte elektronische Baugruppe sehr groß dimensioniert ist, was daran liegt, dass das elektronische Bauelement zunächst eigenständig verkapselt und anschließend zur Fixierung in einem Gehäuse mit einem weiteren Material eingebettet werden muss. Entsprechend benötigen die Strukturen sehr viel Bauraum, wodurch die elektronische Baugruppe der eingangs genannten Art als bauraumknappe technische Anwendungen wie beispielsweise als oberflächenmontiertes Bauelement (engl: surface-mounted device), nachstehend SMD genannt, ungeeignet ist.
- Demgegenüber liegt dem angegebenen Verfahren die Idee zugrunde, die Einbettung des elektronischen Bauelements direkt als Gehäuse zu verwenden, so dass auf ein extra Gehäuse um die Einbettung verzichtet werden kann. Dies würde den notwendigen Bauraum für die gesamte elektronische Baugruppe spürbar senken.
- Dieser Idee liegt jedoch die Erkenntnis zugrunde, dass die Einbettung eine gewisse Elastizität und/oder Viskosität aufweisen muss, um einen zu hohen mechanischen Stresseintrag auf die elektronische Baugruppe und/oder ihrer elektrischen Anbindungen wie Bonddrähte zu vermeiden, denn dieser mechanische Stresseintrag könnte die elektronische Baugruppe und/oder die elektrischen Anbindungen elektrisch und/oder mechanisch beschädigen, und so zu entsprechenden Fehlfunktionen führen.
- Daher ist es Idee des angegebenen Verfahrens, bei der Vorbereitung der herzustellenden elektronischen Baugruppe den Stresseintrag bei ihrer Dimensionierung zu berücksichtigen und geeignete Vorkehrungen zu treffen, dass der Stresseintrag unterhalb eines Grenzwertes bleibt, bei dem die Funktion der gesamten elektronischen Baugruppe nicht mehr zuverlässig sichergestellt werden kann. Beispiele, wie der Stresseintrag bei der Dimensionierung der elektronischen Baugruppe berücksichtigt werden kann, sind in den Unteransprüchen angegeben.
- Der vorbestimmte Wert für den Stresseintrag kann sich dabei direkt oder indirekt bei der Dimensionierung ergeben. Eine direkte Vorgabe kann beispielsweise im Rahmen einer Simulation realisiert werden, bei der der vorbestimmte Wert direkt vorgegeben wird. Eine indirekte Vorgabe kann beispielsweise anhand einer Reihe von Vergleichstests realisiert werden, im Rahmen derer lediglich ein zu erwartendes Ergebnis, wie beispielsweise eine bestimmte Ausfallsicherheit vorgegeben wird und aus dem sich der vorbestimmte Wert dann implizit ergibt.
- In einer Weiterbildung des angegebenen Verfahrens weist das Verkapselungsmaterial einen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, der Im Bereich eines Wärmeausdehnungskoeffizienten des elektronischen Bauelements liegt, so dass sich das Verkapselungsmaterial und die damit verkapselte elektronische Baugruppe in gleicher Weise ausdehnen und damit keinen oder nur einen minimalen mechanischen Stress gegeneinander aufbringen.
- Das Verkapselungsmaterial kann ein härtbares Harz, insbesondere ein Epoxidharz umfassen, so dass die Verkapselung des elektronischen Bauelements in einer dem Fachmann bekannten Weise mittels Spritzpressen (engl: transfer molding) durchgeführt werden kann.
- In einer anderen Weiterbildung des angegebenen Verfahrens kann das elektronische Bauelement an einer Nullposition des Verdrahtungsträgers angeordnet sein, an denen sich die Wärmebewegungen des Verkapselungsmaterials aufheben. Auf diese Weise kann ebenfalls ein Stresseintrag reduziert werden.
- Das elektronische Bauelement kann dabei eine Auswerteschaltung zum Auswerten von Messsignalen aus wenigstens zwei Geberelementen sein, wobei die beiden Geberelemente symmetrisch um die Auswerteschaltung angeordnet sein können. Auf diese Weise kann ein Stresseintrag auf die Geberelemente und ein damit verbundener eventueller Messfehler aufgrund der bekannten Symmetrie nachträglich berücksichtigt werden.
- In einer noch anderen Weiterbildung des angegebenen Verfahrens kann zum Verkapseln des elektronischen Bauelements mit dem Verkapselungsmaterial eine Verkapselungsgeometrie gewählt werden, bei der eine Wärmebewegung des Verkapselungsmaterials wenigstens in einer Richtung einen vorbestimmten Wert unterschreitet. Diese Geometrie kann in beliebiger Weise gewählt werden, wobei die Verkapselungsgeometrie besonders bevorzugt derart gewählt wird, dass eine Wandstärke des Verkapselungsmaterials an wenigstens einer Wand des elektronischen Bauelements einen vorbestimmten Wert unterschreitet, so dass der durch die Wand aufgebrachte mechanische Stress auf einen von diesem vorbestimmten Wert abhängigen Stresswert begrenzt bleibt.
- In einer noch anderen Weiterbildung umfasst das angegebene Verfahren den Schritt Umhüllen des elektronischen Bauelements mit einem mechanischen Entkopplungsmaterial vor dem Verkapseln. Das mechanische Entkopplungsmaterial reduziert den Stresseintrag in die elektronische Baugruppe weiter und reduziert so die mechanische Beanspruchung des elektronischen Bauelements.
- In einer besonderen Weiterbildung ist das mechanische Entkopplungsmaterial wenigstens thixotrop eingestellt. Auf diese Weise lässt sich das mechanische Entkopplungsmaterial in einfacher Weise auf das elektronische Bauelement aufgießen, weist jedoch im aufgegossenen Zustand eine ausreichende Stabilität auf, das elektronische Bauelement vollständig zu umhüllen.
- In einer zusätzlichen Weiterbildung umfasst der Verdrahtungsträger einen Anschluss zum elektrischen Kontaktieren des elektronischen Bauelementes mit einer Leiterplatte und eine elektrische Schirmschicht, wobei das angegebenen Verfahren den Schritt Anordnen des elektronischen Bauelements auf dem Verdrahtungsträger derart umfasst, dass das elektronische Bauelement in wenigstens einer Richtung der elektrischen Baugruppe gesehen zwischen der elektrischen Schirmschicht und dem Anschluss aufgenommen ist. Auf diese Weise kann der Verdrahtungsträger gleichzeitig zur Verbesserung der elektromagnetischen Verträglichkeit, EMV genannt verwendet werden, ohne dass eine extra elektrische Schirmschicht notwendig wäre.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst eine elektronische Baugruppe, ein auf einem Verdrahtungsträger getragenes elektronisches Bauelement, das mit einem Verkapselungsmaterial verkapselt ist, wobei das elektronische Bauelement auf dem Verdrahtungsträger derart angeordnet ist, dass ein Stresseintrag durch das Verkapselungsmaterial auf das elektronische Bauelement einen vorbestimmten Wert unterschreitet.
- Die angegebene elektronische Baugruppe kann um Merkmale erweitert werden, die den Unteransprüchen des angegebenen Verfahrens sinngemäß entsprechen.
- In einer Weiterbildung der angegebenen elektronischen Baugruppe ist die angegebene elektronische Baugruppe als Inertialsensor ausgebildet.
- Die angegebene elektronische Baugruppe kann dabei vorzugsweise mit einem angegebenen Verfahren hergestellt werden.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst ein Fahrzeug eine angegebene elektronische Baugruppe, insbesondere zur Erfassung von Fahrdynamikdaten.
- Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden, wobei:
-
1 eine schematische Ansicht eines Fahrzeuges mit einer Fahrdynamikregelung, -
2 eine schematische Ansicht eines als SMD-Bauteil ausgebildeten Inertialsensors aus1 , -
3 eine schematische Ansicht eines Zwischenprodukts eines Inertialsensors aus1 ; -
4 eine schematische Ansicht eines Inertialsensors aus1 auf einer Leiterplatte; und -
5 eine weitere schematische Ansicht des Inertialsensors aus1 zeigen. - In den Figuren werden gleiche technische Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen und nur einmal beschrieben.
- Es wird auf
1 Bezug genommen, die eine schematische Ansicht eines Fahrzeuges2 mit einer an sich bekannten Fahrdynamikregelung zeigt. Details zu dieser Fahrdynamikregelung können beispielsweise derDE 10 2011 080 789 A1 entnommen werden. - Das Fahrzeug
2 umfasst ein Chassis4 und vier Räder6 . Jedes Rad6 kann über eine ortsfest am Chassis4 befestigte Bremse8 gegenüber dem Chassis4 verlangsamt werden, um eine Bewegung des Fahrzeuges2 auf einer nicht weiter dargestellten Straße zu verlangsamen. - Dabei kann es in einer dem Fachmann bekannten Weise passieren, dass das die Räder
6 des Fahrzeugs2 ihre Bodenhaftung verlieren und sich das Fahrzeug2 sogar von einer beispielsweise über ein nicht weiter gezeigtes Lenkrad vorgegebenen Trajektorie durch Untersteuern oder Übersteuern wegbewegt. Dies wird durch an sich bekannte Regelkreise wie ABS (Antiblockiersystem) und ESP (elektronisches Stabilitätsprogramm) vermieden. - In der vorliegenden Ausführung weist das Fahrzeug
2 dafür Drehzahlsensoren10 an den Rädern6 auf, die eine Dreh-zahl12 der Räder6 erfassen. Ferner weist das Fahrzeug2 einen Inertialsensor14 auf, der Fahrdynamidaten16 des Fahrzeuges2 erfasst aus denen beispielsweise eine Nickrate, eine Wankrate, eine Gierrate, eine Querbeschleunigung, eine Längsbeschleunigung und/oder eine Vertikalbeschleunigung in einer dem Fachmann an sich bekannten Weise ausgegeben werden kann. - Basierend auf den erfassten Drehzahlen
12 und Fahrdynamikdaten16 kann ein Regler18 in einer dem Fachmann bekannten Weise bestimmen, ob das Fahrzeug2 auf der Fahrbahn rutscht oder sogar von der oben genannten vorgegebenen Trajektorie abweicht und entsprechen mit einem an sich bekannten Reglerausgangssignal20 darauf reagieren. Das Reglerausgangssignal20 kann dann von einer Stelleinrichtung22 verwendet werden, um mittels Stellsignalen24 Stellglieder, wie die Bremsen8 anzusteuern, die auf das Rutschen und die Abweichung von der vorgegebenen Trajektorie in an sich bekannter Weise reagieren. - Der Regler
18 kann beispielsweise in eine an sich bekannte Motorsteuerung des Fahrzeuges2 integriert sein. Auch können der Regler18 und die Stelleinrichtung22 als eine gemeinsame Regeleinrichtung ausgebildet und optional in die zuvor genannte Motorsteuerung integriert sein. - In
1 ist der Inertialsensor14 als externe Einrichtung außerhalb des Reglers18 gezeigt. In einem solchen Fall spricht man von einem als Satelliten ausgebildeten Inertialsensor14 . In der vorliegenden Ausführung soll der Inertialsensor14 jedoch als SMD-Bauteil aufgebaut werden, damit er beispielsweise in ein Gehäuse des Reglers18 mit integriert werden kann. - Der Inertialsensor
14 umfasst mindestens ein mikroelektromechanisches System26 , MEMS26 genannt, als Messaufnehmer, der in an sich bekannter Weise ein von den Fahrdynamikdaten16 abhängiges, nicht weiter dargestelltes Signal über Bonddrähte28 an zwei Signalauswerteschaltungen30 in Form von anwendungsspezifischen integrierte Schaltung30 , ASIC30 (engl: application-specific integrated circuit) genannt ausgibt. Die ASIC30 kann dann basierend auf dem empfangenen, von den Fahrdynamikdaten16 abhängigen Signal die Fahrdynamikdaten16 erzeugen. - Das MEMS
26 und die ASIC30 sind auf einer Leiterplatte32 getragen und mit verschiedenen, auf der Leiterplatte32 ausgeformten elektrischen Leitungen34 elektrisch kontaktiert. Alternativ kann die Leiterplatte32 auch als Leadframe ausgebildet sein, worauf an späterer Stelle näher eingegangen wird. Von den Leitungen34 ist in2 lediglich eine einzige Leitung34 im Schnitt zu sehen. Die Kontaktierung kann dabei direkt, beispielsweise über eine an sich bekannte FlipChip-Verbindung oder, wie in2 gezeigt, über einen Bonddraht28 erfolgen. - Das MEMS
26 und die ASIC30 können ferner von einem mechanischen Entkopplungsmaterial36 , Globetop-Masse36 genannt, umhüllt sein, die wiederum gemeinsam mit dem MEMS26 und der ASIC30 in einem Spritzpressmaterial38 , wie beispielsweise einem Epoxidharz38 verkapselt sein kann. - Das Spritzpressmaterial
38 könnte damit allein bereits als Gehäuse des Inertialsensors14 dienen und die darin aufgenommenen Schaltungskomponenten schützen. - Schließlich sind an dem als SMD-Bauteil ausgebildeten Inertialsensor
14 entsprechende Kontaktmöglichkeiten, wie in2 gezeigte Lötperlen40 zur elektrischen Kontaktierung mit einem Schaltkreis des Reglers18 vorgesehen. Alternativ könnten die Kontaktmöglichkeiten des als SMD-Bauteil ausgebildeten Inertialsensors14 aber als an sich bekannte Gull-Wing-Lötanschlüsse oder J-Lead-Lötanschlüsse ausgebildet sein, sofern das Substrat als an sich bekannter und in3 gezeigter Leadframe32 ausgebildet ist. - Es wird auf
3 Bezug genommen, anhand derer der innere Aufbau des Inertialsensors14 erläutert werden soll. Zur Verdeutlichung der vielfältigen Möglichkeiten, wie der Inertialsensor14 als SMD-Bauteil aufgebaut sein kann, sind in3 statt Lötperlen40 als Kontaktmöglichkeiten Kontaktbeinchen40 als Kontaktmöglichkeiten ausgebildet. - In
3 sind die MEMS26 und die ASIC30 statt auf einer Leiterplatte32 als Verdrahtungsträger auf einem Leadframe32 als Verdrahtungsträger getragen, an dem Kontaktbeinchen40 ausgebildet sind, über die die MEMS26 und die ASIC30 mit dem zuvor genannten Schaltkreis des Reglers18 elektrisch verbunden werden können. Von diesen Kontaktbeinchen sind in3 der Übersichtlichkeit halber nicht alle mit einem Bezugszeichen versehen. - Die MEMS
26 und die ASIC30 können auf dem Leadframe32 durch löten, kleben und/oder Klebefolien, wie an sich bekannte DAF-Tapes fixiert sein. Die elektrische Kontaktierung kann dabei über die Fixierung und/oder über Bonddrähte28 erfolgen, von denen der Übersichtlichkeit halber nicht alle mit einem Bezugszeichen versehen sind. - In der vorliegenden Ausführung kann alternativ oder zusätzlich ein weiteres MEMS
26 auf dem ASIC30 getragen werden, das entweder ebenfalls als Geberelement zur Erfassung der Fahrdynamikdaten16 oder als alternatives Geberelement, beispielsweise zur Erfassung einer Temperatur oder einer anderen physikalischen Größe verwendet werden kann. In nicht gezeigter Weise könnten auf diesem Leadframe auch weitere elektrische Bauelemente, wie beispielsweise passive Bauelemente verschaltet werden. - In die Bildebene der
3 hinein betrachtet können die ASIC30 und die MEMS26 auf einer Metallschicht46 getragen sein, die als elektrische Schirmschicht46 dient und so die EMV des Fusionssensors14 steigert. Auf diese Weise kann die EMV des Fusionssensors14 durch Tragen der gesamten elektronischen Baugruppe auf einer in4 gezeigten Leiterplatte48 einerseits und der elektrischen Schirmschicht46 andererseits spürbar verbessert werden. - Zum Umhüllen der ASIC
30 und der MEMS26 mit dem oben genannten Entkopplungsmaterial36 und/oder zu ihrer Verkapselung mit dem Spritzpressmaterial38 sind an dem Leadframe32 Laschen50 ausgebildet, an denen der Leadframe32 während des Umhüllungs- und/oder Verkapselungsvorgangs mechanisch festgehalten werden kann. - Da die Laschen
50 eine Durchdringung des Leadframes32 durch das Spritzpressmaterial38 zu Außenseite darstellt, bietet die Lasche einen Zugang für Feuchtigkeit zur ASIC30 und den MEMS26 . Um das Eindringen dieser Feuchtigkeit zu erschweren, sind an den Laschen50 Aussparungen51 ausgebildet, die den Querschnitt der zuvor genannten Durchdringung des Leadframes32 durch das Spritzpressmaterial38 zu Außenseite reduzieren. Gleichzeitig wird das Spritzpressmaterial38 und damit die Verkapselung der ASIC30 und der MEMS26 in der Aussparung51 weiter verankert. - Die einzelnen Kontaktbeinchen
40 weisen dabei Verankerungselemente auf, die in der vorliegenden Ausführung beispielhaft als Einkerbungen52 ausgebildet sind, an denen die Kontaktbeinchen40 verjüngt sind. Von diesen Einkerbungen sind in3 der Übersichtlichkeit halber nicht alle mit einem Bezugszeichen versehen. Die Einkerbungen52 können von dem Spritzpressmaterial38 umschlossen werden, um zu verhindern, dass die Kontaktbeinchen40 nachträglich aus dem Spritzpressmaterial38 herausgezogen werden. - Darüber hinaus begrenzen die beispielhaft als Einkerbungen
52 ausgebildeten Verankerungselemente die Bewegung der Kontaktbeinchen40 aufgrund von thermischer Ausdehnung, Vibration, etc innerhalb des Spritzpressmaterials38 , was eine Schädigung der Bonddrähte28 beziehungsweise ihrer elektrischen Anbindung an die Kontaktbeinchen40 beispielsweise durch auf diese Weise entstehende Scherkräfte verhindert. - Der fertige Fusionssensor
14 ist in4 auf der Leiterplatte48 getragen dargestellt, auf der beispielsweise in nicht weiter dargestellter Weise der Regler18 verdrahtet sein kann. - Das Volumen des beispielhaft als Verkapselungsmaterials ausgebildeten Spritzpressmaterials
38 sollte vom Leadframe32 aus gesehen auf der Oberseite54 und der Unterseite56 abzüglich des Volumens der ASIC30 und der MEMS26 , wie in5 gezeigt, gleich sein oder maximal um 30% voneinander abweichen. Auf diese Weise werden ein ungleicher Schwund und einer verringerter Verzug erreicht, was die Eigenspannungen des vergossenen Spritzpressmaterials38 gering hält und somit mechanische Belastungen der ASIC30 und der MEMS26 sowie der Bonddrähte weiter verringert oder sogar vermeidet. - Um die Entformung in einem Werkzeug bei der Herstellung des Fusionssensors
14 sicherzustellen sollten Entformschrägen58 von mindestens 5° ausgebildet sein, von denen in5 der Übersichtlichkeit halber nur eine mit einem Bezugszeichen versehen ist. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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- Zitierte Patentliteratur
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- DE 102007060931 A1 [0002]
- DE 102011080789 A1 [0031]
Claims (10)
- Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe (
14 ), in der ein auf einem Verdrahtungsträger (32 ) getragenes elektronisches Bauelement (26 ,30 ) mit einem Verkapselungsmaterial (38 ) verkapselt ist, umfassend: – Anordnen des elektronischen Bauelements (26 ,30 ) auf dem Verdrahtungsträger (32 ) derart, dass ein Stresseintrag durch das Verkapselungsmaterial (38 ) auf das elektronische Bauelement (26 ,30 ) einen vorbestimmten Wert unterschreitet, und – Verkapseln des elektronischen Bauelements (26 ,30 ) mit dem Verkapselungsmaterial (38 ). - Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verkapselungsmaterial (
38 ) einen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der Im Bereich eines Wärmeausdehnungskoeffizienten des elektronischen Bauelements (26 ,30 ) liegt. - Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Verkapselungsmaterial ein härtbares Harz, insbesondere ein Epoxidharz umfasst.
- Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das elektronische Bauelement (
26 ,30 ) an einer Nullposition des Verdrahtungsträgers (32 ) angeordnet wird, an denen sich die Wärmebewegungen des Verkapselungsmaterials (38 ) aufheben. - Verfahren nach Anspruch 4, wobei das elektronische Bauelement (
26 ,30 ) eine Auswerteschaltung (30 ) zum Auswerten von Messsignalen aus wenigstens zwei Geberelementen (26 ) ist, die symmetrisch um die Auswerteschaltung (30 ) angeordnet werden. - Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei zum Verkapseln des elektronischen Bauelements (
26 ,30 ) mit dem Verkapselungsmaterial (38 ) eine Verkapselungsgeometrie gewählt wird, bei der eine Wärmebewegung des Verkapselungsmaterials (38 ) wenigstens in einer Richtung einen vorbestimmten Wert unterschreitet. - Verfahren nach Anspruch 6, wobei die Verkapselungsgeometrie gewählt wird, dass eine Wandstärke des Verkapselungsmaterials (
38 ) an wenigstens einer Wand des elektronischen Bauelements (26 ,30 ) einen vorbestimmten Wert unterschreitet. - Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, umfassend Umhüllen des elektronischen Bauelements (
26 ,30 ) mit einer mechanischen Entkopplungsschicht (36 ) vor dem Verkapseln. - Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Verdrahtungsträger (
32 ) einen Anschluss (40 ) zum elektrischen Kontaktieren des elektronischen Bauelementes (26 ,30 ) mit einer Leiterplatte (50 ) und eine elektrische Schirmschicht (46 ) umfasst, umfassend Anordnen des elektronischen Bauelements (26 ,30 ) auf dem Verdrahtungsträger (32 ) derart, dass das elektronische Bauelement (26 ,30 ) in wenigstens einer Richtung der elektrischen Baugruppe (14 ) gesehen zwischen der elektrischen Schirmschicht (32 ) und dem Anschluss (40 ) aufgenommen ist. - Elektronische Baugruppe (
14 ), die insbesondere mit einem Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche hergestellt ist, umfassend: – ein auf einem Verdrahtungsträger (32 ) getragenes elektronisches Bauelement (26 ,30 ), das mit einem Verkapselungsmaterial (38 ) verkapselt ist, – wobei das elektronische Bauelement (26 ,30 ) auf dem Verdrahtungsträger (32 ) derart angeordnet ist, dass ein Stresseintrag durch das Verkapselungsmaterial (38 ) auf das elektronische Bauelement (26 ,30 ) einen vorbestimmten Wert unterschreitet.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US14/652,507 US9961779B2 (en) | 2012-12-20 | 2013-12-10 | Method for producing an electronic assembly |
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---|---|
US (1) | US9961779B2 (de) |
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DE (1) | DE102012223982A1 (de) |
WO (1) | WO2014095500A1 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013224645A1 (de) * | 2013-11-29 | 2015-06-03 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe |
DE102014210523A1 (de) * | 2014-06-03 | 2015-12-03 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Spannungsarmes Verkleben von Sensorchips |
DE102014213217A1 (de) * | 2014-07-08 | 2016-01-14 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Körperschallentkopplung an mit Geberfeldern arbeitenden Sensoren |
DE102014213218A1 (de) * | 2014-07-08 | 2016-02-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Sensor mit Opferanode |
DE102014213588A1 (de) * | 2014-07-11 | 2016-02-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Kundenspezifischer Sensor hergestellt durch Dreifach-Molden |
DE102016207664A1 (de) * | 2016-05-03 | 2017-11-09 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Sensorelement für ein kraftfahrzeug |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203416415U (zh) * | 2013-08-15 | 2014-01-29 | 山东共达电声股份有限公司 | 指向性mems传声器 |
US20210043466A1 (en) | 2019-08-06 | 2021-02-11 | Texas Instruments Incorporated | Universal semiconductor package molds |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040239449A1 (en) * | 2001-09-28 | 2004-12-02 | Alois Stelzl | Method for encapsulating an electrical component and surface wave component thus encapsulated |
DE102004039229A1 (de) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Epcos Ag | Bauelement-Anordnung mit einem Trägersubstrat |
DE102007060931A1 (de) | 2006-12-21 | 2008-08-28 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verkapselungsmodul, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung |
DE102007025992A1 (de) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Packages |
DE102011080789A1 (de) | 2010-08-10 | 2012-02-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verfahren und System zur Regelung der Fahrstabilität |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5172213A (en) | 1991-05-23 | 1992-12-15 | At&T Bell Laboratories | Molded circuit package having heat dissipating post |
JP2546125B2 (ja) * | 1993-03-02 | 1996-10-23 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP3940298B2 (ja) * | 2002-02-08 | 2007-07-04 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 半導体装置及びその半導体装置の製造方法 |
US7352070B2 (en) * | 2003-06-27 | 2008-04-01 | Delphi Technologies, Inc. | Polymer encapsulated electrical devices |
DE10330739A1 (de) * | 2003-07-07 | 2004-09-23 | Infineon Technologies Ag | Mikroelektromechanisches Modul mit Sensor und Gehäuse sowie Verfahren zur Herstellung derselben |
EP1659386A4 (de) | 2003-08-26 | 2007-08-29 | Matsushita Electric Works Ltd | Sensoreinrichtung |
JP4821537B2 (ja) * | 2006-09-26 | 2011-11-24 | 株式会社デンソー | 電子制御装置 |
JP2008258478A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品装置およびその製造方法 |
JP2009226571A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Nippon Kayaku Co Ltd | マイクロデバイス及びその製造方法 |
JP5415823B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2014-02-12 | 株式会社デンソー | 電子回路装置及びその製造方法 |
JP2010080901A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-04-08 | Kyocera Corp | 電子部品モジュール |
DE102008043773A1 (de) * | 2008-11-17 | 2010-05-20 | Robert Bosch Gmbh | Elektrisches und/oder mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines elektrischen und/oder mikromechanischen Bauelements |
US8021930B2 (en) * | 2009-08-12 | 2011-09-20 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming dam material around periphery of die to reduce warpage |
US8609465B2 (en) * | 2009-10-09 | 2013-12-17 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor device manufacturing method |
EP2339627A1 (de) * | 2009-12-24 | 2011-06-29 | Imec | Chipverkapselung mit Fenster-Zwischenstück |
WO2012070261A1 (ja) * | 2010-11-25 | 2012-05-31 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2012
- 2012-12-20 DE DE102012223982.0A patent/DE102012223982A1/de not_active Withdrawn
-
2013
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- 2013-12-10 KR KR1020157018818A patent/KR20150097628A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-12-10 EP EP13811837.7A patent/EP2936553A1/de not_active Ceased
- 2013-12-10 CN CN201380067353.7A patent/CN104871308B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040239449A1 (en) * | 2001-09-28 | 2004-12-02 | Alois Stelzl | Method for encapsulating an electrical component and surface wave component thus encapsulated |
DE102004039229A1 (de) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Epcos Ag | Bauelement-Anordnung mit einem Trägersubstrat |
DE102007060931A1 (de) | 2006-12-21 | 2008-08-28 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verkapselungsmodul, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung |
DE102007025992A1 (de) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Packages |
DE102011080789A1 (de) | 2010-08-10 | 2012-02-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verfahren und System zur Regelung der Fahrstabilität |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013224645A1 (de) * | 2013-11-29 | 2015-06-03 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe |
DE102014210523A1 (de) * | 2014-06-03 | 2015-12-03 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Spannungsarmes Verkleben von Sensorchips |
DE102014213217A1 (de) * | 2014-07-08 | 2016-01-14 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Körperschallentkopplung an mit Geberfeldern arbeitenden Sensoren |
DE102014213218A1 (de) * | 2014-07-08 | 2016-02-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Sensor mit Opferanode |
EP3167253B1 (de) * | 2014-07-08 | 2019-03-20 | Continental Teves AG & Co. OHG | Körperschallentkopplung an mit geberfeldern arbeitenden sensoren |
US11118908B2 (en) | 2014-07-08 | 2021-09-14 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Structure-borne noise decoupling on sensors working with transmitter fields |
DE102014213588A1 (de) * | 2014-07-11 | 2016-02-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Kundenspezifischer Sensor hergestellt durch Dreifach-Molden |
DE102016207664A1 (de) * | 2016-05-03 | 2017-11-09 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Sensorelement für ein kraftfahrzeug |
US10718640B2 (en) | 2016-05-03 | 2020-07-21 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Sensor element for a motor vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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