DE102008042600A1 - Längs einer Hauptfläche verformbare flexible Membran - Google Patents

Längs einer Hauptfläche verformbare flexible Membran Download PDF

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Abstract

Eine Membran (2) aus flexiblem Material (3) erstreckt sich in zwei linear unabhängigen Richtungen (5) längs einer Hauptfläche (4) und weist in mindestens einem dreidimensional strukturierten Bereich (1) in der einen Richtung (5) einen schwingungsförmigen Verlauf mit mehreren aufeinander folgenden, wechselweise gegenüber der Hauptfläche (4) ansteigenden und abfallenden Abschnitten auf. In dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) ist der schwingungsförmige Verlauf der Membran (2) in der einen Richtung (5) in der anderen Richtung derart moduliert, dass jede Linie, die in dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) zwei Punkte der Membran (2), deren Abstand auf der Hauptfläche (4) größer als der größte Abstand von in der einen Richtung (5) aufeinander folgenden ansteigenden und abfallenden Abschnitten ist, längs der Membran (2) miteinander verbindet, um mindestens 10% länger als der Abstand der beiden Punkte auf der Hauptfläche (4) ist.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Membran aus flexiblem Material, die die Merkmale des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 aufweist.
  • Derartige flexible Membranen mit im Wesentlichen zweidimensionaler Erstreckung, aber schwingungsförmiger dreidimensionaler Strukturierung werden auch als Faltenbälge bezeichnet.
  • STAND DER TECHNIK
  • Beispielsweise aus der Kraftfahrzeugindustrie sind Faltenbälge aus Elastomerwerkstoff mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1 bekannt. Diese Faltenbälge dienen dazu, Wellengelenke vor Verunreinigungen zu schützen und weisen eine Grundform mit einer etwa zylindermantelförmigen Hauptfläche und in Richtung längs der Zylinderachse hintereinander liegende Falten auf. Die Falten laufen um die Zylinderachse um und verleihen dem Faltenbalg eine Verformbarkeit um senkrecht zu der Zylinderachse verlaufende Knickachsen. Der Faltenbalg ist auch in Richtung der Zylinderachse zusammenschiebbar bzw. auseinanderziehbar, ohne dass er über das Auseinanderziehen bzw. Aneinanderlegen seiner Falten hinaus deformiert wird.
  • Eine Membran mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1 ist auch zur Abdichtung der Positionieranordnung für ein Werkstück gegenüber einem schleifenden Werkzeug einer Schleifmaschine bekannt. Diese Membran, die sich im Wesentlichen längs einer Ebene erstreckt, schützt die Positioniereinrichtung vor abrasiven Schleifstäuben. Dabei schließt die Membran mit einem inneren Anschlussbereich dicht an einen Werkstückträger und mit einem äußeren Anschlussbereich dicht an einen starren Abdichtrahmen an und weist zwischen ihren Anschlussbereichen ringförmig um den inneren Anschlussbereich verlaufende Falten von konstantem Querschnitt auf. Beim Verfahren des Werkstückträgers parallel zu der Haupterstreckungsebene der Membran treten trotz der umlaufenden Falten sehr schnell, d. h. bereits bei vergleichsweise kleinen Verfahrwegen, dreidimensionale Verwerfungen der Membran auf, die über ein Zusammendrücken und Auseinanderziehen ihrer Falten hinausgehen.
  • Auch das Abdichten einer Verfahreinrichtung für nur eine lineare Richtung mit einer Falten aufweisenden Membran ist nicht trivial. Parallel zueinander verlaufende Fallen einer Membran erlauben zwar die Bewegung eines mittleren Bereichs der Membran, der als innerer Anschlussbereich dienen könnte, in Querrichtung zu den Falten. Diese Beweglichkeit wird aber beseitigt, wenn die Membran randseitig eingespannt wird. D. h. eine einfache dichtende Einspannung der Membran an ihren parallel zu der Verfahrrichtung verlaufenden Kanten ist nicht möglich, wenn die durch die parallel zueinander verlaufenden Falten gegebene Beweglichkeit erhalten werden soll.
  • AUFGABE DER ERFINDUNG
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Membran mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1 aufzuzeigen, die eine möglichst ungehinderte Beweglichkeit eines in der Mitte des Membran liegenden Bereichs gegenüber den Rändern der Membran in allen Richtungen längs der Hauptfläche erlaubt, ohne dass es zu dreidimensionalen Verwerfungen der Membran gegenüber deren Hauptfläche kommt.
  • LÖSUNG
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe der Erfindung durch eine Membran mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 und/oder eine Membran mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 3 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der neuen Membran sind in den abhängigen Patentansprüchen definiert. Der abhängige Patentanspruch 14 ist auf eine Abdichtvorrichtung mit einer neuen Membran gerichtet, der hiervon abhängige Patentanspruch 15 auf eine Schleifmaschine mit einer derartigen Abdichtvorrichtung.
  • BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die neue Membran muss nicht überall dreidimensional strukturiert sein. Sie weist aber zumindest einen dreidimensional strukturierten Bereich auf, der sich in zwei linear unabhängigen Richtungen längs einer Hauptfläche erstreckt und damit im Wesentlichen zweidimensionale Erstreckungen aufweist. Seine Struktur weist der Bereich in der dritten Dimension senkrecht zu der Hauptfläche auf; dabei ist die dreidimensionale Strukturierung auch senkrecht zu der Hauptfläche in aller Regel von geringeren Abmessungen als die Erstreckungen des dreidimensional strukturierten Bereichs in beiden Richtungen längs der Hauptfläche. In der einen Richtung längs der Hauptfläche weist die neue Membran in dem dreidimensional strukturierten Bereich einen schwingungsförmigen Verlauf mit mehreren aufeinander folgenden wechselweise gegenüber der Hauptfläche ansteigenden und abfallenden Abschnitten auf. Auf diese Weise sind in dieser Richtung hintereinander liegende Falten der Membran ausgebildet. Diese Falten, d. h. der schwingungsförmige Verlauf der Membran in der einen Richtung ist in dem dreidimensional strukturierten Bereich in der anderen Richtung derart moduliert, dass jede Linie, die in dem dreidimensional strukturierten Bereich zwei Punkte der Membran, deren Abstand auf der Hauptfläche größer als der größte Abstand von in der einen Richtung aufeinander folgenden ansteigenden und abfallenden Abschnitten ist, längs der Membran miteinander verbindet, um mindestens 10% länger als der Abstand der beiden Punkte auf der Hauptfläche ist. Vorzugsweise beträgt der Überschuss der Längs der Linie gegenüber dem Abstand der beiden Punkte auf der Hauptfläche mindestens 20%, noch mehr bevorzugt mindestens 30%, noch mehr bevorzugt mindestens 50%, noch mehr bevorzugt mindestens 100% und am meisten bevorzugt mindestens 200%. Die beim Verformen von bekannten Faltenbälgen längs deren Hauptfläche auftretenden dreidimensionalen Verwerfungen sind darauf zurückzuführen, dass diese Faltenbälge nicht in beliebigen Richtungen längs ihrer Hauptflächen die notwendige strukturelle Dehnungsfähigkeit aufweisen. Diese Dehnungsfähigkeit kann durch eine Modulation des Verlaufs der Falten in deren Längsrichtung erreicht werden, wenn die Membran durch diese Modulation zwischen beliebigen Punkten, d. h. längs beliebigen Richtungen, ausreichend eingefaltete Abschnitte aufweist, die entfaltet oder weiter zusammengefaltet werden können, um die Punkte in diesen Richtungen gegeneinander zu bewegen. Es versteht sich aber, dass diese Betrachtung nur für Punkte zulässig ist, die über den Mindestabstand der Falten voneinander entfernt sind. Es versteht sich weiter, dass die Relativbeweglichkeit der Punkte der Membran anwächst, wenn der Längenüberschuss der Linien längs der Membran, die zwei Punkte miteinander verbinden, gegenüber dem Abstand der Punkte auf der Hauptfläche anwächst. Dabei kommt es auf die Linien längs der Membran an, die den geringsten Längenüberschuss aufweisen, weil diese wie längs der Hauptfläche gespannte Zugseile wirken. Bei einfachen unmodulierten Falten verlaufen beispielsweise in der Richtung der Fallen Linien längs der Membran, die genauso lang zwischen zwei Punkten auf der Linie sind wie der Abstand dieser Punkte auf der Hauptfläche.
  • Um die Modulation des schwingungsförmigen Verlaufs der neuen Membran in der einen Richtung in dem dreidimensional strukturierten Bereich so zu bewirken, dass die oben definierte Anforderung erfüllt wird, kann diesem schwingungsförmigen Verlauf in der einen Richtung ein schwingungsförmiger Verlauf in der anderen Richtung überlagert sein, der wechselweise gegenüber der Hauptfläche ansteigende und abfallende und/oder wechselweise in der einen Richtung und entgegen der einen Richtung geneigte Abschnitte aufweist. Die Modulation verläuft damit senkrecht und/oder parallel zu der Hauptfläche.
  • Wenn die Modulation senkrecht zur Hauptfläche verläuft, d. h. dann, wenn der schwingungsförmige Verlauf in der anderen Richtung wechselweise gegenüber der Hauptfläche ansteigende und abfallende Abschnitte aufweist, ist es bevorzugt, dass die Amplituden der schwingungsförmigen Verläufe in den beiden Richtungen ungleich sind. Sonst besteht die Gefahr, dass sich gerade Linien längs der Membran ausbilden, in denen sich Anstiege und Abfälle gegenüber der Hauptfläche aufgrund der beiden überlagerten schwingungsförmigen Verläufe gerade so kompensieren, dass sie parallel zu der Hauptfläche verlaufen und sich damit längs dieser Linien kein Längenüberschuss zwischen der Länge der Linie und dem Abstand der von ihr verbundenen Punkte ausbildet. Wenn solche Linien auftreten, können sie jedoch beseitigt werden, indem in dem dreidimensional strukturierten Bereich dem schwingungsförmigen Verlauf der Membran in der einen Richtung noch ein weiterer schwingungsförmiger Verlauf in der anderen Richtung überlagert wird, wobei der weitere schwingungsförmige Verlauf in der anderen Richtung wechselweise in die eine Richtung und entgegen der einen Richtung geneigte Bereiche aufweist. Dieser weitere schwingungsförmige Verlauf ist damit eine zusätzliche Modulation mit Auslenkungen parallel zu der Hauptfläche der Membran.
  • Um allen Linien längs der Membran einen möglichst gleichen Längenüberschuss bezüglich des Abstands der von ihr verbundenen Punkte auf der Hauptfläche zu geben, ist das Verhältnis von Amplitude zu Wellenlänge bei den schwingungsförmigen Verläufen in den beiden Richtungen vorzugsweise gleich. Dies bedeutet, dass kleinere Amplituden in einer bestimmten Richtung durch entsprechende kleinere Wellenlängen des schwingungsförmigen Verlaufs in dieser Richtung ausgeglichen sind.
  • Konkret können einer, beide oder alle schwingungsförmigen Verläufe Dreiecks- oder Sinusfunktionen entsprechen. D. h., alle schwingungsförmigen Verläufe können beispielsweise Dreiecksfunktionen entsprechen. Dabei können die Dreiecksfunktionen in den oben genannten Grenzen auch jeweils gleiche Wellenlängen und Amplituden haben, wobei diese Werte über den jeweiligen gesamten dreidimensional strukturierten Bereich gleich sind. Sowohl Wellenlängen als auch Amplituden als auch die Form der schwingungsförmigen Verläufe können jedoch auch über den dreidimensional strukturierten Bereich hinweg variieren.
  • Die Hauptfläche der neuen Membran kann gekrümmt sein und dabei auch zu einem Zylindermantel oder einem Kugelmantel oder zumindest einem Kugelmantelsegment geschlossen sein. Besondere Vorteile treten aber auf, wenn die Hauptfläche der neuen Membran eine Ebene ist oder nur eine leichte Krümmung aufweist, weil dann eine Relativverschiebung von Punkten einer Membran parallel zu der Hauptebene normalerweise schnell mit dreidimensionalen Verwerfungen der Membran senkrecht zu der Hauptebene verbunden ist.
  • Die beiden Richtungen der schwingungsförmigen Verläufe der neuen Membran sind vorzugsweise orthogonal zueinander, was jedoch nicht zwingend ist. Auch müssen die beiden betrachteten Richtungen keine linearen Richtungen sein, sondern es kann sich z. B. auch um eine radiale Richtung ausgehend von einem Zentrum des dreidimensional strukturierten Bereichs und eine Umfangsrichtung um dieses Zentrum handeln.
  • Besonders bevorzugt ist es für die Verwendung der neuen Membran, wenn der oder mehrere dreidimensional strukturierte Bereiche einen inneren Anschlussbereich der Membran umschließen und wenn der oder die mehreren dreidimensional strukturierten Bereiche von einem äußeren Anschlussbereich der Membran umschlossen sind. Dann kann die Beweglichkeit der neuen Membran für eine Verschiebung des inneren Anschlussbereichs gegenüber dem äußeren Anschlussbereich ohne dreidimensionale Verwerfungen der Membran genutzt werden. Dies gilt selbst dann, wenn der äußere Anschlussbereich der Membran starr eingespannt ist.
  • So kann der innere Anschlussbereich dicht an ein erstes Maschinenteil und der äußere Anschlussbereich dicht an ein zweites Maschinenteil, das gegenüber dem ersten Maschinenteil längs der Hauptfläche verfahrbar ist, angeschlossen sein. Auf diese Weise kann eine Abdichtvorrichtung beispielsweise für eine Schleifmaschine bereitgestellt sein.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Patentansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen. Die in der Beschreibungseinleitung genannten Vorteile von Merkmalen und von Kombinationen mehrerer Merkmale sind lediglich beispielhaft und können alternativ oder kumulativ zur Wirkung kommen, ohne dass die Vorteile zwingend von erfindungsgemäßen Ausführungsformen erzielt werden müssen. Weitere Merkmale sind den Zeichnungen – insbesondere den dargestellten Geometrien und den relativen Abmessungen mehrerer Bauteile zueinander sowie deren relativer Anordnung und Wirkverbindung – zu entnehmen. Die Kombination von Merkmalen unterschiedlicher Ausführungsformen der Erfindung oder von Merkmalen unterschiedlicher Patentansprüche ist ebenfalls abweichend von den gewählten Rückbeziehungen der Patentansprüche möglich und wird hiermit angeregt. Dies betrifft auch solche Merkmale, die in separaten Zeichnungen dargestellt sind oder bei deren Beschreibung genannt werden. Diese Merkmale können auch mit Merkmalen unterschiedlicher Patentansprüche kombiniert werden. Ebenso können in den Patentansprüchen aufgeführte Merkmale für weitere Ausführungsformen der Erfindung entfallen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren näher erläutert und beschrieben. Dabei zeigen die Figuren jeweils Ausführungsformen der neuen Membran mit schwingungsförmigen Verläufen, die Dreiecksfunktionen mit konstanter Wellenlänge und Amplitude entsprechen. Hieraus ist aber keine Beschränkung der Erfindung auf bestimmte schwingungsförmige Verläufe abzuleiten, weder auf schwingungsförmige Verläufe, die bestimmten Funktionen entsprechen, noch solche, die eine feste Wellenlänge oder eine feste Amplitude aufweisen.
  • 1 gibt einen Längsschnitt durch einen dreidimensional strukturierten Bereich einer ersten Ausführungsform der neuen Membran in einer ersten Richtung wieder.
  • 2 gibt einen Längsschnitt durch den dreidimensional strukturierten Bereich der ersten Ausführungsform der neuen Membran gemäß 1 in einer zweiten Richtung wieder.
  • 3 ist eine Draufsicht auf den dreidimensional strukturierten Bereich der ersten Ausführungsform der neuen Membran gemäß den 1 und 2.
  • 4 gibt einen Längsschnitt durch einen dreidimensional strukturierten Bereich einer zweiten Ausführungsform der neuen Membran in einer ersten Richtung wieder.
  • 5 gibt einen Längsschnitt durch den dreidimensional strukturierten Bereich der zweiten Ausführungsform der neuen Membran gemäß 4 in einer zweiten Richtung wieder.
  • 6 ist eine Draufsicht auf den dreidimensional strukturierten Bereich der zweiten Ausführungsform der neuen Membran gemäß den 4 und 5.
  • 7 gibt einen Längsschnitt durch einen dreidimensional strukturierten Bereich einer dritten Ausführungsform der neuen Membran wieder, wobei dieser Längsschnitt in zwei zueinander orthogonalen Richtungen längs der Hauptfläche der Membran gleich ist.
  • 8 ist eine Draufsicht auf den dreidimensional strukturierten Bereich der dritten Ausführungsform der neuen Membran gemäß 7.
  • 9 ist eine Draufsicht auf einen dreidimensional strukturierten Bereich einer weiteren Ausführungsform der neuen Membran.
  • 10 gibt einen Längsschnitt durch den dreidimensional strukturierten Bereich der weiteren Ausführungsform der neuen Membran gemäß 9 in einer ersten Richtung wieder; und
  • 11 gibt einen Längsschnitt durch den dreidimensional strukturierten Bereich der weiteren Ausführungsform der neuen Membran gemäß 9 in einer zweiten Richtung wieder.
  • FIGURENBESCHREIBUNG
  • Die 1 bis 3 geben einen dreidimensional strukturierten Bereich 1 einer Membran 2 in zwei Längsschnitten (1 und 2) und einer Draufsicht (3) wieder. Die Membran 2 besteht aus einem flexiblen Material 3, das eine Verformung der Membran 2 in ihren Haupterstreckungsrichtungen erlaubt, ohne dabei notwendigerweise selbst dehnbar zu sein. Die Membran 2 erstreckt sich längs einer Hauptfläche 4, die mit der Zeichenebene gemäß 3 zusammenfällt. Dabei weist die Membran 2 in einer ersten Richtung 5, die der Richtung des Längsschnitts gemäß 1 entspricht, einen schwingungsförmigen Verlauf mit Schwingungen senkrecht zu der Hauptfläche 4 auf, dem ein anderer schwingungsförmiger Verlauf in einer zweiten Richtung 6, die der Schnittrichtung des Längsschnitts gemäß 2 entspricht und orthogonal zu der Richtung 5 verläuft, überlagert ist. Die Schwingungen des anderen schwingungsförmigen Verlaufs verlaufen hier ebenfalls senkrecht zu der Hauptfläche 4, weisen aber eine kleinere Wellenlänge und Amplitude auf. Aus der Überlagerung der beiden schwingungsförmigen Verläufe längs der Richtungen 5 und 6 resultieren in der Draufsicht gemäß 3 höchste Punkte 7 und tiefste Punkte 8 der Membran 2 in regelmäßigen Mustern und insbesondere eine Verformbarkeit, d. h. insbesondere eine Dehnbarkeit der Membran in allen Richtungen längs der Hauptfläche 4 allein aufgrund der Flexibilität des Materials 3 und ohne dieses selbst zu dehnen.
  • Dasselbe wird bei der Membran 2 gemäß den 4 bis 6 erreicht, deren dreidimensional strukturierter Bereich 1 in den 4 bis 6 dargestellt ist. Hier verläuft jedoch der zweite schwingungsförmige Verlauf in der Richtung 6 nicht senkrecht zu der Hauptfläche 4, sondern parallel hierzu. Entsprechend gibt die Draufsicht gemäß 6 Kämme 9 und Täler 10 statt der höchsten und tiefsten Punkte 7 und 8 gemäß 3 wieder.
  • Die in den 7 und 8 mit ihrem dreidimensional strukturierten Bereich 1 skizzierte Membran 2 unterscheidet sich von derjenigen gemäß den 1 bis 3 durch gleiche Wellenlängen und insbesondere auch durch gleiche Amplituden der beiden in den Richtungen 5 und 6 überlagerten schwingungsförmigen Verläufe. Dies erweist sich insoweit als ungünstig, als dass sich die Anstiege und Abfälle dieser beiden überlagerten schwingungsförmigen Verläufe längs Linien 11, die in 8 eingezeichnet sind, vollständig kompensieren. So gilt für alle Punkte, die auf einer dieser Linien 11 liegen, dass die Membran längs dieser Linien eine Länge aufweist, die genau dem Abstand der Punkte auf der Hauptfläche 4 entspricht. Die Membran 2 weist entsprechend in der Richtung dieser Linien 11 keine strukturelle Dehnbarkeit, d. h. keine Dehnbarkeit ohne Dehnung des Materials 3 der Membran 2 auf.
  • Die 9 bis 11 skizzieren, dass dies trotz gleicher Wellenlängen und Amplituden der schwingungsförmigen Verläufe in den beiden Richtungen 5 und 6 nicht gilt, wenn der überlagerte schwingungsförmige Verlauf in der Richtung 6 Schwingungen parallel zu der Hauptfläche 4 aufweist. Dann gibt es keine Gerade über die Draufsicht gemäß 9, die zwei Punkte der Membran 2 miteinander verbinden würde, ohne dass eine Linie längs der Membran 2 gegenüber dieser Geraden nicht zumindest bereichsweise ansteigen oder abfallen würde, solange nur solche Geraden betrachtet werden, die mindestens so lang wie die Wellenlänge der hier überlagerten schwingungsförmigen Verläufe sind. In 11 ist für zwei Punkte 12 und 13 deren Abstand 14 auf der Hauptfläche 4 eingetragen und ebenso die Länge einer Linie 15 längs der Membran 2, die die beiden Punkte 12 und 13 miteinander verbindet. Diese Länge besteht aus vier Teillängen 16 bis 19, die zusammen mehr als 50% länger als der Abstand 14 sind.
  • 1
    dreidimensional strukturierter Bereich
    2
    Membran
    3
    Material
    4
    Hauptfläche
    5
    Richtung
    6
    Richtung
    7
    höchster Punkt
    8
    tiefster Punkt
    9
    Kamm
    10
    Tal
    11
    Linie
    12
    Punkt
    13
    Punkt
    14
    Abstand
    15
    Linie
    16
    Teillänge
    17
    Teillänge
    18
    Teillänge

Claims (15)

  1. Membran aus flexiblem Material, die sich in zwei linear unabhängigen Richtungen längs einer Hauptfläche erstreckt und die in mindestens einem dreidimensional strukturierten Bereich in der einen Richtung einen schwingungsförmigen Verlauf mit mehreren aufeinander folgenden, wechselweise gegenüber der Hauptfläche ansteigenden und abfallenden Abschnitten aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass in dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) der schwingungsförmige Verlauf der Membran (2) in der einen Richtung (5) in der anderen Richtung (6) derart moduliert ist, dass jede Linie, die in dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) zwei Punkte (12, 13) der Membran (2), deren Abstand (14) auf der Hauptfläche (4) größer als der größte Abstand von in der einen Richtung (5) aufeinander folgenden ansteigenden und abfallenden Abschnitten ist, längs der Membran (2) miteinander verbindet, um mindestens 10% länger als der Abstand (14) der beiden Punkte (12, 13) auf der Hauptfläche (4) ist.
  2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Linie, die in dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) zwei Punkte (12, 13) der Membran (2), deren Abstand (14) auf der Hauptfläche (4) größer als der größte Abstand (14) von in der einen Richtung (5) aufeinander folgenden ansteigenden und abfallenden Abschnitten ist, längs der Membran (2) miteinander verbindet, um mindestens 20%, bevorzugt um mindestens 30%, mehr bevorzugt um mindestens 50%, noch mehr bevorzugt um mindestens 100% und am meisten bevorzugt um mindestens 200% länger als der Abstand (14) der beiden Punkte (12, 13) auf der Hauptfläche (4) ist.
  3. Membran aus flexiblem Material insbesondere nach Anspruch 1 oder 2, die sich in zwei linear unabhängigen Richtungen längs einer Hauptfläche erstreckt und die in mindestens einem dreidimensional strukturierten Bereich in der einen Richtung einen schwingungsförmigen Verlauf mit aufeinander folgenden, wechselweise gegenüber der Hauptfläche ansteigenden und abfallenden Abschnitten aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass in dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) dem schwingungsförmigen Verlauf der Membran (2) in der einen Richtung (5) ein schwingungsförmiger Verlauf in der anderen Richtung (6) überlagert ist, wobei der schwingungsförmige Verlauf in der anderen Richtung (6) wechselweise gegenüber der Hauptfläche (4) ansteigende und abfallende und/oder wechselweise in die eine Richtung (5) und entgegen der einen Richtung (5) geneigte Abschnitte aufweist.
  4. Membran nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass dann, wenn der schwingungsförmige Verlauf in der anderen Richtung (6) wechselweise gegenüber der Hauptfläche (4) ansteigende und abfallende Abschnitte aufweist, die Amplituden der schwingungsförmigen Verläufe in den beiden Richtungen (5, 6) ungleich sind.
  5. Membran nach einem der Ansprüche 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass dann, wenn der schwingungsförmige Verlauf in der anderen Richtung (6) wechselweise gegenüber der Hauptfläche (4) ansteigende und abfallende Bereiche aufweist, in dem dreidimensional strukturierten Bereich (1) dem schwingungsförmigen Verlauf der Membran (2) in der einen Richtung (5) ein weiterer schwingungsförmiger Verlauf in der anderen Richtung (6) überlagert ist, wobei der weitere schwingungsförmiger Verlauf in der anderen Richtung (6) wechselweise in die eine Richtung (5) und entgegen der einen Richtung (5) geneigte Bereiche aufweist.
  6. Membran nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Amplitude zu Wellenlänge bei den schwingungsförmigen Verläufen in den beiden Richtungen (5, 6) gleich ist.
  7. Membran nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass einer, beide oder alle schwingungsförmigen Verläufe einer Dreieck- oder Sinusfunktion entsprechen.
  8. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptfläche (4) eine Ebene ist.
  9. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Richtungen (5, 6) orthogonal zueinander verlaufen.
  10. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass beide Richtungen (5, 6) lineare Richtungen sind oder dass eine Richtung eine radiale Richtung und eine Richtung eine Umfangsrichtung ist.
  11. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der oder mehrere dreidimensional strukturierte Bereiche (1) einen inneren Anschlussbereich der Membran (2) umschließen.
  12. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der oder mehrere dreidimensional strukturierte Bereiche (1) von einem äußeren Anschlussbereich der Membran (2) umschlossen sind.
  13. Vorrichtung mit einer Membran nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der äußere Anschlussbereich der Membran (2) starr eingespannt ist.
  14. Abdichtvorrichtung mit einer Membran nach Anspruch 11 und Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der innere Anschlussbereich dicht an ein erstes Maschinenteil und der äußere Anschlussbereich dicht an ein zweites Maschinenteil, das gegenüber dem ersten Maschinenteil längs der Hauptfläche (4) verfahrbar ist, angeschlossen ist.
  15. Schleifmaschine mit einer Abdichtvorrichtung nach Anspruch 14.
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