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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Testen von elektronischen
Bauelementen, insbesondere IC's
unter bestimmten Druckbedingungen, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
1.
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Elektronische
Bauelemente, wie beispielsweise MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System), die zur
Druckermittlung verwendet werden, werden üblicherweise nach ihrer Herstellung
Drucktests unterworfen, um ihre ordnungsgemäße Funktion zu überprüfen oder
deren Funktionskennlinie bei unterschiedlichen Temperaturen auszugleichen,
d. h. zu kalibrieren. Hierzu ist es teilweise erforderlich, mehrere
hundert Parameter zu bestimmen. Die Drucktests finden in Drucktestkammern
statt, die aus zwei voneinander trennbaren Druckkammerhälften bestehen.
Die zu testenden Bauelemente werden dabei in eine der Druckkammerhälften eingelegt,
worauf diese Druckkammerhälfte
dann gegen die andere Druckkam merhälfte gefahren wird, bis sie
sich in dichter Anlage an dieser anderen Druckkammerhälfte befindet.
Bei diesem Vorgang werden Kontakte der Bauelemente mit in die Kavität der Drucktestkammer hineinragenden
Kontaktelementen verbunden, die zu einer elektronischen Testeinrichtung
führen.
Anschließend
wird in der Kavität
der Drucktestkammer derjenige Druck erzeugt, mit dem die Tests durchgeführt werden
sollen. Nach Beendigung der Tests werden die Druckkammerhälften wieder
auseinander gefahren, so dass die Bauelemente entnommen und entsprechend
dem Testergebnis sortiert werden können. Das Zuführen der
Bauelemente in die Kavität und
das Entnehmen der Bauelemente aus der Kavität erfolgen dabei zweckmäßiger Weise
mittels eines Handlers, d. h. eines Handhabungsautomaten, der das
Be- und Entladen der Bauelemente mit hoher Geschwindigkeit durchführt.
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Es
ist bekannt, mehrere nebeneinander angeordnete Bauelemente gleichzeitig
zu testen, wodurch das Testen der Bauelemente wesentlich beschleunigt
werden kann. Beispielsweise können mehrere
vereinzelte Bauelemente in spezielle Tabletts (trays) eingelegt
und dann die Drucktestkammer mit dem gesamten Tablett beladen werden.
Weiterhin sind elektronische Bauelemente üblich, die in einem streifenförmigen Verbund
(Strip) vorliegen, bevor sie voneinander getrennt werden. Es ist
bekannt, derartige Strips in die Drucktestkammer einzulegen und sämtliche
Bauelemente der Strips gleichzeitig zu testen.
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Bei
Drucktests ist es wesentlich, dass der gewünschte Testdruck innerhalb
der Kavität
der Drucktestkammer auf möglichst
schnelle Weise aufgebaut und während
des Tests konstant beibehalten werden kann. Es ist daher erforder lich,
die Kavität
nach außen
zuverlässig
abzudichten. Die Abdichtung muss dabei häufig auch hohen Testdrücken von
beispielsweise 20 bar oder mehr standhalten können. Weiterhin sollten die
Drucktestkammern so aufgebaut sein, dass sie auf möglichst
einfache Weise für
unterschiedliche Bauelemente umrüstbar
sind.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Testen
von elektronischen Bauelementen, insbesondere IC's, unter bestimmten Druckbedingungen
zu schaffen, die möglichst
einfach aufgebaut und auf einfache und kostengünstige Weise an unterschiedliche
Bauelemente anpassbar ist sowie die gewünschten Druckbedingungen auf
zuverlässige
Weise aufrecht erhält.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine
Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte
Ausführungsformen
der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
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Erfindungsgemäß ist jedes
Kontaktelement in einen die Druckkammerhälfte durchdringenden ersten
Kontaktelementabschnitt und einen zum ersten Kontaktelementabschnitt
beabstandeten zweiten Kontaktelementabschnitt unterteilt, der innerhalb
der Kavität
angeordnet ist. Innerhalb der Kavität ist ein luftdurchlässiges Abdichtboard
angeordnet, das sich quer über
die Kontaktelemente erstreckt und randseitig zur zugeordneten Druckkammerhälfte hin
abgedichtet ist, wobei die ersten Kontaktelementabschnitte auf einer
Seite des Abdichtboards und die den ersten Kontaktelementabschnitten
zugeordneten zweiten Kontaktelementabschnitte auf der gegenüberliegenden
Seite des Abdichtboards angeordnet sind. Weiterhin sind die ersten
Kontaktelementab schnitte mit den gegenüberliegenden zweiten Kontaktelementabschnitten über leitende
Abschnitte des Abdichtboards elektrisch verbunden.
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Bei
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
ist es somit nicht erforderlich, die ersten Kontaktelementabschnitte,
welche die Druckkammer durchdringen und sich von der Kavität nach außen erstrecken,
einzeln abzudichten. Vielmehr werden sämtliche ersten Kontaktelementabschnitte
durch das Abdichtboard gemeinsam abgedichtet. Auf der gegenüberliegenden
Seite des Abdichtboards sind dann die zweiten Kontaktelementabschnitte
befestigt, die – getrennt durch
das Abdichtboard – sich
bereits in demjenigen Bereich der Kavität befinden, in dem der gewünschte Testdruck
aufgebaut wird.
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Gemäß einer
besonders vorteilhaften Ausführungsform
ist ein bauelementspezifisches DUT-Board vorgesehen, das innerhalb
der Kavität zwischen
den zweiten Kontaktelementabschnitten und zu den zweiten Kontaktelementabschnitten
beabstandetem dritten Kontaktelementabschnitte angeordnet ist, mit
denen die Kontakte der Bauelemente in Kontakt bringbar sind. Eine
darartige Ausführung ermöglicht einen
besonders einfachen Umbau der Vorrichtung bei unterschiedlichen
Bauelementen und Strip-Geometrien. Die Anzahl der beim Umbau zu wechselnden
Teile kann stark reduziert werden. Besonders vorteilhaft ist dabei,
dass das Abdichtboard auch bei unterschiedlichen Bauelementen und Strip-geometrien identisch
bleiben kann und – da
die bauelementspezifische Anpassung bereits durch das innerhalb
der Kavität
angeordnete DUT-Board erfolgt – auch
die außerhalb
der Drucktestkammer an die Kontaktelemente anschließenden Einrichtungen,
wie beispielsweise ein Interface-Board und/ oder ein DIB-Board (Data
Input Bus Board, d. h. Datenüberträgerboard),
gleich bleiben können.
Hierdurch können
auch die Umbaukosten und die Umbauzeit verringert werden.
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Alternativ
hierzu ist es auch möglich,
dass ein bauelementspezifisches DUT-Board vorgesehen ist, das außerhalb
der Drucktestkammer angeordnet und mit den ersten Kontaktelementabschnitten
in Kontakt ist, während
die zweiten Kontaktelementabschnitte an die Kontakte der zu testenden
Bauelemente angepasst sind und diesen Kontakten gegenüberliegen,
derart, dass die Kontakte der Bauelemente mit den zweiten Kontaktelementabschnitten
in Kontakt bringbar sind.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform bestehen
zumindest die ersten Kontaktelementabschnitte aus in ihrer Längsrichtung
federnden Kontaktstiften (Pogo-Pins). Es ist vorteilhaft, wenn auch die
zweiten Kontaktelementabschnitte und gegebenenfalls auch die dritten
Kontaktelementabschnitte aus derartigen federnden Kontaktstiften
bestehen. Alternativ hierzu ist es jedoch auch denkbar, dass diejenigen
Kontaktelementabschnitte, mit denen die Bauelemente in Kontakt bringbar
sind, anders ausgebildet sind, beispielsweise die Form von geschwungenen
Kontaktfedern haben.
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Die
Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es
zeigen:
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1:
einen schematischen Vertikalschnitt durch eine Drucktestkammer,
wie sie gemäß der Erfindung
eingesetzt werden kann, zur Verdeut lichung der grundsätzlichen
Funktionsweise der Drucktestkammer,
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2:
einen schematischen Längsschnitt durch
eine erste Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
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3:
einen schematischen Längsschnitt durch
eine zweite Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Ausführungsform
und
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4:
eine Explosionszeichnung von wesentlichen Teilen des Randbereichs
der Vorrichtung von 3.
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Aus 1 ist
eine Drucktestkammer mit einer ersten, unteren Druckkammerhälfte 1 und
einer zweiten, oberen Druckkammerhälfte 2 ersichtlich.
Im gezeigten Ausführungsbeispiel
ist die obere Druckkammerhälfte 2 stationär angeordnet,
während
die untere Druckkammerhälfte 1 mittels
einer nicht dargestellten Hebevorrichtung in vertikaler Richtung,
d. h. in z-Richtung, angehoben bzw. abgesenkt werden kann.
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Weiterhin
ist in 1 ein zwei Schwenkbacken 3 umfassender
Verschlussmechanismus ersichtlich. Die Schwenkbacken 3 sind
um Schwenkachsen 4 zwischen einer in 1 gezeigten Öffnungsstellung
und einer in den 2 und 3 gezeigten
Verschlussstellung schwenkbar. Die beiden Schwenkachsen 4 verlaufen
parallel zueinander und können
entweder wie in 1 dargestellt – an der oberen
Druckkammerhälfte 2 gelagert
sein oder alternativ auch oberhalb der Druckkammerhälfte 2.
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Die
beiden Druckkammerhälften 1, 2 haben in
der Draufsicht zumindest im wesentlichen eine rechteckige Form.
Die untere Druckkammerhälfte 1 weist
eine Vertiefung 5 auf, in die mehrere nebeneinander angeordnete
Bauelemente 18 (2 bis 4) eingesetzt
werden können,
wenn sich die untere Druckkammerhälfte 1 in ausreichendem
Abstand zur oberen Druckkammerhälfte 3 befindet.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel
liegen die Bauelemente 18 nebeneinander in Form eines Verbunds vor,
der als rechteckiger Strip 6 ausgebildet ist. Jeder Strip 6 kann
sowohl in Längs-
als auch in Querrichtung eine Mehrzahl von Bauelementen 18 aufweisen, die
matrixförmig
in der x-y-Ebene angeordnet sind.
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Der
Strip 6 kann auf ein Striptablett 7 (1 und 3)
aufgelegt und zusammen mit dem Striptablett 7 in die Vertiefung 5 der
unteren Druckkammerhälfte 1 eingelegt
werden. Es ist auch möglich, den
Strip 6 ohne das Striptablett 7 in die Vertiefung 5 einzulegen,
falls die untere Druckkammerhälfte 1 selbst
eine entsprechende Auflageeinrichtung für den Strip 6 aufweist.
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Die
obere Druckkammerhälfte 2 weist
eine Vertiefung 8 auf, die der Vertiefung 5 der
unteren Druckkammerhälfte 1 gegenüberliegt
und zusammen mit dieser eine geschlossene Kavität bildet, wenn die untere Druckkammerhälfte 1 an
die obere Druckkammerhälfte 2 herangefahren
wird.
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Die
Druckkammerhälften 1, 2 weisen
einander zugewandte Flächen 9, 10 auf,
die parallel zueinander und eben ausgebildet sind. In der Fläche 10 der
oberen Druckkammerhälfte 2 ist
eine um die Vertiefung 8 herumlaufende Nut 11 vorgesehen,
in die eine Dichtung 12 in Form eines O-Rings eingebettet ist.
Die Dichtung 12 steht nach unten über die Fläche 10 vor, so dass
die Fläche 9 der
unteren Druckkammerhälfte 1 gegen
die Dichtung 12 gedrückt
werden kann, wodurch die Kavität
bei zusammengefahrenen Druckkammerhälften 1, 2 druckdicht
verschlossen ist.
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Von
der oberen Druckkammerhälfte 2 stehen Kontaktelemente 13 in
die Kavität
hinein vor, die mit entsprechenden Kontakten der in die Vertiefung 5 eingelegten
Bauelemente 18 in Kontakt gebracht werden können, wenn
die beiden Druckkammerhälften 1, 2 zusammengefahren
werden. Die Kontaktelemente 13 erstrecken sich, wie nachfolgend
anhand der 2 bis 4 noch näher erläutert wird,
durch die obere Druckkammerhälfte 2 hindurch
in den Außenbereich
der Drucktestkammer und sind mit einer nicht dargestellten elektronischen
Testvorrichtung, zweckmäßiger Weise über einen
Testkopf, verbunden.
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Wie
weiterhin in 1 dargestellt ist, sind die beiden
Schwenkbacken 3 C- oder U-förmig ausgebildet und weisen
jeweils einen nach innen gerichteten Stützabschnitt 15 auf,
der bei zusammengefahrenen Druckkammerhälften 1, 2 nach
dem Zusammenschwenken der Schwenkachsen 3 einen Randabschnitt 16 der
unteren Druckkammerhälfte 1 untergreift.
Weiterhin weist jeder Schwenkbacken 3 mindestens eine nicht
näher dargestellte
Hubvorrichtung auf, die einen im Schwenkbacken 3 angeordneten
Pneumatikzylinder umfasst, der über
einen Hebelmechanismus auf einen Stößel 17 einwirkt. Der Stößel 17 ist
längsverschiebbar
im Stützabschnitt 15 gelagert
und kann aus einer im wesentlichen zurückgezogenen Stellung, die in 1 dargestellt
ist, mittels des Kolbens nach oben über den Stützabschnitt 15 ausgefahren
werden, so dass er bei geschlossenen Schwenkbacken 3 die
untere Druckkammerhälfte 1 fest
gegen die obere Druckkammerhälfte 2 bzw. gegen
deren Dichtung 12 drückt,
so dass die Kavität abgedichtet
ist.
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Weiterhin
können
die Schwenkbacken 3 eine nicht dargestellte mechanische
Verriegelungseinrichtung aufweisen, mit der Abstandsplättchen in
den Zwischenraum zwischen den Stützabschnitten 15 und
den Randabschnitten 16 der unteren Druckkammerhälfte 1 eingeschoben
werden können,
nachdem der Stößel 17 die
untere Druckkammerhälfte 1 gegen die
Dichtung 12 der oberen Druckkammerhälfte 2 gedrückt hat.
Hierdurch kann die dichte Anlage der unteren Druckkammerhälfte 1 an
der oberen Druckkammerhälfte 2 auf
mechanische Weise aufrechterhalten werden, so dass die Hubvorrichtungen
entlastet werden können.
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Zum
Testen der Bauelemente 18 wird zunächst ein Strip 6,
gegebenenfalls zusammen mit einem Striptablett 7, auf das
der Strip 6 vorher ablegt wurde, in die Vertiefung 5 der
unteren Druckkammerhälfte 1 eingelegt.
Anschließend
werden die Position des Strips 6 relativ zur unteren Druckkammerhälfte 6 sowie
die Position der unteren Druckkammerhälfte 1 relativ zur
oberen Druckkammerhälfte 2 (mittels
eines bekannten Verfahrens) ermittelt.
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Die
untere Druckkammerhälfte 1 wird
mittels der nicht dargestellten Hebevorrichtung in z-Richtung bis
in unmittelbare Nähe
der oberen Druckkammerhälfte
hochgefahren, wobei die untere Druckkammerhälfte 1 in einer genauen
Testposition relativ zur oberen Druckkammerhälfte 2 positioniert
wird.
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Anschließend werden
die beiden Schwenkbacken 3 nach innen geschwenkt, wobei
die Stützabschnitte 15 die
Randabschnit te 16 der unteren Druckkammerhälfte 1 untergreifen.
In dieser Stellung werden die Stößel 17 nach
oben ausgefahren, so dass die untere Druckkammerhälfte 1 gegen
die Dichtung der oberen Druckkammerhälfte 2 gedrückt wird,
und sich diese Dichtung 12 entsprechend elastisch verformt.
Anschließend
werden die nicht dargestellten Abstandsplättchen mittels der mechanischen
Verriegelungseinrichtung in den Zwischenraum zwischen den Stützabschnitten 15 der
Schwenkbacken 3 und der unteren Druckkammerhälfte 1 eingefahren.
Die Stößel 17 können nun
zurückgefahren
werden, wobei die dichte Anlage der unteren Druckkammerhälfte 1 an
der Dichtung 12 aufrechterhalten bleibt. In dieser Stellung
sind die Kontakte der Bauelemente 18 mit den Kontaktelementen 13 der
oberen Druckkammerhälfte 2 kontaktiert.
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Anschließend wird
in der Kavität
der gewünschte
Testdruck aufgebaut. Ist dieser Testdruck erreicht, wird die elektronische
Messung der Bauelemente 18 durchgeführt.
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Nach
Ende der Messung wird der Druck in der Kavität abgebaut. Es werden die Stößel 17 kurzzeitig
ausgefahren, um die Abstandsplättchen
zurückziehen
zu können.
Dann werden die Stößel 17 wieder
in die Stützabschnitte 15 zurückgezogen.
Die Schwenkbacken 3 können
nun wieder in die in 1 gezeigte geöffnete Stellung
hochgeschwenkt werden, worauf die untere Druckkammerhälfte 1 nach unten
von der oberen Druckkammerhälfte
weggefahren wird, so dass die getesteten Bauelemente 18,
gegebenenfalls mit dem Striptablett 7, aus der unteren Druckkammerhälfte 1 entnommen
werden können. Die
Drucktestkammer kann damit wieder mit neuen Bauelementen 18 beladen
werden.
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Die
untere Druckkammerhälfte 1 kann
relativ zur oberen Druckkammerhälfte 2 in
x- und/oder y-Richtung verschiebbar und/oder um die z-Achse drehbar
sein, so dass die Anzahl der Kontaktelemente 13 niedriger
als diejenige der Kontakte der in die Kavität eingelegten Bauelemente 18 sein
kann. In diesem Fall wird zunächst
nur ein Teil der eingelegten Bauelemente 18 kontaktiert
und getestet, dann die untere Druckkammerhälfte 1 verschoben
und/oder gedreht und anschließend
ein weiterer Teil der eingelegten Bauelemente 18 kontaktiert
und getestet. Dieser Vorgang wird so oft wiederholt, bis sämtliche
eingelegten Bauelemente 18 kontaktiert und getestet worden
sind. Erst anschließend
wird die Druckkammerhälfte 1 soweit
abgesenkt, dass die getesteten Bauelemente 18 entnommen
und neue Bauelemente 18 eingelegt werden können. Diese
Art des schrittweisen Testens bei seitlichem Verschieben und/oder Verdrehen
der unteren Druckkammerhälfte 1 ist
im Rahmen der vorliegenden Erfindung jedoch lediglich optional.
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Anhand
von 2 wird nachfolgend eine erste Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
näher erläutert. Bei
dieser Ausführungsform besteht
jedes Kontaktelement 13 aus einem ersten Kontaktelementabschnitt 19 und
einem hierzu beabstandeten, zweckmäßigerweise fluchtenden zweiten Kontaktelementabschnitt 20.
Die Kontaktelementabschnitte 19, 20 bestehen im
dargestellten Ausführungsbeispiel
jeweils aus federnden Kontaktstiften (Pogo pins), wobei eine Mehrzahl
benachbarter Kontaktstifte in Form von sogenannten Pogo stacks 21, 22 gebündelt vorliegen
können.
Die ersten Kontaktelementabschnitte 19 bzw. Pogo stacks 21 durchdringen
die obere Wand 23 der oberen Druckkammerhälfte 2.
Die äußeren Enden
der ersten Kontaktelementabschnitte 19 stehen mit zugeordneten
Kontakten eines DUT-Boards 24 (Device Under Test Board) in
elektrischem Kontakt, das oberhalb der oberen Druckkammerhälfte 2 und
damit außerhalb
der Drucktestkammer angeordnet ist. Beim DUT-Board 24 handelt
es sich um eine bauelementspezifische, wechselbare Platine. Das
DUT-Board 24 ist über elektrische
Verbindungselemente 25 mit einem DIB-Board (Data Input
Bus Board) in Verbindung, über
das eine elektrische Verbindung zur (nicht dargestellten) elektronischen
Testvorrichtung geschaffen wird.
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Die
inneren Enden der ersten Kontaktelementabschnitte 19, die
sich geringfügig über die
Unterseite der oberen Wand 23 hinaus nach innen erstrecken,
sind mit zugeordneten Kontakten auf der Oberseite eines Abdichtboards 26 in
Kontakt. Das Abdichtboard 26 ist als luftdichte Platte
oder Platine ausgebildet, die sich quer zur Längserstreckung der Kontaktelemente 13 über sämtliche
Kontaktelemente 13 erstreckt und die ersten Kontaktelementabschnitte 19 von
den zweiten Kontaktelementabschnitten 20 räumlich trennt.
Das Abdichtboard 26 ist an der Wand 23 der oberen
Druckkammerhälfte 2 befestigt
und in ihrem Randbereich mittels einer umlaufenden Dichtung 27 gegenüber der
Wand 23 luftdicht abgedichtet. Das Abdichtboard 26 verhindert
somit, dass Luft oder ein anderes Gas aus dem Kavitätsbereich,
in dem der Testdruck (mittels nicht dargestellter Leitungen) aufgebaut
wird, über
die Öffnungen
in der Wand 23, in denen die ersten Kontaktelementabschnitte 19 oder
Pogo stacks 21 angeordnet sind, nach außen (oder nach innen) gelangen
kann.
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Das
Abdichtboard 26 weist an seiner Unterseite elektrische
Kontakte auf, die den Kontakten auf seiner Oberseite entsprechen
und mit diesem elektrisch verbunden sind. An diesen unterseitigen
Kontakten liegen die oberen Enden der zweiten Kontaktelementabschnitte 20 an,
so dass diese mit den jeweiligen zugeordneten ersten Kontaktelementabschnitten 19 elektrisch
verbunden sind.
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Zweckmäßigerweise
befinden sich die zweiten Kontaktelementabschnitte 20 oder
Pogo stacks 22 in Kontaktsockeln, die von unten her am
Abdichtboard 26 befestigt werden. Die unteren Enden der zweiten
Kontaktelementabschnitte 20 sind dabei entsprechend den
Kontakten der zu testenden Bauelemente 18 angeordnet, so
dass die Bauelementkontakte mit den zweiten Kontaktelementabschnitten 20 kontaktiert
werden können,
wenn die untere Druckkammerhälfte 1 in
dichte Anlage gegen die obere Druckkammerhälfte 2 gedrückt wird.
Die Dichtung 12 verhindert dabei, dass Luft zwischen den
Druckkammerhälften 1, 2 aus
der Kavität
nach außen
oder umgekehrt von außen
in die Kavität
gelangen kann, wie dies anhand von 1 beschrieben
wurde.
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Im
Ausführungsbeispiel
von 2 wird der Strip 6 auf eine Mehrzahl
von Stützelementen 28 (Lead
backers) aufgelegt, die sich am Boden der Vertiefung 5 befinden
und den Strip 6 im Bereich der Bauelementkontakte unterstützen. Der
Bauelementkörper 29 ist
dabei zwischen Stützelementen 28 angeordnet.
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Anhand
der 3 und 4 wird nachfolgend eine zweite
Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
näher beschrieben.
Diese zweite Ausführungsform
unterscheidet sich von der vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsform
im Wesentlichen dadurch, dass das DUT-Board 24 nicht außerhalb,
sondern innerhalb der Kavität
der Drucktestkammer angeordnet ist und sich zwischen dem Abdichtboard 26 und
den zu testenden Bauelementen 18 befindet. Die beiden Druckkammerhälften 1, 2, ihre
gegenseitige Abdichtung mittels der Dichtung 12, die ersten
Kontaktelementabschnitte 19 bzw. Pogo stacks 21 und
deren Abdichtung mittels des Abdichtboards 26 sowie die
Dichtung 27 sind gleich oder ganz ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform
ausgebildet und angeordnet, so dass diesbezüglich auf die ersten Ausführungsform
verwiesen wird.
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Wie
aus den 3 und 4 ersichtlich,
ist das DUT-Board 24 parallel zum Abdichtboard 26,
d. h. im vorliegenden Ausführungsbeispiel
horizontal, zwischen den unteren Enden der zweiten Kontaktelementabschnitte 20 und
zugeordneten dritten Kontaktelementabschnitten 30 angeordnet.
Die dritten Kontaktelementabschnitte 30 bestehen wiederum
aus federnden Kontaktstiften (Pogo pins), die entsprechend den Kontakten
der zu kontaktierenden Bauelemente 18 angeordnet sind,
so dass die Bauelementkontakte mit den dritten Kontaktelementabschnitten 30 kontaktiert
werden können,
wenn die untere Druckkammerhälfte 1 in
dichte Anlage gegen die obere Druckkammerhälfte 2 gedrückt wird.
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Die
dritten Kontaktelementabschnitte 30 können wiederum gebündelt in
Form von Pogo stacks 31 vorliegen und sind mittels Kontaktsockeln an
der Unterseite des DUT-Boards 24 befestigt.
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Das
auswechselbare, bauelementspezifische DUT-Board 24 dient
bei dieser Ausführungsform
dazu, die dritten Kontaktelementabschnitte 30 zu den zweiten
Kontaktelementabschnitten 20 durchzukontaktieren und dabei
die bauelementspezifisch angeordneten und ausgebildeten dritten
Kontaktelementabschnitte 30 mit den zugeordneten zweiten Kontakt elementabschnitten 20 zu
kontaktieren, die nicht bauelementspezifisch angeordnet und/oder ausgebildet
sein müssen.
Diese zweite Ausführungsform
bietet somit den Vorteil, dass bei einem Wechsel der zu testenden
Bauelementtypen lediglich das DUT-Board 24 und die dritten
Kontaktelementabschnitte 30 auf der Seite der oberen Druckkammerhälfte 2 ausgetauscht
werden müssen,
während
die oberhalb des DUT-Boards 24 angeordneten Komponenten
universell einsetzbar sind, d. h. für unterschiedliche Bauelementtypen
geeignet sind.
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Der
Strip 6 liegt im Bereich der Bauelementkontakte auf Stützelementen 28 (Lead
backers) auf, die auf einem in die Vertiefung 5 einsetzbaren
Striptablett 7 angeordnet sind.
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Die
oberen Enden der ersten Kontaktelementabschnitte 19 sind
mit einem universellen Schnittstellen-Board 32 in Kontakt,
das oberhalb der oberen Druckkammerhälfte 2 und damit außerhalb der
Drucktestkammer angeordnet ist. Dieses Schnittstellen-Board 32 steht
wiederum über
ein universelles Durchstoß-Board 33 (Through-Board)
mit einem DIB-Board 34 (Data Input Bus Board) in Kontakt. Auch
das Schnittstellen-Board, Durchstoß-Board 33 und DIB-Board 34 sind
somit gleichermaßen
zum Testen von unterschieden Bauelementtypen geeignet.