DE102007002543A1 - Treiberschaltung für Leistungs-Halbleiterschalelement - Google Patents

Treiberschaltung für Leistungs-Halbleiterschalelement Download PDF

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Abstract

Eine Gate-Treiberschaltung für ein spannungsgesteuertes Leistungshalbleiter-Schaltelement umfasst (a) das spannungsgesteuerte Leistungshalbleiter-Schaltelement, (b) eine Treiberschaltung zum Zuführen eines Treibersignals zu der Gate-Elektrode des Schaltelements und (c) eine Induktivität zwischen dem Emittersteuerungsanschluss oder Source-Steuerungsanschluss des Schaltelements und dem Emitterhauptanschluss oder Source-Hauptanschluss eines Halbleitermoduls. Eine an der Induktivität erzeugte Spannung wird erfasst. Die Gate-Treiberspannung oder der Gate-Treiberwiderstand wird auf der Grundlage des erfassten Werts variabel gemacht.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Gate-Treiberschaltung für ein spannungsgesteuertes Leistungshalbleiter-Schaltelement, das in einem Leistungsumwandlungssystem verwendet wird.
  • In spannungsgesteuerten Leistungshalbleiterelementen wie MOS-FETs und IGBTs schreitet die Entwicklung in Richtung einer Handhabung größerer elektrischer Ströme fort. Des Weiteren geht bei MOSFETS, die in Leistungsversorgungsanwendungen eingesetzt werden, die Entwicklung zusätzlich zur Handhabung größerer elektrischer Ströme in Richtung des Verfügens über niedrigere Leistungsversorgungsspannungen. Wenn ein Leistungshalbleiterelement mit großen Strömen und niedrigen Spannungen angesteuert wird, wird eine übermäßige Spannung an dem Leistungshalbleiterelement erzeugt, wenn die äußere Zusammenschaltungsinduktivität zu groß ist. Dadurch entsteht die Möglichkeit, dass das Element zerstört wird. Daher besteht die Schlüsseltechnik darin, die äußere Zusammenschaltungsinduktivität zu reduzieren oder die innere Induktivität des Leistungshalbleitermoduls zu reduzieren. Eine solche Technik zur Reduzierung der äußeren Zusammenschaltungsinduktivitäten ist beispielsweise in JP2002-44964 (Patentreferenz 1), insbesondere von Absatz 0017 bis 0019, offenbart.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Wenn ein Element eingeschaltet wird und wenn die Emitterinduktivität groß ist, wird eine durch das Produkt aus der Emitterinduktivität und der Stromanstiegsrate (di/dt) bestimmte Spannung, die erzeugt wird, wenn das Element eingeschaltet wird, an der Emitterinduktivität erzeugt. Daher besteht das Problem, dass die Schaltgeschwindigkeit durch die an der Emitterinduktivität erzeugte Spannung reduziert wird. Weiterhin besteht in den letzten Jahren die Tendenz, Leistungshalbleiterelemente mit niedrigeren Leistungsversorgungsspannungen zu verwenden. Mit dieser Tendenz besteht die Neigung, dass Schwellenspannungen für MOSFETs, IGBTs und andere ähnliche Elemente niedriger werden. Außerdem neigen Leistungshalbleiterelemente in den letzten Jahren dazu, größere elektrische Ströme zu behandeln. Infolgedessen neigen die an Emitterinduktivitäten erzeugte Spannungen dazu, größer zu werden. Die Emitterinduktivitäten beeinträchtigen die Schaltgeschwindigkeit sehr.
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement mit hoher Schaltgeschwindigkeit bereitzustellen.
  • Eine Gate-Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung wird für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement verwendet, das ein spannungsgesteuertes Leistungshalbleiter-Schaltelement ist. Die Gate-Treiberschaltung führt der Gate-Elektrode des Leistungshalbleiter-Schaltelements ein Treibersignal zu. Zwischen einem Emittersteuerungsanschluss oder einem Source-Steuerungsanschluss des Schaltanschlusses und einem Emitterhauptanschluss oder einem Source-Hauptanschluss eines Halbleitermoduls ist eine Induktivität vorhanden. Eine an der Induktivität erzeugte Spannung wird erfasst und eine Gate-Treiberspannung oder ein Gate-Treiberwiderstand wird auf der Grundlage des erfassten Werts variable gemacht.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Steuerung bereitgestellt, die die an der Emitterinduktivität erzeugte Spannung nutzt, und da her kann das Leistungshalbleiterelement mit hoher Geschwindigkeit angesteuert werden.
  • Andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen ersichtlich.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Blockdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung gebaut ist.
  • 2 ist ein Schaltungsdiagramm der Treiberschaltung für das Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 1 der Erfindung gebaut ist.
  • 3 ist ein Wellenformdiagramm, das den Unterschied zwischen einer in Ausführungsform 1 erzeugten Schaltwellenform und einer nach dem Stand der Technik erzeugten Schaltwellenform veranschaulicht.
  • 4 ist ein Schaltungsdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 2 der Erfindung gebaut ist.
  • 5 ist ein Wellenformdiagramm, das Unterschied zwischen einer in Ausführungsform 2 erzeugten Schaltwellenform und einer nach dem Stand der Technik erzeugten Schaltwellenform veranschaulicht.
  • 6 ist ein Schaltungsdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 3 der Erfindung gebaut ist.
  • 7 ist ein Schaltungsdiagramm der Treiberschaltung für das Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 1 gebaut ist.
  • 8 ist ein Blockdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 4 der Erfindung gebaut ist.
  • 9 ist ein Blockdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 5 der Erfindung gebaut ist.
  • 10 ist ein Blockdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 6 der Erfindung gebaut ist.
  • 11 ist ein Blockdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß Ausführungsform 7 der Erfindung gebaut ist.
  • BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden detailliert unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
  • Ausführungsform 1
  • 1 ist ein Blockdiagramm einer Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Ausführungsform gebaut ist. Mit der Treiberschaltung 11 ist ein IGBT-Modul 31 verbunden. In dem IGBT-Modul 31 sind ein IGBT 32 und eine Freilaufdiode 33 in Reihe geschaltet, wobei der IGBT ein spannungsgesteuertes Schaltelement ist. Eine Emitterinduktivität 34 in Abhängigkeit von der Länge der Zwischenschaltungen, die beispielsweise durch Drahtverbindung erfolgen, ist zwischen der Emitterelektrode des IGBT 32 und dem Emitteranschluss 36 des IGBT-Moduls 31 vorhanden.
  • Die Treiberschaltung des Standes der Technik für einen IGBT besteht aus einer Treiber-/Schutzschaltung 21, einer Leistungsversorgung 22 mit positiver Vorspannung für die Treiberschaltung und einer Leistungsversorgung 23 mit negativer Vorspannung für die Treiberschaltung. Es gibt kein Mittel zur Kompensierung der Spannung an der Emitterinduktivität. Daher reduziert eine Spannung, die an der Emitterinduktivität erzeugt wird, wenn sie eingeschaltet wird, die Schaltgeschwindigkeit. Weiterhin besteht in den letzten Jahren die Tendenz, Leistungshalbleiterelemente mit niedrigeren Leistungsversorgungsspannungen zu verwenden. Mit dieser Tendenz sind Schwellenspannungen, bei denen Hauptströme beginnen, durch MOSFETS, IGBT und andere Elemente zu zirkulieren, niedriger geworden. Außerdem neigen in den letzten Jahren Leistungshalbleiterelemente dazu, größere elektrische Ströme zu handhaben. Infolgedessen neigt die an der Emitterinduktivität 34 erzeugte Spannung zum Zunehmen. Diese Emitterinduktivität 34 beeinträchtigt die Schaltgeschwindigkeit sehr.
  • Die Treiberschaltung 11 der vorliegenden Erfindung weist eine Emitterinduktivitätsspannungs-Erfassungseinheit 13 und eine Gate-Spannungssteuerungs-/Gate-Widerstandsschalteinheit 12 auf. Ein spezifisches Schaltungsdiagramm der Treiberschaltung der vorliegenden Erfindung ist in 2 gezeigt, wobei die Treiberschaltung für das Leistungshalbleiterelement verwendet wird. In der vorliegenden Erfindung ist eine Addierschaltung unter Verwendung eines Operationsverstärkers 51 und eines Widerstands 52 für die Addierschaltung aufgebaut. In der vorliegenden Erfindung kann eine Spannung, die durch die Emitterinduktivität 34 erzeugt wird, wenn sie eingeschaltet wird, zu der Ausgangsspannung von der Treiber-/Schutzschaltung addiert werden.
  • Der Unterschied zwischen einer in der vorliegenden Erfindung erzeugten Schaltwellenform und einer im Stand der Technik erzeugten Schaltwellenform ist in 3 gezeigt. Die in der vorliegenden Erfindung erzeugte Schaltwellenform ist durch die ausgezogene Linie angegeben. Die im Stand der Technik erzeugte Schaltwellenform ist durch die punktierte Linie angegeben. Im Stand der Technik wird, wenn das Element eingeschaltet wird, die an der Emitterinduktivität 34 erzeugte Spannung nicht addiert und somit wird der Bereich der Terrassenspannung der Gate-Spannungswellenform (Vg), die konstant gehalten wird, wenn das Element eingeschaltet wird, erweitert. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Spannung, die an der Emitterinduktivität 34 erzeugt wird, wenn sie eingeschaltet wird, addiert. Die Gate-Spannung wird um einen Betrag erhöht, der der Spannung entspricht, die an der Induktivität während der Einschaltzeitspanne, in der der Kollektorstrom des IGBT ansteigt, erzeugt wird. Infolgedessen kann die di/dt während der Einschaltzeitspanne erhöht werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Steuerung bereitgestellt, die die an der Emitterinduktivität 34 erzeugte Spannung nutzt, und somit kann das Leistungshalbleiterelement mit hoher Geschwindigkeit angesteuert werden.
  • Ausführungsform 2
  • Ein Schaltungsdiagramm der Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement ist in 4 gezeigt, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung gebaut ist. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen im Blockdiagramm der Ausführungsform 1 wie auch dem Schaltungsdiagramm der 4 bezeichnet. In der Ausführungsform 1 ist die Gate-Spannungssteuerungs-/Gate-Widerstandsschalteinheit 12 ein Mittel zum Steuern der Gate-Spannung. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Einheit 12 eine Gate-Widerstandsschalteinheit.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist die Gate-Widerstandsschalteinheit unter Verwendung eines Komparators 53, einer Vergleichsleistungsversorgung 54, eines pMOSFET 55 und eines Schalt-Gate-Widerstands 56 aufgebaut. Aufgrund dieser Konfiguration kann der Gate-Widerstand während der Zeitspanne, in der eine Spannung an der Emitterinduktivität 34 während der Einschaltzeitspanne erzeugt wird, reduziert werden.
  • Der Unterschied zwischen einer in der vorliegenden Erfindung erzeugten Schaltwellenform und einer im Stand der Technik erzeugten Schaltwellenform ist in 5 gezeigt. Die in der vorliegenden Erfindung erzeugte Schaltwellenform ist durch die ausgezogene Linie angegeben. Die im Stand der Technik erzeugte Schaltwellenform ist durch die punktierte Linie angegeben. Wenn im Stand der Technik das Element eingeschaltet und eine Spannung an der Emitterinduk tivität 34 erzeugt wird, gibt es kein Mittel, um den Gate-Widerstand variabel zu machen. Daher wird der Bereich der Terrassenspannung der Gate-Spannungswellenform (Vg), die während der Einschaltzeitspanne konstant gehalten wird, erweitert. In der vorliegenden Erfindung ist ein Mittel vorgesehen, um den Gate-Widerstand variabel zu machen, wenn das Element eingeschaltet und eine Spannung an der Emitterinduktivität 34 erzeugt wird. Insbesondere fällt in der vorliegenden Ausführungsform wenn das Element eingeschaltet und eine Spannung an der Emitterinduktivität 34 erzeugt wird, der Komparator 53 eine Entscheidung, ob eine Spannung an der Emitterinduktivität erzeugt worden ist. Wenn eine solche Spannung erzeugt worden ist, wird der pMOSFET 55 eingeschaltet. Daher wird in der vorliegenden Ausführungsform, wenn das Element eingeschaltet wird, der Einschaltvorgang durchgeführt, wobei der Gate-Widerstand durch die Summe aus dem Widerstand des Gate-Widerstands 24 und des Widerstands des Schalt-Gate-Widerstands 56 bestimmt wird. Wenn andererseits eine Emitterinduktivitätsspannung erzeugt wird, wird ein Einschaltvorgang durchgeführt, wobei eine Konstante durch den Widerstand des Gate-Widerstands 24 erzeugt wird. Daher wird der Gate-Widerstand während der Einschaltzeitspanne reduziert, in der der Kollektorstrom des IGBT zunimmt. Infolgedessen kann die di/dt während des Einschaltens erhöht werden.
  • Auf diese Weise wird in der vorliegenden Ausführungsform eine Steuerung bereitgestellt, die die an der Emitterinduktivität erzeugte Spannung nutzt, und daher kann das Leistungshalbleiterelement mit hoher Geschwindigkeit angesteuert werden.
  • Ausführungsform 3
  • Ein Blockdiagramm der Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement ist in 6 gezeigt, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Ausführungsform gebaut ist. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen im Blockdiagramm der Ausführungsform 1 wie auch dem Blockdiagramm der 6 bezeichnet. Der Unterschied der vorliegenden Ausführungsform zum Blockdiagramm der Treiberschaltung der 1 für ein Leistungshalbleiterelement ist das Verfahren der Verbindung mit Erdpotenzial. In vor kurzem hergestellten Leistungsmodulen wird ein zur Steuerung verwendeter Emitteranschluss oft von dem Emitteranschluss 36 eines IGBT-Moduls getrennt, um die Wirkungen der Spannung zu reduzieren, die an der Emitterinduktivität 34 erzeugt wird, wenn sie eingeschaltet wird (d. h. während des Schaltens). In diesem Fall sind der Emitteranschluss zur Steuerung und das Erdpotenzial der Treiberschaltung 11 der vorliegenden Ausführungsform äquipotenzial.
  • Ein spezifisches Schaltungsdiagramm der Treiberschaltung der vorliegenden Ausführungsform ist in 7 gezeigt, wobei die Treiberschaltung für das Leistungshalbleiterelement verwendet wird. In der vorliegenden Ausführungsform ist eine Addierschaltung unter Verwendung eines Operationsverstärkers 51 und eines Widerstands 52 für die Addierschaltung aufgebaut. Der Unterschied zur Ausführungsform der 1 besteht darin, dass ein Vergleichspotenzial für den Operationsverstärker 51 das Potenzial am Emitteranschluss 36 des IGBT-Moduls anstatt eines Emitteranschlusses zur Steuerung ist. Infolgedessen kann eine während des Einschaltens an der Emitterinduktivität 34 erzeugte Spannung zu der Ausgabespannung von der Treiber-/Schutzschaltung addiert werden.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird eine Steuerung bereitgestellt, die die an einer Emitterinduktivität erzeugte Spannung nutzt, und daher kann das Leistungshalbleiterelement mit hoher Geschwindigkeit angesteuert werden.
  • Ausführungsform 4
  • Ein Blockdiagramm der Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement ist in 8 gezeigt, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Ausführungsform gebaut ist. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen im Blockdiagramm der Ausführungsform 1 wie auch dem Blockdiagramm der 8 bezeichnet. In der vorliegenden Ausführungsform ist anstelle der Erfassung der während des Einschaltens an der Emitterinduktivität 34 erzeugten Spannung in dem Blockdiagramm der Treiberschaltung der 1 für ein Leistungshalbleiterelement eine Gate-Spannungserfassungseinheit 14 angebracht. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Gate-Spannung durch diese Gate-Spannungserfassungseinheit 14 erfasst. Der Strom durch den IGBT 32 kann auf der Grundlage der erfassten Gate-Spannung geschätzt werden. Daher kann das Leistungshalbleiterelement mit hoher Geschwindigkeit auf dieselbe Weise wie in dem Fall angesteuert werden, in dem die Emitterinduktivität 34 verwendet wird.
  • Ausführungsform 5
  • Ein Blockdiagramm der Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement ist in 9 gezeigt, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung gebaut ist. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen im Blockdiagramm der Ausführungsform 4 wie auch dem Blockdiagramm der 9 bezeichnet. In der vorliegenden Ausführungsform ist anstelle der Gate-Spannungserfassungseinheit 14 im Blockdiagramm der Treiberschaltung der 1 für ein Leistungshalbleiterelement eine Gate-Stromerfassungseinheit 15 angebracht. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Gate-Spannung auf der Grundlage des Gate-Stroms unter Verwendung der Gate-Stromerfassungseinheit 14 gefunden und der Strom durch den IGBT 32 kann auf der Grundlage der Gate-Spannung auf dieselbe Weise wie in Ausführungsform 4 geschätzt werden. Infolgedessen kann die Leistungshalbleitervorrichtung mit hoher Geschwindigkeit auf dieselbe Weise wie in dem Fall angesteuert werden, in dem die Emitterinduktivität 34 verwendet wird.
  • Ausführungsform 6
  • Ein Blockdiagramm der Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement ist in 10 gezeigt, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Ausführungsform gebaut ist. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen in allen Blockdiagrammen der Ausführungsformen 1 und 4 und der vorliegenden Ausführungsform bezeichnet. Der Unterschied der vorliegenden Ausführungsform zu den Ausführungsformen 1 und 4 besteht darin, dass die Spannung an der Emitterinduktivität 34 und die Gate-Spannung gleichzeitig beobachtet werden. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird eine genauere Steuerung ermöglicht.
  • Ausführungsform 7
  • Ein Blockdiagramm der Treiberschaltung für ein Leistungshalbleiterelement ist in 11 gezeigt, wobei die Treiberschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung gebaut ist. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen im Blockdiagramm der Ausführungsform 1 wie auch dem Blockdiagramm der 11 bezeichnet. Der Unterschied der vorliegenden Ausführungsform zur Ausführungsform 1 besteht darin, dass ein SiC-JFET anstelle eines IGBT verwendet wird. In einem normalerweise ausgeschalteten SiC-JFET ist die Schwellenspannung auf etwa 1 bis 2 V eingestellt. Die Einschalt-Treiberspannung ist auf einen sehr niedrigen Wert von etwa 3 V eingestellt. Wenn daher SiC-JFETs bei höheren Geschwindigkeiten eingeschaltet werden, ist eine Steuerung notwendig, die die Emitterinduktivität 34, die Gate-Spannung oder den Gate-Strom verwendet. Die Treiberschaltung der vorliegenden Erfindung gestattet ein Hochgeschwindigkeitsschalten von SiC-JFETs.
  • Weiterhin sollte von Fachleuten verstanden werden, dass die vorstehende Beschreibung zwar über Ausführungsformen der Erfindung erfolgt ist, die Erfindung jedoch nicht auf diese beschränkt ist und verschiedene Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Geist der Erfindung und dem Umfang der beigefügten Ansprüche abzuweichen.

Claims (16)

  1. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32), wobei die Gate-Treiberschaltung (11) einer Gate-Elektrode des Leistungshalbleiter-Schaltelements (32), das ein spannungsgesteuertes Leistungshalbleiter-Schaltelement ist, ein Treibersignal zuführt, wobei zwischen einem Emittersteuerungsanschluss oder einem Source-Steuerungsanschluss des Schaltelements (32) und einem Emitterhauptanschluss oder einem Source-Hauptanschluss eines Halbleitermoduls (31) eine Induktivität (34) vorhanden ist, und wobei eine an der Induktivität (34) erzeugte Spannung erfasst und eine Gate-Treiberspannung oder ein Gate-Treiberwiderstand auf der Grundlage des erfassten Werts variabel gemacht wird.
  2. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 1, wobei die Gate-Treiberspannung während einer Zeitspanne, in der die an der Induktivität (34) erzeugte Spannung erfasst wird, erhöht ist.
  3. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 1, wobei der Gate-Treiberwiderstand während einer Zeitspanne, in der die an der Induktivität (34) erzeugte Spannung erfasst wird, verringert ist.
  4. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 1, wobei das Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) ein SiC-Leistungselement ist.
  5. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32), wobei die Gate-Treiberschaltung (11) einer Gate-Elektrode des Leistungshalbleiter-Schaltelements (32), das ein spannungsgesteuertes Leistungshalbleiter-Schaltelement ist, ein Treibersignal zuführt, wobei zwischen der Gate-Elektrode des Schaltelements (32) und der Gate-Treiberschaltung (11) ein Gate-Widerstand (24) vorhanden ist, und wobei eine an der Gate-Elektrode erzeugte Spannung erfasst wird und eine Gate-Treiberspannung oder ein Gate-Treiberwiderstand auf der Grundlage des erfassten Werts variabel gemacht wird.
  6. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 5, wobei die Gate-Treiberspannung während einer Zeitspanne, in der die an der Gate-Elektrode erzeugte Spannung erfasst wird, erhöht ist.
  7. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 5, wobei der Gate-Treiberwiderstand während einer Zeitspanne, in der die an der Gate-Elektrode erzeugte Spannung erfasst wird, reduziert ist.
  8. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 5, wobei das Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) ein SiC-Leistungselement ist.
  9. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32), wobei die Gate-Treiberschaltung (11) einer Gate-Elektrode des Leistungshalbleiter-Schaltelements (32), das ein spannungsge steuertes Leistungshalbleiter-Schaltelement ist, ein Treibersignal zuführt, wobei zwischen der Gate-Elektrode des Schaltelements (32) und der Gate-Treiberschaltung (11) ein Gate-Widerstand (24) vorhanden ist, und wobei ein durch den Gate-Widerstand (24) fließender elektrischer Strom erfasst und eine Gate-Treiberspannung oder ein Gate-Treiberwiderstand auf der Grundlage des erfassten Werts variabel gemacht wird.
  10. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 9, wobei die Gate-Treiberspannung während einer Zeitspanne, in der der durch den Gate-Widerstand (24) fließende Strom erfasst wird, reduziert ist.
  11. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 9, wobei der Gate-Treiberwiderstand während einer Zeitspanne, in der der durch den Gate-Widerstand fließende Strom erfasst wird, reduziert ist.
  12. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 9, wobei das Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) ein SiC-Schaltelement ist.
  13. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 1, wobei zwischen einem Emittersteuerungsanschluss oder einem Source-Steuerungsanschluss des Schaltelements (32) und einem Emitterhauptanschluss oder einem Source-Hauptanschluss eines Halbleitermoduls (31) eine Induktivität (34) vorhanden ist und wobei eine an der Induktivität (11) erzeugte Spannung und die Gate-Spannung erfasst werden und die Gate-Treiberspannung oder der Gate-Treiber widerstand auf der Grundlage des erfassten Werts variabel gemacht wird.
  14. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 13, wobei die Gate-Treiberspannung während einer Zeitspanne, in der die an der Induktivität (34) erzeugte Spannung und die Gate-Spannung erfasst werden, erhöht ist.
  15. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 13, wobei der Gate-Treiberwiderstand während einer Zeitspanne, in der die an der Induktivität (34) erzeugte Spannung und die Gate-Spannung erfasst werden, reduziert ist.
  16. Gate-Treiberschaltung (11) für ein Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) nach Anspruch 13, wobei das Leistungshalbleiter-Schaltelement (32) ein SiC-Leistungselement ist.
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