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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Ionisator zur Verwendung
bei der Entladung eines aufgeladenen Werkstücks und insbesondere auf einen
Ionisator, der eine Teileaufnahmeeinheit aufweist, mit der zugeordnete
Elemente angebracht werden können.
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Bei
der Behandlung eines Werkstücks,
beispielsweise eine Halbleiterwafers oder dergleichen, wird ein
Ionisator eingesetzt, um das elektrostatisch aufgeladene Werkstück zu entladen.
Der Ionisator ist so aufgebaut, dass eine positive Elektrode und
eine negative Elektrode in einer Elektrodenanbringungsöffnung an
einer unteren Fläche
eines Gehäuses
angeordnet sind. Eine pulsierende positive Hochspannung wird auf
die positive Elektrode aufgebracht, während eine pulsierende negative
Hochspannung auf die negative Elektrode aufgebracht wird. Dies ist beispielsweise
in der JP 2005-108829 A gezeigt. Hierdurch wird eine Coronaentladung
erzeugt, um positive und negative Ionen von den beiden Elektroden
zu generieren.
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Bei
dieser Art von Ionisator ist es manchmal erforderlich, dass ein
Sensor zur Messung des Ionengleichgewichts in einem Entladungsbereich
an dem Ionisator angebracht wird. Es ist auch möglich, dass ein Filter zur
Verhinderung des Anhaltens von Staub an der Elektrode an der oben
genannten Elektrodenanbringungsöffnung
angebracht wird. Die Verwendung zusätzlicher Elemente hängt von
den Einsatzbedingungen, der Einsatzumgebung und dergleichen ab.
Außerdem
ist es dann, wenn die oben genannte Elektrode so aufgebaut ist,
dass sie mit Hilfe eines Einsatzes frei angebracht und entfernt
werden kann, manchmal notwendig, Teile zur Verhinderung des Herausfallens
an dem Ionisator anzubringen, so dass der Elektrodeneinsatz nicht
aufgrund von Vibrationen, Stößen oder
dergleichen plötzlich
aus der oben genannten Elektrodenanbringungsöffnung herausfällt. Bei
dem bekannten Ionisator ist jedoch die nachträgliche Anbringung verschiedener
zugeordneter Elemente, wie den oben beschriebenen, an dem Ionisator
nicht einfach möglich.
Auch dann, wenn die Elemente an dem Ionisator angebracht werden,
wird jedes der Elemente einzeln mit unterschiedlichen Verfahren
angebracht. Dadurch wird die Montage schwierig und die Elemente
können
nicht einfach an dem Ionisator angebracht werden.
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Beschreibung
der Erfindung
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Es
ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Ionisator vorzuschlagen,
der eine Teileaufnahmeeinheit aufweist, mit welcher auch die nachträgliche Anbringung
verschiedener Arten zugeordneter Elemente einfach durchgeführt werden kann.
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Diese
Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale
des Anspruchs 1 gelöst.
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Vorteilhafte
Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung umfasst der Ionisator einen Ionisatorgrundkörper mit
einem länglichen
Gehäuse,
das eine untere Fläche
aufweist, an der eine Elektrodenanbringungsöffnung vorgesehen ist, und
zwei Seitenflächen,
die in die untere Fläche übergeben,
eine Elektrode zur Generierung von Ionen, die an der oben genannten
Elektrodenanbringungsöffnung
angebracht ist, und ein Paar von Befestigungsnuten, die sich in einer
Längsrichtung
des Gehäuses
an einer Position nahe einem unteren Endbereich der beiden Seitenflächen des
Gehäuses
erstrecken, sowie ein Hilfselement für zusätzliche Elemente, das an dem
Ionisatorgrundkörper
durch Verrastung mit den oben genannten Befestigungsnuten angebracht
wird. Die oben genannten Befestigungsnuten umfassen eine obere Seitennutwand
und eine untere Seitennutwand, wobei wenigstens ein Wandbereich
einer Nutenöffnungsseite
der unteren Seitennutenwand nach unten und außen abgeschrägt ist,
und wobei das oben genannten Hilfselement ein Paar von Befestigungsseitenwänden aufweist,
die einander zugewandt sind, wobei vorspringende Kanten zur Verrastung
an einem vorderen Ende der Seitenwände ausgebildet sind und wobei
das Hilfselement durch elastisches Verrasten der vorspringenden
Kanten in den oben genannten Befestigungsnuten lösbar an dem oben genannten
Ionisatorgrundkörper
anbringbar ist.
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In
Weiterbildung der Erfindung ist eine Führungsfläche zum Führen der oben genannten vorspringenden
Kanten zu einer Befestigungsnut ausgebildet, indem eine Höhe der unteren
Seitennutwand von einem Nutenboden zu einer Nutenöffnung der oben
genannten Befestigungsnuten so gewählt ist, dass sie niedriger
ist als eine Höhe
der oberen Seitennutwand von einem Nutenboden zu einer Nutenöffnung.
Außerdem
ist eine Fläche
der unteren Seitennutwand, die sich von einem Nutenöffnungsende zu
der unteren Fläche
erstreckt, in einer Richtung zu der Mitte des Gehäuses geneigt.
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Vorzugsweise
liegt der Winkel, der durch einen schrägen Wandbereich der unteren
Nutenwand an der oben genannten Befestigungsnut und eine virtuelle
vertikale Fläche,
die das oben genannte Gehäuse
in der Mitte seiner Breitenrichtung in zwei Teile unterteilt, gebildet
wird, zwischen etwa 10 und etwa 80°.
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Bei
einem besonderen Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung dient das oben genannte Hilfselement als
Herausfallverhinderungsabdeckung zum Halten der oben genannten Elektrode,
so dass diese nicht aus der oben genannten Elektrodenbefestigungsöffnung herausfällt.
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In
diesem Fall kann das oben genannte Hilfselement vorzugsweise als
ein Filterhalter zur Befestigung eines schwammartigen Filters an
der oben genannten Elektrodenbefestigungsöffnung dienen.
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Bei
einer anderen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung dient das
oben genannte Hilfselement als ein Sensorhalter zum Halten eines
Sensors zur Messung des Ionengleichgewichts.
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Bei
dem Ionisator gemäß der vorliegenden Erfindung
ist ein Paar von Befestigungsnuten in dem Gehäuse ausgebildet, und das Hilfselement
ist lösbar an
der Befestigungsnut angebracht, indem die vorspringenden Kanten,
die an den beiden Seitenwänden
des Hilfselementes ausgebildet sind, elastisch einrasten. Verschiedene
Typen von zugeordneten Elementen, beispielsweise Sensoren, Filter
oder dergleichen können
mit Hilfe des Hilfselementes angebracht werden. Somit kann das Anbringen
zugeordneter Elemente in einfacher Weise auch nachträglich durchgeführt werden.
Da die untere Seitennutwand der oben genannten Nutenbefestigungsnut
nach außen
und unten abgeschrägt
ist, kann das Anbringen und Lösen
des oben genannten Hilfselementes im Vergleich zu einem Fall, bei
welchem die untere Nutenseitenwand eine normale Nutenform, die in
horizontaler Richtung gerichtet ist, aufweist, einfach und zuverlässig durchgeführt werden.
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Weiterbildungen,
Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten
der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung
von Ausführungsbeispielen
und der Zeichnungen. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich
dargestellten Merkmale für
sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung,
unabhängig
von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
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Kurze
Beschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine Ansicht einer ersten Ausführungsform
eines Ionisators gemäß der vorliegenden Erfindung.
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2 ist
eine Ansicht von unten auf den Ionisator gemäß 1, wobei
ein Hilfselement teilweise aufgebrochen dargestellt ist.
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3 ist
eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht des Ionisators gemäß 1.
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4 ist
eine Seitenansicht, wobei das Hilfselement aus 3 getrennt
dargestellt ist.
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5 ist
ein vergrößerter Teilschnitt
eines Gehäuses.
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6 ist
eine Ansicht einer zweiten Ausführungsform
eines Ionisators gemäß der vorliegenden Erfindung.
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7 ist
eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht des Ionisators gemäß 6.
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8 ist
eine Ansicht eines Ionisators gemäß einer dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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9 ist
eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht des Ionisators gemäß 8.
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Detaillierte
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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Die 1 bis 4 zeigen
einen Ionisator gemäß einer
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Der Ionisator 1A wird zum Entladen eines
Werkstücks,
das bei der Behandlung elektrostatisch aufgeladen wurde, beispielsweise
einem Halbleiterwafer oder dergleichen, eingesetzt. Wenn von dem
Ionisator 1A positive und negative Ionen auf das Werkstück gestrahlt
werden, werden die negativen Ionen dann absorbiert, wenn das Werkstück mit einem
positiven Potential aufgeladen ist. Die positiven Ionen werden dann
absorbiert, wenn das Werkstück
ein negatives Potential aufweist. Hierdurch wird die Entladung durchgeführt.
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Bei
dem oben genannten Ionisator 1A ist ein Hilfselement 3A für anzubringende
Teile lösbar
an einem Ionisatorgrundkörper 2 angebracht,
der ein Paar positiver und negativer Elektroden 11, 11 oder
vorzugsweise eine Mehrzahl solcher Paare zur Erzeugung der Ionen
aufweist. Das Hilfselement 3A ist ein Element zum Anbringen
zugeordneter Teile, beispielsweise eines Sensors, eines Filters
oder dergleichen, an dem oben genannten Ionisatorgrundkörper 2.
Bei der ersten Ausführungsform
dient das oben genannte Hilfselement 3A als eine Herausfallverhinderungsabdeckung,
um zu verhindern, dass die oben genannten Elektroden 11 herausfallen.
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Der
oben genannte Ionisatorgrundkörper 2 weist
ein dünnes
und langes hohles Gehäuse 5 auf. Das
Gehäuse 5 hat
den Querschnitt eines in Längsrichtung
langen Rechtecks, einer Ellipse oder ähnlicher Formen. Eine Mehrzahl
von Elektrodenbefestigungsöffnungen 6 mit
einer dünnen
und langen elliptischen Form in einer axialen Richtung (Längsrichtung)
ist an einer unteren Fläche 5a des
Gehäuses 5 mit
gleichen Abständen
in axialer Richtung ausgebildet. Ein Elektrodeneinsatz 7 ist
lösbar
in jeder der Elektrodenbefestigungsöffnungen 6 angebracht.
Das Bezugszeichen 8 in der Zeichnung bezeichnet eine Endplatte zum
Abschließen
beider Endbereiche in einer Längsrichtung
des oben genannten Gehäuses 5.
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Bei
dem oben genannten Elektrodeneinsatz 7 wird ein Paar positiver
und negativer Elektroden 11, 11 zur Erzeugung
der positiven und negativen Ionen durch Aufbringung einer Hochspannung
in einem internen Teil eines hohlen Elektrodenhalters 10,
der einen elliptischen Querschnitt hat, gehalten. Der Elektrodeneinsatz 7 ist
so aufgebaut, dass er durch Drehen des Elektrodeneinsatzes 7 um
einen bestimmten Winkel um eine Mittelachse nach Einsetzen in die oben
genannte Elektrodenbefestigungsöffnung 6 in dieser
verriegelt und angebracht wird. Wenn der Elektrodeneinsatz 7 von
der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 entfernt
wird, reicht es daher aus, den Elektrodeneinsatz 7 in umgekehrter
Richtung zu drehen und zu entnehmen.
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Die
oben genannten positiven und negativen Elektroden 11, 11 sind,
auch wenn dies nicht dargestellt ist, mit einem positive Hochspannung
Erzeugungsschaltkreis zur Erzeugung einer pulsierenden positiven
Hochspannung bzw. einem negative Hochspannung Erzeugungsschaltkreis
zur Erzeugung einer pulsierenden negativen Hochspannung verbunden.
Die positiven und negativen Elektroden 11, 11 erzeugen
Coronaentladungen, indem die positiven und negativen Hochspannungen
abwechselnd von den periodisch arbeitenden Hochspannungserzeugungsschaltkreisen
aufgebracht werden. Die positiven Ionen werden von der positiven
Elektrode 11 ausgestrahlt, während die negativen Ionen von
der negativen Elektrode 11 ausgestrahlt werden.
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Wie
sich deutlich aus 5 ergibt, weist das oben genannte
Gehäuse 5 die
oben genannte untere Fläche 5a auf,
an der die oben beschriebene Elektrodenbefestigungsöffnung 6 vorgesehen
ist, sowie linke und rechte Seitenflächen 5b, 5b,
die sich einer oberen und unteren Richtung (vertikalen Richtung) erstrecken,
und Führungsflächen 5c, 5c,
die zwischen der unteren Fläche 5a und
den bei den Seitenflächen 5b, 5b angeordnet
sind. Das Gehäuse 5 weist
außerdem
ein Paar von Befestigungsnuten 15, 15 auf, die
sich an einander abgewandten Positionen an einem unteren Endbereich
der oben genannten Seitenwände 5b, 5b über die
gesamte Länge
in axialer Richtung (Längsrichtung)
des Gehäuses 5 erstrecken.
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Die
oben genannte Befestigungsnut 15 weist einen Nutenquerschnitt
auf, der im Wesentlichen U- oder V-förmig ist, und umfasst eine
obere Seitennutwand 15a und eine untere Seitennutwand 15b,
wobei die obere Seitennutwand 15a etwa horizontal angeordnet
oder in Richtung einer Nutenöffnungsseite
etwas nach oben geneigt ist. Die untere Seitennutwand 15b ist
nach unten zu der Nutenöffnungsseite
geneigt. Die Wandhöhe
von einem Nutenboden zu einer Nutenöffnung ist an der unteren Seitennutwand 15b kleiner
als die Wandhöhe
von dem Nutenboden zu der Nutenöffnung
an der oberen Seitennutwand 15a.
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Die
oben genannte Führungsfläche 5c,
die sich von einem Nutenöffnungsende
der oben genannten unteren Seitennutwand 15b zu der oben
genannten unteren Fläche 5a erstreckt,
ist keine vertikale Fläche,
sondern ist eine schräge
Fläche,
die in einer Richtung zu der Mitte des Gehäuses 5 abgeschrägt ist.
Eine vorspringende Kante 3c des oberen Endes der Seitenwand 3b wird
mit Hilfe der Führungsfläche 5c zu
der oben genannten Befestigungsnut 15 geführt, wenn
das oben genannte Hilfselement 3A an dem Ionisatorgrundkörper 2 angebracht
wird. Die Führungsfläche 5c ist
leicht konvex nach außen gekrümmt. Sie
kann aber auch als gerade Linie ausgestaltet sein.
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Ein
Schrägungswinkel
der unteren Seitennutwand 15b der oben genannten Befestigungsnut 15,
d.h. der Winkel θ,
der zwischen der unteren Seitennutwand 15b und einer virtuellen
vertikalen Fläche
M, welche das oben genannte Gehäuse 5 in
der Mitte seiner Breite in zwei Teile teilt, gebildet wird, ist vorzugsweise
ein Winkel, der es der oben genannten vorspringenden Kante 3c ermöglicht, zuverlässig in der
Befestigungsnut 15 einzurasten und einfach an dieser angebracht
bzw. von dieser gelöst
zu werden. Der Winkel liegt in einem Bereich von etwa 10 bis 80°.
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Es
ist nicht notwendig, dass die gesamte untere Seitennutwand 15b abgeschrägt ist.
Vielmehr kann es auch in Betracht gezogen werden, dass der Teil
der Nutenbodenseite horizontal verläuft und der Teil der Nutenöffnungsseite
abgeschrägt
ist.
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Das
oben genannte Hilfselement 3A besteht aus einem transparenten
oder lichtundurchlässigen, elastischen
Material, das vorzugsweise aus Kunststoff oder dergleichen hergestellt
ist und einen nutförmigen
Querschnitt aufweist. Das Hilfselement 3A weist eine im
Wesentlichen flache Bodenwand 3a, linke und rechte Seitenwände 3b, 3b,
die sich nach oben erstrecken, wobei sie so abgeschrägt oder
gekrümmt
sind, dass sie sich zur oberen Seite erweitern, nachdem sie sich
von den linken und rechten Seitenendbereichen der Bodenwand 3a erhoben
haben, und die oben genannte vorspringende Kante 3c zum
Einrasten auf, die so geformt ist, dass sie an einem oberen Endbereich
der beiden Seitenwände 3b nach
innen vorsteht. In der oben genannten Bodenwand 3a ist
eine Befestigungsöffnung 13 mit
einer elliptischen Form ausgebildet, in welche der Elektrodenhalter 10 des
oben genannten Elektrodeneinsatzes 7 eingesetzt wird. Die
Zahl der Befestigungslöcher 13 entspricht üblicherweise
der Zahl der Elektrodeneinsätze 7.
Sie sind in Längsrichtung
des Hilfselementes 3A mit festgelegten Abständen angeordnet.
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Außerdem sind
die oben genannten linken und rechten Seitenwände 3b, 3b so
geformt, dass sie in einer Richtung, in welcher der Abstand zwischen den
linken und rechten Seitenwänden
vergrößert oder
verkleinert wird, elastisch deformierbar sind. Durch elastisches
Einrasten der oben genannten vorspringenden Kanten 3c, 3c an
den vorderen Enden der beiden Seitenwände 3b, 3b in
den Befestigungsnuten 15, 15 wird das oben genannte
Hilfselement 3A an der unteren Fläche 5a des Gehäuses 5 in
dem oben genannten Ionisatorgrundkörper 2 derart befestigt,
dass das Hilfselement 3A lösbar ist und die untere Fläche 5a übergreift.
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Wenn
das oben genannte Hilfselement 3A an dem Ionisatorgrundkörper 2 angebracht
wird, ist es hierbei ausreichend, dass das Hilfselement 3A fest
gegen die untere Fläche 5a gepresst
wird, wodurch das Hilfselement 3A an der unteren Fläche 5a des
Gehäuses 5 befestigt
wird. Dementsprechend wird durch die elastische Deformation der
beiden Seitenwände 3b, 3b das
Paar der vorspringenden Kanten 3c, 3c entlang
der unteren Seitennutenwände 15b, 15b,
die nach unten abgeschrägt
sind, in die Befestigungsnuten 15, 15 eingesetzt,
nachdem sie durch Pressen entlang der oben genannten Führungsflächen 5c, 5c nach
links und rechts erweitert wurden, und rastet in den Befestigungsnuten 15 ein. Hierdurch
wird der Befestigungsvorgang abgeschlossen.
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Wenn
das oben genannte Hilfselement 3A von dem Ionisatorgrundkörper 2 gelöst werden
soll, reicht es aus, das Hilfselement 3A fest von der unteren
Fläche 5a des
Gehäuses 5 wegzuziehen.
Durch die elastische Deformation der beiden Seitenwände 3b, 3b werden
die oben genannten beiden vorspringenden Kanten 3c, 3c entlang
der unteren Seitennutenwände 15b, 15b,
die nach unten abgeschrägt sind,
erweitert und aus den Befestigungsnuten 15, 15 entfernt.
Dadurch kann der Lösevorgang
einfach durchgeführt
werden.
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Somit
können
die Befestigungs- und Lösevorgänge für das Hilfselement 3A äußerst einfach und
gleichmäßig durchgeführt werden,
indem die untere Seitennutwand 15b der Befestigungsnut 15 des Gehäuses 5 in
Nutenform ausgebildet wird, die in der oben beschriebenen Weise
nach unten abgeschrägt ist.
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Wenn
das oben beschriebene Hilfselement 3A an dem Ionisatorgrundkörper 2 befestigt
ist, wird der Elektrodenhalter 10 des oben genannten Elektrodeneinsatzes 7 in
das oben beschriebene Befestigungsloch 13 eingesetzt und
die Drehung des Elektrodeneinsatzes 7 erfolgt in einem
Zustand, indem sie durch die Befestigungsöffnung 13 beschränkt wird. Dadurch
wird der Elektrodeneinsatz 7 an einem Lösen aus der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 des Gehäuses 5 gehindert.
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Wenn
der oben beschriebene Elektrodeneinsatz 7 aus der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 entfernt
wird, ist es ausreichend, den Elektrodeneinsatz 7 um einen
bestimmten Winkel um die Mittelachse zu drehen und dadurch aus dem
verriegelten Zustand in der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 zu
lösen,
nachdem das oben genannte Hilfselement 3A von dem Gehäuse 5 abgenommen
wurde.
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Vorzugsweise
hat das oben genannte Hilfselement 3A eine seitliche Breite,
die so gewählt
ist, dass sie nicht nach außen
von den Seitenflächen 5b, 5b des
Gehäuses 5 vorsteht,
wenn das Hilfselement 3A an dem oben genannten Gehäuse 5 angebracht ist.
Insbesondere sollte das Hilfselement 3A die gleiche Breite
aufweisen wie das Gehäuse 5.
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Obwohl
die Länge
des Hilfselementes 3A so gewählt sein kann, dass sie der
Länge des
Gehäuses 5 entspricht,
so dass das Hilfselement 3A die untere Fläche 5a des
oben genannten Gehäuses 5 vollständig abdeckt,
ist bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel die Länge des
Hilfselementes 3A so gewählt, dass sie kürzer ist
als die des Gehäuses 5, wobei
dennoch vorgesehen ist, dass das Hilfselement 3A alle Elektrodeneinsätze 7 übergreift.
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Die 6 und 7 zeigen
einen Ionisator gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Bei dem Ionisator 1B der zweiten Ausführungsform
dient das Hilfselement 3B als ein Filterhalter zum Anbringen
eines Filters 17, wobei es gleichzeitig die oben beschriebenen
Funktionen einer Herausfallverhinderungsabdeckung ähnlich dem Hilfselement 3A der
oben beschriebenen ersten Ausführungsform
erfüllt.
Bei dem Hilfselement 3B ist das Einsetzloch 13,
in welches der Elektrodeneinsatz 7 eingesetzt wird, so
geformt, dass sie eine solche Tiefe aufweist, dass ein vorderer
Endbereich des Elektrodenhalters 10 des Elektrodeneinsatzes 7 nicht
vorsteht. Der oben genannte schwammartige Filter 17 zum
Abdecken eines Öffnungsbereiches
an dem vorderen Ende des oben genanntes Elektrodenhalters 10 ist
in dem Einsetzloch 13 aufgenommen. Der Filter 17 ist
vorgesehen, um das Anhaften von Staub an der Elektrode 11 zu
verhindern und besteht aus einem Kunstharzschaum mit kontinuierlichen
Bläschen,
nicht gewebtem Stoff, oder dergleichen. Der Filter 17 ist
so gestaltet, dass die Ionen von der oben genannten Elektrode 11 durch
den Filter 17 ausgestrahlt werden.
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Da
der Aufbau der zweiten Ausführungsform bis
auf die oben beschriebenen Unterschiede und insbesondere die Art
und Weise, in welcher das oben genannte Hilfselement 3B an
dem Ionisatorgrundkörper 2 angebracht
wird, im Wesentlichen dem oben genannten ersten Ausführungsbeispiel
entspricht, werden die gleichen Bezugszeichen wie bei der ersten
Ausführungsform
für entsprechende
Komponenten der zweiten Ausführungsform
verwendet. Auf die obige Beschreibung wird verwiesen.
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Die 8 und 9 zeigen
einen Ionisator gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Das Hilfselement 3C der dritten
Ausführungsform
erfüllt
die Rolle eines Sensorhalters zum Anbringen eines Sensors 18 zum
Messen des Ionengleichgewichts. Das Hilfselement 3C weist
linke und rechte Seitenwände 3b, 3b auf,
die elastisch sind, und vorspringende Kanten 3c, 3c zum
Einrasten, die an den beiden Seitenwänden 3b, 3b ausgebildet
sind, sowie eine untere Fläche
der Bodenwand 3a, in ähnlicher
Weise wie das Hilfselement 3A der oben genannten ersten
Ausführungsform.
Es umfasst zusätzlich
einen rechteckigen Sensorhalterahmen 3d zum Halten des
oben genannten Sensors 18. Das Hilfselement 3C wird
an dem oben genannten Gehäuse 5 durch
elastisches Einrasten der vorspringenden Kanten 3c, 3c in
den oben beschriebenen Befestigungsnuten 15 befestigt.
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Da
der Aufbau der dritten Ausführungsform bis
auf die oben beschriebenen Unterschiede im Wesentlichen der Gleiche
ist wie der der ersten Ausführungsform,
werden erneut gleiche Bezugszeichen für entsprechende Komponenten
verwendet und auf die obige Beschreibung verwiesen.
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Da
das Hilfselement 3C der dritten Ausführungsform eine geringe Größe aufweist,
kann es gleichzeitig mit den Hilfselementen 3A und 3B der oben
genannten ersten und zweiten Ausführungsformen verwendet werden.
Insbesondere kann bei der ersten und zweiten Ausführungsform
das Hilfselement 3C der dritten Ausführungsform an einer Position
neben den Hilfselementen 3A und 3B angeordnet werden.