DE102006057161A1

DE102006057161A1 - Ionisator

Info

Publication number: DE102006057161A1
Application number: DE102006057161A
Authority: DE
Inventors: Toshio Tsukubamirai Sato; Satoshi Tsukubamirai Suzuki; Gen Tsukubamirai Tsuchiya
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2005-12-05
Filing date: 2006-12-01
Publication date: 2007-06-06
Anticipated expiration: 2026-12-02
Also published as: DE102006057161B4; US20070126363A1; TWI319963B; TW200738070A; CN1980521B; JP2007157506A; KR20070058969A; JP4677608B2; US7898791B2; KR100848046B1; CN1980521A

Abstract

Bei einem Ionisator, an dem ein Elektrodeneinsatz mit einem Paar von Elektroden in einer Elektrodenbefestigungsöffnung eines Gehäuses so angebracht ist, dass er durch Drehen um eine Mittelachse frei angebracht und gelöst werden kann, ist eine Abdeckung an dem Gehäuse angebracht. In der Abdeckung ist eine Einsetzöffnung ausgebildet, in welche der Elektrodeneinsatz eingesetzt ist. Durch Begrenzen einer Rotation eines Elektrodeneinsatzes durch die Einsetzöffnung wird das Herausfallen des Elektrodeneinsatzes verhindert.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Ionisator zur Verwendung bei der Entladung eines aufgeladenen Werkstücks und insbesondere auf einen Ionisator, der eine Herabfallverhinderungsvorrichtung aufweist, mit welcher das Abfallen einer Elektrode zur Ionengenerierung verhindert werden kann.
Bei der Behandlung eines Werkstücks, wie eines Halbleiterwafers oder dgl., wird ein Ionisator eingesetzt, um das elektrostatisch aufgeladene Werkstück zu entladen. Der Ionisator ist so aufgebaut, dass eine positive Elektrode und eine negative Elektrode in einer Elektrodenbefestigungsöffnung an einer unteren Fläche eines Gehäuses angeordnet sind. Eine pulsierende positive Hochspannung wird auf die positive Elektrode aufgebracht, während eine pulsierende negative Spannung auf die negative Elektrode aufgebracht wird. Dies ist bspw. in der JP 2005-108829 A beschrieben. Hierdurch wird eine Coronaentladung bewirkt, um ein positives Ion und ein negatives Ion von beiden Elektroden zu generieren.
Die positiven und negativen Elektroden neigen dazu, durch das Anhaften von Staub fleckig zu werden. Außerdem werden sie durch wiederholte Coronaentladungen verschlissen. Daher ist ein regelmäßiges Reinigen und Austauschen der positiven und negativen Elektroden erforderlich. Diese sind lösbar angebracht. Hierzu wird ein Elektrodeneinsatz gebildet, in dem ein Paar der Elektroden durch einen hohlen Elektrodenhalter gehalten werden. Der Elektrodeneinsatz ist so gestaltet, dass er lösbar an dem Gehäuse angebracht wird. Die Befestigung erfolgt im Allgemeinen dadurch, dass der Elektrodeneinsatz in die Elektrodenbefestigungsöftnung, die in dem Gehäuse ausgebildet ist, eingesetzt wird. Durch Drehen des Elektrodeneinsatzes um einen bestimmten Winkel um seine Mit telachse rastet ein in dem Elektrodeneinsatz ausgebildeter Befestigungsvorsprung in einen konkaven Befestigungsbereich, der in dem Gehäuse ausgebildet ist, ein.
Bei dieser Art von Ionisator wird der oben beschriebene Elektrodeneinsatz durch Vibrationen, Stöße oder dgl., die bei der Verwendung erzeugt werden, allmählich gedreht, so dass die Möglichkeit besteht, dass der Vorsprung schließlich aus dem konkaven Bereich heraustritt und dann der Elektrodeneinsatz aus der Elektrodenbefestigungsöffnung herausfällt. Damit der Elektrodeneinsatz nicht aus dem Gehäuse herausfällt, ist es daher notwendig, die Befestigung des Elektrodeneinsatzes zusätzlich abzusichern.

Beschreibung der Erfindung

Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Ionisator vorzuschlagen, der eine Herabfallverhinderungsvorrichtung aufweist, um zu verhindern, dass der Elektrodeneinsatz herabfällt.

Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst der Ionisator ein Gehäuse mit einer unteren Fläche, an der eine Elektrodenbefestigungsöffnung ausgebildet ist, und zwei Seitenflächen, die in die untere Fläche übergehen, einen Elektrodeneinsatz, der lösbar in der Elektrodenbefestigungsöffnung angebracht ist, und eine an dem Gehäuse angebrachte Abdeckung, um zu verhindern, dass der Elektrodeneinsatz abfällt. Der Elektrodeneinsatz wird da durch gebildet, dass ein hohler Elektrodenhalter einen elliptischen Querschnitt aufweist, um ein Paar von Elektroden zu halten, und in der Lage ist, durch Rotation um eine Mittelachse in der Elektrodenbefestigungsöffnung an dem oben genannten Gehäuse angebracht bzw. von diesem gelöst zu werden. Die Abdeckung ist lösbar an dem Gehäuse angebracht und weist einen Halteabschnitt zum Zurückhalten des Elektrodeneinsatzes auf. Die Abdeckung ist so aufgebaut, dass sie ein Herabfallen des Elektrodeneinsatzes verhindert, indem eine Rotation des Elektrodeneinsatzes durch den Halteabschnitt begrenzt wird.

Erfindungsgemäß wird angestrebt, dass die ellipsenförmige Einsetzöffnung, in welche der Elektrodeneinsatz eingesetzt wird, als der Haltebereich der Abdeckung dient.

In Weiterbildung der Erfindung weist die Abdeckung einen nutenförmigen Querschnitt auf und weist die Einsetzöffnung an ihrem Bodenwandbereich auf. Sie ist an der unteren Fläche des Gehäuses derart angebracht, dass sie die untere Fläche übergreift.

In diesem Fall umfasst das Gehäuse vorzugsweise ein Paar von Befestigungsnuten, die sich in einer Längsrichtung des Gehäuses an Positionen erstrecken, die nahe an der unteren Fläche an einem unteren Ende der beiden Seitenflächen angeordnet sind. Die Abdeckung ist so aufgebaut, dass die linken und rechten Seitenwände in einer Öffnungs- und Schließrichtung elastisch deformierbar sind. Sie weist eine vorspringende Kante auf, die an einem vorderen Ende jeder der linken und rechten Seitenwände nach innen vorsteht. Die Abdeckung wird an dem Gehäuse durch elastisches Einrasten der vorspringenden Kante in dem Paar von Befestigungsnuten angebracht.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Abdeckung einen Rastarm aufweisen, der an der Seitenfläche oder einer oberen Fläche des Gehäuses einrastet, wobei er sich von den linken und rechten Seitenwänden erstreckt.

Alternativ kann die Abdeckung an dem Gehäuse mit Hilfe eines Bandes angebracht werden, das die Abdeckung und das Gehäuse umgibt.

Außerdem kann die Abdeckung auch mit Hilfe einer Schraube an dem Gehäuse angebracht werden.

Es liegt auch im Rahmen der vorliegenden Erfindung, dass die Abdeckung gleichzeitig die Funktion eines Filterhalters übernimmt, indem ein Filter zum Abdecken eines Öffnungsbereiches an einem vorderen Ende des Elektrodenhalters in dem Elektrodeneinsatz in der Einsatzöffnung der oben genannten Abdeckung vorgesehen wird.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Elektrodeneinsatz zuverlässig an einem Herabfallen gehindert werden, indem eine einfache technische Vorrichtung, wie die Abdeckung lösbar an dem Gehäuse des Ionisators angebracht wird, und indem die Rotation des Elektrodeneinsatzes mit Hilfe der Abdeckung begrenzt wird.

Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine Ansicht eines Ionisators gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine Ansicht von unten auf den Ionisator gemäß 1.
3 ist eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht des Ionisators gemäß 1.
4 ist eine Explosionsdarstellung des Ionisators gemäß 1, wobei eine Abdeckung teilweise aufgebrochen dargestellt ist.
5 ist eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht des Ionisators gemäß 4.
6 ist ein Schnitt durch einen Elektrodeneinsatz.
7 ist eine Bodenansicht eines Teils eines Ionisatorgrundkörpers.
8 ist eine teilweise Ansicht von unten der Abdeckung.
9 ist ein vergrößerter Teilschnitt eines Gehäuses.
10 ist eine Ansicht einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
11 ist eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht des Ionisators gemäß 10.
12 ist eine Ansicht eines Ionisators gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
13 ist eine Seitenansicht auf den Ionisator gemäß 12.
14 ist eine Ansicht eines Ionisators gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
15 ist eine Seitenansicht des Ionisators gemäß 14.
16 ist eine Ansicht eines Ionisators gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand, in dem eine Schraube entfernt ist.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Die 1 bis 5 zeigen einen Ionisator gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Ionisator 1A wird zum Entladen eines Werkstückes verwendet, das während eines Behandlungsprozesses für das Werkstück elektrostatisch aufgeladen wurde, bspw. ein Halbleiterwafer oder dgl.. Wenn positive und negative Ionen von dem Ionisator 1A auf das Werkstück gestrahlt werden, werden negative Ionen dann absorbiert, wenn das Werkstück mit einem positiven Potential aufgeladen ist. Positive Ionen werden absorbiert, wenn das Werkstück mit einem negativen Potential aufgeladen ist. Hierdurch erfolgt die Entladung.
Der Ionisator 1A weist eine Herabfallverhinderungsabdeckung (Abdeckung) 3 auf, um zu verhindern, dass Elektroden herabfallen. Die Abdeckung 3 ist lösbar an einem Ionisatorgrundkörper 2 angebracht, der ein Paar oder mehr positive und negative Elektroden 11, 11, vorzugsweise eine Vielzahl von Elektrodenpaaren zur Generierung der Ionen aufweist.
Der Ionisatorgrundkörper 2 umfasst ein dünnes und langes hohles Gehäuse 5. Das Gehäuse 5 hat die Querschnittsform eines in Längsrichtung langen Rechtecks, eine elliptische Gestalt oder eine ähnliche Form. Eine Vielzahl von Elektrodenbefestigungsöffnungen 6 mit einer dünnen und langen elliptischen Gestalt in einer axialen Richtung (Längsrichtung) ist an einer unteren Fläche 5a des Gehäuses 5 in gleichen Abständen in der axialen Richtung ausgebildet. Außerdem ist ein Elektrodeneinsatz 7 lösbar an jeder der Elektrodenbefestigungsöffnungen 6 angebracht. Das Bezugszeichen 8 in der Zeichnung bezeichnet eine Endplatte zum Abschließen beider Endbereiche in einer Längsrichtung des Gehäuses 5.
Der Elektrodenhalter oder -einsatz 7 weist ein Paar positiver und negativer Elektroden 11, 11 zur Generierung der positiven und negativen Ionen mittels der Aufbringung einer Hochspannung auf. Wie sich aus 6 ergibt, werden die Elektroden 11 in einem inneren Teil eines hohlen Elektrodenhalters 10 mit elliptischem Querschnitt gehalten. Ein Rastabschnitt 12, der eine flanschähnliche Form hat, zum Einrasten in die Elektrodenbefestigungsöffnung 6 und eine Einsetzöffnung 13 der Abdeckung 3 ist um einen Umfang eines mittleren Bereiches des Elektrodenhalters 10 vorgesehen. Außerdem sind Befestigungsvorsprünge 14, 14 zum Einrasten des Elektrodeneinsatzes 7 in einen inneren Teil der Elektrodenbefestigungsöftnung 6 an beiden Endbereichen in einer Längsrichtung einer Ellipse an einem Basisendbereich des Elektrodenhalters 10 ausgebildet.
Der Elektrodenhalter 10 ist so geformt, dass seine Dimensionen in Richtung einer langen Seite und in Richtung einer kurzen Seite der Ellipse ausreichend kleiner sind als die Dimensionen in Richtung einer Längsseite und einer kurzen Seite der Ellipse der Elektrodenbefestigungsöftnung 6, so dass der Elektroden halter 10 mit ausreichendem Spiel in die Elektrodenbefestigungsöftnung 6 eingesetzt werden kann. Andererseits ist der Einrastabschnitt 12 so geformt, dass die Dimensionen in Richtung der langen Seite und der kurzen Seite des Rastabschnittes 12 größer sind als die Dimensionen in Richtung der langen Seite und der kurzen Seite der Elektrodenbefestigungsöffnung 6, so dass der Rastabschnitt 12 mit einer Öffnungskante der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 verriegelt, wenn der Elektrodenhalter 10 in die Elektrodenbefestigungsöffnung 6 eingesetzt wird.
Wie in 7 gezeigt ist, wird der Elektrodeneinsatz 7 in schräg gestelltem Zustand in die Elektrodenbefestigungsöffnung 6 eingesetzt, d. h., dass eine Achse L2 in Richtung der langen Seite der Ellipse des Elektrodenhalters 10 relativ zu einer Achse L1 in Richtung der langen Seite der Ellipse der Elektrodenbefestigungsöftnung 6 schräg gestellt ist. Anschließend wird der Elektrodeneinsatz 7 um einen bestimmten Winkel um eine Mittelachse L0 gedreht, und die Achse L2 in der Richtung der langen Seite wird mit der Achse L1 in Richtung der langen Seite der Elektrodenbefestigungsöftnung 6 in Deckung gebracht. Dadurch rastet der Befestigungsvorsprung 14 in einem konkaven Befestigungsbereich (nicht dargestellt) des Gehäuses 5 ein, und der Elektrodeneinsatz 7 ist sicher in der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 angebracht.
Wenn der Einsatz 7 aus der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 entfernt wird, wird der Elektrodeneinsatz 7 bis zu einer Position gedreht, an welcher die Achse L2 in Richtung der langen Seite des Elektrodenhalters 10 relativ zu der Achse L1 in Richtung der langen Seite der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 schräg gestellt ist. Dadurch wird der Befestigungsvorsprung 14 aus dem konkaven Befestigungsabschnitt des Gehäuses 5 entfernt. Dementsprechend kann der Elektrodeneinsatz 7 entnommen werden.
Die oben genannten positiven und negativen Elektroden 11, 11 sind, obwohl nicht dargestellt, mit einem positive Hochspannungs-Generierungsschaltkreis zur Erzeugung einer pulsierenden positiven Hochspannung und einem negative Hochspannungs-Generierungsschaltkreis zum Erzeugen einer pulsierenden negativen Hochspannung verbunden. Die positiven und negativen Elektroden 11, 11 erzeugen Coronaentladungen, indem die positiven und negativen Hochspannungen abwechselnd von den periodisch arbeitenden Hochspannungsgenerierungsschaltkreisen aufgebracht werden. Die positiven Ionen werden von der positiven Elektrode 11 ausgestrahlt, während die negativen Ionen von der negativen Elektrode 11 ausgestrahlt werden. Die Hochspannungsgenerierungsschaltkreise und deren Steuerungen können im Inneren des Gehäuses 5 oder an einer geeigneten Position extern des Gehäuses 5 vorgesehen sein.
Wie sich aus 5 ergibt, weist das Gehäuse 5 außerdem linke und rechte Seitenflächen 5b, 5b auf, die in die untere Fläche 5a übergehen, und ein Paar von Befestigungsnuten 15, 15, die sich über die gesamte Länge in einer axialen Richtung (Längsrichtung) des Gehäuses 5 erstrecken. Die Befestigungsnuten 15, 15 sind einander abgewandt und in der Nähe der unteren Fläche 5a angeordnet, die an einem unteren Ende der beiden Seitenflächen 5b, 5b vorgesehen ist. Obwohl der Querschnitt der Befestigungsnut 15 eine beliebige folgender Formen, insbesondere eine V-Form, U-Form, konkave Form oder dgl. aufweisen kann, ist in dem in der Zeichnung dargestellten Beispiel eine V-Form vorgesehen (vgl. auch 9). Eine untere Seitenwand 15a der Befestigungsnut 15 ist derart geneigt, dass sie sich allmählich nach außen in einer Richtung einer Nutenöffnungsseite absenkt. Außerdem ist die Höhe von dem Nutenboden zu der Nutenöffnung an der Seite der unteren Nutenwand 15a kleiner als die Höhe von dem Nutenboden zu der Nutenöffnung an der Seite der oberen Nutenwand 15b.
Die Abdeckung 3 weist einen Nutenquerschnitt auf und besteht aus einem transparenten Material oder einem lichtundurchlässigen Material, das elastisch ist, bspw. Kunststoff, Kunstharz oder dgl.. Die Abdeckung 3 weist eine im Wesentlichen flache Bodenwand 3a, linke und rechte Seitenwände 3b, 3b, die sich nach oben erstrecken, wobei sie derart geneigt oder gekrümmt sind, dass der Abstand zwischen den Seitenwänden 3b, 3b immer größer wird, je weiter sich die linken und rechten Seitenwände 3b, 3b erstrecken, nachdem sie von den linken und rechten Seitenendbereichen der Bodenwand 3a aufsteigen. Vorspringende Kanten 3c, 3c zum Einrasten sind so geformt, dass sie an oberen Endbereichen der Seitenwände 3b, 3b nach innen vorstehen. Wie sich aus 8 ergibt, ist an der Bodenwand 3a die Befestigungsöffnung 13 mit einer elliptischen Form vorgesehen, in welche der Elektrodenhalter 10 des Elektrodeneinsatzes 7 eingesetzt wird. An festgelegten Abständen in Längsrichtung der Abdeckung 3 sind ebenso viele Öffnungen 13 vorgesehen, wie Elektrodeneinsätze 7 vorgesehen sind. Außerdem sind die linken und rechten Seitenwände 3b, 3b so aufgebaut, dass sie in einer Richtung, in welcher der Abstand zwischen ihnen sich erweitert oder verengt, elastisch deformierbar sind. Durch elastisches Einrasten der vorspringenden Kanten 3c, 3c an den vorderen Enden der beiden Seitenwände 3b, 3b in die Befestigungsnuten 15, 15 wird die Abdeckung 3 an der unteren Fläche 5a des Gehäuses 5 lösbar angebracht, wobei die Abdeckung 3 die untere Fläche 5a übergreift.
In einem Zustand, in dem die Abdeckung 3 an der unteren Fläche 5a des Gehäuses 5 angebracht ist, wird der Elektrodenhalter 10 des Elektrodeneinsatzes 7 in die Befestigungsöffnung 13 eingesetzt, wobei sein vorderes Ende etwas nach unten aus der Abdeckung 3 vorsteht. Außerdem steht der Rastabschnitt 12, der in einer flanschartigen Form an dem Elektrodenhalter 10 ausgebildet ist, in Kontakt mit einer Lochkante der Einsetzöffnung 13 von der Innenseite der Abdeckung 3. Dementsprechend ist die Lochkante der Einsetzöffnung 13 so gestaltet, dass sie einen Rastaufnahmeabschnitt 16 bildet, mit dem der Rastabschnitt 12 in Kontakt tritt und dadurch verriegelt wird.
Die Einsetzöffnung 13 hat eine solche Größe, dass der Elektrodenhalter 10 mit einem kleinen Spiel (Spalt) eingesetzt werden kann. Mit anderen Worten sind die Dimensionen in Richtung der langen Seite und der kurzen Seite der Einsetzöffnung 13 so gestaltet, dass sie etwas größer sind als die des Elektrodenhalters 10. Dementsprechend wird eine Rotation des Elektrodeneinsatzes 7 durch die Einsetzöffnung 13 begrenzt. Dadurch bildet die Einsetzöffnung 13 einen Begrenzungsbereich zur Einschränkung der Rotation des Elektrodeneinsatzes 7, wobei sie diesen hält.
Dadurch, dass die Rotation des Elektrodeneinsatzes 7 mit Hilfe der Abdeckung 3 verhindert wird, wird der Befestigungsvorsprung 14 des Elektrodeneinsatzes 7 an einer Entfernung von dem konkaven Befestigungsbereich des Gehäuses 5 gehindert. Somit besteht keine Möglichkeit, dass der Elektrodeneinsatz 7 aus der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 herausfällt. Weil der Rastabschnitt 12 an der Lochkante der Befestigungsöffnung 13 einrastet, wobei er in Kontakt mit dieser steht, wird die Wirkung der Herabfallverhinderung zusätzlich verbessert.
Wenn der Elektrodeneinsatz 7 von der Elektrodenbefestigungsöffnung 6 entfernt wird, wird der Lösevorgang dadurch ermöglicht, dass der Elektrodeneinsatz 7 um die Mittelachse L0 um einen bestimmten Winkel gedreht wird, nachdem die Abdeckung 3 von dem Gehäuse 5 entfernt wurde, und der Befestigungsvorsprung 14 wird aus seinem eingerasteten Zustand in dem konkaven Befestigungsbereich des Gehäuses 5 entfernt.
Vorzugsweise hat die Abdeckung 3 eine seitliche Breite, die von den Seitenflächen 5b, 5b des Gehäuses 5 nicht vorsteht, wenn die Abdeckung 3 an dem Gehäuse 5 angebracht ist. Insbesondere sollte die Abdeckung 3 die gleiche Breite aufweisen wie das Gehäuse 5.
Obwohl die Länge der Abdeckung 3 so gewählt sein kann, dass sie die gleiche Länge aufweist wie das Gehäuse 5, so dass die Abdeckung 3 die untere Fläche 5a des Gehäuses 5 vollständig abdeckt, ist die Länge der Abdeckung 3 vorzugsweise kürzer als die des Gehäuses 5, wobei die Abdeckung 3 eine solche Länge aufweisen sollte, dass die Abdeckung 3 sämtliche Elektrodeneinsätze 7 übergreift, wie es in den in der Zeichnung dargestellten Ausführungsformen der Fall ist. Dadurch können andere Teile, bspw. Sensoren oder dgl., an dem Ionisatorgrundkörper 2 angebracht werden. Weisen diese Elemente eine Rastseitenwand und eine vorspringende Kante ähnlich der Abdeckung 3 auf, können sie mit Hilfe der Befestigungsnuten 15, 15 einfach angebracht werden.
Die 10 und 11 zeigen die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Ionisator 1B gemäß der zweiten Ausführungsform ist so gestaltet, dass die Abdeckung 3 gleichzeitig als ein Filterhalter dient. Hierbei weist die Einsetzöffnung 13 der Abdeckung 3 vorzugsweise eine solche Tiefe auf, dass ein vorderer Endbereich des Elektrodenhalters 10 des Elektrodeneinsatzes 7 nicht vorsteht. Ein schwammähnlicher Filter 20 zum Abdecken eines Öffnungsbereiches an einem vorderen Ende des Elektrodenhalters 10 wird in der Einsetzöffnung 13 aufgenommen.
Da der Aufbau der zweiten Ausführungsform bis auf die oben beschriebenen Unterschiede im Wesentlichen dem der ersten Ausführungsform entspricht, werden die gleichen Hauptkomponenten der zweiten Ausführungsform mit den gleichen Bezugszeichen wie bei der ersten Ausführungsform versehen. Insoweit wird auf die obige Beschreibung verwiesen.
Die 12 und 13 zeigen eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei der Unterschied eines Ionisators 1C gemäß der dritten Ausführungsform zu den Ionisatoren 1A und 1B der ersten und zweiten Ausführungsformen darin liegt, dass die Abdeckung 3 eine Mehrzahl einstückig vorgesehener Verriegelungsarme 21 aufweist. Die Verriegelungsarme 21 haben eine riemenförmige Gestalt und erstrecken sich von den linken und rechten Seitenwänden 3b, 3b nach oben. Der Verriegelungsarm 21 wird an dem Gehäuse 5 dadurch befestigt, dass er mit der oberen Fläche des Gehäuses 5 verriegelt wird.
Dementsprechend besteht kein Bedarf für die Befestigungsnuten 15, 15, die in dem Gehäuse 5 der ersten und zweiten Ausführungsformen ausgebildet sind. Außerdem besteht kein Bedarf zur Ausbildung der vorspringenden Kanten 3c, 3c, die in die Befestigungsnuten 15, 15 einrasten, an den beiden Seitenwänden 3b, 3b der Abdeckung 3. In dem Gehäuse 5 können die Befestigungsnuten 15, 15 jedoch trotzdem ausgebildet sein, so dass andere Elemente, bspw. Sensoren oder dgl., angebracht werden können.
Obwohl es wünschenswert ist, dass die Abdeckung 3 und der Verriegelungsarm 21 aus transparentem Material bestehen, können sie auch lichtundurchlässig sein. Obwohl der Verriegelungsarm 21 eine ringförmige Gestalt aufweist, kann er auch in linke und rechte Abschnitte unterteilt sein. Für den Fall, dass der Verriegelungsarm 21 unterteilt ist, kann es sinnvoll sein, an einem vorderen Ende der linken und rechten Verriegelungsarme 21, 21 einen Vorsprung vorzusehen, der in einen konkaven Bereich oder dgl., welcher in der Seitenfläche 5b des Gehäuses 5 ausgebildet ist, einrastet.
Die 14 und 15 zeigen die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Ein Unterschied des Ionisators 1D gemäß der vierten Ausführungsform zu dem Ionisator 1C gemäß der dritten Ausführungsform liegt darin, dass die Abdeckung 3 an dem Gehäuse 5 mit einer Vielzahl von Bändern 22 angebracht wird, die getrennt von der Abdeckung 3 ausgebildet sind. Diese Bänder 22 sind so angeordnet, dass sie die Abdeckung 3 und das Gehäuse 5 vollständig umgeben. Bis auf die oben beschriebenen Unterschiede ist ansonsten der Aufbau dieser Ausführungsform der gleiche wie bei der dritten Ausführungsform.
16 zeigt eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Ein Ionisator 1E gemäß der fünften Ausführungsform verwendet eine Schraube 23 anstelle des Bandes 22 bei der vierten Ausführungsform, um die Abdeckung 3 an dem Gehäuse 5 zu befestigen. Bis auf diesen Unterschied ist der Aufbau im Wesentlichen der gleiche wie bei der vierten Ausführungsform.
Obwohl bei allen dargestellten Ausführungsformen eine Abdeckung 3 mit einer Länge vorgesehen ist, die es ihr ermöglicht, alle Elektrodeneinsätze 7 zu übergreifen, kann die Abdeckung 3 auch für jeden der individuellen Elektrodeneinsätze 7 unterteilt sein. Ist die Zahl der Elektrodeneinsätze 7 groß, kann auch eine Mehrzahl von Abdeckungen 3 vorgesehen werden, die eine solche Länge aufweisen, dass sie jeweils eine Mehrzahl von Elektrodeneinsätzen 7 übergreifen.

Claims

Ionisator mit einer Vorrichtung zur Verhinderung des Herabfallens von Elektroden mit: einem Gehäuse (5) mit einer unteren Fläche (5a), an welcher eine Elektrodenbefestigungsöffnung (6) ausgebildet ist, und zwei Seitenflächen (5b), die in die untere Fläche (5a) übergehen; einem Elektrodeneinsatz (7), der lösbar in der Elektrodenbefestigungsöffnung (6) angebracht ist, und einer Abdeckung (3), die an dem Gehäuse (5) angebracht ist, um das Herausfallen des Elektrodeneinsatzes (7) zu verhindern, wobei der Elektrodeneinsatz (7) dadurch gebildet wird, dass ein hohler Elektrodenhalter (10) mit einem elliptischen Querschnitt ein Paar von Elektroden (11) hält, und an dem Gehäuse (5) angebracht bzw. von diesem gelöst werden kann, indem er um eine Mittelachse (L0) in der Elektrodenbefestigungsöffnung (6) gedreht wird, und wobei die Abdeckung (3) lösbar an dem Gehäuse (5) angebracht ist und einen Halteabschnitt zum Halten des Elektrodeneinsatzes (7) aufweist, und wobei die Abdeckung (3) so aufgebaut ist, dass sie ein Herausfallen des Elektrodeneinsatzes (7) verhindert, indem eine Rotation des Elektrodeneinsatzes (7) durch den Haltebereich begrenzt wird.
Ionisator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltebereich der Abdeckung (3) eine Einsetzöffnung (13) mit einer elliptischen Form ist, in welche der Elektrodeneinsatz (7) eingesetzt ist.
Ionisator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (3) einen nutenförmigen Querschnitt aufweist, wobei die Einsetzöffnung (13) an einem Bodenwandbereich (3a) vorgesehen ist, und dass die Abdeckung (3) an der unteren Fläche (5a) des Gehäuses (5) so angebracht ist, dass sie die untere Fläche (5a) übergreift.
Ionisator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (5) ein Paar von Befestigungsnuten (15) aufweist, die sich in einer Längsrichtung des Gehäuses (5) nahe der unteren Fläche (5a) an einem unteren Ende der beiden Seitenflächen (5b) erstrecken, dass die Abdeckung (3) so aufgebaut ist, dass die linken und rechten Seitenwände (3b) in Öffnungs- und Schließrichtungen derselben elastisch deformierbar sind, und eine vorspringende Kante (3c) aufweist, die an einem vorderen Ende jeder der linken und rechten Seitenwände (3b) nach innen vorsteht, und dass die Abdeckung (3) an dem Gehäuse (5) angebracht wird, indem die vorspringende Kante (3c) elastisch in die Befestigungsnut (15) einrastet.
Ionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (3) einen Verriegelungsarm (21) aufweist, der sich von den linken und rechten Seitenwänden (3b) nach oben erstreckt und mit der Seitenfläche (5b) oder einer oberen Fläche des Gehäuses (5) verriegelt wird.
Ionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (3) an dem Gehäuse (5) mit Hilfe eines Bandes (22) befestigt wird, welches die Abdeckung (3) und das Gehäuse (5) umgibt.
Ionisator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (3) an dem Gehäuse (5) mit Hilfe einer Schraube (23) befestigt ist.
Ionisator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (3) gleichzeitig die Funktion eines Filterhalters übernimmt, indem ein Filter (20) zum Abdecken eines Öffnungsbereiches an einem vorderen Ende des Elektrodenhalters (10) in dem Elektrodeneinsatz (7) in der Einsetzöffnung (13) der Abdeckung (3) angeordnet ist.