DE102005046987A1

DE102005046987A1 - Testmagazin für Handler zum Testen von Halbleitervorrichtungen

Info

Publication number: DE102005046987A1
Application number: DE102005046987A
Authority: DE
Inventors: Chul Ho Ham; Ho Keun Song; Young Geun Park; Jae Bong Seo
Original assignee: Mirae Corp
Current assignee: Mirae Corp
Priority date: 2005-02-25
Filing date: 2005-09-30
Publication date: 2006-09-07
Also published as: TWI294157B; TW200631118A; US7253653B2; US20060192583A1

Abstract

Es wird ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen offenbart, welches in der Lage ist, die Kosten und Zeit, welche zum Ersatz von Trägermodulen benötigt werden, zu reduzieren und eine Verbesserung in der Bearbeitbarkeit erreicht. Das Testmagazin enthält einen Rahmen, Fächer, welche am Rahmen montiert sind, während sie gleichmäßig voneinander beabstandet sind, wobei jedes der Fächer einen Sitz aufweist, auf welchen ein Halbleiterbauelement gesetzt werden soll, Verriegelungen, welche an dem Rahmen montiert sind, um paarweise für die jeweiligen Fächer so angeordnet zu werden, dass die Verriegelungen jedes Verriegelungspaares einander jeweils an entgegengesetzten Seiten eines zugeordneten der Fächer gegenüberliegen, wobei jede der Verriegelungen zwischen einer ersten Position, in welcher die Verriegelung ein Halbleiterbauelement hält, welches in den Sitz des zugeordneten Faches gesetzt ist, und einer zweiten Position, in welcher die Verriegelung den Haltezustand des Halbleiterbauelements löst, beweglich ist, und Verriegelungsbetätigungselemente, welche je an dem Rahmen montiert sind und angepasst sind, eine zugeordnete der Verriegelungen zwischen der ersten Position und der zweiten Position zu bewegen, wobei jedes der Verriegelungsbetätigungselemente von der zugeordneten Verriegelung getrennt ist.

Description

Diese Anmeldung beansprucht den Nutzen der koreanischen Patentanmeldungen Nr. 2005-15870, eingereicht am 25. Februar 2005, und 2005-46988, eingereicht am 2. Juni 2005, welche hier durch Bezugnahme aufgenommen werden, als ob sie vollständig hier dargelegt wären.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Handler zum Testen von Halbleitervorrichtungen bzw. Halbleiterbauelementen, und insbesondere ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, welches angepasst ist, um die Halbleiterbauelemente zuzuführen, und Trägermodule zum Halten der Halbleiterbauelemente enthält.

Erörterung des verwandten Standes der Technik

Im allgemeinen werden Speicher- oder Nichtspeicher-Halbleiterbauelemente oder modulare ICs, welche jeweils Speicher- oder Nichtspeicher-Halbleiterbauelemente aufweisen, welche in geeigneter Weise auf einem Substrat angeordnet sind, um einen Schaltkreis zu bilden, nach ihrer Herstellung, aber vor ihrem Versand, verschiedenen Tests unterworfen.

Um solch einen Test für Halbleiterbauelemente oder modulare ICs automatisch zu erzielen, wird ein Handler verwendet. In solch einem Handler, werden Magazine, in welchen zu testende Halbleiterbauelemente aufgenommen werden, manuell in einen Beladungsstapler gestapelt. Die Halbleiterbauelemente werden dann in ein separates wärmebeständiges Testmagazin geladen, welches wiederum an eine Teststation oder -ort geschickt wird, um die Halbleiterbauelemente zu testen. Am Testort werden die jeweiligen Leitungen oder Kugeln der Halbleiterbauelemente im Testmagazin elektrisch mit Verbindern von Testfassungen, die am Testort angeordnet sind, verbunden und einem gewünschten elektrischen Test unterworfen. Die Halbleiterbauelemente im Testmagazin, welches den Test vollendet hat, werden aus dem Testmagazin entladen und dann gemäß den Testergebnissen sortiert. Die sortierten Halbleiterbauelemente werden dann jeweils in zugehörige Verbrauchermagazine geladen. Damit ist der Test der Halbleiterbauelemente abgeschlossen.

Das Testmagazin des oben genannten Handlers enthält eine Vielzahl von Trägermodulen, um zu testende Halbleiterbauelemente mit einem Abstand auszurichten, der mit dem Abstand der Testfassungen identisch ist, und um die ausgerichteten Halbleiterbauelemente zu halten.

1 und 2 sind Ansichten, die ein Testmagazin darstellen, welches in einem herkömmlichen Handler verwendet wird und mit Trägermodulen versehen ist.

Wie in 1 dargestellt, sind Trägermodule 20, an welchen Halbleiterbauelemente angebracht werden, in einem Testmagazin 10 angeordnet, während sie gleichmäßig voneinander beabstandet sind. Typischerweise sind 64 (16 × 4) Trägermodule 20 in einem Testmagazin 10 angeordnet. Es können jedoch verschiedene Anzahlen von Trägermodulen, zum Beispiel 32 oder 128 Trägermodule in einem Testmagazin angeordnet werden.

Jedes Trägermodul 20 wird durch eine Feder (nicht dargestellt) elastisch im Testmagazin 10 gehalten, welche an einem Rahmen 11 des Testmagazins 10 so montiert ist, dass das Trägermodul 20 innerhalb eines gewissen Bereichs beweglich ist.

Jedes Trägermodul 20 enthält einen recheckigen Körper 21, einen Sitz 22, welcher an dem Körper 21 gebildet ist, um ein Halbleiterbauelement D in den Sitz 22 zu setzen, und ein Paar von Verriegelungen 23, welche beweglich am Körper 21 an entgegen gesetzten seitlichen Enden des Sitzes 22 beweglich montiert sind, um das Halbleiterbauelement D jeweils im Sitz 22 festsitzend zu halten. Betätigungsknöpfe 24 sind an der hinteren Seite des Körpers 21 vorgesehen. Wenn die Betätigungsknöpfe 24 gedrückt werden, werden die Verriegelungen 23 voneinander wegbewegt und geben dadurch das von den Verriegelungen 23 gehaltene Halbleiterbauelement D frei. Wenn die an den Betätigungsknopf 24 angelegte Druckkraft gelöst wird, werden die Verriegelungen 23 aufgrund von elastischer Kraft der elastischen Elemente (nicht dargestellt), welche mit den Verriegelungen 23 verbunden sind, in ihre Ausgangspositionen zurückgeführt, so dass die Verriegelungen 23 die Halbleiterbauelemente D halten können.

Das herkömmliche Testmagazin mit den oben genannten Trägermodulen hat jedoch ein Problem, dahingehend, dass es notwendig ist, wenn es gewünscht wird, Halbleiterbauelemente zu testen, die eine Dicke oder Größe aufweisen, welche unterschiedlich ist zu denen der Halbleiterbauelemente, welche den Trägermodulen entsprechen, die Trägermodule selbst durch passende zu ersetzen.

Aus diesem Grund erhöhen sich die Kosten und die Zeit, welche zum Ersetzen der Trägermodule benötigt wird.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Folglich ist die vorliegende Erfindung auf ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen gerichtet, das im wesentlichen eines oder mehrere Probleme aufgrund von Beschränkungen und Nachteilen des verwandten Standes der Technik vermeidet.

Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen zu liefern, welches eine Struktur aufweist, die in der Lage ist, die Kosten und Zeit zu verringern, welche zum Ersetzen von Trägermodulen benötigt wird, und eine Verbesserung der Bearbeitbarkeit zu erzielen.

Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist, ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen zu liefern, welches Halbleiterbauelemente stabil tragen kann, selbst wenn der Kugelbereich jedes Halbleiterbauelements sich an den Umfangsrandteil des Halbleiterbauelements so erstreckt, so dass der Umfangsbereich des Halbleiterbauelements sehr klein ist.

Zusätzliche Vorteile, Ziele und Merkmale der Erfindung sind teilweise in der folgenden Beschreibung dargelegt und werden teilweise einem Fachmann bei der Prüfung des folgenden offensichtlich oder können aus der Praxis der Erfindung gelernt werden. Die Ziele und anderen Vorteile der Erfindung können durch die Struktur, die insbesondere in der schriftlichen Beschreibung und in ihren Ansprüchen sowie in den beigefügten Zeichnungen dargelegt ist, realisiert und erreicht werden.

Um diese Ziele und anderen Vorteile zu erreichen und gemäß dem Zweck der Erfindung, wie hier ausgeführt und allgemein beschrieben ist, weist ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen auf: einen Rahmen; eine Vielzahl von Fächern, welche am Rahmen montiert sind, während sie gleichmäßig voneinander beabstandet sind, wobei jedes der Fächer einen Sitz aufweist, auf welchen ein Halbleiterbauelement gesetzt werden soll; eine Vielzahl von Verriegelungen, welche am Rahmen montiert sind, um paarweise für jeweilige Fächer so angeordnet zu werden, dass die Verriegelungen jedes Verriegelungspaares einander an entgegen gesetzten Seiten eines zugeordneten Fachs jeweils gegenüberliegen, wobei jede der Verriegelungen zwischen einer ersten Position, wo die Verriegelung ein Halbleiterbauelement hält, welches in dem Sitz des zugeordneten Fachs sitzt, und einer zweiten Position, wo die Verriegelung den Haltezustand des Halbleiterbauelements freigibt, beweglich ist; und eine Vielzahl von Verriegelungsbetätigungselementen, die je am Rahmen montiert sind, und angepasst sind, um eine zugeordnete der Verriegelungen zwischen der ersten Position und der zweiten Position zu bewegen, wobei jedes der Verriegelungsbetätigungselemente von der zugeordneten Verriegelung getrennt ist.

Bei einem anderen Aspekt der gegenwärtigen Erfindung weist ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleitervorrichtungen auf: einen Rahmen; eine Vielzahl von Fächern, welche am Rahmen montiert sind, während sie gleichmäßig voneinander beabstandet sind, wobei jedes der Fächer einen Sitz aufweist, auf welchen ein Halbleiterbauelement gesetzt werden soll; eine Vielzahl von fixierten Blöcken, welche fest am Rahmen montiert sind, um paarweise für jeweilige Fächer so angeordnet zu werden, dass die fixierten Blöcke jedes fixierten Blockpaares einander an entgegen gesetzten Seiten eines zugeordneten der jeweiligen Fächer gegenüberliegen, eine Vielzahl von Verriegelungen, welche je an einem zugeordneten der fixierten Blöcke so montiert sind, dass die Verriegelung zwischen einer ersten Position, wo die Verriegelung ein Halbleiterbauelement im Sitz eines zugeordneten der Fächer sitzend hält, und einer zweiten Position, wo die Verriegelung den Haltezustand des Halbleiterbauelements freigibt, beweglich ist; und eine Vielzahl von Betätigungsknöpfen, die je beweglich an einem zugeordneten der fixierten Blöcke montiert sind und mit einer zugeordneten der Verriegelungen an einem Ende des Betätigungsknopfes verbunden sind, wobei jeder der Betätigungsknöpfe die zugeordnete Verriegelung zwischen der ersten Position und der zweiten Position bewegt, während er durch eine äußere Kraft bewegt wird.

Gemäß der vorliegenden Erfindung bestehen die Trägermodulelemente des Testmagazins, nämlich die Fächer zum Festsetzen der Halbleiterbauelemente im Testmagazin, die Verriegelungen zum Halten der in die Fächer gesetzten Halbleiterbauelemente und die Verriegelungsbetätigungselemente zum Betätigen der Verriegelungen aus separaten Elementen, die je einzeln am Rahmen montiert sind. Folglich ist es, selbst wenn es gewünscht wird, Halbleiterbauelemente mit einer Dicke oder Größe zu testen, die sich von der jener Halbleiterbauelemente unterscheidet, die den Trägermodulen entsprechen, nur nötig, einfach die Fächer, in welche die Halbleiterbauelemente gesetzt werden, durch passende zu ersetzen. Folglich ist es möglich, die Kosten und Zeit zu verringern, die zum Austausch der Trägermodule erforderlich sind, und eine Verbesserung der Bearbeitbarkeit zu erzielen.

Es sollte klar sein, dass sowohl die vorstehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindung beispielhaft und erklärend sind und vorgesehen sind, um eine weitere Erklärung der Erfindung, wie beansprucht, zu liefern.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die beiliegenden Zeichnungen, welche eingeschlossen sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung zu liefern und in dieser Anmeldung enthalten sind und einen Teil von ihr darstellen, zeigen (eine) Ausführungsform(en) der Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, das Prinzip der Erfindung zu erklären. In den Zeichnungen ist/sind
1 eine Vorderansicht, welche ein Beispiel eines herkömmlichen Testmagazins für einen Handler zum Testen von Halbleitervorrichtungen darstellt;
2 eine Schnittansicht, welche einen Teil eines herkömmlichen am Testmagazin von 1 montierten Trägermoduls darstellt;
3 eine Vorderansicht, welche ein Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
4 eine teilweise weggebrochene perspektivische Ansicht, welche Verriegelungen und Verriegelungsbetätigungselemente darstellt, welche im Testmagazin von 3 enthalten sind;
5 eine perspektivische Ansicht, welche eine Struktur des im Testmagazin von 3 enthaltenen Verriegelungsbetätigungselements darstellt;
6 eine perspektivische Ansicht, welche eine Struktur eines im Testmagazin von 3 enthaltenen Faches darstellt;
7 eine Schnittansicht, welche einen Zustand darstellt, in welchem das Fach an einem Rahmen im Testmagazin von 3 montiert ist;
8A und 8B Schnittansichten, welche den Betrieb des in 3 dargestellten Testmagazins darstellen;
9A und 9B Schnittansichten, welche eine Konfiguration und den Betrieb eines Testmagazins gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen;
10A und 10B Schnittansichten, welche eine Konfiguration und den Betrieb eines Testmagazins gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen;
11 eine teilweise weggebrochene Schnittansicht, welche eine Konfiguration eines Testmagazins gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, ähnlich wie 3, darstellt;
12 eine perspektivische Ansicht eines im Testmagazin von 11 enthaltenen Fachs; und
13 eine Ansicht von unten, welche das Testmagazin von 11 darstellt.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Es wird nun im Detail auf die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung Bezug genommen, von welchen Beispiele in den beiliegenden Zeichnungen dargestellt sind. Wo immer es möglich ist, werden die gleichen Bezugzahlen in den Zeichnungen verwendet, um auf die gleichen oder ähnliche Teile Bezug zu nehmen.
Mit Bezug auf 3 ist ein Testmagazin 100 gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Wie in 3 dargestellt enthält das Testmagazin 100 einen Rahmen 110 aus Metall und eine Vielzahl von Fächern, die in vier Reihen an dem Rahmen 110 angeordnet sind, während sie in jeder Reihe gleichmäßig voneinander beabstandet sind. Das Testmagazin 100 enthält auch ein Paar von Verriegelungen 130, welche jeweils am Rahmen 110 an entgegen gesetzten Seiten jedes Fachs 120 montiert sind, während sie einander gegenüberliegen, und angepasst sind, um ein Halbleiterbauelement D (8) zu halten oder freizugeben, welches im Fach 120 eingesetzt ist, und ein Verriegelungsbetätigungselement, welches am Rahmen 110 montiert ist und angepasst ist, um eine zugeordnete der Verriegelungen 130 zu betätigen.
Die Bestandteile des Testmagazins 100 gemäß der vorliegenden Erfindung, nämlich jedes Fach 120, in welches ein Halbleiterbauelement D eingesetzt ist, die Verriegelungen 130, die an entgegen gesetzten Seiten des Fachs 120 angeordnet sind, und die Verriegelungsbetätigungselemente, die angepasst sind, eine zugeordnete der Verriegelungen 130 zu betätigen, bestehen jeweils aus separaten Elementen. Ebenso sind die Verriegelungen 130 und die Verriegelungsbetätigungselemente jeweils an dem Rahmen 110 des Testmagazins 100 montiert.
Jede Verriegelung 130 ist gelenkig an dem zugeordneten Verriegelungsbetätigungselement montiert, welches vom zugeordneten Fach 120 getrennt ist, und ist funktionsmäßig mit einem Betätigungsknopf 150 des Verriegelungsbetätigungselements so verbunden, dass die Verriegelung 130 gemäß dem Betrieb des Betätigungsknopfes 150 schwenkt, um das Halbleiterbauelement D, das in das Verriegelungsbetätigungselement eingesetzt ist, zu halten oder freizugeben.
Wie in 4 und 5 dargestellt, enthält jedes Verriegelungsbetätigungselement einen fixierten Block 140, der fest am Rahmen 110 des Testmagazins montiert ist. Der Betätigungsknopf 150, welcher auch im Verriegelungsbetätigungselement enthalten ist, ist im fixierten Block 140 so eingepasst, dass der Betätigungsknopf 150 vertikal beweglich ist. Das Verriegelungsbetätigungselement enthält auch einen Gelenkstift 131, der angepasst ist, um die Verriegelung 130 schwenkbar mit einem unteren Teil des Betätigungsknopfes 150 zu verbinden.
Der Betätigungsknopf 150 ist in einem sich nach oben öffnenden Befestigungsloch 143 so befestigt, dass der Betätigungsknopf 150 längs des Befestigungsloches 143 vertikal beweglich ist. Der Betätigungsknopf 150 wird durch Druckfedern 152 elastisch gehalten, welche an entgegen gesetzten seitlichen Teilen des Betätigungsknopfes 150 so angeordnet sind, dass der Betätigungsknopf 150 immer nach oben gedrängt wird.
Ein geneigter Führungsschlitz 132 ist an der Verriegelung 130 gebildet. Ein Führungsstift 145 ist am fixierten Block 140 montiert. Der Führungsstift 145 ist in dem Führungsschlitz 132 aufgenommen, um den Schwenkbetrieb der Verriegelung 130 zu führen.
Bei der dargestellten Ausführungsform ist der fixierte Block 140 durch eine Schraubverbindung mit dem Rahmen 110 gekoppelt. D.h., ein Kopplungsloch 142 ist zentral am fixierten Block 140 gebildet. Ein Gewindekopplungsloch 112 ist auch im Rahmen 110 an einer Position gebildet, welche mit dem Kopplungsloch 142 des fixierten Blocks 140 korrespondiert. Eine Schraube (nicht dargestellt) ist im Kopplungsloch 142 des fixierten Blocks 140 und im Gewindekopplungsloch 112 des Rahmens 110 so befestigt, dass der fixierte Block 140 am Rahmen 110 befestigt ist.
Es wird bevorzugt, dass jedes der Verriegelungsbetätigungselemente, welches an Zwischenteilen des Rahmens 110 montiert ist, nämlich Rahmenteilen, die sich zwischen benachbarten Reihen der Fächern 120 erstrecken, so konfiguriert ist, dass der fixierte Block 140 des Verriegelungsbetätigungselements ein Paar von Verriegelungen 130 trägt, die entgegen gesetzt zueinander angeordnet sind, wie in 5 dargestellt. Gemäß dieser Konfiguration des Verriegelungsbetätigungselements ist es möglich, Halbleitervorrichtungen D in zwei Fächern zu halten, die jeweils in zwei benachbarten Fächerreihen angeordnet sind, unter Verwendung eines fixierten Blocks 140, der am Rahmen 110 montiert ist, und so die Anzahl der am Rahmen 110 zu montierenden Verriegelungsbetätigungselemente zu reduzieren. Mit anderen Worten kann das Verfahren zum Montieren der Verriegelungsbetätigungselemente am Rahmen 110 leicht erreicht werden.
Im dargestellten Fall ist jedes der Verriegelungsbetätigungselemente, welches an Kantenteilen des Rahmens 110 montiert ist, so konfiguriert, dass der fixierte Block 140 des Verriegelungsbetätigungselements nur eine Verriegelung 130 an einer Seite des fixierten Blocks 140 trägt.
Inzwischen hat jedes Fach 120, wie in 6 und 7 dargestellt, eine rechtwinklige, hexaedrische Struktur, in welcher zentral eine nach oben geöffnete Aushöhlung 122 gebildet ist. Ein Sitz 121, auf welchen die Randteile eines Halbleiterbauelements D gesetzt werden, ist an einer Bodenfläche der Aushöhlung 122 gebildet. Eine Öffnung 121a ist durch einen zentralen Teil des Sitzes 121 gebildet, um die Kugeln oder Leitungen des Halbleiterbauelements D, welches auf den Sitz 121 gesetzt ist, nach außen freizulegen.
Positionierungslöcher 123 sind an zwei Eckteilen jedes Fachs 120 gebildet, die einander in einer diagonalen Richtung gegenüber liegen. An den übrigen zwei Eckteilen jedes Fachs 120 sind auch Verbindungsschäfte 124 gebildet. Die Verbindungsschäfte 124 sind in abgestufte Montagelöcher 114 eingefügt, die am Rahmen 110 gebildet sind, um die Fächer 120 am Rahmen 110 zu montieren.
Jeder Verbindungsschaft 124 hat einen Durchmesser, der kleiner ist als der innere Durchmesser jedes Montagelochs 114 des Rahmens 110, so dass der Verbindungsschaft 124 radial innerhalb eines gewissen Bereichs im Montageloch 114 beweglich ist.
Eine Silikonfeder 126 mit einer im wesentlichen konischen Form ist um jeden Verbindungsschaft 124 herum befestigt. Die Silikonfeder 126 hat ein unteres Ende, welches die äußere Umfangsfläche des Verbindungsschaftes 124 kontaktiert, und ein oberes Ende, welches mit einem abgestuften Teil des Montagelochs 114 in einem Zustand in Kontakt kommt, in welchem der Verbindungsschaft 124 in das Montageloch 114 eingefügt ist. Folglich bewirkt die Silikonfeder 126, dass der Verbindungsschaft 124 elastisch durch den Rahmen 110 gehalten wird. Die Silikonfeder 126 dient auch dazu, bis zu einem gewissen Grad zu verhindern, dass der Verbindungsschaft 124 vom Montageloch 114 getrennt wird.
Eine ringförmige Nut 125 ist an einem oberen Endteil jedes Verbindungsschaftes 124 gebildet. Ein E-Ring 128 ist um die ringförmige Nut 125 herum befestigt, um zu verhindern, dass der Verbindungsschaft 124 vom Montageloch 114 getrennt wird.
Der E-Ring 128 ist an einer Seite davon geöffnet und mit Eingriffsteilen 129 versehen, die von einer inneren Umfangsfläche des E-Rings 128 radial nach innen vorragen und angepasst sind, mit der ringförmigen Nut 125 in Eingriff zu gelangen. Der E-Ring 128 hat einen äußeren Durchmesser, der größer ist als der innere Durchmesser des Montagelochs 114, so dass der E-Ring 128 nicht durch das Montageloch 114 gelangen kann.
Der Grund, warum jedes Fach 120 am Rahmen 110 des Testmagazins 100 montiert ist, während es mehr oder weniger mit Bezug auf den Rahmen 110 beweglich ist, wird nun beschrieben. Da das Testmagazin 100 in einer Vorheizkammer (nicht dargestellt) während eines Hochtemperaturtests für in das Testmagazin 100 geladene Halbleiterbauelemente erhitzt wird, kann das Testmagazin 100 thermisch belastet werden, wodurch bewirkt wird, dass die Fächer 120, die am Testmagazin 100 montiert sind, in ihrer Position variieren. Aus diesem Grund kann es, wenn die Fächer 120 an dem Testmagazin 100 ohne mehr oder weniger beweglich zu sein, fixiert sind, eine Möglichkeit geben, dass die Halbleiterbauelemente D in den Fächern 120 nicht mit den Testfassungen (nicht dargestellt) am Testort verbunden werden können oder ungenau verbunden werden.
Wo jedoch die Fächer 120 am Rahmen 110 montiert sind, während sie mehr oder weniger elastisch mit Bezug auf das Testmagazin 100 beweglich sind, wie oben beschrieben, können die Fächer 120 mit jeweiligen Testfassungen selbst in einem Zustand automatisch ausgerichtet werden, in welchem die Fächer mit den jeweiligen Testfassungen falsch ausgerichtet wurden, da die Fächer 120 innerhalb eines gewissen Bereichs mit Bezug auf die jeweiligen Fassungen bewegt werden, um mit den jeweiligen Testfassungen ausgerichtet zu werden. Folglich können die Halbleiterbauelemente D in den Fächern 120 richtig mit den jeweiligen Testfassungen verbunden werden.
Im folgenden wird hier der Betrieb des Testmagazins mit der oben beschriebenen Konfiguration gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben. Der Einfachheit halber wird die folgende Beschreibung nur in Verbindung mit einer einem Fach zugeordneten Verriegelung und einem der Verriegelung zugeordneten Verriegelungsbetätigungselement beschrieben.
In einem Zustand, in welchem keine externe Druckkraft an den Betätigungsknopf 150 des Verriegelungsbetätigungselements angelegt wird, wird der Betätigungsknopf 150 durch die elastische Kraft der Druckfedern 152 nach oben gedrängt, so dass der Betätigungsknopf 150 in einer oberen Position gehalten wird, wie in 8A dargestellt. Die Verriegelung 130 wird auch gedrängt, so um den Gelenkstift 131 zu schwenken, dass das äußere Ende der Verriegelung 130 sich einwärts in das Fach 120 bewegt, wodurch sie das Halbleiterbauelement D, welches auf den Sitz 121 der Aushöhlung 122 sitzt, in das Fach 120 drückt. Als Folge wird das Halbleiterbauelement D in dem Fach 120 gehalten.
Wenn eine äußere Druckkraft von der Außenseite des Testmagazins 100 an den Betätigungsknopf 150 in dem Zustand von 8A angelegt wird, wird der Betätigungsknopf 150 nach unten bewegt, wie in 8B dargestellt. Als Folge schwenkt die Verriegelung 130 so um den Gelenkstift 131, dass sich das äußere Ende der Verriegelung 130 aus dem Fach 120 herausbewegt.
Zu diesem Zeitpunkt wird, da der Führungsstift 145 in dem Führungsschlitz 132 der Verriegelung 130 aufgenommen ist, die Verriegelung 130, während sie sanft schwenkt, von dem Fach 120 wegbewegt.
Wenn die Verriegelung 130 vollständig schwenkt, wird der Haltezustand des Halbleiterbauelements D freigegeben. Folglich kann das Halbleiterbauelement D frei aus der Aushöhlung 122 des Fachs 120 entfernt werden. In diesem Zustand kann das Halbleiterbauelement D wieder in der Aushöhlung 122 des Fachs 120 aufgenommen werden.
Wenn die externe, an den Betätigungsknopf 150 angelegte Druckkraft anschließend gelöst wird, wird der Betätigungsknopf 150 durch die elastische Kraft der Druckfedern 152 nach oben bewegt. Gleichzeitig schwenkt die Verriegelung 130 in einer Richtung umgekehrt zu der des oben beschriebenen Verfahrens, so dass die Verriegelung 130 so gehalten wird, dass das äußere Ende der Verriegelung 130 auf das in dem Fach 120 aufgenommene Halbleiterbauelement D drückt, wie in 8A dargestellt.
Zwischenzeitlich werden, wenn das Testmagazin 100 an den Testort (nicht dargestellt) des Handlers zugeführt wird, um zu veranlassen, dass die Halbleitervorrichtungen mit den Testfassungen (nicht dargestellt) verbunden werden, jeweils Positionierungsstifte (nicht dargestellt), die an einer Seite jeder Testfassung gebildet sind, in die Positionierungslöcher 123 eingeführt, die an einem zugeordneten der Fächer 120 vorgesehen sind. Daher wirken die Positionierungsstifte und die Positionierungslöcher 123 dahingehend, dass sie es den Leitungen oder Kugeln der zugeordneten Halbleiterbauelemente D ermöglichen, richtig mit den Testfassungen verbunden zu werden.
9A und 9B zeigen ein Testmagazin gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Testmagazin dieser Ausführungsform unterscheidet sich von dem der ersten Ausführungsform in Bezug auf die Konfiguration der Verriegelungsbetätigungselemente, die angepasst sind, um die jeweiligen Verriegelungen 230 schwenkbar zu betätigen.
Das heißt, jedes Verriegelungsbetätigungselement gemäß dieser Ausführungsform enthält einen fixierten Block 240, der fest an dem Rahmen 110 des Testmagazins montiert ist, einen Betätigungsknopf 250, der an dem fixierten Block 240 so montiert ist, dass der Betätigungsknopf 250 vertikal beweglich ist, und einen sich vertikal erstreckenden Verbindungsstab 252, der schwenkbar an einem oberen Ende davon mit dem Betätigungsknopf 250 über einen Verbindungsstift 253 verbunden ist. Ein Führungsstift 255 ist an einem unteren Ende der Verbindungsstange 252 befestigt in einem Führungsschlitz 232 aufgenommen, der an einem inneren Endteil einer Verriegelung 230 gebildet ist.
Der Betätigungsknopf 250 ist durch Druckfedern 254 mit Bezug auf den fixierten Block 240 elastisch gehalten.
Die Verriegelung 230 ist schwenkbar an einem Mittelteil davon über einen Gelenkstift 231 mit dem fixierten Block 240 verbunden.
Der Betrieb des Testmagazins gemäß dieser Ausführungsform wird nun beschrieben. Der Einfachheit halber wird die folgende Beschreibung nur in Verbindung mit einer einem Fach zugeordneten Verriegelung und einem der Verriegelung zugeordneten Verriegelungsbetätigungselement vorgenommen.
In einem Zustand, in welchem keine externe Druckkraft an den Betätigungsknopf 250 des Verriegelungsbetätigungselements angelegt wird, wird der Betätigungsknopf 250 durch die elastische Kraft der Druckfeder 254 nach oben gedrängt, so dass der Betätigungsknopf 250 an einer oberen Position gehalten wird, wie in 9A dargestellt, wie bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform. Die Verriegelung 230 wird auch gedrängt, so um den Gelenkstift 231 zu schwenken, dass das äußere Ende der Verriegelung 230 sich in das Fach 120 hinein bewegt und dadurch auf das Halbleiterbauelement D, das in der Aushöhlung des Fachs 120 sitzt, drückt. Als Folge wird das Halbleiterbauelement D in dem Fach 120 gehalten.
Wenn von der Außenseite des Testmagazins 100 (3) eine externe Druckkraft an den Betätigungsknopf 250 im Zustand von 9A angelegt wird, wird der Betätigungsknopf 250 zusammen mit der Verbindungsstange 252 nach unten bewegt, wie in 9B dargestellt. Als Ergebnis schwenkt die Verriegelung 230 so um den Gelenkstift 231, dass das äußere Ende der Verriegelung 230 sich aus dem Fach 120 herausbewegt.
Zu diesem Zeitpunkt schwenkt, da der Führungsstift 255 der Verbindungsstange 252 in dem Führungsschlitz 232 der Verriegelung 230 aufgenommen ist, das obere Ende der Verbindungsstange 252 um den Verbindungsstift 253, der mit dem Betätigungsknopf 250 verbunden ist, und der Führungsstift 255, der am untere Ende der Verbindungsstange 252 befestigt ist, gleitet längs des Führungsschlitzes 232 der Verriegelung 230. Als Folge schwenkt die Verriegelung 230.
Wenn die Verriegelung 230 vollständig schwenkt, wird der Haltezustand des Halbleiterbauelements D gelöst. Folglich kann die Halbleitervorrichtung D frei aus dem Fach 120 entfernt werden. In diesem Zustand kann das Halbleiterbauelement D wieder in dem Fach 120 aufgenommen werden.
Wenn die externe, an den Betätigungsknopf 250 angelegte Druckkraft anschließend gelöst wird, werden der Betätigungsknopf 250 und die Verbindungsstange 252 durch die elastische Kraft der Druckfeder 254 nach oben bewegt. Gleichzeitig schwenkt die Verriegelung 230 in einer Richtung umgekehrt zu der des oben beschriebenen Verfahrens, so dass die Verriegelung so gehalten wird, dass das äußere Ende der Verriegelung 230 auf das in dem Fach 120 aufgenommene Halbleiterbauelement D drückt, wie in 9A dargestellt.
10A und 10B zeigen ein Testmagazin gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Testmagazin gemäß dieser Ausführungsform ist so konfiguriert, dass Verriegelungen einen Gleitvorgang ohne Ausführung eines Schwenkvorganges durchführen, um Halbleiterbauelemente in/aus jeweiligen Fächern 120 zu halten/freizugeben.
Das Testmagazin 100 enthält im Detail fixierte Blöcke 340, die am Rahmen 110 des Testmagazins 100 montiert sind. Ein Paar von Verriegelungen 330 sind an jedem fixierten Block 340 so montiert, dass jede Verriegelung 330 mit Bezug auf ein zugeordnetes der Fächer 120 gleitbar ist. Ein Betätigungsknopf 350 ist an einem oberen Teil jedes fixierten Blocks 340 so montiert, dass der Betätigungsknopf 350 vertikal bewegbar ist, um eine zugeordnete der Verriegelungen 330 zu verschieben. Eine Druckfeder 346 ist in jedem fixierten Block 340 montiert, um eine zugeordnete der Verriegelungen 330 mit Bezug auf den fixierten Block 340 elastisch zu halten.
Jede Verriegelung 330 ist mit einem Führungsschlitz 332 versehen. Jeder fixierte Block 340 ist mit Führungsstiften 345 versehen, von welchen jeder in dem Führungsschlitz 332 der zugeordneten Verriegelung 330 aufgenommen ist.
Jede Verriegelung 330 ist mit einer geneigten Kontaktfläche 334 an einem oberen Ende der Verriegelung 330 versehen, welche ein unteres Ende des zugeordneten Betätigungsknopfes 350 kontaktiert. Korrespondierend zur geneigten Kontaktfläche 334 jeder Verriegelung 330 ist der zugeordnete Betätigungsknopf 350 mit einer geneigten Kontaktfläche 351 am unteren Ende des Betätigungsknopfes 350 so versehen, dass die geneigte Kontaktfläche 351 die geneigte Kontaktfläche 334 kontaktiert. Obwohl die geneigten Kontaktflächen 334 und 351 bei der dargestellten Ausführungsform geradlinig sind, können sie eine gekrümmte Form aufweisen.
Der Betrieb des Testmagazins gemäß dieser Ausführungsform wird nun beschrieben. Der Einfachheit halber wird die folgende Beschreibung nur in Verbindung mit einer einem Fach zugeordneten Verriegelung und einem der Verriegelung zugeordneten Verriegelungsbetätigungselement geliefert.
Wenn eine externe Druckkraft an den Betätigungsknopf 350 angelegt wird, wird der Betätigungsknopf 350 nach unten bewegt und bewirkt dadurch, dass die Verriegelung 330 gegen die elastische Kraft der Druckfeder 346 zurückgezogen wird, wie in 10B dargestellt. Als Folge wird das äußere Ende der Verriegelung 330 aus dem Fach 120 zurückgezogen. Folglich kann das Halbleiterbauelement D frei aus dem Fach 120 entfernt werden. In diesem Zustand kann das Halbleiterbauelement D wieder in dem Fach 120 aufgenommen werden.
Wenn die an den Betätigungsknopf 350 angelegte externe Druckkraft anschließend gelöst wird, gleitet die Verriegelung 330 in einer Richtung umgekehrt zu der des oben beschriebenen Verfahrens aufgrund der elastischen Kraft der Druckfeder 346. Als Folge wird das äußere Ende der Verriegelung 330 in das Fach 120 ausgefahren, wie in 10 dargestellt, wodurch es das Halbleiterbauelement D in dem Fach 120 hält.
Inzwischen kann, da der Führungsstift 345 in dem Führungsschlitz 332 der Verriegelung 330 aufgenommen ist, die Verriegelung 330 gemäß der Führungstätigkeit des Führungsstifts 345 glatt gleiten. Zusätzlich zu der Führungsfunktion funktioniert der Führungsstift 345 als ein Anschlag, um die Bewegung der Verriegelung 330 bis zu einer gewünschten Position zu begrenzen.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung bestehen die Trägermodulelement des Testmagazins 100, nämlich die Fächer 120 zum Einsetzen der Halbleiterbauelemente D im Testmagazin 100, die Verriegelungen 130, 230 oder 330 zum Halten der Halbleiterbauelemente D, welche in die Fächer 120 gesetzt wurden, und die Verriegelungsbetätigungselemente zum Betätigen der Verriegelungen 130, 230 oder 330 aus separaten Elementen, die jeweils einzeln an dem Rahmen 110 montiert sind. Entsprechend ist es, selbst wenn es gewünscht wird, Halbleiterbauelemente mit einer Dicke oder Größe unterschiedlich zu der der Halbleiterbauelemente, welche mit den Trägermodulen korrespondieren, zu testen, unnötig, die Trägermodule selbst durch geeignete zu ersetzen, im Gegensatz zum herkömmlichen Testmagazin 10, welches Trägermodule 20 (2) verwendet, die je eine integrierte Struktur aufweisen. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es nur erforderlich, einfach die Fächer 120 durch geeignete Fächer zu ersetzen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung können die Verriegelungen und Verriegelungsbetätigungselemente verschiedene Strukturen haben, die sich von den oben beschriebenen Strukturen unterscheiden.
11 bis 13 zeigen ein Testmagazin gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Testmagazin gemäß dieser Ausführungsform ist mit der des Testmagazins gemäß der ersten Ausführungsform identisch, mit Ausnahme der Fächer 420. Folglich sind die übrigen Bestandteile des Testmagazins, mit Ausnahme der Fächer 420, jeweils mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet und werden nicht detailliert beschrieben.
Jedes Fach 420 gemäß dieser Ausführungsform enthält eine nach oben geöffnete Aushöhlung 422, die an einem zentralen Teil des Fachs 420 gebildet ist, und einen Sitz 421, der an der Bodenfläche der Aushöhlung 422 gebildet ist, um es den Randteilen eines Halbleiterbauelements D zu ermöglichen, auf den Sitz 421 gesetzt zu werden. Eine Öffnung 423 ist durch einen zentralen Teil des Sitzes 421 gebildet, um die Kugeln oder Leitungen des Halbleiterbauelements D, das auf den Sitz 421 gesetzt wurde, nach außen freizulegen.
Fortlaufende Kugelführungsnuten 424 sind längs der inneren Umfangsfläche des Sitzes 421, welche die Öffnung 423 definiert, gebildet, um teilweise die äußersten der äußeren Anschlüsse, nämlich Kugeln B, des auf den Sitz 421 gesetzten Halbleiterbauelements D aufzunehmen. Die Kugelführungsnuten 424 haben eine Bogenform, die teilweise der Form der Kugeln B entspricht.
Gemäß dieser Ausführungsform hat der Sitz 421 eine Dicke, die größer ist als die Höhe der Kugeln B des Halbleiterbauelements D. Natürlich kann die Dicke des Sitzes 421 kleiner sein als die Höhe der Kugeln B des Halbleiterbauelements D, so dass die Kugeln B durch die Öffnung 423 nach unten herausragen, gemäß der Form und Größe der Verbindungsanschlüsse, die an den Testfassungen des Handlers, an welchem das Testmagazin angewendet wird, vorgesehen sind.
Wo die Dicke des Sitzes 421 größer ist als die Höhe der Kugeln B des Halbleiterbauelements D, wie bei dem Fach 420 gemäß der dargestellten Ausführungsform, wird es bevorzugt, das jede Kugelführungsnut 424 an einem unteren Teil davon mit einem nach innen hin nach oben geneigten Führungsflächenteil 425 versehen ist.
Die Fächer 420 bieten verschiedene Vorteile, wie folgt.
Wenn Halbleiterbauelemente D in die Sitze 421 der jeweiligen Fächer 420 gesetzt werden, nachdem sie durch eine externe Bauelementzufuhrvorrichtung (nicht dargestellt) zugeführt wurden, werden die äußersten Kugeln B jedes Halbleiterbauelements D in den jeweiligen Kugelführungsnuten 424 des zugeordneten Sitzes 421, der die zugeordnete Öffnung 423 definiert, aufgenommen. Daher wird jedes Halbleiterbauelement D, das in das zugeordnete Fach 420 gesetzt wurde, nicht nur durch den zugeordneten Sitz 421 gehalten, sondern wird auch durch Bereiche gehalten, die zwischen benachbarten Kugelführungsnuten 424 definiert sind. Folglich kann jedes Halbleiterbauelement D stabil gehalten werden. Sogar wenn der Kugelbereich jeder Halbleitervorrichtung D sich so an den Umfangskantenbereich der Halbleitervorrichtung D erstreckt, dass der Umfangsbereich des Halbleiterbauelements D sehr klein ist, ist es insbesondere möglich, die Halbleitervorrichtung D stabil zu halten.
Obwohl bei der dargestellten Ausführungsform der Sitz 421 jedes Faches 420 mit dem Fach 420 integral ist, kann der Sitz 421 separat vom Körper des Fachs 420 hergestellt werden. In diesem Fall kann der Sitz 421 lösbar mit dem Testmagazin mittels Befestigungsmitteln, wie z.B. Schrauben, gekoppelt werden.
Wie aus der obigen Beschreibung offensichtlich ist, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung, selbst wenn es gewünscht ist, Halbleiterbauelemente mit einer Dicke oder Größe zu testen, die unterschiedlich ist zu jener der Halbleiterbauelemente, die den Trägermodulen entsprechen, nur nötig, einfach die Fächer, in welche die Halbleiterbauelemente gesetzt werden, durch geeignete auszutauschen. Folglich ist es möglich, die Kosten und Zeit, die für den Ersatz von Trägermodulen erforderlich sind, zu reduzieren und eine Verbesserung der Verarbeitbarkeit zu erzielen.
Es ist für einen Fachmann offensichtlich, dass verschiedene Modifikationen und Abwandlungen bei der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden können, ohne vom Gedanken oder Umfang der Erfindung abzuweichen. Es ist daher beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung die Modifikationen und Abwandlungen dieser Erfindung abdeckt, vorausgesetzt sie fallen in den Umfang der beigefügten Ansprüche und ihrer Äquivalente.

Claims

Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, aufweisend: einen Rahmen; eine Vielzahl von Fächern, die am Rahmen montiert sind, während sie voneinander beabstandet sind, wobei jedes der Fächer einen Sitz aufweist, auf welchen ein Halbleiterbauelement gesetzt werden soll; eine Vielzahl von Verriegelungen, die am Rahmen montiert sind, um in Paaren für jeweilige Fächer so angeordnet zu werden, dass die Verriegelungen jedes Verriegelungspaars jeweils einander an entgegen gesetzten Seiten eines zugeordneten der Fächer gegenüberliegen, wobei jede der Verriegelungen zwischen einer ersten Position, wo die Verriegelung ein Halbleiterbauelement hält, das in dem Sitz des zugeordneten Faches sitzt, und einer zweiten Position, wo die Verriegelung den Haltezustand des Halbleiterbauelements löst, beweglich ist; und eine Vielzahl von Verriegelungsbetätigungselementen, die je an dem Rahmen montiert sind und angepasst sind, eine zugeordnete der Verriegelungen zwischen der ersten Position und der zweiten Position zu bewegen, wobei jedes der Verriegelungsbetätigungselemente von der zugeordneten Verriegelung getrennt ist.
Testmagazin nach Anspruch 1, wobei jede der Verriegelungen mit dem zugeordneten Verriegelungsbetätigungselement so verbunden ist, dass die Verriegelung zwischen der ersten Position und der zweiten Position schwenkt, um ein Halbleiterbauelement in dem zugeordneten Fach gemäß einer Betätigung des Verriegelungsbetätigungselements zu halten oder daraus freizugeben.
Testmagazin nach Anspruch 1, wobei jede der Verriegelungen mit dem zugeordneten Verriegelungsbetätigungselement so verbunden ist, dass die Verriegelung zwischen der ersten Position und der zweiten Position gleitet, um ein Halbleiterbauelement entsprechend einer Betätigung des Verriegelungsbetätigungselements in dem zugeordneten Fach zu halten oder es daraus freizugeben.
Testmagazin nach Anspruch 2, wobei jedes der Verriegelungsbetätigungselement aufweist: einen fixierten Block, der fest am Rahmen montiert ist; einen Betätigungsknopf, der so an dem fixierten Block montiert ist, dass der Betätigungsknopf geradlinig bewegbar ist; und einen Gelenkstift, der die Verriegelung, welche dem Verriegelungsbetätigungselement zugeordnet ist, mit einem Ende des Betätigungsknopfes schwenkbar verbindet.
Testmagazin nach Anspruch 4, wobei das Verriegelungsbetätigungselement ferner aufweist: ein elastisches Element, welches den Betätigungsknopf mit Bezug auf den fixierten Block elastisch abstützt.
Testmagazin nach Anspruch 4, bei welchem die Verriegelung einen Führungsschlitz aufweist; und der fixierte Block einen Führungsstift hat, welcher in dem Führungsschlitz der Verriegelung aufgenommen ist, um den Schwenkbetrieb der Verriegelung zu führen.
Testmagazin nach Anspruch 4, wobei die fixierten Blöcke der Verriegelungsbetätigungselemente, welche benachbarten der Verriegelung in benachbarten der Verriegelungspaare zugeordnet sind, so einen gemeinsamen fixierten Block bilden, dass die jeweiligen Verriegelungen, welche den Verriegelungsbetätigungselementen zugeordnet sind, und die jeweiligen Betätigungsknöpfe der Verriegelungsbetätigungselemente an entgegen gesetzten Seiten des gemeinsamen fixierten Blocks angeordnet sind, während sie zueinander entgegen gesetzt sind.
Testmagazin nach Anspruch 2, wobei jede der Verriegelungen einen Führungsschlitz aufweist; und jedes der Verriegelungsbetätigungselemente aufweist: einen fixierten Block, der fest am Rahmen montiert ist, einen Betätigungsknopf, der an dem fixierten Block so montiert ist, dass der Betätigungsknopf geradlinig bewegbar ist, eine Verbindungsstange, die schwenkbar mit dem Betätigungsknopf an einem Ende der Verbindungsstange verbunden ist, einen Gelenkstift, der die Verriegelung, welche dem Verriegelungsbetätigungselement zugeordnet ist, schwenkbar mit dem fixierten Block verbindet, einen Führungsstift, der mit dem anderen Ende der Verbindungsstange verbunden ist, wobei der Führungsstift in dem Führungsschlitz der zugeordneten Verriegelung aufgenommen ist, und ein elastisches Element, welches den Betätigungsknopf mit Bezug auf den fixierten Block elastisch abstützt.
Testmagazin nach Anspruch 8, bei welchem die fixierten Blöcke der Verriegelungsbetätigungselemente, welche benachbarten der Verriegelungen in benachbarten der Verriegelungspaare zugeordnet sind, so einen gemeinsamen fixierten Block bilden, dass die jeweiligen Verriegelungen, welche den Verriegelungsbetätigungselementen zugeordnet sind, und die jeweiligen Betätigungsknöpfe der Verriegelungsbetätigungselemente an entgegen gesetzten Seite des gemeinsamen fixierten Blocks angeordnet sind, während sie zueinander entgegen gesetzt sind.
Testmagazin nach Anspruch 3, bei welchem jede der Verriegelungen eine geneigte Kontaktfläche und einen Führungsschlitz aufweist; und jedes der Verriegelungsbetätigungselemente aufweist: einen fixierten Block, der fest am Rahmen montiert ist, und an welchem die dem Verriegelungsbetätigungselement zugeordnete Verriegelung gleitbar montiert ist, einen Betätigungsknopf, der an dem fixierten Block so montiert ist, dass der Betätigungsknopf geradlinig bewegbar ist, wobei der Betätigungsknopf eine geneigte Kontaktfläche aufweist, welche die geneigte Kontaktfläche der zugeordneten Verriegelung kontaktiert, und einen Führungsstift, der an dem fixierten Block fixiert ist, wobei der Führungsstift in dem Führungsschlitz der zugeordneten Verriegelung aufgenommen ist.
Testmagazin nach Anspruch 10, bei welchem die fixierten Blöcke der Verriegelungsbetätigungselemente, welche benachbarten der Verriegelungen in benachbarten der Verriegelungspaare zugeordnet sind, so einen gemeinsamen fixierten Block bilden, dass die jeweiligen Verriegelungen, welche den Verriegelungsbetätigungselementen zugeordnet sind, und die jeweiligen Betätigungsknöpfe der Verriegelungsbetätigungselemente an entgegen gesetzten Seite des gemeinsamen fixierten Blocks angeordnet sind, während sie zueinander entgegen gesetzt sind.
Testmagazin nach Anspruch 1, ferner aufweisend: eine Vielzahl von Montageeinheiten, um die Fächer so am Rahmen zu montieren, dass die Fächer jeweils in einem vorbestimmte Umfang beweglich sind.
Testmagazin nach Anspruch 12, wobei jede der Montageeinheiten aufweist: ein am Rahmen gebildetes Montageloch; einen Verbindungsschaft, welcher an dem der Montageeinheit zugeordneten Fach so gebildet ist, dass der Verbindungsschaft durch das Montageloch erstreckbar ist, wobei der Verbindungsschaft einen Durchmesser aufweist, welcher kleiner ist als ein Durchmesser des Montagelochs, und ein Ende hat, welches aus dem Montageloch herausragt und an den Rahmen gekoppelt ist, während es dem Verbindungsschaft ermöglicht, mit Bezug auf den Rahmen seitlich bewegbar zu sein; und einen elastischen Ring, welcher aus einem Kunstharzmaterial hergestellt ist und um den Verbindungsschaft herum angepasst ist, um den Verbindungsschaft in dem Montageloch elastisch zu halten.
Testmagazin nach Anspruch 13, wobei der elastische Ring so eine konische Form aufweist, dass das eine Ende des elastischen Rings eine äußere Umfangsfläche des Verbindungsschaftes kontaktiert und das andere Ende des elastischen Ringes eine innere Umfangsfläche des Montagelochs kontaktiert.
Testmagazin nach Anspruch 13, wobei die Montageeinheit ferner aufweist: eine eine Trennung verhindernde Einheit zur Verhinderung, dass der Verbindungsschaft von dem Montageloch getrennt wird.
Testmagazin nach Anspruch 15, wobei die eine Trennung verhindernde Einheit aufweist: eine ringförmige Nut, welche entlang einer äußeren Umfangsfläche des Verbindungsschaftes an dem vorstehenden Ende des Verbindungsschaftes gebildet ist; und einen E-Ring, der um die ringförmige Nut außerhalb des Montageloches des Rahmens angepasst ist, wobei der E-Ring einen äußeren Durchmesser aufweist, der größer ist als ein innerer Durchmesser des Montageloches.
Testmagazin nach Anspruch 1, wobei jedes der Fächer ferner mindestens eine Öffnung aufweist, welche durch den Sitz des Faches hindurch gebildet ist und angepasst ist, um das Halbleiterbauelement, das in den Sitz gesetzt ist, nach unten durch den Sitz freizulegen.
Testmagazin nach Anspruch 17, wobei das Fach ferner fortlaufende Kugelführungsnuten aufweist, die entlang einer inneren Umfangsfläche des Sitzes, die die Öffnung definiert, gebildet sind, um die äußersten Kugeln des in den Sitz gesetzten Halbleiterbauelements teilweise aufzunehmen, wobei die Kugelführungsnuten eine Bogenform aufweisen, welche teilweise einer Form der Kugeln entspricht.
Testmagazin nach Anspruch 17, wobei der Sitz integral mit dem Fach ausgebildet ist.
Testmagazin nach Anspruch 18, wobei der Sitz integral mit dem Fach ausgebildet ist.
Testmagazin nach Anspruch 17, wobei der Sitz lösbar an dem Fach gekoppelt ist.
Testmagazin nach Anspruch 18, wobei der Sitz lösbar an dem Fach gekoppelt ist.
Testmagazin nach Anspruch 18, wobei jede der Kugelführungsnuten mit einem nach innen hin nach oben geneigten Führungsflächenteil an einem unteren Teil der Kugelführungsnut versehen ist.
Testmagazin nach Anspruch 18, wobei die Öffnung des Sitzes eine Tiefe aufweist, welche größer ist als eine Höhe der Kugeln der Halbleitervorrichtung.
Testmagazin für einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, aufweisend: einen Rahmen; eine Vielzahl von Fächern, die am Rahmen montiert sind, während sie gleichmäßig voneinander beabstandet sind, wobei jedes der Fächer einen Sitz aufweist, auf welchen ein Halbleiterbauelement gesetzt werden soll; eine Vielzahl von fixierten Blöcken, die fest an dem Rahmen montiert sind, um paarweise für die jeweiligen Fächer so angeordnet zu werden, dass die fixierten Blöcke jedes fixierten Blockpaars einander jeweils an entgegen gesetzten Seiten eines zugeordneten der Fächer gegenüberliegen, eine Vielzahl von Verriegelungen, die je an einem zugeordneten der fixierten Blöcke so angeordnet sind, dass die Verriegelung zwischen einer ersten Position, wo die Verriegelung ein Halbleiterbauelement hält, das in dem Sitz eines zugeordneten der Fächer sitzt, und einer zweiten Position, wo die Verriegelung den Haltezustand des Halbleiterbauelements löst, beweglich ist; und eine Vielzahl von Betätigungsknöpfen, die je an einem zugeordneten der fixierten Blöcke beweglich montiert sind und mit einer zugeordneten der Verriegelungen an einem Ende des Betätigungsknopfes verbunden sind, wobei jeder der Betätigungsknöpfe die zugeordnete Verriegelung zwischen der ersten Position und der zweiten Position bewegt, während er durch eine äußere Kraft bewegt wird.
Testmagazin nach Anspruch 25, ferner aufweisend: eine Vielzahl von elastischen Elementen, die je angepasst sind, um eine einer zugeordneten der Verriegelungen und einen zugeordneten der Betätigungsknöpfe mit Bezug auf einen zugeordneten der fixierten Blöcke elastisch abzustützen.