DE102005032738B3 - Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke mittels elektrochemischer Behandlung - Google Patents

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Abstract

Es wird ein Verfahren zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke (7) mittels elektrochemischer Behandlung zur Verfügung gestellt. In dem Verfahren werden die Werkstücke (7) als Arbeitselektroden in eine elektrolytische Behandlungslösung (3) gegeben, in der jedem Werkstück (7) eine Gegenelektrodenanordnung (9) zugeordnet ist. Ein Werkstück (7) und die zugeordnete Gegenelektrodenanordnung (9) bilden jeweils ein elektrolytisches Bearbeitungselement. Die elektrolytischen Bearbeitungselemente sind in Reihe geschaltet.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke mittels elektrochemischer Behandlung sowie eine Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens.
  • Verfahren zum elektrochemischen Behandeln von Werkstücken kommen heutzutage beispielsweise beim Be- oder Entschichten von Werkstücken, beim Polieren von Werkstücken oder beim Säubern von Werkstücken zur Anwendung. Spezielle Anwendungen sind beispielsweise das Be- und Entschichten von Turbinenschaufeln.
  • Die EP 1 094 134 A1 beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung zum elektrochemischen Entfernen einer Metallbeschichtung von einer Turbinenschaufel. Die Turbinenschaufel wird als anodisch gepolte Arbeitselektrode in einen Behälter mit einem elektrolytischen Bad gegeben. Im elektrolytischen Bad befindet sich außerdem eine Anzahl von Kathoden, welche Gegenelektroden zur Turbinenschaufel bilden. Zum Entfernen der Metallbeschichtung wird eine Spannung zwischen der Turbinenschaufel und den Kathoden aufgebaut. Der Turbinenschaufel und den Gegenelektroden ist eine Spannungsquelle zugeordnet, welche diese mit der nötigen Spannung versorgt.
  • Ein Verfahren zum Herstellen von galvanischen Beschichtungen ist in EP 0 748 883 A1 beschrieben. In diesem Verfahren wird das zu beschichtende Werkstück in ein galvanisches Bad eingebracht. Das Beschichtungsmaterial ist in Form von positiv geladenen Ionen im galvanischen Bad gelöst. Durch Anlegen einer Spannung zwischen dem kathodisch gepolten Werkstück und einer anodisch gepolten Gegenelektrode werden die gelösten Metallionen zur Werkstücksoberfläche transportiert, wo sie sich als Beschichtung ablagern.
  • Ein Verfahren zum elektrochemischen Entschichten von Turbinenschaufeln ist außerdem in US 6,165,345 beschrieben.
  • Gegenüber dem beschriebenen Stand der Technik ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, welche ein effizientes großtechnisches elektrochemisches Bearbeiten von Werkstücken möglich machen.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke mittels einer elektrochemischen Behandlung nach Anspruch 1, sowie durch eine Vorrichtung nach Anspruch 7 gelöst. Die abhängigen Ansprüche enthalten vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
  • Im erfindungsgemäßen Verfahren zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke mittels elektrochemischer Behandlung werden die Werkstücke als Arbeitselektroden in eine elektrolytische Behandlungslösung gegeben. In der elektrolytischen Behandlungslösung ist jedem Werkstück eine Gegenelektrodenanordnung, welche lediglich aus einer einzigen Elektrode oder aber aus mehreren Gegenelektroden bestehen kann, zugeordnet. Ein Werkstück und die ihm zugeordnete Gegenelektrodenanordnung bilden jeweils zusammen ein elektrolytisches Bearbeitungselement. Die elektrolytischen Bearbeitungselemente werden gemäß der Erfindung in Reihe geschaltet.
  • Die Reihenschaltung ist hierbei so zu verstehen, dass zumindest ein überwiegender Teil des bei der elektrochemischen Be handlung fließenden Stromes nacheinander die elektrolytischen Behandlungselemente durchfließt. Um die Reihenschaltung gewährleisten zu können, ist es vorteilhaft, wenn einem Stromfluss durch die elektrolytische Behandlungslösung zwischen den elektrolytischen Bearbeitungselementen gezielt entgegengewirkt wird. Dies kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass die einzelnen elektrolytischen Bearbeitungselemente gegen die elektrischen Felder der anderen elektrolytischen Bearbeitungselemente abgeschirmt werden. Der Strom kann dann beispielsweise über Kabel definiert von einem elektrischen Bearbeitungselement zu einem anderen fließen.
  • Alternativ zur Abschirmung der elektrischen Felder ist es auch möglich, die elektrolytischen Behandlungslösungen der einzelnen elektrolytischen Behandlungselemente elektrisch voneinander zu isolieren.
  • Das Bilden der Reihenschaltung kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass das Werkstück eines elektrolytischen Bearbeitungselementes mit der Gegenelektrodenanordnung eines anderen elektrolytischen Bearbeitungselementes über einen elektrisch leitenden Pfad verbunden wird, welcher einen sehr viel geringeren elektrischen Widerstand aufweist, als mögliche Strompfade durch die elektrolytische Behandlungslösung zwischen den elektrolytischen Bearbeitungselementen. Vorzugsweise liegen Werkstücke und Gegenelektrodenanordnungen, welche über einen derartigen niederohmigen elektrisch leitenden Pfad miteinander verbundenen sind, auf demselben elektrischen Potential. Mit anderen Worten, die Gegenelektrodenanordnung eines elektrolytischen Bearbeitungselementes liegt auf demselben Potential wie die mit ihm über den niederohmigen Pfad verbundene Arbeitselektrode des folgenden elektrolytischen Bearbeitungselementes. Diese Arbeitselektrode ist dann über die elektrolytische Behandlungslösung im elektrolytischen Bearbei tungselement mit der im elektrolytischen Bearbeitungselement zugeordneten Gegenelektrodenanordnung elektrisch verbunden, welche wiederum über einen niederohmigen Pfad mit der Arbeitselektrode eines weiteren elektrolytischen Bearbeitungselementes verbunden ist. In den einzelnen elektrolytischen Behandlungselementen liegt dabei jeweils eine Potentialdifferenz zwischen der Arbeitselektrode und der zugeordneten Gegenelektrode vor.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht das gleichzeitige Bearbeiten mehrerer Werkstücke unter Verwendung lediglich einer einzigen Stromquelle. Aufgrund der Reihenschaltung kann erreicht werden, dass der Stromfluss durch alle Werkstücke im Wesentlichen gleich ist. Somit kann die Steuerung des Verfahrens wie bisher über die Stromdichte erfolgen. Da im erfindungsgemäßen Verfahren nicht für jedes Werkstück eine eigene Spannungsquelle, etwa ein eigener Generator, notwendig ist, können die Investitionskosten für einen großtechnischen Einsatz verringert werden, da die Zahl der hohe Kosten verursachenden Generatoren verringert werden kann.
  • Eine erfindungsgemäfle Vorrichtung zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke mittels elektrochemischer Behandlung umfasst einen Behälter, der mit einer elektrolytischen Behandlungslösung zu befüllen ist und in den die Werkstücke als Arbeitselektroden eingebracht werden können. Im Behälter ist je Werkstück entweder eine Gegenelektrodenanordnung angeordnet oder einzubringen. Die Gegenelektrodenanordnung kann eine einzige oder mehrere Gegenelektroden umfassen. Schließlich ist eine mit einem Werkstück und mit einer Gegenelektrodenanordnung elektrisch leitend zu verbindende Spannungsquelle vorhanden. Ein Werkstück bildet zusammen mit einer zugeordneten Gegenelektrodenanordnung ein elektrolytisches Bearbeitungselement, wobei wenigstens ein Werkstück eines elektroly tischen Bearbeitungselementes mit der Gegenelektrodenanordnung eines anderen elektrolytischen Bearbeitungselementes über einen elektrisch leitenden Pfad zu verbinden ist, der einen deutlich geringeren elektrischen Widerstand aufweist, als die elektrolytische Behandlungslösung zwischen den beiden elektrolytischen Bearbeitungselementen.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht eine Reihenschaltung der elektrolytischen Bearbeitungselemente und damit ein Durchführen des erfindungsgemäßen Verfahrens. Sie bietet daher die bereits mit Bezug auf das Verfahren beschriebenen Vorteile.
  • Um sicherzustellen, dass beim Bearbeiten der Strom im Wesentlichen nacheinander durch die einzelnen elektrolytischen Bearbeitungselemente fließt, können Einrichtungen zum Unterbinden eines Stromflusses durch die elektrolytische Behandlungslösung zwischen zwei elektrolytischen Bearbeitungselementen vorhanden sein. Diese Einrichtungen können beispielsweise Faradaysche Wände, etwa in Form geerdeter Drahtgitter, sein. Alternativ ist es jedoch auch möglich, die Einrichtungen durch Wände aus elektrisch isolierendem Material zu realisieren. In beiden Fällen ist es vorteilhaft, wenn die Einrichtungen aus einem gegenüber der elektrolytischen Behandlungslösung chemisch inerten Material hergestellt sind. Auf diese Weise kann sichergestellt werden, dass ein Stromfluss durch die elektrolytische Behandlungslösung zwischen benachbarten elektrolytischen Bearbeitungselementen auch über längere Zeit wirksam unterdrückt werden kann.
  • Weitere Merkmale, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden Figuren.
  • 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäße Vorrichtung.
  • 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäße Vorrichtung.
  • Die nachfolgend mit Bezug auf die 1 und 2 beschriebenen Vorrichtungen zum elektrochemischen Bearbeiten mindestens zweier Werkstücke können bei allen galvanischen Prozessen, die über einen gepulsten oder ungepulsten Strom gesteuert werden, zum Einsatz kommen. Derartige Prozesse sind beispielsweise das elektrochemische Entschichten von Werkstücken, das elektrochemische Beschichten von Werkstücken, das elektrochemische Reinigen von Werkstücken, das elektrochemische Polieren von Werkstücken, etc.
  • Die in 1 dargestellte Vorrichtung wird nachfolgend mit Bezug auf ein elektrochemisches Entfernen von MCrAlY-Beschichtungen von Turbinenschaufeln beschrieben. In einem derartigen elektrochemischen Entschichtungsverfahren wird eine Turbinenschaufel als eine positiv, also anodisch gepolte Arbeitselektrode in eine elektrolytische Behandlungslösung, beispielsweise eine Salzlösung, eingebracht. In der elektrolytischen Behandlungslösung befindet sich außerdem eine Gegenelektrodenanordnung, die negativ, also kathodisch, gepolt ist. Aufgrund des Stromflusses werden die aus der MCrAlY-Beschichtung herausgelösten Metallionen von der Turbinenschaufel wegtransportiert.
  • Die in 1 dargestellte Vorrichtung zum elektrochemischen Behandeln von Werkstücken umfasst einen Behälter 1 in den eine elektrolytische Behandlungslösung 3 einfüllbar ist. Mittels Drahtgitter 5 ist der Behälter in verschiedene Aufnahmen 6 unterteilt. In jede der Aufnahmen 6 werden zu entschichtende Turbinenschaufeln als Werkstücke 7, welche Arbeitselektroden bilden, sowie den Werkstücken 7 zugeordnete Gegenelektrodenanordnungen 9 eingebracht. Die elektrolytische Behandlungslösung 3 kann entweder zuvor in den Behälter 1 eingefüllt worden sein oder kann nach dem Einbringen der Werkstücke 7 in den Behälter eingefüllt werden.
  • Die Werkstücke 7 und die zugeordneten Gegenelektrodenanordnungen 9 werden derart in den Behälter 1 eingebracht, dass sich in jeder Aufnahme jeweils genau ein Werkstück 7 und eine zugeordnete Gegenelektrodenanordnung 9 befinden. Ein Werkstück und eine zugeordnete Gegenelektrodenanordnung 9 bilden dabei eine im folgenden elektrochemisches Bearbeitungselement genannte Anordnung.
  • Eines der Werkstücke 7d ist mit dem positiven Pol einer Spannungsquelle 11 elektrisch verbunden. Die diesem Werkstück 7d zugeordnete Gegenelektrodenanordnung 9d ist über eine möglichst niederohmige elektrische Verbindung 13c mit dem Werkstück 7c des nächsten elektrochemischen Bearbeitungselementes verbunden. Dessen Gegenelektrodenanordnung 9c ist wiederum über eine möglichst niederohmige elektrische Verbindung 13d mit dem Werkstück 7b des dritten elektrochemischen Bearbeitungselementes verbunden. Dessen Gegenelektrodenanordnung 9b ist wiederum über eine möglichst niederohmige elektrische Verbindung 13a mit dem Werkstück 7a des letzten elektrochemischen Bearbeitungselementes verbunden. Die Gegenelektrodenanordnung 9a dieses elektrochemischen Bearbeitungselementes ist schließlich mit dem negativen Pol der Spannungsquelle 11 verbunden.
  • Die Drahtgitter 5, welche die einzelnen Aufnahmen 6 mit den daran angeordneten elektrochemischen Bearbeitungselementen voneinander trennen, sind geerdet und schirmen die elektrochemischen Behandlungselemente gegen die von den anderen elektrolytischen Behandlungselementen ausgehenden elektrischen Felder ab. Auf diese Weise kann ein Stromfluss durch die elektrolytische Behandlungslösung zwischen den einzelnen elektrolytischen Behandlungselementen wirksam unterbunden werden. Um einen elektrochemischen Angriff auf das Material der Drahtgitter 5 zu vermeiden, sind diese aus einem im Hinblick auf die elektrolytische Behandlungslösung 3 chemisch inerten Material hergestellt.
  • Die elektrisch leitenden Verbindungen 13 zwischen den Werkstücken 7 und den Gegenelektrodenanordnungen 9 verschiedener elektrochemischer Behandlungselemente führen zu einer Reihenschaltung der einzelnen elektrochemischen Behandlungselemente. Dabei bildet jedes elektrochemische Behandlungselement jeweils ein Element der Reihenschaltung, in dem das Werkstück 7 anodisch gepolt und die zugehörige Gegenelektrodenanordnung kathodisch gepolt ist. Die elektrische Verbindung 13 ist derart niederohmig gewählt, dass ein Werkstück 7 auf demselben Potential liegt wie die mit ihm über die elektrische Verbindung 13 verbundene Gegenelektrodenanordnung 9. Die Drahtgitter 5 sorgen dabei dafür, dass für einen Stromfluss zwischen den beiden Polen der Spannungsquelle 11 lediglich ein einziger Strompfad zur Verfügung steht, nämlich derjenige über die elektrischen Verbindungen 13 und – in den einzelnen elektrolytischen Bearbeitungselementen – durch die elektrolytische Behandlungslösung 3 zwischen dem Werkstück 7 und der zugeordneten Gegenelektrodenanordnung 9.
  • Wenn die Spannungsquelle 11 beispielsweise eine Spannung von 8 Volt zur Verfügung stellt und, wie in 1 dargestellt, vier elektrolytische Behandlungselemente in Reihe geschaltet sind, fällt über jedes elektrolytische Behandlungselement ei ne Spannung von zwei Volt ab. Mit anderen Worten, zwischen dem Werkstück 7 und der zugeordneten Gegenelektrode 9 eines elektrochemischen Behandlungselementes liegt immer eine Spannung von zwei Volt an. Die Potentiale, auf denen die einzelnen Werkstücke 7 und Gegenelektroden 9 liegen, sind in 1 angedeutet.
  • Während des elektrochemischen Behandlungsprozesses kann die elektrolytische Behandlungslösung 3 über geeignete Zu- und Abflüsse kontinuierlich ausgetauscht werden, beispielsweise um beim Entschichten der Turbinenschaufeln in die elektrolytische Behandlungslösung eingebrachte Ionen abzutransportieren. Beim Beschichten können über den Zufluss ständig neue Ionen zugeführt werden, die sich als Beschichtung auf der Oberfläche des Werkstückes 7 ablagern können. Die Zu- und Abflüsse sind vorzugsweise so angeordnet, dass alle Aufnahmen im Wesentlichen dieselbe Ionendichte aufweisen. In der in 1 dargestellten Vorrichtung genügt dabei grundsätzlich ein einziger Zufluss und ein einziger Abfluss, da alle Aufnahmen 6 aufgrund der Maschen der Gitter 5 strömungstechnisch miteinander in Verbindung stehen.
  • Zwar weist der Behälter 1 der mit Bezug auf 1 beschriebenen Vorrichtung vier Aufnahmen auf, jedoch kann er auch mehr als vier oder weniger als vier Aufnahmen aufweisen. Entsprechend kann die Reihenschaltung aus mehr oder weniger als vier elektrolytischen Behandlungselementen aufgebaut sein. Grenzen für die Zahl an elektrolytischen Behandlungselementen, aus denen die Reihenschaltung aufgebaut sein kann, ergeben sich aus dem gewünschten Spannungsabfall zwischen den Werkstücken und den zugeordneten Gegenelektrodenanordnungen in Verbindung mit der Spannung, die von der Spannungsquelle zur Verfügung gestellt werden kann. Daneben stellt auch die Größe des Behälters 1 im Verhältnis zur Größe der zu bearbei tenden Werkstücke eine Beschränkung für die mögliche Anzahl an Aufnahmen dar.
  • Da aufgrund der Reihenschaltung der Strom durch alle elektrolytischen Bearbeitungselemente gleich ist, kann der elektrolytische Bearbeitungsprozess wie bei einer elektrolytischen Einzelzelle über die Stromdichte erfolgen.
  • Ein zweites Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäße Vorrichtung wird nachfolgend mit Bezug auf 2 beschrieben. Die in 2 dargestellte Vorrichtung unterscheidet sich von der in 1 dargestellten Vorrichtung lediglich dadurch, dass die geerdeten Drahtgitter 5 durch Wände 50 aus Isolatormaterial ersetzt sind. Wie das Material der Drahtgitter im ersten Ausführungsbeispiel ist auch das Material der Isolatorwände 50 derart gewählt, dass es im Hinblick auf die elektrolytische Behandlungslösung 3 chemisch inert ist. Die übrigen Elemente des in 2 dargestellten Ausführungsbeispiels entsprechen denen aus 1. Sie sind daher mit demselben Bezugsziffern wie in 1 bezeichnet und werden an dieser Stelle nicht noch einmal erläutert.
  • Die in 2 dargestellte Vorrichtung ist zum Beschichten eines Werkstückes, beispielsweise einer Turbinenschaufel, mit einer metallischen Beschichtung konfiguriert. Dies bedeutet, dass die Spannungsquelle 11 gegenüber der in 1 dargestellten Spannungsquelle umgepolt ist. Mit anderen Worten, in jedem elektrolytischen Behandlungselement bildet das Werkstück 7 bei der in 2 dargestellten Polung eine kathodisch gepolte Elektrode, während die Gegenelektrodenanordnung 9 eine anodisch gepolte Elektrode bildet. Ein Stromfluss durch die elektrolytische Behandlungslösung 3 zwischen den einzelnen elektrolytischen Behandlungselementen wird durch die Isolatorwände 50 unterbunden.
  • Zum Beschichten der Werkstücke 7 werden der elektrolytischen Behandlungslösung 3 Metallionen zugeführt, die aufgrund der zwischen den Werkstücken 7 und den zugeordneten Gegenelektrodenanordnungen 9 anliegenden Spannung zu den Oberflächen der Werkstücke 7 transportiert werden und sich dort zu einer Beschichtung ablagern.
  • Da die Isolatorwände 50 Strömungsbarrieren darstellen, ist im zweiten Ausführungsbeispiel jeder Aufnahme 6 im Behälter 1 ein eigener Zufluss und ein eigener Abfluss für elektrolytische Behandlungslösung zugeordnet.

Claims (12)

  1. Verfahren zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke (7) mittels elektrochemischer Behandlung, bei der die Werkstücke (7) als Arbeitselektroden in eine elektrolytische Behandlungslösung (3) gegeben werden, in der jedem Werkstück (7) eine Gegenelektrodenanordnung (9) zugeordnet ist, wobei ein Werkstück (7) und die zugeordnete Gegenelektrodenanordnung (9) jeweils ein elektrolytisches Bearbeitungselement bilden und die elektrolytischen Bearbeitungselemente in Reihe geschaltet sind.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, in dem einem Stromfluss durch die elektrolytische Behandlungslösung (3) zwischen den elektrolytischen Bearbeitungselementen gezielt entgegengewirkt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, in dem die elektrolytischen Bearbeitungselemente gegen von den anderen elektrolytischen Bearbeitungselementen ausgehende elektrische Felder abgeschirmt werden.
  4. Verfahren nach Anspruch 2, in dem die elektrolytischen Behandlungslösungen (3)der einzelnen elektrolytischen Behandlungselemente elektrisch voneinander isoliert sind.
  5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Bilden der Reihenschaltung das Werkstück (7) eines elektrolytischen Bearbeitungselementes mit der Gegenelektrodenanordnung (9) eines anderen elektrolytischen Bearbeitungselementes über einen niederohmigen elektrisch leitenden Pfad (13) verbunden wird, der einen sehr viel geringeren elektrischen Widerstand aufweist, als mögliche Strompfade durch die elektrolytische Behandlungslösung (3) zwischen den elektrolytischen Bearbeitungselementen.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass über den niederohmigen elektrisch leitenden Pfad (13) miteinander verbundene Werkstücke (7) und die Gegenelektrodenanordnungen (9) auf demselben elektrischen Potenzial liegen.
  7. Vorrichtung zum Bearbeiten wenigstens zweier Werkstücke (7) mittels elektrochemischer Behandlung mit – einem Behälter (1), der mit einer elektrolytischen Behandlungslösung (3) zu befüllen ist und in den die Werkstücke (7) als Arbeitselektroden eingebracht werden können, – einer im Behälter (1) angeordneten oder in den Behälter (1) einzubringenden Gegenelektrodenanordnung (9) je Werkstück (7) und – einer mit einem Werkstück (7) und einer Gegenelektrodenanordnung (9) elektrisch leitend zu verbindenden Spannungsquelle (11), wobei ein Werkstück (7) zusammen mit einer zugeordneten Gegenelektrodenanordnung (9) ein elektrolytisches Bearbeitungselement bildet und wobei wenigstens ein Werkstück (7) eines elektrolytischen Bearbeitungselementes mit der Gegenelektrodenanordnungen (9) eines anderen elektrolytischen Bearbeitungselementes über einen elektrisch leitenden Pfad (13) zu verbinden ist, der einen geringeren elektrischen Widerstand aufweist, als die elektrolytische Behandlungslösung (3) zwischen den beiden elektrolytischen Bearbeitungselementen.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, in der Einrichtungen (5, 50) zum Unterbinden eines Stromflusses durch die elektrolytische Behandlungslösung (3) zwischen zwei elektrolytischen Bearbeitungselementen vorhanden sind.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtungen zum Unterbinden eines Stromflusses durch die elektrolytische Behandlungslösung (3) zwischen zwei elektrolytischen Bearbeitungselementen Faradaysche Wände (5) sind.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, in der als Faradaysche Wände geerdete Drahtgitter (5) vorhanden sind.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtungen zum Unterbinden eines Stromflusses durch die elektrolytische Behandlungslösung (3) zwischen zwei elektrolytischen Bearbeitungselementen Wände (50) aus einem elektrisch isolierenden Material sind.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, in der die Faradayschen Wände (5) bzw. die Wände (50) aus einem elektrisch isolierenden Material aus einem gegenüber der elektrolytischen Behandlungslösung (3) chemisch inerten Material hergestellt sind.
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