DE102004005664A1 - Passivierungsmaterial, Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht und elektrisches Bauelement - Google Patents
Passivierungsmaterial, Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht und elektrisches Bauelement Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004005664A1 DE102004005664A1 DE102004005664A DE102004005664A DE102004005664A1 DE 102004005664 A1 DE102004005664 A1 DE 102004005664A1 DE 102004005664 A DE102004005664 A DE 102004005664A DE 102004005664 A DE102004005664 A DE 102004005664A DE 102004005664 A1 DE102004005664 A1 DE 102004005664A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- matrix
- passivation
- ceramic
- filler
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 159
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 claims abstract description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 4
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims abstract description 4
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010431 corundum Substances 0.000 claims abstract description 3
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 claims abstract description 3
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 3
- BIKXLKXABVUSMH-UHFFFAOYSA-N trizinc;diborate Chemical compound [Zn+2].[Zn+2].[Zn+2].[O-]B([O-])[O-].[O-]B([O-])[O-] BIKXLKXABVUSMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 113
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 51
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 43
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000005325 percolation Methods 0.000 claims description 6
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 claims description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 4
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 4
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 229910021542 Vanadium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 235000011837 pasties Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 2
- GRUMUEUJTSXQOI-UHFFFAOYSA-N vanadium dioxide Chemical compound O=[V]=O GRUMUEUJTSXQOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 claims 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 24
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 239000007900 aqueous suspension Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000008240 homogeneous mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);praseodymium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Pr+3].[Pr+3] MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003447 praseodymium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C1/00—Details
- H01C1/02—Housing; Enclosing; Embedding; Filling the housing or enclosure
- H01C1/028—Housing; Enclosing; Embedding; Filling the housing or enclosure the resistive element being embedded in insulation with outer enclosing sheath
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/14—Glass frit mixtures having non-frit additions, e.g. opacifiers, colorants, mill-additions
- C03C8/20—Glass frit mixtures having non-frit additions, e.g. opacifiers, colorants, mill-additions containing titanium compounds; containing zirconium compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5022—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with vitreous materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/86—Glazes; Cold glazes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
- C04B41/90—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/18—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material comprising a plurality of layers stacked between terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G2/00—Details of capacitors not covered by a single one of groups H01G4/00-H01G11/00
- H01G2/12—Protection against corrosion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/00474—Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00
- C04B2111/00844—Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00 for electronic applications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/291—Oxides or nitrides or carbides, e.g. ceramics, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Passivierungsmaterial für ein keramisches Bauelement, enthaltend eine Matrix (1), in die ein Füllstoff eingebettet ist. Das Passivierungsmaterial hat den Vorteil, dass die Viskosität während des Benetzens des Bauelements durch den Füllstoff kontrolliert werden kann.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Passivierungsmaterial, das insbesondere für keramische Bauelemente geeignet ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein elektrisches Bauelement.
- Aus der Druckschrift US2002/0109575A1 ist ein Passivierungsmaterial für keramische Bauelemente bekannt, das Glas enthält und das eine gute Widerstandsfähigkeit gegenüber Säuren aufweist. Darüber hinaus ist aus dieser Druckschrift ein Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht bekannt, wobei ein Varistorchip in eine Suspension, enthaltend Gaspulver eingetaucht wird.
- Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Passivierungsmaterial anzugeben, das sich leicht verarbeiten läßt. Es ist darüber hinaus Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht anzugeben.
- Die Aufgabe wird gelöst durch ein Passivierungsmaterial nach Patentanspruch 1 sowie durch ein Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht nach Patentanspruch 18. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Passivierungsmaterials und des Verfahrens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
- Es wird ein Passivierungsmaterial für ein keramisches Bauelement angegeben, das eine Matrix enthält, in die ein Füllstoff eingebettet ist.
- Das hier angegebene Passivierungsmaterial hat den Vorteil, dass durch das Vorsehen eines Füllstoffs die Eigenschaften des Passivierungsmaterials sehr gut beeinflußt werden können. Beispielsweise ist es möglich, den Füllstoff in einer bestimmten Partikelgröße der Matrix beizufügen. Darüber hinaus gibt es noch andere Möglichkeiten, mittels des Füllstoffs die Eigenschaften des Passivierungsmaterials an gegebene Anforderungen anzupassen. Beispielsweise ist es möglich, durch Ändern des Anteils des Füllstoffs am Passivierungsmaterial die Eigenschaften des Passivierungsmaterials zu ändern. Darüber hinaus hat auch die Vermischung des Füllstoffs mit der Matrix Einfluß auf die Eigenschaften des Passivierungsmaterials.
- Das hier angegebene Passivierungsmaterial kann besonders vorteilhaft in der Form eines Kompositmaterials vorliegen. Darunter ist eine Kombination zweier oder mehrerer Materialien zu verstehen, die in ihrer Form oder Zusammensetzung auf einer Makroskala voneinander abweichen. Die Bestandteile des Kompositmaterials behalten dabei jeweils ihre eigenständige Identität, d.h. dass nicht eine Komponente in einer anderen sich vollständig auflöst oder die beiden ineinander übergehen, die Komponenten jedoch miteinander wechselwirken. Dies führt dazu, dass das Kompositmaterial Eigenschaften hat, die zwischen den Eigenschaften der Komponenten des Komposites liegen.
- Darüber hinaus ist es vorteilhaft, wenn das Passivierungsmaterial die Eigenschaft hat, dass es bei Zimmertemperatur in einer festen Form vorliegt. Das Material kann durch Erhitzen aufgeweicht werden, so dass es fließfähig wird und vorteilhafterweise eine Oberfläche benetzen kann. Bei weiterem Aufheizen verfestigt sich das Material. Das Material kann kris tallisieren bzw. sich in einen Feststoff umwandeln. Der Feststoff kann kristallin, amorph oder auch teilkristallin sein.
- Dementsprechend ist es vorteilhaft, wenn der Füllstoff so gestaltet ist, dass er während der Fließphase der Matrix, also solange sich die Matrix in einem fließfähigen Zustand befindet, selbst in einem festen Zustand bleibt.
- Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn bei dem Passivierungsmaterial die Matrix ein glasartiges Material enthält. Ein glasartiges Material hat den Vorteil, dass es besonders gut als Grundlage für ein Passivierungsmaterial geeignet ist, da es beispielsweise ein keramisches Bauelement vor dem Eindringen von Galvanikflüssigkeit in den Keramikkörper schützen kann.
- Bei der Verwendung eines glasartigen Materials für die Matrix des Passivierungsmaterials kommt es insbesondere in Betracht, devitrifizierende Materialien zu verwenden. Devitrifizierende Materialien haben die Eigenschaft, dass bei einer bestimmten Temperatur eine Kristallisation des Glases von selbst stattfindet, so dass aus einem solchen Material eine mechanisch feste Passivierungsschicht hergestellt werden kann.
- Es können aber genauso gut auch vitrifizierende Materialien als Matrix verwendet werden.
- In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials enthält die Matrix ein bleifreies Glas. Ein solches Glas hat den Vorteil, dass es umweltfreundlicher ist.
- In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials enthält die Matrix ein bleihaltiges Glas.
- Als Matrix für das Passivierungsmaterial kommt insbesondere in Betracht:
ein Aluminosilikat-Glas, ein Borat-Glas, ein Borosilikat-Glas, ein Silikat-Glas oder ein Zink-Borat-Glas. - In einer besonderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials ist als Matrix eine Mischung aus verschiedenen Materialien vorgesehen. Eine solche Mischung hat den Vorteil, dass eine große Anzahl von Möglichkeiten besteht, die Matrix des Passivierungsmaterials und damit auch wesentliche Eigenschaften des Passivierungsmaterials selbst durch verschiedene Mischungsverhältnisse und durch Hinzufügen verschiedener Materialien an das gewünschte Anforderungsprofil anzupassen.
- In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials liegt als Matrix eine homogene Mischung verschiedener Materialien vor.
- In einer Ausführungsform des Passivierungsmaterials ist eine glasartige Matrix vorgesehen. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Transformationstemperatur der glasartigen Matrix 350 bis 700 °C beträgt.
- In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials ist die Matrix ein glasartiges Material oder auch ein Glas selbst und weist eine Erweichungstemperatur zwischen 500 und 950 °C auf.
- Als Füllstoff kommen insbesondere feuerfeste Stoffe in Betracht, die keramische Eigenschaften aufweisen. Stoffe mit keramischen Eigenschaften haben den Vorteil, dass ihre physi kalischen und chemischen Eigenschaften bei relativ tiefen Temperaturen bis 500 °C keine große Abhängigkeit von der Temperatur aufweisen. Daraus ergibt sich der Vorteil, dass das Verhalten des Füllstoffs über den gesamten für den hier beschriebenen Prozeß wichtigen Temperaturbereich im wesentlichen konstant ist.
- Als weiterer Vorteil von Füllstoffen mit keramischen Eigenschaften wäre die gute Kompatibilität zu einer glasartigen Matrix zu nennen, die insbesondere aus der niedrigen Grenzflächenenergie zwischen dem Füllstoffpartikel und der genannten Matrix resultiert. In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials wird ein Füllstoff verwendet, der glasartige Eigenschaften aufweist.
- Vorteilhaft ist, wenn der Füllstoff während der Verarbeitung der Matrix, also insbesondere während der Umwandlung der Matrix in eine fließfähige Form, seine Feststoffeigenschaften beibehält, so dass der Füllstoff als Kristallisationskeim und auch als Versiegelungsverzögerer in einer zu schaffenden Passivierungsschicht fungieren kann.
- In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials enthält der Füllstoff Chromit, Kieselsäure, Korund, Mullit, Aluminiumsilikat, Aluminiumoxid, Siliziumdioxid, Titandioxid, Vanadiumdioxid, Zinkoxid, Zirkondioxid, Zirkonsilicat, Zeolithe, mikro-, meso- und makroporöse oxidische oder auch nicht-oxidische Materialien oder auch hochschmelzendes Glas. Der Füllstoff kann auch Mischungen der angegebenen Materialien enthalten.
- In einer Ausführungsform des Passivierungsmaterials liegt der Füllstoff in Form von Partikeln mit einer Größe zwischen 0,1 und 20 μm vor.
- In einer Ausführungsform des Passivierungsmaterials ist der Füllstoff homogen mit der Matrix vermischt.
- In einer anderen Ausführungsform des Passivierungsmaterials hat der Füllstoff an dem Passivierungsmaterial einen Anteil von 0,1 bis 85 Gewichtsprozent.
- Es wird darüber hinaus ein Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht angegeben. Das Verfahren weist folgende Schritte auf:
- a) In einem ersten Schritt wird Passivierungsmaterial auf eine zu passivierende Fläche aufgebracht.
- b) In einem darauffolgenden Schritt wird ein Kontaktierungsmaterial auf das Passivierungsmaterial aufgebracht.
- c) In einem darauffolgenden Schritt wird eine Temperaturbehandlung durchgeführt, wobei das Passivierungsmaterial einen dichten Film auf der Fläche bildet.
- Vorteilhafterweise wird die Temperaturbehandlung so durchgeführt, dass das Passivierungsmaterial zunächst erweicht und bei Fortsetzen der Temperaturbehandlung wieder aushärtet. Das Passivierungsmaterial verfestigt sich also im Laufe der Temperaturbehandlung. Das Fortsetzen der Temperaturbehandlung nach dem Erweichen des Passivierungsmaterial kann darin bestehen, dass eine bereits vorhandene Temperatur für eine weitere Zeitdauer gehalten wird. Das Fortsetzen der Temperatur behandlung kann aber auch darin bestehen, dass nach dem Erweichen des Passivierungsmaterials die Temperatur erhöht wird.
- In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des Verfahrens erfolgt nach der Bildung eines Films von Passivierungsmaterial auf der Oberfläche gleichzeitig eine Fixierung der Passivierung und gegebenenfalls eine Fixierung des Kontaktierungsmaterials. Vorteilhafterweise entsteht zwischendurch auch gleichzeitig noch ein elektrischer Kontakt zwischen dem Kontaktierungsmaterial und dem zu passivierenden Grundkörper.
- Das Verfahren hat den Vorteil, dass die Viskosität der Matrix im geschmolzenen bzw. fließfähigen Zustand durch das Vorhandensein des Füllstoffs kontrolliert werden kann.
- In einer besonderen Ausführungsform des Verfahrens wird ein Passivierungsmaterial aufgebracht, das eine glasartige Matrix enthält, in die ein Füllstoff eingebettet ist.
- Vorteilhafterweise wird dann während der Temperaturbehandlung aus dem Passivierungsmaterial eine glasartige Schmelze erzeugt.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens kann erreicht werden, dass während der Temperaturbehandlung aus einer glasartigen Schmelze des Passivierungsmaterials eine Benetzung der zu passivierenden Fläche stattfindet.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird als Kontaktierungsmaterial ein elektrisch leitfähiges Material verwendet, das beim Auftragen pastös ist und das während der Temperaturbehandlung fixiert wird.
- Ein solches Verfahren hat den Vorteil, dass die Fixierung bzw. die Verfestigung des Passivierungsmaterials und die Fixierung bzw. Verfestigung des Kontaktierungsmaterials in einem Schritt erfolgen kann. Daraus ergibt sich beispielsweise bei der Herstellung von elektrokeramischen Bauelementen eine gleichzeitige Fixierung von Passivierungsschicht und Terminierung.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird das Passivierungsmaterial so auf die Fläche aufgebracht, dass eine mit temporären Perkolationspfaden durchsetzte Schicht entsteht. Dieses Verfahren hat den Vorteil, dass während der Temperaturbehandlung, also während der Fließphase des Passivierungsmaterials, ein Gasaustausch zwischen der Oberseite und der Unterseite des Passivierungsmaterials hindurch möglich ist. D. h., dass Luft oder auch andere Gase durch das Passivierungsmaterial entlang der Perkolationspfade gelangen können. Dies hat insbesondere Vorteile für die Grenzfläche zwischen der zu passivierenden Fläche und dem passivierenden Material, da dort nach Auftrag des Passivierungsmaterials oft Luft oder Gase eingeschlossen wird, die dann während der Temperaturbehandlung über die Perkolationspfade nach außen entweichen können.
- In einer vorteilhaften Ausführungsform des Verfahrens werden die Perkolationspfade gebildet durch die Partikel des Füllstoffs.
- Mit Erreichen des dichten Films werden dann die Perkolationspfade geschlossen.
- In einer anderen Ausführungsform wird während der Temperaturbehandlung aus dem Passivierungsmaterial eine glasartige Schmelze gebildet, die sich vor Erreichen der Verfestigungstemperatur des Matrixmaterials verfestigt.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird zu passivierende Fläche gebildet durch die Oberfläche eines Bauelementekörpers. Ein solches Verfahren hat den Vorteil, dass Bauelementekörper, beispielsweise Grundkörper von keramischen Bauelementen, mit dem hier beschriebenen Verfahren mit einer Passivierungsschicht versehen werden können.
- Es ist darüber hinaus besonders vorteilhaft, wenn die Temperaturbehandlung für eine Vielzahl von Bauelementekörpern gleichzeitig im Schüttgut erfolgt.
- Darüber hinaus ist es auch besonders vorteilhaft, wenn das Beschichten der Oberflächen mit dem Passivierungsmaterial für eine Vielzahl von Bauelementekörpern gleichzeitig im Schüttgut erfolgt.
- Eine solche Vorgehensweise hat den Vorteil, dass die Bauelementekörper nicht einer gewissen Ordnung unterzogen werden müssen, sondern dass sie einfach ungeordnet als Schüttgut verarbeitet werden können, wodurch die Kosten für die Herstellung der Passivierung auf den Bauelementekörpern drastisch reduziert werden können.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens sind die Körper Grundkörper von keramischen Vielschichtbauelementen, wobei das Kontaktierungsmaterial als Terminierung auf die keramischen Vielschichtbauelemente aufgebracht wird.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird das Passivierungsmaterial mittels eines naßchemischen Beschichtungsverfahrens auf die zu passivierende Fläche aufgebracht.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird das Passivierungsmaterial durch ein trockenes Beschichtungsverfahren auf die zu passivierende Fläche aufgebracht. Ein solches Verfahren könnte beispielsweise darin bestehen, dass die zu passivierende Fläche mit einem Klebstoff beschichtet und anschließend in eine Pulverschüttung enthaltend Passivierungsmaterial eingetaucht wird. Dabei kann der Klebstoff vorteilhafterweise so gewählt sein, dass er erst oberhalb der Raumtemperatur, beispielsweise in der erhitzten Pulverschüttung des Passivierungsmaterials, seine Klebefähigkeit entfaltet und dabei mit dem Passivierungsmaterial beschichtet wird.
- Ein solches Verfahren hat den Vorteil, dass relativ billige, standardmäßig zur Verfügung stehende Verfahren zum Auftrag des Passivierungsmaterials verwendet werden können.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird das Passivierungsmaterial in Form einer wässerigen Suspension auf die zu passivierende Fläche aufgebracht. Dazu wird die Matrix in Form von Pulver mit dem Füllstoff ebenfalls in Form von Pulver vermischt und nebeneinander in eine wässrige Suspension eingebracht. Daneben ist es auch möglich, zuerst den Komposit aus Matrix und Füllstoff zu bilden, d.h., den Füllstoff in die Matrix einzubetten und dann den Komposit zu pulverisieren und anschließend in eine Suspension einzubringen. Dabei muss die Suspension nicht notwendigerweise wässrig sein. Sie kann auch nicht wässrig sein, beispielsweise organisch.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird das Passivierungsmaterial als Schicht mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 μm auf die zu passivierende Fläche aufgebracht.
- In einer anderen Ausführungsform des Verfahrens wird das Passivierungsmaterial in Form einer Suspension aufgebracht, wobei die Suspension nicht notwendigerweise wässerig sein muß. Passivierungsmaterial kann als pulverisiertes Matrixmaterial vermischt mit pulverisiertem Füllstoffmaterial in einem beliebigen geeigneten Lösungsmittel, beispielsweise Aceton oder Methylethylketon, zu einer Suspension verarbeitet werden.
- Es wird darüber hinaus ein elektrisches Bauelement angegeben, das einen Grundkörper aufweist. Der Grundkörper enthält ein Keramikmaterial.
- Der Grundkörper weist wenigstens zwei Außenelektroden auf. Darüber hinaus ist wenigstens ein Teil der Oberfläche des Grundkörpers mit einer Schicht aus einem hier beschriebenen Passivierungsmaterial bedeckt.
- Das hier angegebene Bauelement hat den Vorteil, dass es gegenüber äußeren Einflüssen passiviert werden kann. Dabei stehen für das Bauelement sowohl die hier angegebenen Materialien für das Passivierungsmaterial als auch das hier angegebene Verfahren zur Herstellung der Passivierungsschicht zur Verfügung.
- Insbesondere der Auftrag des Passivierungsmaterials kann mit standardmäßig verfügbaren Methoden vonstatten gehen. Es kommt beispielsweise in Betracht, das Passivierungsmaterial als Suspension mittels naßchemischer Verfahren wie z. B. Impräg nieren, Bedrucken, Elektrophorese, Tauchen, Tränken, Zentrifugieren oder weitere übliche Methoden zu beschichten.
- Bei der Auswahl des Passivierungsmaterials wird vorteilhafterweise darauf geachtet, dass einer oder mehrere der folgenden Zwecke durch die Passivierungsschicht erfüllt wird:
- a) Verhinderung der Abscheidung von Nickel und/oder Zinn auf dem Grundkörper während einer gegebenenfalls durchzuführenden galvanischen Verstärkung der Terminierung.
- b) Verhinderung des Eindringens von Galvanikbadflüssigkeit, die während eines gegebenenfalls durchzuführenden galvanischen Schritts auf dem Grundkörper des Bauelements anliegt.
- c) Die Passivierungsschicht kann eine Funktion als Haftvermittler zwischen einem keramischen Grundkörper und einer Terminierung, also einem Außenkontakt des Bauelements, übernehmen.
- d) Es ist vorteilhaft, die Passivierung so auszuführen, dass eine Schutzwirkung entsteht gegenüber degradierenden Umwelteinflüssen, z. B. reduzierenden Bedingungen, Reflow-Löten beim Aufbringen des Bauelements auf einer Leiterplatte, Eindringen von Feuchtigkeit.
- e) Verbesserung der Nicht-Linearität der Varistor-Kennlinie, für den Fall, dass es sich bei dem Bauelement um einen Varistor handelt.
- f) Die Oberflächenleckströme können reduziert werden durch eine geeignete Passivierungsschicht.
- g) Es kann die mechanische Stabilität und die Abriebfestigkeit des Grundkörpers verbessert werden.
- h) Es kann die Langzeitstabilität und die Lebensdauer eines keramischen Bauelements verbessert werden.
- In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform des Verfahrens wird das Kontaktierungsmaterial an einem vorher fest vorgegebenen Ort auf dem Passivierungsmaterial aufgebracht, wobei das Kontaktierungsmaterial während der Temperaturbehandlung seine Position im wesentlichen nicht mehr ändert.
- Bei der Verarbeitung mehrerer keramischer Grundkörper im Schüttgut kann mittels des hier angegebenen Verfahrens ggf. eine Verklebung der Bauelementekörper untereinander vermieden werden, da das Passivierungsmaterial schon zu einem sehr frühen Zeitpunkt eine ausreichend hohe Viskosität hat, so dass ein Verkleben praktisch nicht mehr stattfindet.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements ist die gesamte Oberfläche des Grundkörpers mit einer Schicht aus einem Passivierungsmaterial bedeckt.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements sind im Inneren des Grundkörpers Innenelektroden vorgesehen.
- Innenelektroden haben den Vorteil, dass der Widerstand des Grundkörpers reduziert werden kann und dass gegebenenfalls eine Kapazität realisiert werden kann.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements umfaßt der Grundkörper einen keramischen Körper. Ein solcher keramischer Körper kann beispielsweise entstehen durch Übereinandersta peln einer Vielzahl keramischer Grünfolien, zwischen denen gegebenenfalls Innenelektroden angeordnet sind. Anschließend wird der Stapel von keramischen Folien gepreßt und gesintert. Dadurch entsteht ein einheitlicher keramischer Körper, wobei die keramischen Schichten nicht mehr voneinander unterscheidbar sind.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements enthält der Grundkörper einer Varistorkeramik. Ein solches Bauelement hat den Vorteil, dass es als Varistor verwendet werden kann. Es kommt beispielsweise in Betracht, als Varistorkeramik ZnO-Bi-Oxid, wobei Bi-Oxid für ein Wismut-Oxid steht, ZnO-Pr-Oxid, wobei Pr-Oxid für ein Praseodym-Oxid steht, oder auch SrTiO3-Keramiken zu verwenden.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements weist der Grundkörper eine Heißleiterkeramik auf. Ein solches Bauelement hat den Vorteil, dass es als Heißleiterbauelement verwendet werden kann. Als Heißleiterkeramik kommt beispielsweise die Verwendung von MnNiO-Spinell oder auch von Perowskiten in Betracht.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements enthält der Grundkörper eine oder mehrere Kondensatorkeramiken. Ein solches Bauelement hat den Vorteil, dass es als Kondensator verwendet werden kann. Als Kondensatorkeramik kommt beispielsweise in Betracht COG, X7R, Z5U oder Y5V usw.
- Dabei handelt es sich um ein- oder mehrphasige Oxidsysteme mit spezifischer Charakteristik.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements enthält der Grundkörper eine Ferritekeramik. Ein solches Bauelement hat den Vorteil, dass es als Induktivität verwendet werden kann. Als Material kommt beispielsweise in Betracht: (Mn, Zn) Fe2O4, (Ni, Zn) Fe2O4 oder (Mg, Zn) Fe2O4.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements weist der Grundkörper eine Kaltleiterkeramik auf. Ein solches Bauelement hat den Vorteil, dass es als Kaltleiter verwendet werden kann. Ferner kann es als Überlastschutz, Motorstarter oder Degaussing-Bauelement verwendet werden.
- Als Material kommt beispielsweise die Anwendung von BaTiO3-Keramiken, wie (Ba, Pb) TiO3 oder (Ba, Sr) TiO3 in Betracht.
- In einer anderen Ausführungsform des Bauelements weist der Grundkörper eine Piezokeramik, beispielsweise Pb (Zr, Ti) O3 – Pb (Mn, Sb) O3 auf.
- Ein solches Bauelement hat den Vorteil, dass es beispielsweise als Piezoaktor verwendet werden kann.
- Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert.
-
1 zeigt ein Passivierungsmaterial in einer schematischen Darstellung. -
2 zeigt ein elektrisches Bauelement in einem schematischen Längsschnitt. -
1 zeigt ein Passivierungsmaterial mit einer Matrix1 , in die Füllstoffpartikel2 eingebettet sind. - Dabei sind vorzugsweise die Füllstoffpartikel
2 allseitig von der Matrix1 umschlossen. Der Füllstoff kann in Form von Partikeln2 vorliegen. -
2 zeigt ein keramisches Bauelement mit einem Grundkörper3 , der eine Vielzahl von übereinanderliegenden keramischen Schichten41 ,42 enthält. Zwischen keramischen Schichten41 ,42 sind Innenelektroden51 ,52 angeordnet. Dabei gibt es eine erste Sorte von Innenelektroden51 , die nur mit der linken Außenelektrode71 elektrisch leitend verbunden sind. Eine andere Sorte von Innenelektroden52 ist nur mit der rechten Außenelektrode72 verbunden. Dadurch entstehend kammartig ineinandergreifende Innenelektroden, die beispielsweise der Realisierung sehr kleiner ohmscher Widerstände zwischen den Außenelektroden oder auch der Realisierung großer Kapazitäten dienlich sind. Darüber hinaus ist der Grundkörper3 des Bauelements allseitig von einer Passivierungsschicht6 umgeben, die eines der hier beschriebenen Materialien enthält und die durch eines der hier beschriebenen Verfahren hergestellt ist. - Die Außenelektroden können hergestellt sein durch einfaches Auftragen eines elektrisch leitenden Materials auf das Passivierungsmaterial. Sie können aber auch hergestellt werden durch Auftragen eines Precursors auf das Passivierungsmaterial und durch anschließendes Aufgalvanisieren von Metall.
- Die Außenelektroden können hergestellt werden durch Auftragen eines Kontaktierungsmaterials. Entscheidend ist, dass das Kontaktierungsmaterial am Ende des Herstellungsprozesses ausreichende elektrisch leitfähige Eigenschaften aufweist, um eine elektrische Kontaktierung des Bauelementes von außen zu ermöglichen. Beispielsweise kann als Kontaktierungsmaterial ein Material verwendet werden, das von Haus aus elektrisch leitfähige Eigenschaften aufweist. Beispielsweise kann ein Metall als Kontaktierungsmaterial verwendet werden.
- In einer anderen Ausführungsform können die Außenelektroden hergestellt werden, indem eine Paste, enthaltend Metallpartikel und Glas, also eine Mischung aus Glas und Metallpartikeln, oder auch eine Mischung aus organischen Bestandteilen und Metallpartikeln aufgebracht wird. Solche Materialien können nach Ende des Herstellungsprozesses ihre Leitfähigkeit erhöhen, indem die Metallpartikel bauelementeseitig gesammelt werden und das übrige Material der Außenelektrode sich am Rand der Elektrode befindet und dort chemisch oder mechanisch entfernt werden kann.
- Darüber hinaus kann auch durch Aufdampfen von Silber/Platin-Elektroden als Vorläufermaterial für einen Galvanikprozeß bzw. durch Verwendung anderer geeigneter Materialien und anschließendes Aufgalvanisieren von Nickel/Zinn eine Außenelektrode hergestellt werden.
- Das hier beschriebene Passivierungsmaterial hat den Vorteil, dass es leicht und bequem auf bestehende, fest vorgegebene Prozeßbedingungen für die Herstellung von keramischen Vielschichtbauelementen angepaßt werden kann, ohne dass eine nachteilige Beeinflussung der passivierenden Wirkung zu befürchten wäre. Die Anpassung kann dabei geschehen durch Anpassung des Füllstoffmaterials, durch Anpassung der Füllstoffverteilung in der Matrix, durch Anpassung der Füllstoff-Partikelgröße und durch Anpassung des Füllstoffgehalts an dem Passivierungsmaterial.
- Darüber hinaus hat das hier beschriebene Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht den Vorteil, dass ein erheblich breiteres Prozeßfenster zur Produktion passivierter keramischer Bauelemente zur Verfügung steht.
- Darüber hinaus kann eine Blasenbildung innerhalb der Passivierungsschicht vermieden werden.
- Die in dieser Erfindung beschriebenen Passivierungsmaterialien können verwendet werden, um beispielsweise Varistoren zu passivieren. Dafür geeignete Passivierungsmaterialien können unterschiedliche Zusammensetzungen haben. In den folgenden Beispielen werden einige Passivierungsmaterialien und Passivierungsverfahren beschrieben:
- Beispiel 1:
- 250 Gramm eines Glases bestehend aus 61,7 mol-% H3BO3, 2,3 mol-% Al2O3, 29,8 mol-% SiO2, 3,4 mol-% K2O, 2,8 mol-% BaCO3 werden gemeinsam mit 20 Gramm ZrO2-Pulver in 100–450 ml deionisiertem Wasser suspendiert. Dann werden Varistoren in die Suspension des Passivierungsmaterials getaucht. Nach der Beschichtung werden die Varistoren bei 100–120 °C getrocknet und an den Stirnflächen mit einer Metallisierungspaste versehen. Anschließend werden die Varistoren für 10–45 min auf 750–850 °C erhitzt. Durch die Temperaturbehandlung wird die passivierende Beschichtung gemeinsam mit der Terminierung auf den Varistoren fixiert und man erhält passivierte Varistoren.
- Beispiel 2:
- 150 Gramm eines Glases bestehend aus 17,2 mol-% H3BO3, 5,6 mol-% Na2CO3, 3,0 mol-% Al2O3, 65,9 mol-% SiO2, 4,5 mol-% K2O, 3,8 mol-% BaCO3 werden zusammen mit 18 Gramm Zirkonsilicat-Pulver in 50–250 ml einer 2 %-igen Lösung aus Nitrocellulose in Aceton/Butyldiglykolacetat suspendiert. Nach Imprägnieren der Varistoren mit der Suspension des Passivierungsmaterials werden die Bauelemente bei 75–150 °C getrocknet und an den Stirnflächen mit einer Metallisierungspaste versehen. Anschließend werden die Varistoren allmählich auf 750–850 °C erhitzt. Durch die Temperaturbehandlung wird die passivierende Beschichtung gemeinsam mit der Terminierung auf den varistoren fixiert und man erhält passivierte Varistoren.
- Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten und beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Sie umfaßt ferner auch alle fachmännischen Abwandlungen sowie Teil- und Unterkombinationen der beschriebenen und/oder dargestellten Merkmale und Maßnahmen.
-
- 1
- Matrix
- 2
- Füllstoffpartikel
- 3
- Grundkörper
- 41, 42
- keramische Schichten
- 51, 52
- Innenelektroden
- 6
- Passivierungsschicht
- 71, 72
- Außenelektroden
Claims (39)
- Passivierungsmaterial für ein keramisches Bauelement, enthaltend eine Matrix (
1 ), in die ein Füllstoff eingebettet ist. - Material nach Anspruch 1, bei dem das Passivierungsmaterial ein Material ist, das bei Zimmertemperatur in einer festen Form vorliegt, das durch Erhitzen aufgeweicht werden kann, so dass es fließfähig wird und das schließlich bei weiterem Aufheizen in einen Feststoff umgewandelt werden kann.
- Material nach Anspruch 1, bei dem die Matrix (
1 ) ein glasartiges Material enthält. - Material nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Matrix (
1 ) ein vitrifizierendes oder ein devitrifizierendes Material enthält. - Material nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Matrix (
1 ) bleihaltig oder frei von Blei ist. - Material nach Anspruch 1, bei dem die Matrix (
1 ) ein Aluminosilikat-Glas, ein Borat-Glas, ein Borosilikat-Glas, ein Silikat-Glas oder ein Zink-Borat-Glas enthält. - Material nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die Matrix (
1 ) eine Mischung aus verschiedenen Materialien enthält. - Material nach Anspruch 7, bei dem die Mischung homogen ist.
- Material nach einem der Ansprüche 3 bis 8, bei dem die Transformationstemperatur des glasartigen Materials zwischen 350 und 700 °C liegt.
- Material nach einem der Ansprüche 3 bis 9, bei dem die Erweichungstemperatur des glasartigen Materials zwischen 500 °C und 950 °C liegt.
- Material nach einem der Ansprüche 2 bis 10, bei dem sich der Füllstoff bei einer Temperatur, bei der sich die Matrix in einem fließfähigen Zustand befindet, in einem festen Zustand befindet.
- Material nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem der Füllstoff keramische Eigenschaften aufweist.
- Material nach einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem der Füllstoff glasartige Eigenschaften aufweist.
- Material nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem der Füllstoff Chromit, Kieselsäure, Korund, Mullit, Aluminiumsilikat, Aluminiumoxid, Siliziumdioxid, Titandioxid, Vanadiumdioxid, Zinkoxid, Zirkondioxid, Zirkonsilikat, Zeolithe, mikro-, meso- und makroporöse oxidische oder auch nicht-oxidische Materialien oder auch hochschmelzendes Glas enthält.
- Material nach einem der Ansprüche 1 bis 14, bei dem der Füllstoff in Form von Partikeln (
2 ) mit einer Größe zwischen 0,1 und 20 μm vorliegt. - Material nach einem der Ansprüche 1 bis 15, bei dem die Matrix (
1 ) und der Füllstoff homogen miteinander vermischt sind. - Material nach einem der Ansprüche 1 bis 16, bei dem der Füllstoff an dem Passivierungsmaterial einen Anteil von 0,1 bis 85 Gewichtsprozent hat.
- Verfahren zur Herstellung einer Passivierungsschicht (
6 ) mit folgenden Schritten: a) Aufbringen eines Passivierungsmaterials auf einer zu passivierenden Fläche, b) Aufbringen eines Kontaktierungsmaterials auf das Passivierungsmaterial, c) Durchführen einer Temperaturbehandlung, wobei das Passivierungsmaterial einen dichten Film auf der Fläche bildet. - Verfahren nach Anspruch 18, wobei während der Temperaturbehandlung das Passivierungsmaterial erweicht und die Oberfläche benetzt.
- Verfahren nach Anspruch 18, wobei ein Passivierungsmaterial aufgebracht wird, das eine glasartige Matrix (
1 ) enthält, in die ein Füllstoff eingebettet ist, und wobei die Temperaturbehandlung das Passivierungsmaterial zunächst erweicht und anschließend verfestigt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 20, wobei das Kontaktierungsmaterial pastös ist und während der Temperaturbehandlung fixiert wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 21, wobei das Passivierungsmaterial so auf die Oberfläche aufgebracht wird, dass eine Schicht mit temporären Perkolationspfaden entsteht.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 22, wobei während der Temperaturbehandlung aus dem Passivierungsmaterial eine Schmelze gebildet wird, die sich vor Erreichen der Verfestigungstemperatur der enthaltenen Matrix verfestigt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 23, wobei die zu beschichtende Fläche gebildet wird durch die Oberfläche eines Bauelementekörpers, und wobei eine Vielzahl von Bauelementekörpern gleichzeitig im Schüttgut die Temperaturbehandlung erfahren.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 24, wobei die Körper die Grundkörper (
3 ) von keramischen Vielschichtbauelementen sind und wobei das Kontaktierungsmaterial als Terminierung aufgebracht wird. - Verfahren nach Anspruch 18, wobei das Passivierungsmaterial mittels eines naßchemischen Beschichtungsverfahrens aufgebracht wird.
- Verfahren nach Anspruch 18, wobei das Passivierungsmaterial als Schicht (
6 ) mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 μm aufgebracht wird. - Verfahren nach Anspruch 26 oder 27, wobei das Passivierungsmaterial in Form einer Suspension aufgebracht wird.
- Elektrisches Bauelement – mit einem Grundkörper (
3 ) enthaltend ein Keramikmaterial, – bei dem der Grundkörper (3 ) wenigstens zwei Außenelektroden (71 ,72 ) aufweist, – und bei dem wenigstens ein Teil der Oberfläche mit einer Schicht (6 ) aus einem Passivierungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 17 bedeckt ist. - Bauelement nach Anspruch 29, bei dem die gesamte Oberfläche des Grundkörpers (
3 ) von der Schicht bedeckt ist. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 oder 30, bei dem im Inneren des Grundkörpers (
3 ) Innenelektroden (51 ,52 ) vorgesehen sind. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 31, bei dem der Grundkörper (
3 ) einen monolithischen keramischen Körper umfaßt. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 32, bei dem der Grundkörper (
3 ) eine Varistorkeramik enthält. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 32, bei dem der Grundkörper (
3 ) eine Heißleiterkeramik enthält. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 32, bei dem der Grundkörper (
3 ) eine Kondensatorkeramik enthält. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 32, bei dem der Grundkörper (
3 ) eine Ferritkeramik enthält. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 32, bei dem der Grundkörper (
3 ) eine Kaltleiterkeramik enthält. - Bauelement nach einem der Ansprüche 29 bis 32, bei dem der Grundkörper (
3 ) eine Piezokeramik enthält. - Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 23, wobei die zu beschichtende Fläche gebildet wird durch die Oberfläche eines Bauelementekörpers, und wobei eine Vielzahl von Bauelementekörpern gleichzeitig im Schüttgut mit Passivierungsmaterial beschichtet werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004005664.1A DE102004005664B4 (de) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004005664.1A DE102004005664B4 (de) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004005664A1 true DE102004005664A1 (de) | 2005-09-01 |
DE102004005664B4 DE102004005664B4 (de) | 2018-12-06 |
Family
ID=34813132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004005664.1A Expired - Lifetime DE102004005664B4 (de) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102004005664B4 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007045497A1 (de) * | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Epcos Ag | Elektrisches bauelement |
EP1845073A1 (de) * | 2006-04-10 | 2007-10-17 | Consorzio Interuniversitario per lo Sviluppo dei Sistemi a Grande Interfase, C.S.G.I | Zusammensetzungen enthaltendes nanopartikulares Zirkoniumhydroxid und/oder Glaspartikel zur Beschichtung von Keramik |
DE102007007113A1 (de) | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Epcos Ag | Vielschicht-Bauelement |
WO2009027360A2 (de) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul und piezoaktor mit einer medienbeständigen schutzschicht und ein verfahren zur herstellung der schutzschicht auf dem piezoaktor |
EP2818686A1 (de) * | 2013-06-26 | 2014-12-31 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors |
CN109279919A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-01-29 | 肇庆乐华陶瓷洁具有限公司 | 一种水磨精石砖及其制备方法 |
US11037710B2 (en) | 2018-07-18 | 2021-06-15 | Avx Corporation | Varistor passivation layer and method of making the same |
CN114023567A (zh) * | 2019-08-16 | 2022-02-08 | 三星电机株式会社 | 多层电容器及其上安装有多层电容器的板 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022540338A (ja) | 2019-09-20 | 2022-09-15 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフト | センサーデバイス及びセンサーデバイスの製造方法 |
JP7314884B2 (ja) * | 2020-08-31 | 2023-07-26 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
KR20230031615A (ko) * | 2021-08-27 | 2023-03-07 | 삼성전기주식회사 | 커패시터 부품 및 커패시터 부품의 제조 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4474718A (en) * | 1981-07-27 | 1984-10-02 | Electric Power Research Institute | Method of fabricating non-linear voltage limiting device |
JPH11251723A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-17 | Kyocera Corp | 回路基板 |
DE10026257A1 (de) * | 2000-05-26 | 2001-12-06 | Epcos Ag | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
US20020109575A1 (en) * | 2000-12-11 | 2002-08-15 | Jeong Jun Hwan | Ceramic chip-type device having glass coating film and fabricating method thereof |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE68912365T2 (de) | 1988-03-07 | 1994-07-28 | Philips Nv | Mehrschichtkondensator. |
JP4300786B2 (ja) | 2001-12-21 | 2009-07-22 | 昭栄化学工業株式会社 | ガラスおよびこれを用いた導体ペースト |
DE102004003523B4 (de) | 2004-01-23 | 2006-03-16 | Epcos Ag | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
-
2004
- 2004-02-05 DE DE102004005664.1A patent/DE102004005664B4/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4474718A (en) * | 1981-07-27 | 1984-10-02 | Electric Power Research Institute | Method of fabricating non-linear voltage limiting device |
JPH11251723A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-17 | Kyocera Corp | 回路基板 |
DE10026257A1 (de) * | 2000-05-26 | 2001-12-06 | Epcos Ag | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
US20020109575A1 (en) * | 2000-12-11 | 2002-08-15 | Jeong Jun Hwan | Ceramic chip-type device having glass coating film and fabricating method thereof |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2107574A3 (de) * | 2005-10-20 | 2009-12-23 | Epcos Ag | Elektrisches Bauelement |
US8730648B2 (en) | 2005-10-20 | 2014-05-20 | Epcos Ag | Electrical component |
WO2007045497A1 (de) * | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Epcos Ag | Elektrisches bauelement |
US20100014213A1 (en) * | 2005-10-20 | 2010-01-21 | Uwe Wozniak | Electrical component |
EP1845073A1 (de) * | 2006-04-10 | 2007-10-17 | Consorzio Interuniversitario per lo Sviluppo dei Sistemi a Grande Interfase, C.S.G.I | Zusammensetzungen enthaltendes nanopartikulares Zirkoniumhydroxid und/oder Glaspartikel zur Beschichtung von Keramik |
WO2007116010A2 (en) * | 2006-04-10 | 2007-10-18 | Consorzio Interuniversitario Per Lo Sviluppo Dei Sistemi A Grande Interfase C.S.G.I. | Compositions comprising nanoparti cles of zirconium hydroxide and/or glass frits for coating ceramic products |
WO2007116010A3 (en) * | 2006-04-10 | 2007-11-29 | Consorzio Interuniversitario P | Compositions comprising nanoparti cles of zirconium hydroxide and/or glass frits for coating ceramic products |
US8044760B2 (en) | 2007-02-13 | 2011-10-25 | Epcos Ag | Four-layer element and method for producing a four-layer element |
DE102007007113A1 (de) | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Epcos Ag | Vielschicht-Bauelement |
WO2009027360A3 (de) * | 2007-08-28 | 2009-05-07 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktormodul und piezoaktor mit einer medienbeständigen schutzschicht und ein verfahren zur herstellung der schutzschicht auf dem piezoaktor |
WO2009027360A2 (de) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul und piezoaktor mit einer medienbeständigen schutzschicht und ein verfahren zur herstellung der schutzschicht auf dem piezoaktor |
EP2818686A1 (de) * | 2013-06-26 | 2014-12-31 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors |
US11037710B2 (en) | 2018-07-18 | 2021-06-15 | Avx Corporation | Varistor passivation layer and method of making the same |
CN109279919A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-01-29 | 肇庆乐华陶瓷洁具有限公司 | 一种水磨精石砖及其制备方法 |
CN114023567A (zh) * | 2019-08-16 | 2022-02-08 | 三星电机株式会社 | 多层电容器及其上安装有多层电容器的板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102004005664B4 (de) | 2018-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3026200C2 (de) | Nichtlinearer Widerstand | |
DE10157443B4 (de) | Glas-Keramikzusammensetzung für ein elektronisches Keramikbauteil, Verwendung der Glas-Keramikzusammensetzung für ein elektronisches Keramikbauteil und Vefahren zur Herstellung eines elektronischen Vielschicht-Keramikbauteils | |
DE102011081939A1 (de) | Mehrschichtiger PTC-Thermistor | |
DE2609356A1 (de) | Widerstandsmaterial sowie aus ihm hergestellter widerstand und verfahren zu seiner herstellung | |
DE10025324B4 (de) | Herstellungsverfahren für eine Zündkerze | |
DE102004005664B4 (de) | Elektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE1771503B2 (de) | Thermisch kristallisierbares glas und glaskeramik auf der basis sio tief 2-pbo-bao-al tief 2 o tief 3tio tief 2 und ihre verwendung | |
DE112014002826T5 (de) | Keramikelektronikkomponente und Verfahren zur Herstellung derselben | |
DE2823904A1 (de) | Dichtungsglas | |
DE112007001859T5 (de) | Glaskeramikzusammensetzung, Glaskeramiksinterkörper und keramisches Mehrschicht-Elektronikbauteil | |
DE1596851A1 (de) | Widerstandsmaterial und aus diesem Widerstandsmaterial hergestellter Widerstand | |
DE68910640T2 (de) | Spannungsabhängiger nichtlinearer Widerstand und Verfahren zu seiner Herstellung. | |
EP1774584B1 (de) | Verfahren zur herstellung eines elektrischen bauelements | |
DE10142314B4 (de) | Widerstand mit nichtlinearer Spannungscharakteristik (Voltage-Nonlinear-Resistor) | |
DE10049023B4 (de) | Nichtlinearer Widerstand und Verfahren zur Herstellung desselben | |
EP1774543B1 (de) | Elektrisches bauelement und verfahren zur herstellung eines elektrischen bauelements | |
DE69106463T2 (de) | Keramischer Kondensator und seine Herstellung. | |
EP3309800B1 (de) | Verfahren zur herstellung eines schichtaufbaus unter verwendung einer paste auf basis einer widerstandslegierung | |
DE10053768B4 (de) | Laminierter PTC-Thermistor und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3037882A1 (de) | Nicht-linearer widerstand | |
DE3900741A1 (de) | Verfahren zum abschliessen eines bleigefuellten kondensators und danach hergestellter kondensator | |
DE69613928T2 (de) | Piezoelektrische Keramik und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2635699A1 (de) | Elektrischer widerstand und verfahren zur herstellung desselben | |
DE10234364B4 (de) | Glas-Keramik-Verbundwerkstoff, dessen Verwendung als keramische Folie, Schichtverbund oder Mikrohybrid und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE10035990B4 (de) | Verfahren zur Herstellung elektronischer Bauelemente aus Keramik |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: H01C 17/02 AFI20051017BHDE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: TDK ELECTRONICS AG, DE Free format text: FORMER OWNER: EPCOS AG, 81669 MUENCHEN, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE |
|
R020 | Patent grant now final | ||
R071 | Expiry of right |