DE102004003357A1 - Dynamische, in FeRAMS integrierte Referenzspannungskalibrierung - Google Patents

Dynamische, in FeRAMS integrierte Referenzspannungskalibrierung Download PDF

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Abstract

Ein FeRAM umfaßt eine Referenzspannungskalibrierungsschaltung, die FeRAM-Zellen bewertet und Referenzspannungen zum Lesen der FeRAM-Zellen auswählt. Eine Kalibrierung der Referenzspannung kann dynamisch während eines Normalbetriebs des FeRAM durchgeführt werden, so daß die Referenzspannung Veränderungen an einem FeRAM-Zell-Verhalten verfolgt, die Temperatur- oder Alterungswirkungen zugeordnet sein können. Eine dynamische Kalibrierung während eines normalen Gebrauchs beseitigt den Bedarf nach einem Referenzspannungskalibrierungsprozeß während einer Herstellung des Speichers. Die Kalibrierungsschaltung kann ferner mit einem Redundanzschaltungsaufbau verbunden sein, der FeRAM-Zellen zersetzt, die die Kalibrierungsschaltung als schwach bestimmt hat.

Description

  • Herkömmliche ferroelektrische Direktzugriffsspeicher (Fe-RAMs) weisen Speicherzellen auf, die ferroelektrische Kondensatoren enthalten. Jeder ferroelektrische Kondensator enthält ein ferroelektrisches Material, das zwischen leitfähigen Platten angeordnet ist, und der Polarisierungszustand des ferroelektrischen Materials zeigt einen gespeicherten Datenwert an. Um ein Datenbit in eine Speicherzelle zu schreiben, legt eine Schreiboperation eine Schreibspannung an die Platten des ferroelektrischen Kondensators an, um das ferroelektrische Material in einer Richtung zu polarisieren, die dem gerade geschriebenen Datenbit zugeordnet ist. Eine dauerhafte Polarisierung verbleibt in dem ferroelektrischen Material, nachdem die Schreibspannungen entfernt werden, was wiederum eine Ladung auf den leitfähigen Platten beibehält.
  • Eine herkömmliche Leseoperation für eine FeRAM-Zelle verbindet eine Platte eines ferroelektrischen Kondensators mit einer Bitleitung und hebt die andere Platte auf eine Lesespannung an. Wenn die dauerhafte Polarisierung in dem ferroelektrischen Kondensator in einer Richtung ist, die der Lesespannung entspricht, bewirkt die Lesespannung einen relativ kleinen Strom durch den ferroelektrischen Kondensator, was zu einer kleinen Spannungsveränderung auf der Bitleitung führt. Wenn die dauerhafte Polarisierung zu Beginn entgegengesetzt zu der Lesespannung ist, dreht die Lesespannung die Richtung der dauerhaften Polarisierung um, was die Platten entlädt und zu einem relativ großen Strom- und Spannungsanstieg auf der Bitleitung führt. Ein Leseverstärker kann den resultierenden Bitleitungsstrom oder die -spannung erfassen, um den gespeicherten Wert zu bestimmen.
  • 1 stellt einen Abschnitt eines herkömmlichen FeRAM 100 dar, der Speicherzellen 110 umfaßt, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, um ein Speicherarray zu bilden. Nur eine Spalte und zwei Zeilen der Speicherzellen 110 sind in 1 zur Vereinfachung der Darstellung gezeigt, wobei ein typisches FeRAM-Array jedoch Hunderte oder Tausende von Spalten von Speicherzellen mit einer ähnlichen Anzahl von Zeilen umfassen kann. Jede Speicherzelle 110 des FeRAM 100 umfaßt einen ferroelektrischen Kondensator 112 und einen Auswahltransistor 114. Jeder Auswahltransistor 114 weist ein Gate, das mit einer Wortleitung 116 verbunden ist, die der Zeile entspricht, die die Speicherzelle enthält, und ein Source/Drain auf, das mit einer Bitleitung 118 verbunden ist, die der Spalte entspricht, die die Speicherzelle enthält.
  • Eine herkömmliche Leseoperation, die auf eine ausgewählte Speicherzelle 110 in dem FeRAM 100 zugreift, spannt eine Platte der ausgewählten Speicherzelle 110 auf eine Plattenspannung Vp (z. B. etwa 3 V) vor und aktiviert eine ausgewählte Wortleitung 116, um einen Auswahltransistor 114 einzuschalten, wodurch der ausgewählte ferroelektrische Kondensator 112 elektrisch mit der Bitleitung 118 verbunden wird. Die Differenz zwischen der Plattenspannung und der anfänglichen Bitleitungsspannung zwingt die dauerhafte Polarisierung in dem ausgewählten ferroelektrischen Kondensator in einen ersten Zustand. Die Bitleitung 118 erfaßt eine Spannung V0 oder V1, die von dem anfänglichen Polarisierungszustand der ausgewählten Speicherzelle 110 abhängt. Insbesondere bewirkt, wenn die ausgewählte Speicherzelle 110 in einem zweiten Zustand war, der eine dauerhafte Polarisierung in einer Richtung aufweist, die entgegengesetzt zu der dauerhaften Polarisierung des ersten Zustands ist, ein Zwingen der Speicherzelle von dem zweiten Zustand in den ersten Zustand einen relativ großen Strom zu der Bitleitung 118 und eine entsprechende Bitleitungsspannung V1. Wenn die ausgewählte Speicherzelle bereits in dem ersten Zustand war, fließt ein relativ kleiner Strom zu der Bitleitung 118 und die Bitleitung erfaßt eine niedrigere Spannung V0.
  • Ein Leseverstärker 130, der mit der Bitleitung 118 verbunden ist, vergleicht die Bitleitungsspannung V0 oder V1 mit einer Referenzspannung VREF. Ein Referenzspannungsgenerator 140 erzeugt die Referenzspannung VREF, die vorzugsweise etwa auf halber Strecke zwischen den Spannungen V0 und V1 ist. In dem Leseverstärker 130 treiben kreuzgekoppelte Transistoren die Bitleitung 118 abhängig davon, ob die Bitleitungsspannung V0 oder V1 größer oder kleiner als die Referenzspannung VREF war, auf einen Logikpegel (hoch oder niedrig). Das gelesene Bit weist einen Wert auf, der durch die Spannung auf der Bitleitung 118 nach einer Operation des Leseverstärkers 130 angezeigt wird.
  • Die Erzeugung der Referenzspannung VREF zum Vergleich mit der entwickelten Bitleitungsspannung V0 oder V1 ist wesentlich für eine Datenintegrität. Die variablen Eigenschaften der ferroelektrischen Kondensatoren 118 jedoch, die prozeß- und zeitabhängig sind, können eine Auswahl eines Spannungspegels für die Referenzspannung VREF schwierig machen. Insbesondere unterscheiden sich im allgemeinen die ferroelektrischen Kondensatoren 112 etwas voneinander aufgrund von Herstellungsvariationen und Orten über das Speicherarray. Als ein Ergebnis erzeugen unterschiedliche Speicherzellen 110 unterschiedliche Spannungen, wenn auf dieselben zugegriffen wird.
  • 2 stellt eine Verteilung einer Bitleitungsspannung dar, die aus einem Lesen der ferroelektrischen Kondensatoren in einem FeRAM resultiert. Wie dies dargestellt ist, ist ein Histogramm 200 von Bitleitungsspannungen, die erzeugt werden, wenn FeRAM-Zellen in einem ersten Zustand gelesen werden, glockenförmig und bei einer Spannung V0AVE mittig. Ein Histogramm 210 von Bitleitungsspannungen, die erzeugt werden, wenn Speicherzellen in einem zweiten Zustand gelesen werden, ist glockenförmig und bei einer Spannung V1AVE mittig. Idealerweise erzeugt der Referenzspannungsgenerator eine Referenzspannung VREF, die schwache Zellen (z. B. Zellen, für die die Spannung V1 relativ niedrig ist oder die Spannung V0 relativ hoch ist) unterbringt, so daß die schwachen Zellen dennoch funktionieren, was so den höchsten Ertrag funktionsfähiger FeRAM-Schaltungen ergibt.
  • Faktoren, wie z. B. Alterung, Temperatur und Einprägung der FeRAM-Zellen, können ferner die Spannungsverteilungen, die in 2 dargestellt sind, verschieben oder verändern. Die Zellen, auf die häufiger zugegriffen wird, verschlechtern sich oder „ermüden" schneller als die Zellen, auf die weniger häufig zugegriffen wird. Die ferroelektrischen Kondensatoren sind ebenso einer „Relaxation" und einem „Einprägen" unterworfen. Eine Relaxation bezieht sich auf einen Teilverlust einer Restladung in einem Mikrosekundenbereich, wenn nach einer Sequenz eines durchgehenden Lese/Schreib-Durchlaufens nicht auf den ferroelektrischen Kondensator zugegriffen wurde. Einprägen, das als ein Spannungsversatz in beiden Spannungen V1 und V0 erscheint, bezieht sich auf die Tendenz eines ferroelektrischen Kondensators, einen Zustand gegenüber dem anderen zu bevorzugen, wenn die FeRAM-Zelle für einen langen Zeitraum in diesem Zustand verbleibt. Ein Auswählen einer Referenzspannung VREF, die die erforderliche Datenintegrität über eine lange Nutzlebensdauer des Speichers liefern kann, kann schwierig sein.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Speicher mit verbesserten Charakteristika oder ein verbessertes Verfahren zum Betreiben eines Speichers zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch einen Speicher gemäß Anspruch 1 oder ein Verfahren gemäß Anspruch 6 gelöst.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung kalibriert ein Referenzspannungsgenerator für einen FeRAM periodisch (z. B. beim Einschalten und/alle paar Minuten während eines Betriebs) die Referenzspannung, um eine Speicherzellvariation aufgrund von Faktoren, wie z. B. Temperatur und Alterung, zu verfolgen. Als ein Ergebnis liefert die kalibrierte Referenzspannung eine hohe Datenintegrität über eine ausgedehnte Lebensdauer des FeRAM. Ferner erfordert der selbstkalibrierende Referenzspannungsgenerator keine anfängliche Kalibrierung während einer Herstellung des FeRAM. So werden keine Herstellungs- oder Verpackungsprozesse, wie z. B. Metallmaskierung oder Sicherungsschneiden, zur Einstellung der optimalen Referenzspannung für jeden Chip benötigt.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung kann ein Kalibrierungsschaltungsaufbau für die Referenzspannung mit einem Redundanzschaltungsaufbau kombiniert werden. Der Kalibrierungsschaltungsaufbau kann so eine Ladungsverteilung für eine Referenzspannungsauswahl messen und während dieses Prozesses Speicherzellen identifizieren, die keine angemessenen Bitleitungsspannungen bereitstellen. Die identifizierten Speicherzellen können dann durch redundante Speicherzellen auf dem Chip ersetzt werden. Eine dynamische Identifizierung der Speicherzellen, die defekt werden, kann die Nutzlebensdauer des FeRAM dramatisch erhöhen.
  • Ein spezifisches Ausführungsbeispiel der Erfindung ist ein Speicher, der ein Array ferroelektrischer Speicherzellen, Leseverstärker, einen Referenzspannungsgenerator und eine Kalibrierungsschaltung umfaßt. Der Referenzspannungsgenerator verwendet einen Eingangswert (z. B. einen gespeicherten digitalen Wert), um den Spannungspegel eines Referenzsignals zu steuern, das der Referenzspannungsgenerator an die Leseverstärker zur Verwendung, wenn Bitleitungen gelesen werden, liefert. Die Kalibrierungsschaltung steuert eine Kalibrierungsoperation, die Bitleitungsspannungen bewertet, die aus einem Satz ferroelektrischer Speicherzellen ausgelesen werden, und stellt basierend auf einem Bewertungsergebnis den Eingangswert ein, der beim Lesen des Satzes ferroelektrischer Speicherzellen verwendet werden soll.
  • Die Kalibrierungsschaltung umfaßt bei einem Ausführungsbeispiel einen ersten Zähler und eine Steuerungslogik. Der erste Zähler hält einen ersten Zählwert, der als der Eingangswert des Referenzspannungsgenerators während einer Bewertung von Bitleitungsspannungen angelegt wird, die ausgelesen werden, wenn die ferroelektrischen Speicherzellen einen ersten Wert (z. B. 0) speichern. Während einer Bewertung bewirkt die Steuerungslogik, daß der erste Zähler den ersten Zählwert inkrementiert, bis ein Datensignal von den Leseverstärkern den ersten Wert darstellt. Zusätzlich kann ein zweiter Zähler in der Kalibrierungsschaltung enthalten sein, um einen zweiten Zählwert zu halten, der als der Eingangswert des Referenzspannungsgenerators während einer Bewertung von Bitleitungsspannungen angelegt wird, die ausgelesen werden, wenn der Satz ferroelektrischer Speicherzellen einen zweiten Wert (z. B. 1) speichert, und die Steuerungslogik bewirkt, daß der zweite Zähler den zweiten Zählwert dekrementiert, bis das Datensignal von den Leseverstärkern den zweiten Wert darstellt.
  • Der erste und der zweite Zählwert können beim Berechnen eines Eingangswerts für den Referenzspannungsgenerator verwendet werden. Zu diesem Zweck kann die Kalibrierungsschaltung ferner einen Komparator umfassen, der mit dem ersten und dem zweiten Zähler gekoppelt ist. Die Steuerungslogik bewirkt alternativ, daß der erste Zähler den ersten Zählwert inkrementiert und der zweite Zähler den zweiten Zählwert dekrementiert, bis der Komparator anzeigt, daß der erste und der zweite Zählwert gleich sind. Der erste und der zweite Zähler halten dann einen Durchschnitt der Zählwerte, die aus einem Bewerten der Bitleitungsspannungen gefunden werden. Der Durchschnitt ist der Eingangswert, der verwendet wird, wenn die ferroelektrischen Speicherzellen gelesen werden.
  • Der Speicher kann ferner einen Redundanzschaltungsaufbau umfassen, der mit der Kalibrierungsschaltung gekoppelt ist.
  • Zusätzlich zu einem Steuern der Kalibrierungsoperation signalisiert die Kalibrierungsschaltung der Redundanzschaltung, wann ein Bewerten der Bitleitungsspannungen identifiziert, daß eine oder mehrere der ferroelektrischen Speicherzellen schwach sind. Ansprechend darauf ersetzt der Redundanzschaltungsaufbau die schwachen ferroelektrischen Speicherzellen.
  • Ein weiteres spezifisches Ausführungsbeispiel der Erfindung ist ein Verfahren zum Betreiben eines Speichers. Das Verfahren umfaßt ein Bewerten von Bitleitungsspannungen, die aus einem Satz ferroelektrischer Speicherzellen ausgelesen werden, und ein Speichern eines Referenzwertes, bei dem die Bewertung der Bitleitungsspannungen anzeigt, daß er einem Spannungspegel für ein Referenzsignal entspricht, das ein genaues Lesen der ferroelektrischen Speicherzellen erlaubt. Ein Steuerungsschaltungsaufbau im Inneren des Speichers kann ein Bewerten der Bitleitungsspannungen und ein Speichern des Referenzwertes steuern, um eine Kalibrierung der Referenzspannung während einer normalen Verwendung des Speichers zu erlauben.
  • Eine Technik zum Bewerten der Bitleitungsspannungen umfaßt folgende Schritte: (a) Schreiben eines Datenwerts in den Satz ferroelektrischer Speicherzellen; (b) Auslesen von Bitleitungsspannungen aus den ferroelektrischen Speicherzellen; (c) Verändern (z. B. Inkrementieren oder Dekrementieren) eines Spannungspegels eines Referenzsignals, das an Leseverstärker angelegt wird; (d) Verwenden der Leseverstärker zur Erfassung der Bitleitungsspannungen und (e) Bestimmen, ob ein aus dem Leseverstärker ausgegebenes Datensignal den Datenwert darstellt. Die Schritte (c), (d) und (e) werden im allgemeinen wiederholt, bis Schritt (e) bestimmt, daß das Datensignal den Datenwert darstellt. Eine Wiederholung des Auslesens der Bitleitungsspannung wird nicht benötigt, wenn die Leseverstärker die Bitleitungsspannungen nicht stören. Andernfalls wird auch der Ausleseschritt (b) wiederholt.
  • Ein weiteres Verfahren zum Bewerten der Bitleitungsspannung umfaßt folgende Schritte: Bestimmen eines ersten Werts, der der höchsten der Bitleitungsspannungen V0 entspricht, die aus einem Lesen der ferroelektrischen Speicherzellen resultiert, die einen ersten Bitwert speichern, und Bestimmen eines zweiten Werts, der der niedrigsten der Bitleitungsspannungen V1 entspricht, die aus einem Lesen der ferroelektrischen Speicherzelle resultiert, die einen zweiten Bitwert speichert. Der Referenzwert für den Referenzspannungsgenerator wird dann ausgewählt, um zwischen dem ersten und dem zweiten Wert zu sein, und kann gleich einem Durchschnitt des ersten und des zweiten Werts sein.
  • Während die Bitleitungsspannungen bewertet werden, kann ein Betrieb des Speichers ferner folgende Schritte umfassen: Identifizieren eines Satzes (z. B. eines Arrays, einer Zeile, einer Spalte oder einer einzelnen FeRAM-Zelle) der ferroelektrischen Speicherzellen, bei dem die Bewertung der Bitleitungsspannungen anzeigt, daß er eine oder mehrere schwache ferroelektrische Speicherzellen umfaßt, und Ersetzen des Satzes ferroelektrischer Speicherzellen durch einen Satz redundanter Speicherzellen.
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert, wobei die Verwendung der gleichen Bezugszeichen in unterschiedlichen Figuren ähnliche oder identische Objekte anzeigt. Es zeigen:
  • 1 einen herkömmlichen FeRAM, der kompakte Speicherzellen verwendet, wobei jede derselben einen einzelnen ferroelektrischen Kondensator enthält;
  • 2 eine typische Verteilung von Bitleitungsspannungen, die erhalten werden, wenn FeRAM-Zellen gelesen werden;
  • 3 ein Flußdiagramm eines Referenzspannungskalibrierungsprozesses gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 4 einen FeRAM, der eine Kalibrierungsschaltung, kompakte Speicherzellen und Leseverstärker verwendet, die eine Messung von Bitleitungsspannungsverteilungen für eine Kalibrierungsoperation erleichtern;
  • 5 ein Flußdiagramm eines Referenzspannungskalibrierungsprozesses gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, der wenige Lese/Schreib-Zyklen benötigt;
  • 6 ein Blockdiagramm einer Referenzspannungskalibrierungsschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 7 ein Zeitgebungsdiagramm für Schnittstellensignale der Kalibrierungsschaltung aus 6;
  • 8A und 8B ein Zustandsdiagramm bzw. ein Schaltungsdiagramm für ein Ausführungsbeispiel eines Hauptsteuerungsblocks der Kalibrierungsschaltung aus 6;
  • 9A und 9B ein Zustandsdiagramm bzw. ein Schaltungsdiagramm für ein Ausführungsbeispiel eines Schaltungsblocks, der eine Bewertung von Bitleitungsspannungen steuert;
  • 10A und 10B ein Zustandsdiagramm bzw. ein Schaltungsdiagramm für ein Ausführungsbeispiel eines Schaltungsblocks, der ein Mitteln von Referenzwerten, die während einer Bewertung von Bitleitungsspannungen bestimmt werden, steuert;
  • 11 ein Schaltungsdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines Zählerblocks für die Kalibrierungsschaltung aus 6; und
  • 12 ein Blockdiagramm eines FeRAM gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, der einen Redundanzschaltungsaufbau aufweist, der mit einer Referenzspannungskalibrierungsschaltung verbunden ist.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung führt ein FeRAM eine dynamische Kalibrierung des Spannungspegels oder der -pegel von Referenzsignalen, die zur Leseoperation verwendet werden, durch. Die dynamische Kalibrierung verfolgt die Variationen der ferroelektrischen Kondensatoren in FeRAM-Zellen durch ein wirksames Messen der Bitleitungsspannungen, die während einer Operation von FeRAM-Zellen erzeugt werden. Keine zweckgebundenen Referenzzellen werden benötigt, da die Speicherzellen selbst für eine Auswahl der Referenzspannung hin getestet werden.
  • Ein Ausführungsbeispiel der dynamischen Kalibrierung einer Referenzspannung weist eine Bewertungsphase und eine Gleichsetzphase auf. Die Bewertungsphase mißt Ladungsverteilungen, wie z. B. in 2 dargestellt ist, und die Gleichsetzphase stellt einen Spannungspegel für ein Referenzsignal VREF gemäß der gemessenen Verteilung ein. Für eine einfache Charakterisierung der Ladungsverteilung mißt ein spezifisches Ausführungsbeispiel der Bewertungsphase die Ausgangsbitleitungsspannungen V0 für einen Satz von Speicherzellen, die den Bitwert 0 speichern, um eine maximale Bitleitungsspannung V0max zu bestimmen, und mißt Bitleitungsspannungen V1 für einen Satz von Speicherzellen, die den Bitwert 1 speichern, um die minimale Bitleitungsspannung V1min zu bestimmen. Die Gleichsetzphase kann dann einen Spannungspegel des Referenzsignals VREF gleich dem Durchschnitt der beiden Werte eines ungünstigsten Falls V0max und V1min setzen.
  • Die Logik, die eine Referenzspannungskalibrierung durchführt, kann die Ladungsverteilung aller FeRAM-Zellen, von nur FeRAM-Zellen in einer spezifischen Speicherbank, nur FeRAM-Zellen in einer spezifischen Zeile oder Spalte oder jedem ausgewählten Abtastwert der FeRAM-Zellen bestimmen. Der FeRAM kann so unterschiedliche Referenzspannungskalibrierungen für unterschiedliche Sätze von FeRAM-Zellen durchführen und kann eine einzelne Referenzspannung oder unterschiedliche Referenzspannungen für jeweilige Speicherbänke oder Abschnitte von FeRAM-Zellen aufweisen.
  • Der Kalibrierungsprozeß wird periodisch durchgeführt, um die Variationen der Leistung der FeRAM-Zellen zu verfolgen und den Spannungspegel des Referenzsignals VREF zu aktualisieren. Eine Kalibrierung ist vorzugsweise für den Benutzer transparent. Der Kalibrierungsprozeß kann z. B. nur beim Einschalten oder nach einem Zeitraum einer Inaktivität eingeleitet werden. Bevor eine Kalibrierung beginnt, können Daten, die in gerade bewerteten FeRAM-Zellen gespeichert sind, zeitweilig in einem Zwischenspeicher oder einem nicht verwendeten Speicherarray gespeichert werden, der/das während des Referenzspannungskalibrierungsprozesses anstelle der gerade gemessenen FeRAM-Zellen zugänglich wird. Wenn ein externer Speicherzugriff während eines Kalibrierungsprozesses auftritt, kann der Kalibrierungsprozeß abgebrochen werden.
  • 3 stellt einen Referenzspannungskalibrierungsprozeß 300 für einen FeRAM dar. Obwohl das spezifische Beispiel eines Durchführens des Prozesses 300 in dem FeRAM 100 aus 1 beschrieben ist, können Referenzspannungskalibrierungsprozesse auch in anderen FeRAM-Entwürfen durchgeführt werden.
  • Der Prozeß 300 aus 3 beginnt bei einem Schritt 305 mit der Auswahl eines Satzes von FeRAM-Zellen 110, die gleichzeitig gelesen werden können. Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wählt die Referenzspannungskalibrierung eine Zeile von FeRAM-Zellen 110 zu einer Zeit aus einem ausgewählten Array oder Teilarray aus. Schritt 310 schreibt dann einen Bitwert 0 in jede der ausgewählten FeRRM-Zellen 110 und Schritt 315 stellt einen Referenzspannungszähler (z. B. einen 7-Bit-Zähler) auf einen Pegel ein, der den niedrigsten Spannungspegel für das Referenzsignal VREF liefert.
  • Eine Schleife, die Schritte 320, 325, 330 und 335 beinhaltet, wird dann ausgeführt. Für jede Wiederholung der Schleife inkrementiert Schritt 320 das Referenzsignal VREF auf den nächsten Spannungspegel durch ein Inkrementieren des Zählwerts, der dem Referenzsignal VREF entspricht. Schritt 325 bestimmt dann, ob das Inkrementieren bei Schritt 320 einen Zählerüberlauf bewirkt, was einen Fehler signalisieren würde. Ein Zählerüberlauf zeigt an, daß das Referenzsignal VREF einen unannehmbar hohen Spannungspegel aufweist, was zu einem Fehler führt. Wenn die inkrementierte Referenzspannung in dem tolerierbaren Bereich ist, betreibt Schritt 330 Leseverstärker 130, die ein Mehrbit-Datenausgangssignal erzeugen. Das Datensignal stellt korrekt nur Nullen dar, die Werte, die bei Schritt 310 in die ausgewählten Speicherzellen geschrieben wurden, wenn das Referenzsignal VREF einen Spannungspegel aufweist, der höher als alle gelesenen Ausgangsbitleitungsspannungen V0 ist. Wenn das Datensignal nicht nur Nullen darstellt, kehrt der Prozeß 300 schleifenmäßig zurück von Schritt 335 zu Schritt 320 und erhöht den Spannungspegel des Referenzsignals VREF. Wenn das Ausgangsdatensignal zuerst nur Nullen darstellt, liefert der gegenwärtige Spannungspegel des Referenzsignals VREF eine obere Grenze für die ausgelesenen Spannungen V0 für den gegenwärtig ausgewählten Satz von FeRAM-Zellen.
  • Schritt 340 aktualisiert den Wert einer Spannung V0max eines ungünstigsten Falls, nachdem Schritt 335 die maximalen Bitleitungsspannungen V0 für die gegenwärtig ausgewählten FeRAM-Zellen identifiziert hat. Insbesondere ist ein gespeicherter Wert von V0max auf den Referenzspannungszählwert eingestellt, wenn der Referenzspannungszählwert größer als der gespeicherte Wert von V0max ist. Andernfalls bleibt der gespeicherte Pegel für V0max unverändert.
  • Schritte 345 bis 375 aktualisieren ähnlich einen Wert V1min eines ungünstigsten Falls. Insbesondere schreibt Schritt 345 einen Bitwert 1 an jede der ausgewählten Speicherzellen und Schritt 350 stellt den Zähler, der den Spannungspegel des Referenzsignals VREF steuert, auf seinen maximalen Wert ein. Eine Schleife, die Schritte 355, 360, 365 und 375 umfaßt, senkt den Spannungspegel des Referenzsignals VREF (Schritt 355), prüft auf einen Zählerunterlauf oder eine Fehleranzeige (Schritt 360), liest die ausgewählten Speicherzellen (Schritt 365) und bestimmt (Schritt 370), ob eine der Bitleitungsspannungen V1 kleiner als der gegenwärtige Pegel des Referenzsignals VREF ist. Wenn die von den ausgewählten Speicherzellen gelesenen Bits nicht nur Einsen sind, kehrt der Prozeß 300 schleifenmäßig von Schritt 370 zurück zu Schritt 355 und dekrementiert den Spannungspegel des Referenzsignals VREF. Wenn der Spannungspegel des Referenzsignals VREF erstmals unter die unterste Bitleitungsspannung V1 fällt, sind alle Ausgangsdatenbits Einsen und der Spannungspegel des Signals VREF zeigt das Minimum der Lesespannungen V1 an. Schritt 375 setzt den gespeicherten Wert V1min eines ungünstigsten Falls gleich dem Zählwert für das Referenzsignal VREF ein, wenn der Zählwert kleiner als ein zuvor gespeicherter Wert von V1min ist.
  • Schritt 380 des Prozesses 300 bestimmt, ob ein weiterer Satz von FeRAM-Zellen zur Messung ausgewählt werden soll. Falls dies der Fall ist, verzweigt der Prozeß 300 sich von Schritt 380 zurück zu Schritt 305, um den nächsten Satz von FeRAM-Zellen auszuwählen. Auf diese Weise kann die Bewertungsphase des Prozesses 300 Werte V0max und V1min eines ungünstigsten Falls für das gesamte oder einen Teil eines FeRAM-Arrays bestimmen.
  • Schritt 385 bestimmt, ob die Differenz zwischen den Werten V1min und V0max annehmbar ist. Eine negative Differenz (d. h. V0max ist größer als V1min) zeigt an, daß Leseoperationen manchmal unabhängig von der Auswahl der Referenzspannung einen Datenfehler erzeugen. Eine Differenz, die zu klein ist, zeigt an, daß Leseoperationen unter Umständen nicht zuverlässig sind. Wenn die Differenz unannehmbar ist, legt der Prozeß 300 eine Fehlerbedingung 395 an. Wie weiter unten beschrieben ist, kann ein Referenzspannungskalibrierungsschaltungsaufbau, der einen Fehler 395 anlegt (z. B. aus Schritt 325, 360 oder 385), mit einem Redundanzschaltungsaufbau gekoppelt sein, der in der Lage ist, FeRAM-Zellen zu ersetzen, die eine problematische Bitleitungsspannung V0 oder V1 erzeugen.
  • Wenn annehmbare Werte V0max und V1min für FeRAM-Zellen in dem erwünschten Abschnitt des FeRAM gefunden werden, stellt Schritt 390 den Spannungspegel, der für das Referenzsignal VREF während Leseoperationen verwendet werden soll, ein. In dem Beispiel aus 3 wird der Spannungspegel für das Referenzsignal VREF auf einen Punkt auf halber Strecke zwischen den Werten V0max und V1min eines ungünstigsten Falls eingestellt.
  • Der Referenzspannungskalibrierungsprozeß 300 ist bei einem Halten an die Erfindung breiten Variationen unterworfen. Statt eines bloßen Messens der Werte V0max und V1min eines ungünstigsten Falls z. B. können Histogramme von Bitleitungsspannungen V0 und V1 zur Bestimmung der besten Spannung für das Referenzsignal VREF erzeugt und analysiert werden. Ferner kann anstelle eines Schreibens aller Nullen oder aller Einsen in die Speicherzellen und eines separaten Bestimmens des höchsten Wertes für die Bitleitungsspannung V0 und des niedrigsten Werts für die Bitleitungsspannung V1 jede bekannte Datenstruktur in den ausgewählten Satz von Speicherzellen (z. B. eine Zeile) geschrieben und dann für unterschiedliche Spannungspegel des Referenzsignals VREF rückgelesen werden. Eine Analyse von Ausgangsdatensignalen zeigt an, welche Spannungspegel Fehler bewirken und eine Auswahl der optimalen Spannung des Referenzsignals VREF erlauben.
  • Ein Messen der Ladungsverteilung während einer Referenzspannungskalibrierung kann wie oben durch ein Abstufen der angelegten Referenzspannung für eine Serie von Leseoperationen ausgeführt werden. Herkömmliche Leseoperationen für den FeRAM jedoch können den Polarisierungszustand der ferroelektrischen Kondensatoren in den gerade gelesenen FeRAM-Zellen verändern, so daß jede Leseoperation im allgemeinen eine Rückschreiboperation beinhaltet, die den bekannten Wert neu zurück an jede FeRAM-Zelle schreibt. Derartige Leseoperationen sind zeitaufwendig. Zusätzlich kann das wiederholte Lese/Schreib-Durchlaufen der FeRAM-Zellen die FeRAM-Zellen ermüden und zu inkonsistenten Messungen führen. Die Verwendung eines Komparator-Typ-Leseverstärkers, der eine Serie von Referenzspannungen mit der Bitleitungsspannung vergleichen kann, die auf der Bitleitung beibehalten wird, nachdem eine einzelne Auslese einer Ladung eine Meßzeit reduziert, reduziert eine FeRAM-Zell-Ermüdung und verbesserte eine Genauigkeit.
  • 4 zeigt einen Abschnitt eines FeRAM 400, der Komparator-Typ-Leseverstärker 430 verwendet, die schnelle Ladungsverteilungsmessungen ermöglichen. Der FeRAM 400 enthält ein FeRAM-Array 120, Leseverstärker 430, einen Referenzspannungsgenerator 440, globale Ausgangstreiber 450 und Rückschreibschaltungen 460.
  • Das FeRAM-Array 120 kann ein herkömmliches Array von FeRAM-Zellen 110 sein, die in Zeilen und Spalten organisiert sind. Jede FeRAM-Zelle 110 umfaßt einen ferroelektrischen Kondensator 112 und einen Auswahltransistor 114, die unter Verwendung bekannter Techniken hergestellt sein können. Bitleitungen 116 stellen Verbindungen zu Drains von Auswahltransistoren 114 von FeRAM-Zellen 110 in jeweiligen Spalten des Speicherarrays 120 her. Wortleitungen 118 stellen Verbindungen zu den Gates von Auswahltransistoren 114 in jeweiligen Zeilen des FeRAM-Arrays 120 her und Zeilendecodierer- und Treiberschaltungen (nicht gezeigt) steuern Signale WL0–WLn auf den Wortleitungen 118 während einer Schreib-, Lese- und Verteilungsmeßoperation. Das FeRAM-Array 120 kann eines mehrerer lokaler Arrays in einer Speicherarchitektur sein, die lokale und globale Decodierungsschaltungen (nicht gezeigt) aufweist und Datenpfade aufweist, die globale Eingangs-/Ausgangsleitungen umfassen, die die lokalen Arrays zur Dateneingabe und -ausgabe verbinden.
  • Jeder Leseverstärker 430 aus 4 ist ein Komparator-Typ-Leseverstärker, der eine Verbindung zu der entsprechenden Bitleitung 110 herstellt. Alternativ kann jeder Leseverstärker 430 eine Verbindung zu einem lokalen Spaltendecodierungsschaltungsaufbau herstellen, der selektiv eine der mehreren Bitleitungen 110 mit dem Leseverstärker 430 für Erfassungsoperationen verbindet.
  • 4 stellt ferner eine Implementierung des Komparator-Typ-Leseverstärkers 430 dar. Das dargestellte Ausführungsbeispiel umfaßt p-Kanal-Transistoren MP1, MP2, MP3, MP4 und MP5 und n-Kanal-Transistoren MN1, MN2, MN3 und MN4. Der Transistor MP1 dient dazu, den Leseverstärker 430 ansprechend auf ein Lesefreigabesignal SEB zu aktivieren und zu deaktivieren und befindet sich zwischen einer Versorgungsspannung VDD und den Transistoren MP2 und MP3. Die Transistoren MP2, MP4 und MN1 sind in Serie zwischen den Transistor MP1 und Masse geschaltet und die Transistoren MP3, MP5 und MN2 sind ähnlich in Serie zwischen den Transistor MP1 und Masse geschaltet. Die Transistoren MN3 und MN4 sind parallel zu den Transistoren MN1 bzw. MN2 geschaltet und sprechen auf das Lesefreigabesignal SEB durch ein Erden jeweiliger Knoten N1 und N2 in Vorbereitung für eine Erfassungsoperation an.
  • Die Gates der Transistoren MP2 und MP3 empfangen Eingangssignale BL bzw. VREF von der entsprechenden Bitleitung 118 bzw. dem Referenzspannungsgenerator 440. Das Signal BL ist die Bitleitungsspannung V0 oder V1 und hängt von der Ladung ab, die von einer FeRAM-Zelle 110 auf die Bitleitung 118 gelesen wird, die mit dem Leseverstärker 430 verbunden ist. Das Referenzsignal VREF weist eine Spannung auf, die ein Referenzspannungsgenerator 440 einstellt. Der Referenzspannungsgenerator 440 kann jede Schaltung sein, die in der Lage ist, eine Serie unterschiedlicher Spannungspegel für das Signal VREF während einer Verteilungsmessung zu erzeugen, und in der Lage ist, einen ausgewählten der Spannungspegel für Leseoperationen nach einer Referenzspannungskalibrierung zu erzeugen. Der Referenzspannungsgenerator 440 ist vorzugsweise eine digital gesteuerte Spannungsquelle, die eine Ausgangsspannung aufweist, die von einem Zählwert (z. B. einem 7-Bit-Wert) abhängt, der in einem Zähler oder Register gespeichert ist, der/das dem Referenzspannungsgenerator 440 zugeordnet ist. Eine Kalibrierungsschaltung 600, die weiter unten beschrieben ist, stellt eine Verbindung zu einem oder mehreren der Register, die den Spannungspegel des Referenzsignals VREF auswählen, her und stellt dasselbe/dieselben ein.
  • Eine Spannungsdifferenz zwischen dem Bitleitungssignal BL und dem Referenzsignal VREF bestimmt, ob der Transistor MP2 oder MP3 besser leitfähig ist, was wiederum beeinflußt, ob die Spannung auf dem Knoten N1 zwischen den Transistoren MP2 und MP4 oder die Spannung auf dem Knoten N2 zwischen den Transistoren MP3 und MP5 schneller ansteigt, wenn der Leseverstärker 430 aktiviert wird. Beide Transistoren MP4 und MP5 sind zu Beginn während einer Erfassungsoperation an, so daß ein Ausgangssignal NB von einem Knoten zwischen den Transistoren MP4 und MN3 und ein Ausgangssignal NT von einem Knoten zwischen den Transistoren MP5 und MN4 zu Beginn mit Raten ansteigt, die von dem Anstieg der Spannungen auf den Knoten N1 bzw. N2 abhängen. Die Gates der Transistoren MP4, MP5, MN1 und MN2 sind kreuzgekoppelt, so daß die Transistoren MP4, MP5, MN1 und MN2 eine Spannungsdifferenz verstärken, die sich zwischen den Ausgangssignalen NB und NT entwickelt. Als ein Ergebnis ist das Ausgangssignal NT komplementär zu dem Ausgangssignal NB, wenn die Erfassungsoperation abgeschlossen ist.
  • Eine Ausgangsschaltung 450 empfängt das Ausgangssignal NT von dem Leseverstärker 430 und treibt ansprechend auf ein Ausgangsfreigabesignal SOE ein globales Ausgangssignal GIO auf einen Pegel, der anzeigt, ob das Bitleitungssignal BL eine Spannung aufweist, die größer als die Spannung des Referenzsignals VREF ist. Bei einem exemplarischen Ausführungsbeispiel ist das globale Ausgangssignal GIO auf eine Versorgungsspannung VDD vorgeladen, wobei, wenn das Ausgangsfreigabesignal SOE aktiviert ist, die Ausgangsschaltung 150 das Signal GIO abhängig von dem Spannungspegel des Ausgangssignals NT herunterzieht oder nicht. Während einer Bitleitungsspannungsmessung zeigt, wenn die Referenzspannung VREF durch eine Serie von Pegeln gestuft wird, das globale Ausgangssignal GIO nacheinander eine Serie von Binärwerten an, die die Ergebnisse aus einem Vergleichen des Bitleitungssignals BL mit der Serie von Spannungspegeln des Referenzsignals VREF darstellen.
  • Eine Rückschreibschaltung 460 empfängt ein Komplementärausgangssignal NB und treibt an dem Ende einer Leseoperation die Bitleitung 118 auf den geeigneten Pegel zum Schreiben des Datenwerts, der von einer FeRAM-Zelle gelesen wird, zurück in die FeRAM-Zelle. In 4 ist die Rückschreibschaltung 460 ein Dreizustandsinverter, der die Bitleitung 118 ansprechend auf Komplementär-Rückschreibsignale WB und WBB treibt. Für die Verteilungsmessung kann das Rückschreiben weggelassen werden, wenn Daten in FeRAM-Zellen lediglich für die Verteilungsmessung gespeichert sind. Alternativ kann das Rückschreiben durchgeführt werden, nachdem die Bitleitungsspannung mit jedem der Spannungspegel des Referenzsignals VREF verglichen wurde.
  • Die Bewertungsphase des Prozesses 300 aus 3 kann unter Verwendung von Komparator-Typ-Leseverstärkern, wie z. B. Leseverstärkern 430 des FeRAM 400, beschleunigt werden. 5 ist ein Flußdiagramm einer modifizierten Bewertungsphase 500, die geeignet zur Verwendung in einem Speicher 400 ist. Die Bewertungsphase 500 beginnt mit einem Schreiben eines Bitwerts 0 in die ausgewählten FeRAM-Zellen (Schritt 310) und einem Einstellen des Referenzspannungszählwerts auf seinen niedrigsten Pegel (Schritt 320), was wie oben beschrieben ausgeführt wird. Schritt 520 liest dann eine Ladung aus den ausgewählten FeRAM-Zellen aus und lädt die entsprechenden Bitleitungen auf Spannungen V0.
  • Eine Schleife, die Schritte 320, 325, 530 und 335 beinhaltet, wird dann eines oder mehrere Male durchgeführt, während die Bitleitungen die Auslesespannungen V0 halten. Schritte 320 und 325 stufen die Referenzspannung auf den nächsten Pegel und prüfen auf Fehler. Schritt 530 ist eine Erfassungsoperation, die die Bitleitungsspannungen mit dem gegenwärtigen Spannungspegel des Referenzsignals VREF vergleicht. Schritt 335 bewirkt eine Wiederholung der Schleife, es sei denn, das Datenausgangssignal, das die Erfassungsoperation 530 erzeugt, stellt nur Nullen dar. Der Prozeß 500 verläßt so die Schleife, wenn der Spannungspegel des Referenzsignals VREF größer als die höchste der Bitleitungsspannungen V0 ist. Schritt 340 aktualisiert dann den Wert V0max eines ungünstigsten Falls.
  • Die Bewertungsphase 500 weist den Vorteil auf, daß nur eine einzelne Ladungsauslese zur Messung der Bitleitungsspannung benötigt wird. Die FeRAM-Zellen häufen so weniger Ermüdung an. Ferner ist die Erfassungsoperation 530 schneller als eine volle Leseoperation, was die Zeit reduziert, die für eine Referenzspannungskalibrierung benötigt wird. Die Bewertungsphase 500 erzielt ähnliche Zeiteinsparungen und reduziert eine Ermüdung bei der Messung des Wertes V1min eines ungünstigsten Falls durch ein einmaliges Auslesen der Bitleitungsspannungen V1 in Schritt 550 und ein Ersetzen einer vollen Leseoperation (Schritt 365 in 3) durch eine Erfassungsoperation (Schritt 560 in 5). Diese Vorteile resultieren, da die Komparator-Typ-Leseverstärker die Bitleitungsspannungen V0 oder V1 nicht verändern oder stören.
  • 6 ist ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels einer Kalibrierungsschaltung 600, die eine dynamische Referenzspannungskalibrierung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung implementiert. Während einer Kalibrierungsoperation empfängt die Kalibrierungsschaltung 600 ein Taktsignal CLK, ein Datensignal GIO<63:0>, ein Chip-Freigabe-Signal CE, ein Berechnungseinleitungssignal CALC_REF, ein Schreibsignal WR und ein Referenzmodussignal FREF. Die Kalibrierungsschaltung 600 erzeugt Signale INT_CE, INT_WR, INT_FREF, VRCDATA und REF_VAL<6:0> zur Steuerung von Lese- und Schreibschaltungen während der Bewertungsphase der Referenzspannungskalibrierung und erzeugt Signale END_EVAL, END_CAL, CNT0<6:0> und CNT1<6:0>, um den Status und die Ergebnisse der Referenzspannungskalibrierung anzuzeigen. Tabelle 1 faßt die Funktionen der Schnittstellensignale zwischen dem Rest des FeRAM und der Kalibrierungsschaltung 600 zusammen.
  • Tabelle 1: Eingangs-/Ausgangssignale der Referenzspannungskalibrierungsschaltung
    Figure 00200001
  • Figure 00210001
  • Die Kalibrierungsschaltung 600 umfaßt einen Hauptsteuerungsblock 610, eine Anpassungslogik 620, einen Bewertungsblock 630, einen Gleichsetzblock 640, Zähler 650, Signalauswahlschaltungen 660, 670, 680 und 690. Der Hauptsteuerungsblock 610 ist eine Zustandsmaschine, die den Referenzspannungskalibrierungsprozeß steuert. Die Anpassungslogik 620 vergleicht einen Lesedatenwert, der durch das Signal GIO<63:0> dargestellt wird, mit dem letzten geschriebenen Datenwert und erzeugt an dem Ende jeder Erfassungsoperation ein Signal RESULT, das anzeigt, ob der Lesedatenwert gleich dem letzten geschriebenen Datenwert ist. Der Bewertungsblock 630 und der Gleichsetzblock 640 sind Zustandsmaschinen, die die Bewertungs- bzw. Gleichsetzphase des Referenzspannungskalibrierungsprozesses steuern. Die Zähler 650 umfassen eine Logik und Zähler, die Zählwerte speichern, die Referenzspannungen zugeordnet sind, die für Bitleitungsspannungen V0 und V1 gefunden werden. Die Signalauswahlschaltungen 660, 670, 680 und 690 wählen Signale für Lese- und Schreiboperationen während eines Normalbetriebs des FeRAM und zur Referenzspannungskalibrierung und geben dieselben aus.
  • 7 ist ein Zeitgebungsdiagramm, das das Verhalten der Schnittstellensignale während eines simulierten Betriebs der Kalibrierungsschaltung 600 darstellt. Die Signale CE, WR und FREF sind ein Chipfreigabesignal, ein Schreibsignal, ein Referenzmodussignal und sind Ausgaben als Signale INT_CE, INT_WE und INT_FREF aus der Kalibrierungsschaltung 600 während eines Normalbetriebs, z. B. während normaler Lese- und Schreiboperationen. Wenn ein Signal CALCREF zu einer Zeit T0 angelegt wird, beginnt die Kalibrierungsschaltung 600 einen Referenzspannungskalibrierungsprozeß und beginnt insbesondere eine Bewertungsphase für die Bitleitungsspannung V0.
  • Während der Bewertungsphase erzeugt die Kalibrierungsschaltung 600 Signale INT_CE und INT_WR, wie dies für eine Serie von Schreib- und Leseoperationen erforderlich ist. Ein Signal VRCDATA wählt den Datenwert (zu Beginn 0) aus, der an die ausgewählten Speicherzellen geschrieben wird, und ein Schaltungsaufbau (nicht gezeigt) außerhalb der Kalibrierungsschaltung 600 erzeugt die erforderliche Adresse für die Schreib- und Leseoperationen. Ein Signal REF_VAL zeigt an, daß die Referenzspannung, die während der Erfassungsoperationen und zwischen Zeiten T0 und T1 verwendet wird, gleich einem Zählwertsignal CNT0 zur Bewertung von Bitleitungsspannungen V0 ist, die einem Bitwert 0 entsprechen. Zwischen Zeiten T1 und T2 ist das Signal REF_VAL gleich einem Zählwertsignal CNT1 zur Bewertung von Bitleitungsspannungen V1, die dem Bitwert 1 entsprechen. Die Anpassungslogik 620 legt während der Bewertungsstufe (zwischen Zeiten T0 und T2) ein Signal RESULT an dem Ende jeder Erfassungsoperation an, um anzuzeigen, ob der durch die Erfassungsoperation gelesene Datenwert gleich dem letzten Wert, der in die ausgewählten FeRAM-Zellen geschrieben wird, ist. Bei dieser Simulation aus 7 beträgt der minimale Wert des Signals REF_VAL, der eine genaue Erfassung von Bitwerten 0 liefert, 27 h (oder 39) und der maximale Wert des Signals REF_VAL, der eine genaue Erfassung von Bitwerten des Pegels 1 liefert, beträgt 77 h (oder 119).
  • Die Gleichsetzphase, die zwischen Zeiten T2 und T3 auftritt, mittelt die beiden Zählwerte CNT0 und CNT1, um einen besten Referenzspannungswert für die ausgewählten Speicherzellen zu finden. Bei dem Beispiel aus 5 liefert ein Mitteln beider Zählwerte CNT0 und CNT1 den Wert 4 Fh (oder 79).
  • Zurückkehrend zu 6 weist die Hauptsteuerungslogik 610 die Eingangs- und Ausgangssignale auf, die in Tabelle 2 zusammengefaßt sind. Taktsignale CLK und CLK1 sind eine ungepufferte und eine gepufferte Version des Taktsignals für die Hauptsteuerungslogik 610 (und die Kalibrierungsschaltung 600). Ein Eingangssignal CALC_REF1 ist ein aktives niedriges globales Rücksetz-Signal für die Kalibrierungsschaltung 600. Ein Eingangssignal OVERFLOW von den Zählern 650 zeigt eine Fehlerbedingung (bei einer ansteigenden Flanke) an, wenn ein Zähler überläuft. Ein Eingangssignal DONE ist von dem Bewertungsblock 630 und zeigt (bei der ansteigenden Flanke) das Ende der Bewertungsphase an. Ein Eingangssignal END_EQU von dem Gleichsetzblock 640 zeigt (bei einer ansteigenden Flanke) das Ende der Gleichsetzphase an. Ein Ausgangssignal MODE bestimmt den Modus (z. B. Bitwert 0 oder 1) der Bewertungsphase und ein Signal VRCDATA ist eine gepufferte Version des Signals MODE, das den Datenwert, der in der Bewertungsphase an die ausgewählten Speicherzellen geschrieben wird, steuert. Ein Ausgangssignal EVAL leitet (bei einer ansteigenden Flanke) die Bewertungsphase ein und ein Ausgangssignal EQUATE leitet (bei einer ansteigenden Flanke) die Bewertungsphase des Kalibrierungsprozesses ein. Ein Ausgangssignal END_CAL leitet das Ende des Kalibrierungsprozesses ein.
  • Tabelle 2: I/O-Signale des Hauptsteuerungsblocks für die Referenzspannungskalibrierungsschaltung
    Figure 00240001
  • 8A ist ein Zustandsdiagramm für ein exemplarisches Ausführungsbeispiel des Hauptsteuerungsblocks 610. Der Hauptsteuerungsblock 610 beginnt eine Wirkung in einem Zustand IDLE, wenn das Signal CALC_REF1 sich zu einem Zustand 0 verändert. Mit der ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Block 610 zu einem Zustand EVAL0 und stellt das Signal EVAL ein, um die Bewertungsphase mit dem Signal MODE, das einen Wert 0 aufweist, einzuleiten. Der Bewertungsblock 630 steuert die Bewertung der Bitleitungsspannungen V0, was ein Ergebnis der Bewertung als Zählwert CNT0 hinterläßt. Die ansteigende Flanke des Signals OVERFLOW zeigt, wenn es in dem Zustand EVAL0 ist, einen Überlauf bei dem Zählwert CNT0 an, was eine Fehlerbedingung ist, da kein geeigneter Referenzspannungspegel in dem Zählerbereich gefunden wurde. In diesem Fall wird die Kalibrierung unmittelbar abgebrochen. Der Wert des Zählwerts CNT0 unterscheidet zwischen einem Normalkalibrierungsabschluß und einem Abbrechen aufgrund eines Fehlers. Wenn der Zählwert CNT0 0 ist, ist, wenn der Hauptsteuerungsblock 610 das Signal END_CAL anlegt, ein Fehler aufgetreten, andernfalls ist der Wert gültig.
  • Die ansteigende Flanke des Signals DONE zeigt das Ende der Bewertung der Bitleitungsspannungen V0 an und ansprechend darauf verändert sich der Hauptsteuerungsblock 610 zu einem Zustand SYNC0. Der Zustand SYNC0 wird verwendet, um Aktionen in dem Steuerungsblock 610 mit der ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 zu synchronisieren. In dem Zustand SYNC0 weist das Signal EVAL den Wert 0 auf und das Signal MODE verändert seinen Wert auf 1 zur Vorbereitung für die Bewertung der Bitleitungsspannungen V1. Die nächste ansteigende Flanke des Taktsignals CLK1 leitet die Bewertung der Bitleitungsspannungen V1 ein und der Hauptsteuerungsblock 610 verändert sich von dem Zustand SYNC0 zu einem Zustand EVAL1, während dessen der Bewertungsblock 630 die Bewertung der Bitleitungsspannungen V1 ausführt, was ein Ergebnis der Bewertung als Zählwert CNT1 hinterläßt.
  • Der Hauptsteuerungsblock 610 verändert sich bei der nächsten ansteigenden Flanke des Signals DONE von dem Zustand EVAL1 zu einem Zustand SYNC1. An diesem Punkt ist die Bewertungsphase abgeschlossen und die beiden Zählwerte CNT0 und CNT1 entsprechend den Referenzwerten eines ungünstigsten Falls, die für ein genaues Lesen der Bitwerte 0 bzw. 1 benötigt werden.
  • Von dem Zustand SYNC1 bewirkt die nächste ansteigende Flanke des Taktsignals CLK1, daß der Hauptsteuerungsblock 610 sich für die Gleichsetzphase zu einem Zustand EQ verändert, was die beiden Zählwerte mittelt. Der Gleichsetzblock 640 beginnt die Gleichsetzphase mit der ansteigenden Flanke des Signals EQUATE. Die ansteigende Flanke eines Signals END_EQU aus Block 640 zeigt das Ende der Gleichsetzphase an und der Hauptsteuerungsblock 610 spricht durch ein Verändern von dem Zustand EQ zu einem Zustand SYNC2 an, bei dem das Signal EQUATE 0 ist. Der nächste Takt verändert den Hauptsteuerungsblock 610 zu dem Zustand END, bei dem END_CAL auf 1 eingestellt wird, um das Ende des Kalibrierungsprozesses anzuzeigen. Wie zuvor erwähnt wurde, zeigt der Wert von CNT0 an, ob die Kalibrierungsschaltung 600 erfolgreich einen neuen Referenzwert erzeugen konnte.
  • 8B ist ein Schaltungsdiagramm einer Implementierung der Hauptsteuerungslogik 610. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel umfaßt der Hauptsteuerungsblock 610 eine Serie von Flip-Flops 811 bis 821 und Logikgatter 861 bis 880, die das Zustandsdiagramm aus 8A implementieren.
  • Der Bewertungsblock 630 steuert die Bewertungsphase des Kalibrierungsprozesses. Tabelle 3 faßt die Funktionen der Eingangs- und Ausgangssignale des Bewertungsblocks 630 zusammen.
  • Tabelle 3: I/O-Signale des Bewertungsblocks für die Referenzspannungskalibrierungsschaltung
    Figure 00260001
  • Der Bewertungsblock 630 ist eine Zustandsmaschine, die die Signale erzeugt, die für Schreib- und Lese- oder Erfassungsoperationen benötigt werden, die zum Bewerten von Bitleitungsspannungen erforderlich sind. 9A ist ein Zustandsdiagramm, das die Operation des Bewertungsblocks 630 darstellt. Der Bewertungsblock 630 tritt ansprechend darauf, daß die Signale CALC_REF1 und EVAL beide angelegt werden, in einen untätigen Zustand 905 ein. Mit der ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Bewertungsblock 630 von dem untätigen Zustand 905 zu einem Zustand 910, bei dem das Zählertaktsignal CLK_CNT auf 1 eingestellt wird. Die Zähler 650 können dann den Zählwert CNT0 oder CNT1 gemäß dem Wert des Signals MODE erhöhen oder senken.
  • Mit der abfallenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Bewertungsblock 630 von dem Zustand 910 zu einem ersten Schreibzustand 915 und stellt Signale INT_CE und WRITE auf 1 ein. Die abfallende Flanke des Taktsignals CLK1 wird verwendet, da der Speicher Signale mit der ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK verriegelt, so daß Signale zuerst mit der abfallenden Flanke eingestellt und dann mit der ansteigenden Flanke verriegelt werden, um eine ausreichende Einstellzeit für die Latches zu garantieren. Der Bewertungsblock 630 verändert sich bei der nächsten ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 von dem ersten Schreibzustand 915 zu einem zweiten Schreibzustand 920 und beginnt eine Schreiboperation in dem Speicher.
  • Mit der nächsten abfallenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Bewertungsblock 630 von dem Schreibzustand 920 zu einem ersten Lesezustand 925. In dem Zustand 925 ist das Signal WRITE 0 und INT_CE bleibt stabil. Bei der ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 tritt der Bewertungsblock 630 in den zweiten Lesezustand 930 ein und die Werte der Signale INT_CE und WRITE werden verriegelt, um eine Leseoperation in dem Speicher zu starten.
  • Bei der nächsten abfallenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Bewertungsblock 630 zu einem SYNC-Zustand 935. Hier wird das Signal CE_CAL auf 0 eingestellt, da kein Speicherzugriff auftritt. Die nächste ansteigende Flanke verändert den Bewertungsblock 630 zu einem weiteren SYNC-Zustand 940, was ein Verzweigungspunkt ist, der von dem Signal RESULT abhängt. Wenn RESULT 1 ist, sind die gelesenen Daten identisch zu den geschriebenen Daten, was bedeutet, daß die Referenzspannung zum Lesen der Speicherorte ohne Fehler geeignet ist. So verändert sich mit der nächsten ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 der Bewertungsblock 630 von dem Zustand 940 zu einem Endzustand END 950 und legt ein Signal DONE auf 1 an, um das Ende der Bewertung anzuzeigen.
  • Wenn das Signal RESULT 0 ist, hat die Erfassungs- oder Leseoperation zumindest ein falsches Datenbit ergeben, was bedeutet, daß die Referenzspannung noch nicht geeignet ist, um alle Zellen ohne Fehler zu lesen. In diesem Fall muß die Referenzspannung erhöht werden, wenn das Signal MODE 0 ist, oder gesenkt werden, wenn das Signal MODE 1 ist, und die Bewertung wird wiederholt. So verändert sich, wenn das Signal RESULT 0 ist, der Bewertungsblock 630 mit dem nächsten Takt von dem Zustand 940 zu einem Zustand 945, was die Bewertung bei einem neuen Referenzwert wiederholt.
  • 9B ist ein Schaltungsdiagramm einer Implementierung des Bewertungsblocks 630. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel umfaßt der Bewertungsblock 630 eine Serie von Flip-Flops 951 bis 959 und Logikgattern 961 bis 968, die das Zustandsdiagramm aus 9A implementieren.
  • Der Gleichsetzblock 640 steuert ein Gleichsetzen (oder Mitteln) der Werte der Zählwerte CNT0 und CNT1, die während der Bewertungsphase bestimmt wurden. Tabelle 4 listet die Funktionen der Eingangs- und Ausgangssignale des Gleichsetzblocks 640 auf und faßt dieselben zusammen.
  • Tabelle 4: I/O-Signale des Gleichsetzblocks für die Referenzspannungskalibrierungsschaltung
    Figure 00290001
  • Der Gleichsetzblock 640 enthält eine Zustandsmaschine, die bei einem exemplarischen Ausführungsbeispiel das Zustandsdiagramm aus 10A implementiert. Der Hauptsteuerungsblock 610 aktiviert den Gleichsetzblock 640 durch ein Anlegen eines Signals EQUATE, nachdem die Bewertungsphase ohne Fehler beendet ist. Der Gleichsetzblock 640 tritt dann in einen untätigen Zustand 1010 ein, wenn die Zählwerte CNT0 bzw. CNT1 die Spannungspegel V0max und V1min eines ungünstigsten Falls anzeigen. Bei der ersten ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Gleichsetzblock 640 von dem Zustand 1010 zu einem Zustand 1020, bei dem das Signal INC auf 1 eingestellt wird, was bewirkt, daß der Zählwert CNT0 ansteigt. An diesem Punkt werden die Zählwerte CNT0 und CNT1 verglichen. Wenn die Zählwerte CNT0 und CNT1 gleich sind, wird ein internes Signal EQUAL auf 1 eingestellt. Andernfalls wird das Signal EQUAL auf 0 eingestellt. Bei der nächsten ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 verändert sich der Gleichsetzblock 640 von dem Zustand 1020 zu einem Zustand 1030, wenn das Signal EQUAL gleich 0 ist, oder zu einem Endzustand 1040, wenn das Signal EQUAL 1 ist.
  • Der Zustand 1030 legt ein Signal DEC an, was einen Rückgang des Zählwerts CNT1 bewirkt. Wieder werden die Zählwerte CNT0 und CNT1 verglichen und das Signal EQUAL wird auf 1 eingestellt, wenn die Zählwerte CNT0 und CNT1 gleich sind, oder auf 0 eingestellt, wenn die Zählwerte CNT0 und CNT1 unterschiedlich sind. Von dem Zustand 1030 verändert sich der Gleichsetzblock 640 bei der nächsten ansteigenden Flanke des Taktsignals CLK1 zu dem Zustand 1020, wenn das Signal EQUAL gleich 0 ist, oder zu dem Endzustand 1040, wenn das Signal EQUAL 1 ist.
  • Der Gleichsetzblock 640 wechselt so zwischen den Zuständen 1020 und 1030 ab, was den Zählwert CNT0 inkrementiert und den Zählwert CNT1 dekrementiert, bis die beiden Zählwerte gleich sind. Die Zählwerte CNT0 und CNT1 am Ende der Gleichsetzphase sind so gleich dem Durchschnitt der Werte, die die Zählwerte CNT0 und CNT1 zu Beginn der Gleichsetzphase hatten. In dem Endzustand 1040 wird das Signal END_EQU eingestellt, um anzuzeigen, daß die Gleichsetzphase abgeschlossen ist.
  • 10B ist ein Schaltungsdiagramm einer Implementierung des Gleichsetzblocks 640. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel umfaßt der Gleichsetzblock 640 einen Komparator 1060, der die Zählwerte Q0 und Q1 vergleicht, um ein internes Signal EQUAL zu erzeugen. Eine Serie von Flip-Flops 1051 bis 1054 und Logikgattern 1061 bis 1068 implementiert das Zustandsdiagramm aus 10A.
  • 11 zeigt eine Schematik eines exemplarischen Ausführungsbeispiels der Zähler 650. Die Zähler 650 umfassen einen Aufwärtszähler 1120 für den Zählwert CNT0, einen Abwärtszähler 1110 für den Zählwert CNT1 und eine Steuerungslogik 1130, die auswählt, welcher der Zähler 1110 und 1120 ein Taktsignal empfängt. Tabelle 5 listet die Funktionen der Eingangs- und Ausgangssignale des Gleichsetzblocks 640 auf und faßt dieselben zusammen.
  • Tabelle 5: I/O-Signale der Zähler in der Referenzspannungskalibrierungsschaltung
    Figure 00300001
  • Figure 00310001
  • Während der Bewertung der Bitleitungsspannungen V0, die einem Speichern eines Bitwerts 0 entsprechen, wird der Zähler 1120 für den Zählwert CNT0 getaktet, da das Signal MODE 0 ist, und während der Bewertung der Bitleitungsspannung V1, die einem Speichern eines Bitwerts 1 entspricht, wird der Zähler 1010 für den Zählwert CNT1 getaktet, da das Signal MODE 1 ist. Ähnlich wird während einer Bewertung der Bitleitungsspannungen V0 der Zählwert CNT0 als das Signal REF_VAL zur Steuerung des Spannungspegels des Referenzsignals VREF ausgegeben und während einer Bewertung der Bitleitungsspannungen V1 wird der Zählwert CNT1 als Signal REF_VAL zur Steuerung des Spannungspegels des Referenzsignals VREF ausgegeben.
  • Ein Überlauf tritt auf, wenn kein geeigneter Wert für die Bitleitungsspannungen V0 gefunden wird, die einem Speichern von Bits mit Wert 0 entsprechen. Das exemplarische Ausführungsbeispiel erfaßt keinen falschen Pegel für die Bitleitungsspannung V1, die dem Bitwert 1 zugeordnet ist, alternative Ausführungsbeispiele der Erfindung könnten jedoch eine derartige Erfassung enthalten.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung kann der Referenzspannungskalibrierungsschaltungsaufbau mit einem chipinternen Redundanzschaltungsaufbau verbunden sein und verwendet werden. 12 z. B. zeigt ein Blockdiagramm eines Speichers 1200, der eine Referenzspannungskalibrierungsschaltung 1260 und eine Redundanzschaltung 1215 umfaßt. Die Referenzspannungskalibrierungsschaltung 1260 führt periodisch eine Referenzspannungskalibrierung für einen Satz (z. B. eine Zeile) von FeRAM-Zellen durch, die Decodierungsschaltungen 1210 in dem FeRAM-Array 120 auswählen. Ein erfolgreicher Kalibrierungsprozeß führt zu der Speicherung eines digitalen Werts, den der Referenzspannungsgenerator 1240 verwendete, als er eine Referenzspannung erzeugte, die Speicherzellen liest, die der Kalibrierung zugeordnet sind. 12 stellt dar, daß der Referenzspannungsgenerator 1240 mit Adreßdecodierungsschaltungen 1210 verbunden sein kann, und liefert an die Leseverstärker 1230 ein Referenzsignal VREF, das einen Spannungspegel aufweist, der am besten für die FeRAM-Zellen ist, die durch ein Adreßsignal ADDR angezeigt werden.
  • Die Referenzspannungskalibrierungsschaltung 1260 kann schwache oder fehlerbehaftete FeRAM-Zellen erfassen, wenn ein Zählerüberlauf während des Bewertungsprozesses auftritt, oder indem ein Referenzzählwert (z. B. Zählwert CNT0 oder CNT1) nach der Bewertungsphase mit einem annehmbaren Bereich verglichen wird. Wenn eine Zeile oder ein weiterer Satz von FeRAM-Zellen eine FeRAM-Zelle umfaßt, die eine Bitleitungsspannung V0 oder V1 liefert, die außerhalb des annehmbaren Bereichs ist, signalisiert die Kalibrierungsschaltung 1260 dies der Redundanzschaltung 1215. Die Redundanzschaltung 1245 kann dann den defekten Satz (z. B. Zeile) von FeRAM-Zellen zum Austausch durch einen Satz redundanter FeRAM-Zellen 1220 angeben. Die dynamische Ersetzung von FeRAM-Zellen, die während einer Operation des FeRAM ausfallen, verbessert die Zuverlässigkeit und Lebensdauer des Speichers 1200.
  • Die hierin offenbarten Kalibrierungsprozesse können viele Vorteile gegenüber den vorherigen Schemata zum Auswählen von Referenzspannungen aufweisen. Insbesondere verfolgt eine Kalibrierung durch ein periodisches Bewerten tatsäch licher FeRAM-Zellen alle Veränderungen an den ferroelektrischen Kondensatoren aufgrund von Temperatur, Ermüdung und anderen Wirkungen. Der Kalibrierungsprozeß erfordert keine Referenzzellen zur Erzeugung der Referenzspannung. Die Kalibrierungsschaltung weist außerdem die Flexibilität auf, einen Eigentest von FeRAM-Zellen durchzuführen, was mit dem Redundanzschaltungsaufbau, wie oben beschrieben wurde, verwendet werden kann, und der Kalibrierungsschaltungsaufbau kann unterschiedliche Referenzspannungen für unterschiedliche Bänke oder Sätze von FeRAM-Zellen bereitstellen.

Claims (14)

  1. Speicher mit folgenden Merkmalen: einem Array (120) ferroelektrischer Speicherzellen (110), die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, wobei jede Spalte der ferroelektrischen Speicherzellen (110) mit einer entsprechenden Bitleitung (118) verbunden ist; einem Satz von Leseverstärkern (430), die verbunden sind, um einen Satz der Bitleitungen (118) zu erfassen; einem Referenzspannungsgenerator (440), der verbunden ist, um ein Referenzsignal an den Satz von Leseverstärkern (430) zur Verwendung bei einer Erfassung der Bitleitungen (118) zu liefern, wobei ein Spannungspegel des Referenzsignals von einem Eingangswert abhängt; und einer Kalibrierungsschaltung (600), die eine Kalibrierungsoperation steuert, die Bitleitungsspannungen bewertet, die aus einem Satz der ferroelektrischen Speicherzellen (110) ausgelesen werden, und basierend auf einem Bewertungsergebnis den Eingangswert, der während des Lesens der ferroelektrischen Speicherzellen verwendet werden soll, einstellt.
  2. Speicher gemäß Anspruch 1, bei dem die Kalibrierungsschaltung (600) folgende Merkmale aufweist: einen ersten Zähler (1120), der einen ersten Zählwert hält, der als der Eingangswert des Referenzspannungsgenerators während einer Bewertung von Bitleitungsspannungen angelegt wird, die ausgelesen werden, wenn der Satz ferroelektrischer Speicherzellen (110) einen ersten Wert speichert; und eine Steuerungslogik (1130), die bewirkt, daß der erste Zähler (1120) den ersten Zählwert inkrementiert, bis ein von den Leseverstärkern gelesenes Datensignal den ersten Wert darstellt.
  3. Speicher gemäß Anspruch 2, bei dem die Kalibrierungsschaltung ferner einen zweiten Zähler (1110) aufweist, der einen zweiten Zählwert enthält, der als der Eingangswert des Referenzspannungsgenerators während einer Bewertung von Bitleitungsspannungen angelegt wird, die ausgelesen werden, wenn der Satz ferroelektrischer Speicherzellen einen zweiten Wert speichert, wobei die Steuerungslogik (130) bewirkt, daß der zweite Zähler (1110) den zweiten Zählwert dekrementiert, bis das Datensignal von den Leseverstärkern den zweiten Wert darstellt.
  4. Speicher gemäß Anspruch 3, bei dem die Kalibrierungsschaltung (600) ferner einen Komparator (1060) aufweist, der mit dem ersten Zähler (1120) und dem zweiten Zähler (1110) gekoppelt ist, wobei die Steuerungslogik (1130) abwechselnd bewirkt, daß der erste Zähler (1120) den ersten Zählwert inkrementiert und der zweite Zähler (1110) den zweiten Zählwert dekrementiert, bis der Komparator (1060) anzeigt, daß der erste und der zweite Zählwert gleich sind, wobei der erste Zähler (1120) dann den Eingangswert hält, der beim Lesen des Satzes ferroelektrischer Speicherzellen verwendet werden soll.
  5. Speicher gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, der ferner einen Redundanzschaltungsaufbau (1215) aufweist, der mit der Kalibrierungsschaltung (1260) gekoppelt ist, wobei die Kalibrierungsschaltung (1260) dem Redundanzschaltungsaufbau (1215) signalisiert, wenn ein Bewerten der Bitleitungsspannungen identifiziert, daß eine oder mehrere der ferroelektrischen Speicherzellen (110) schwach oder defekt sind, wobei der Redundanzschaltungsaufbau (1215) die ferroelektrischen Speicherzellen (110) ersetzt, die die Kalibrierungsschaltung (1260) als schwach oder defekt identifiziert hat.
  6. Verfahren zum Betreiben eines Speichers, mit folgenden Schritten: Bewerten von Bitleitungsspannungen, die aus einem Satz ferroelektrischer Speicherzellen (110) ausgelesen werden; und Speichern eines Referenzwertes, der, wie die Bewertung der Bitleitungsspannungen anzeigt, einem Spannungspegel für ein Referenzsignal entspricht, das ein genaues Lesen des Satzes ferroelektrischer Speicherzellen (110) erlaubt.
  7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem eine Steuerungsschaltung in dem Speicher das Bewerten der Bitleitungsspannungen und Speichern des Referenzwertes steuert.
  8. Verfahren gemäß Anspruch 6 oder 7, wobei das Verfahren während einer normalen Verwendung des Speichers durchgeführt wird.
  9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, bei dem das Bewerten der Bitleitungsspannungen folgende Schritte aufweist: (a) Schreiben eines Datenwerts in den Satz ferroelektrischer Speicherzellen (110); (b) Auslesen von Bitleitungsspannungen aus den ferroelektrischen Speicherzellen (110); (c) Verändern eines Spannungspegels eines Referenzsignals, das an einen Satz von Leseverstärkern (430) angelegt wird, auf einen nächsten Pegel; (d) Verwenden der Leseverstärker (430) zur Erfassung der Bitleitungsspannungen; (e) Bestimmen, ob aus den Leseverstärkern (430) ausgegebene Datensignale dem Datenwert entsprechen; und (f) Wiederholen der Schritte (c), (d) und (e), bis Schritt (e) bestimmt, daß das Datensignal den Datenwert darstellen.
  10. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem Schritt (c) ein Inkrementieren des Spannungspegels aufweist.
  11. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem Schritt (c) ein Dekrementieren des Spannungspegels aufweist.
  12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 11, bei dem das Bewerten der Bitleitungsspannung folgende Schritte aufweist: Bestimmen eines ersten Werts, der einer höchsten der Bitleitungsspannungen entspricht, die aus einem Lesen von den ferroelektrischen Speicherzellen (110) resultiert, die einen ersten Wert speichern; und Bestimmen eines zweiten Werts, der einer niedrigsten der Bitleitungsspannungen entspricht, die aus einem Lesen von der ferroelektrischen Speicherzelle (110) resultiert, die einen zweiten Wert speichert, wobei der Referenzwert zwischen dem ersten und dem zweiten Wert liegt.
  13. Verfahren gemäß Anspruch 12, bei dem der Referenzwert ein Durchschnitt des ersten und des zweiten Werts ist.
  14. Verfahren gemäß Anspruch 12 oder 13, das ferner folgende Schritte aufweist: Identifizieren eines zweiten Satzes der ferroelektrischen Speicherzellen (110), bei dem die Bewertung der Bitleitungsspannungen anzeigt, daß er eine oder mehrere schwache ferroelektrische Speicherzellen umfaßt; und Ersetzen des zweiten Satzes der ferroelektrischen Speicherzellen durch einen Satz redundanter Speicherzellen (1220).
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