DE10141056C2 - Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen Behandeln von elektrisch leitfähigen Schichten in Durchlaufanlagen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen Behandeln von elektrisch leitfähigen Schichten in Durchlaufanlagen

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CNB028164512A CN1289719C (zh) 2001-08-22 2002-08-21 用于电解处理系统的分段式对向电极
DE60203047T DE60203047T2 (de) 2001-08-22 2002-08-21 Segmentierte Gegenelektrode für ein elektrolytisches Behandlungssystem
BRPI0211270-1A BR0211270B1 (pt) 2001-08-22 2002-08-21 dispositivo para tratamento eletrolìtico de peças e método de tratamento eletrolìtico de peças.
HK04103944.7A HK1060906B (en) 2001-08-22 2002-08-21 Segmented counterelectrode for an electrolytic treatment system
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CA002449807A CA2449807A1 (en) 2001-08-22 2002-08-21 Segmented counterelectrode for an electrolytic treatment system
MXPA04001545A MXPA04001545A (es) 2001-08-22 2002-08-21 Contraelectrodo segmentado para un sistema de tratamiento electrolitico.
AU2002336089A AU2002336089A1 (en) 2001-08-22 2002-08-21 Segmented counterelectrode for an electrolytic treatment system
AT02769978T ATE289636T1 (de) 2001-08-22 2002-08-21 Segmentierte gegenelektrode für ein elektrolytisches behandlungssystem
US10/485,654 US7473344B2 (en) 2001-08-22 2002-08-21 Segmented counterelectrode for an electrolytic treatment system
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004025827B3 (de) * 2004-05-24 2005-06-30 Höllmüller Maschinenbau GmbH Vorrichtung zum elektrischen Kontaktieren von ebenem Behandlungsgut in Durchlaufanlagen
DE102004029894B3 (de) * 2004-06-17 2005-12-22 Atotech Deutschland Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum elektrolytischen Behandeln von elektrisch gegeneinander isolierten, elektrisch leitfähigen Strukturen auf Oberflächen von flachem Behandlungsgut
DE102009023768A1 (de) 2009-05-22 2010-11-25 Hübel, Egon, Dipl.-Ing. (FH) Verfahren und Vorrichtung zum Steuern von elektrochemischen Oberflächenprozessen
DE102009023763A1 (de) 2009-05-22 2010-11-25 Hübel, Egon, Dipl.-Ing. (FH) Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen Behandeln von hochohmigen Schichten

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1865094B1 (de) * 2006-06-08 2009-10-21 BCT Coating Technologies AG Vorrichtung zur galvanischen Abscheidung von Oberflächen und Galvanisierungssystem
US20090047783A1 (en) * 2007-08-13 2009-02-19 Bchir Omar J Method of removing unwanted plated or conductive material from a substrate, and method of enabling metallization of a substrate using same
JP5405475B2 (ja) * 2008-09-30 2014-02-05 富士フイルム株式会社 電解粗面化処理方法および電解粗面化処理装置
BR122013014461B1 (pt) 2009-06-08 2020-10-20 Modumetal, Inc revestimento de multicamadas resistente à corrosão em um substrato e método de eletrodeposição para produção de um revestimento de multicamada
HK1220743A1 (zh) 2013-03-15 2017-05-12 Modumetal, Inc. 具有高硬度的镍铬纳米层压涂层
CN105189826B (zh) 2013-03-15 2019-07-16 莫杜美拓有限公司 通过添加制造工艺制备的制品的电沉积的组合物和纳米层压合金
EP2971264A4 (en) 2013-03-15 2017-05-31 Modumetal, Inc. Nanolaminate coatings
EP2971266A4 (en) 2013-03-15 2017-03-01 Modumetal, Inc. A method and apparatus for continuously applying nanolaminate metal coatings
EP3194163A4 (en) 2014-09-18 2018-06-27 Modumetal, Inc. Methods of preparing articles by electrodeposition and additive manufacturing processes
CA2961508C (en) 2014-09-18 2024-04-09 Modumetal, Inc. A method and apparatus for continuously applying nanolaminate metal coatings
CN104862768B (zh) * 2015-05-27 2017-09-22 广州杰赛科技股份有限公司 一种电路板的电镀方法及装置
JP6672572B2 (ja) * 2015-12-25 2020-03-25 住友電工プリントサーキット株式会社 プリント配線板用めっき装置及びプリント配線板の製造方法
KR101880599B1 (ko) 2016-06-22 2018-07-23 (주)포인텍 애노드 이동형 수평도금장치
CA3036191A1 (en) 2016-09-08 2018-03-15 Modumetal, Inc. Processes for providing laminated coatings on workpieces, and articles made therefrom
US12227869B2 (en) 2016-09-09 2025-02-18 Modumetal, Inc. Application of laminate and nanolaminate materials to tooling and molding processes
KR102412452B1 (ko) 2016-09-14 2022-06-23 모두메탈, 인크. 신뢰가능한 고처리량 복합 전기장 발생을 위한 시스템, 및 그로부터 코팅을 제조하는 방법
US12076965B2 (en) 2016-11-02 2024-09-03 Modumetal, Inc. Topology optimized high interface packing structures
CN110770372B (zh) 2017-04-21 2022-10-11 莫杜美拓有限公司 具有电沉积涂层的管状制品及其生产系统和方法
WO2019210264A1 (en) 2018-04-27 2019-10-31 Modumetal, Inc. Apparatuses, systems, and methods for producing a plurality of articles with nanolaminated coatings using rotation
EP4028582A1 (en) 2019-09-12 2022-07-20 Atotech Deutschland GmbH & Co. KG Apparatus for wet processing of a planar workpiece, device for a cell of the apparatus and method of operating the apparatus
US20230062477A1 (en) * 2020-02-07 2023-03-02 Atotech Deutschland GmbH & Co. KG Electrode and apparatus for electrolytically treating a workpiece, assembly for forming a cell of the apparatus and method and computer program
CN111826689B (zh) * 2020-07-28 2022-02-11 翔声科技(厦门)有限公司 一种多阶段镀镍工艺
CN114808057B (zh) * 2021-01-29 2024-06-21 泰科电子(上海)有限公司 电镀装置和电镀系统
CN215925133U (zh) * 2021-06-30 2022-03-01 厦门海辰新能源科技有限公司 一种用于镀膜机的阳极板及镀膜机
US20240003039A1 (en) * 2022-06-29 2024-01-04 Xiamen Hithium Energy Storage Technology Co.,Ltd.. Film plating machine and electroplating production line
CN117802557A (zh) * 2022-09-23 2024-04-02 奥特斯科技(重庆)有限公司 用于对部件承载件结构进行电镀覆的电镀覆设备和方法
KR20250131513A (ko) * 2024-02-27 2025-09-03 주식회사 웨스코일렉트로드 동박 제조용 양극 어셈블리

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0308636B1 (de) * 1987-09-24 1995-05-10 ATOTECH Deutschland GmbH Verfahren zur Angleichung der Teilströme in einem elektrolytischen Bad
DE19736351C1 (de) * 1997-08-21 1998-10-01 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum präzisen Galvanisieren von Werkstücken

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3369294D1 (en) * 1982-05-28 1987-02-26 De La Rue Syst Banding method and apparatus
DE3645319C3 (de) 1986-07-19 2000-07-27 Atotech Deutschland Gmbh Anordnung und Verfahren zum elektrolytischen Behandeln von plattenförmigen Gegenständen
US5188721A (en) 1989-02-10 1993-02-23 Eltech Systems Corporation Plate anode having bias cut edges
US5156730A (en) * 1991-06-25 1992-10-20 International Business Machines Electrode array and use thereof
DE4132418C1 (enExample) 1991-09-28 1993-02-11 Hans Hoellmueller Maschinenbau Gmbh & Co, 7033 Herrenberg, De
DE19633797B4 (de) 1996-08-22 2005-08-04 Hans Höllmüller Maschinenbau GmbH Vorrichtung zum Galvanisieren von elektronischen Leiterplatten oder dergleichen
EP1541719A3 (en) 1998-05-20 2006-05-31 Process Automation International Limited An electroplating machine
US6395152B1 (en) 1998-07-09 2002-05-28 Acm Research, Inc. Methods and apparatus for electropolishing metal interconnections on semiconductor devices
DE10100297A1 (de) 2001-01-04 2002-07-18 Gesimat Gmbh Vorrichtung und Verahren zur elektrochemischen Beschichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0308636B1 (de) * 1987-09-24 1995-05-10 ATOTECH Deutschland GmbH Verfahren zur Angleichung der Teilströme in einem elektrolytischen Bad
DE19736351C1 (de) * 1997-08-21 1998-10-01 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum präzisen Galvanisieren von Werkstücken

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004025827B3 (de) * 2004-05-24 2005-06-30 Höllmüller Maschinenbau GmbH Vorrichtung zum elektrischen Kontaktieren von ebenem Behandlungsgut in Durchlaufanlagen
DE102004029894B3 (de) * 2004-06-17 2005-12-22 Atotech Deutschland Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum elektrolytischen Behandeln von elektrisch gegeneinander isolierten, elektrisch leitfähigen Strukturen auf Oberflächen von flachem Behandlungsgut
DE102009023768A1 (de) 2009-05-22 2010-11-25 Hübel, Egon, Dipl.-Ing. (FH) Verfahren und Vorrichtung zum Steuern von elektrochemischen Oberflächenprozessen
DE102009023763A1 (de) 2009-05-22 2010-11-25 Hübel, Egon, Dipl.-Ing. (FH) Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen Behandeln von hochohmigen Schichten

Also Published As

Publication number Publication date
BR0211270B1 (pt) 2011-10-18
TW548349B (en) 2003-08-21
MXPA04001545A (es) 2004-05-14
DE60203047D1 (de) 2005-03-31
MY127490A (en) 2006-12-29
JP4257203B2 (ja) 2009-04-22
DE10141056A1 (de) 2003-05-08
EP1419290B1 (en) 2005-02-23
EP1419290A2 (en) 2004-05-19
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KR20040028802A (ko) 2004-04-03
CA2449807A1 (en) 2003-03-06
DE60203047T2 (de) 2006-01-12
CN1289719C (zh) 2006-12-13
US20040232005A1 (en) 2004-11-25
WO2003018878A2 (en) 2003-03-06
HK1060906A1 (en) 2004-08-27
JP2005501181A (ja) 2005-01-13
ATE289636T1 (de) 2005-03-15
CN1561409A (zh) 2005-01-05
WO2003018878A3 (en) 2004-02-26
KR100866821B1 (ko) 2008-11-04
US7473344B2 (en) 2009-01-06

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