DE10023034A1

DE10023034A1 - Transportvorrichtung für Sphärischen Körper

Info

Publication number: DE10023034A1
Application number: DE10023034A
Authority: DE
Inventors: Toru Takazawa
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1999-05-12
Filing date: 2000-05-11
Publication date: 2001-01-25
Anticipated expiration: 2020-05-12
Also published as: DE10023034B4; US6368026B1; JP2000317763A; SG87110A1

Abstract

Eine Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper, welche für eine Aufnahme eines kleinen, sphärischen Körpers (26), wie beispielsweise eines sphärischen Halbleiters, von einer ersten Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper und für ein Zuführen zu einer zweiten Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper anwendbar ist. Eine derartige Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper umfaßt Halteeinrichtungen (22) für den sphärischen Körper, welche wenigstens eine Aufnahmeeinrichtung (28) für den sphärischen Körper aufweisen und zum zeitweiligen Halten eines sphärischen Körpers (26) ausgebildet sind, Einbringeinrichtungen (40) für den sphärischen Körper zum Tragen des sphärischen Körpers (269 in die Aufnahmeeinrichtung (28) für den sphärischen Körper der Halteeinrichtungen (22) für den sphärischen Körper und Ausbringeinrichtungen (42) für den sphärischen Körper zum Tragen des sphärischen Körpers (26) aus den Aufnahmeeinrichtungen (28) für den sphärischen Körper der Halteeinrichtungen (22) für den sphärischen Körper.

Description

Gebiet der Erfindung

Diese Erfindung bezieht sich auf eine Transportvorrichtung für einen sphä rischen Körper, welche für ein Transportieren eines kleinen sphärischen bzw. kugelförmigen Körpers, beispielsweise eines sphärischen bzw. kugelförmigen Halbleiters, geeignet ist. Genauer bezieht sich die Erfindung auf eine Trans portvorrichtung für einen sphärischen Körper bzw. Kugelkörper, welche bei einer Aufnahme eines kleinen, sphärischen Körpers von einer ersten Be handlungsvorrichtung für einen sphärischen Körper und einem Zuführen zu einer zweiten Behandlungsvorrichtung für einen sphärischen Körper angewandt werden kann.

Beschreibung des Standes der Technik

In jüngster Zeit wurde vorgeschlagen, eine integrierte Schaltung auf der Oberfläche eines sphärischen Halbleiters, wie beispielsweise eines sphärischen Silikons, welches Ball-Halbleiter genannt wird, auszubilden. Ein derartiger sphä rischer bzw. kugelförmiger Halbleiter ist ein kleiner, sphärischer bzw. kugelför miger Körper mit einem Durchmesser von beispielsweise etwa 1 mm. Vor einem Ausbilden der integrierten Schaltung auf der Oberfläche des sphärischen Halb leiters ist es notwendig, die Oberfläche des sphärischen Halbleiters gründlich zu polieren. Die japanische Patentanmeldung Nr. 11-119490 (Titel der Erfindung: Kugelpoliervorrichtung, Anmeldedatum: 27. April 1999), welche auf den Zessionar bzw. Inhaber der vorliegenden Erfindung übertragen wurde, offenbart eine Poliervorrichtung, welche für ein Polieren der Oberfläche eines sphärischen Halbleiters geeignet ist. Um den sphärischen Halbleiter mit der Verwendung einer derartigen Poliervorrichtung in der tatsächlichen Produktion eines sphärischen Halbleiters zu polieren, ist es wichtig, nicht nur die Poliervorrichtung, sondern auch eine Transportvorrichtung zum Zuführen des sphärischen Halbleiters, welcher einem ersten Behandlungsschritt unterzogen wurde, welcher vor einem Polierschritt durchgeführt wurde, zu der Poliervorrichtung und eine Trans portvorrichtung zum Liefern des sphärischen Halbleiters, welcher durch die Poliervorrichtung poliert wurde, zu einem nachfolgenden Behandlungsschritt zu installieren. Eine Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper bzw. eine Kugelkörper-Transportvorrichtung, welche bevorzugt beim Transport eines kleinen, sphärischen Körpers, wie beispielsweise eines sphärischen Halbleiters, verwendet werden kann, wurde jedoch bis jetzt nicht realisiert.

Zusammenfassung der Erfindung

Ein wesentliches Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine neuartige Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper zur Verfügung zu stellen, welche bevorzugt beim Transport eines kleinen, sphärischen Körpers, wie bei spielsweise eines sphärischen Halbleiters, verwendet werden kann.

Die Erfindung stellt als eine Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper bzw. eine Kugelkörper-Transportvorrichtung, welche dieses Ziel erfüllt bzw. erreicht, eine Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper zur Verfügung, umfassend Halteeinrichtungen bzw. -mittel für einen sphärischen Körper zum zeitweiligen Halten eines sphärischen Körpers, wobei die Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper wenigstens eine Aufnahmeeinrichtung für den sphärischen Körper aufweisen; Eintrage- bzw. Einbringmittel bzw. -einrichtungen für den sphärischen Körper zum Tragen des sphärischen Körpers in die Aufnahmeeinrichtung für den sphärischen Körper der Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper; und Ausbringeinrichtungen bzw. -mittel für den sphärischen Körper zum Ausbringen des sphärischen Körpers aus der Aufnahmeeinrichtung des sphärischen Körpers der Halteeinrichtungen des sphärischen Körpers.

Die Aufnahmeeinrichtung bzw. -einrichtungen für den sphärischen Körper der Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper weisen vorzugsweise eine Form und Abmessungen auf, welche für eine Aufnahme von lediglich einem sphä rischen Körper geeignet sind. Vorzugsweise weisen die Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper eine Vielzahl von Aufnahmeeinrichtungen bzw. -mitteln für den sphärischen Körper auf und bringen wiederholt sequentiell bzw. nacheinander jede der Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper in eine Einbringposi tion für den sphärischen Körper und eine Ausbringposition für den sphärischen Körper; tragen die Einbringeinrichtungen für den sphärischen Körper den sphärischen Körper in die Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper, welche an der Einbringposition für den sphärischen Körper angeordnet sind; und bringen die Ausbringeinrichtungen für den sphärischen Körper den sphärischen Körper aus den Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper aus, welche an der Ausbringposition für den sphärischen Körper angeordnet sind. Die Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper beinhalten bevorzugt eine rotierbar angeordnete, rotierende Scheibe und eine Rotationsantriebsquelle zum Drehen der rotierenden Scheibe. Bevorzugt ist eine Vielzahl der Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper mit einem Abstand in Umfangsrichtung in der rotierenden Scheibe angeordnet. Die Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper der Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper können von einer Ausnehmung bzw. Vertiefung gebildet sein, welche an einer oberen Oberfläche der rotierenden Scheibe offen ist und eine halbsphärische bzw. halbkugelförmige Bodenoberfläche aufweist. In dieser rotierenden Scheibe ist es vorteilhaft, daß eine Entlüftungsöffnung bzw. ein Loch, welche(s) sich von der Bodenoberfläche von jeder der Vertiefungen zu einer unteren Oberfläche der rotierenden Scheibe erstreckt, ausgebildet ist. In vorteilhafter Weise weist das Loch eine Quer schnittsform und Abmessungen auf, welche nicht erlauben, daß der sphärische Körper hindurchtritt. Die Einbringeinrichtungen für den sphärischen Körper sind in vorteilhafter Weise von Einbring-Wegeinrichtungen bzw. -mitteln, welche mit einer oberen Oberfläche der Vertiefung an der Einbringposition des sphärischen Körpers zusammenwirken bzw. in Verbindung stehen, und Saugeinrichtungen bzw. -mitteln zum Ansaugen eines Gases durch die Einbring-Wegeinrichtungen, die Vertiefung und das Loch zusammengesetzt bzw. gebildet, um den sphä rischen Körper als eine Begleitung zu dem angesaugten Gas von den Einbring- Wegeinrichtungen in die Vertiefung zu tragen. Die Ausbringeinrichtungen bzw. -mittel für den sphärischen Körper sind in vorteilhafter Weise von Ausbring-Weg einrichtungen bzw. -mitteln, welche mit der oberen Oberfläche der Vertiefung an der Ausbringposition des sphärischen Körpers zusammenwirken bzw. in Verbindung stehen, und Blaseinrichtungen bzw. -mitteln zum Blasen eines Gases durch das Loch, die Vertiefung und die Ausbring-Wegeinrichtungen zusammenge setzt bzw. gebildet, um den sphärischen Körper als eine Begleitung zum dem ausgeblasenen Gas aus der Vertiefung zu den Ausbring-Wegeinrichtungen zu tragen. Vorzugsweise weisen die Einbring-Wegeinrichtungen und die Ausbring- Wegeinrichtungen jeweils eine Querschnittsform und Abmessungen auf, welche geeignet sind, den Durchtritt von lediglich einem sphärischen Körper zu erlauben.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine bevorzugte Ausfüh rungsform einer Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper bzw. einer Kugelkörper-Transportvorrichtung zeigt, welche in Übereinstimmung mit der vor liegenden Erfindung ausgebildet ist;

Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper, welche in Fig. 1 gezeigt ist;

Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht der Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper, welche in Fig. 1 gezeigt ist; und

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel eines Poliersystems für einen sphärischen Körper zeigt, welches die Transportvorrichtung für den sphärischen Körper verwendet, welche in Fig. 1 gezeigt ist.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Bevorzugte Ausführungsformen einer Transportvorrichtung für einen sphä rischen Körper, welche in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ausgebildet ist, werden nun in weiterem Detail unter Bezugnahme auf die beige schlossenen Zeichnungen beschrieben.

Die Fig. 1, 2 und 3 zeigen eine bevorzugte Ausführungsform einer Trans portvorrichtung für einen sphärischen Körper, welche in Übereinstimmung mit der Erfindung ausgebildet ist. Die illustrierte Transportvorrichtung für einen sphärischen Körper, welche insgesamt mit dem Bezugszeichen 2 bezeichnet ist, weist eine stationäre Platte 4 auf, welche als eine quadratische Platte ausgebildet bzw. geformt sein kann, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Auf der stationären Platte 4 sind vier Support- bzw. Haltestützen bzw. -pfeiler 6 (drei von diesen sind in Fig. 1 gezeigt), welche sich im wesentlichen vertikal nach oben erstrecken, durch ein geeignetes Verfahren, wie beispielsweise ein Bonden bzw. festes Verbinden, fest gelegt. An einem oberen Ende von jedem der vier Supportpfeiler 6 ist eine untere, stationäre Scheibe 8 durch ein geeignetes Verfahren, wie beispielsweise ein Bonden bzw. festes Verbinden, festgelegt. Wie dies klar aus den Fig. 2 und 3 verständlich sein wird, ist eine kreisförmige Vertiefung 10 in dem Zentrum einer oberen Oberfläche der unteren, stationären Scheibe 8 ausgebildet, welche im wesentlichen horizontal angeordnet ist. In der unteren, stationären Scheibe bzw. Platte 8 ist weiters ein Durchtrittsloch 12, welches in dem Zentrum der kreisför migen Vertiefung 10 positioniert ist, ausgebildet. Die Querschnittsform des Durchtrittslochs 12 kann kreisförmig sein. Auf der unteren, stationären Scheibe 8 ist eine obere, stationäre Scheibe bzw. Platte 14 festgelegt. Wie dies klar in Fig. 2 illustriert ist, sind vier Gewindelöcher 16 mit gleichem Winkelabstand in einer Um fangsrichtung in einem Umfangsrandabschnitt bzw. -bereich einer oberen Oberfläche der unteren, stationären Scheibe 8 ausgebildet. In der oberen, stationären Scheibe 14 sind vier Durchtrittslöcher 18 mit gleichem Winkelabstand in der Umfangsrichtung ausgebildet. Klemm- bzw. Festlegungsbolzen bzw. -schrauben 20 sind in die Gewindelöcher 16 der unteren, stationären Scheibe 8 durch die Durchtrittslöcher 18 der oberen, stationären Scheibe 14 geschraubt, um die obere, stationäre Scheibe 14 an der unteren, stationären Scheibe 8 festzulegen. Eine obere Oberfläche der kreisförmigen Vertiefung 10, welche in der unteren, stationären Scheibe 8 ausgebildet ist, ist durch die obere, stationäre Scheibe 14 abgedeckt.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 weist die Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper Halteeinrichtungen bzw. -mittel 22 für den sphärischen Körper bzw. Kugelkörper-Halteeinrichtungen auf. Die Halteeinrichtungen 22 für den sphärischen Körper beinhalten in der illustrierten Ausführungsform eine rotierende bzw. drehende Scheibe bzw. Platte 24, welche drehbar in der kreisförmigen Vertiefung 10 der unteren, stationären Scheibe 8 angeordnet bzw. montiert ist. In der drehenden Scheibe 24 ist eine Vielzahl von Auf nahmeeinrichtungen bzw. -mitteln 28 für einen sphärischen Körper zum Auf nehmen von sphärischen Körpern bzw. Kugelkörpern 26, welche in die Halte einrichtungen 22 für den sphärischen Körper auf eine später zu beschreibende Weise eingebracht werden, mit gleichem Winkelabstand in einer Umfangsrichtung angeordnet. Der sphärische Körper 26 ist beispielsweise ein sphärischer Halbleiter mit einem Durchmesser von etwa 1 mm. Jede der Aufnahmeeinrich tungen 28 für den sphärischen Körper ist von einer Ausnehmung bzw. Vertiefung gebildet, welche an einer oberen Oberfläche der drehenden Scheibe 24 offen ist. Eine obere Hälfte der Vertiefung ist durch eine zylindrische Seitenwand definiert, welche sich im wesentlichen vertikal erstreckt, und eine untere Hälfte der Vertiefung ist durch eine halbsphärische bzw. halbkugelförmige Bodenoberfläche definiert. Der Durchmesser der zylindrischen Seitenwand und der Durchmesser der halbkugelförmigen Bodenoberfläche in der Vertiefung sind im wesentlichen gleich wie oder geringfügig größer als der Durchmesser des in der Vertiefung aufgenommenen, sphärischen bzw. kugelförmigen Körpers 26. Die die Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper bildende Vertiefung ist mit einem Loch 30 versehen, welches sich im wesentlichen vertikal von dem Zentrum der Bodenoberfläche oder der Vertiefung zu einer unteren Oberfläche der rotierenden Scheibe 24 erstreckt. Es ist wesentlich bzw. wichtig, daß das Loch bzw. die Entlüfungsöffnung 30 eine Querschnittsform und Abmessungen aufweist, welche nicht erlauben, daß der sphärische Körper 26 durch das Loch 30 hindurchtritt. Das Loch 30 in der illustrierten Ausführungsform weist eine kreisförmige Querschnittsform auf, welche einen ausreichend kleineren Durchmesser als der Durchmesser des sphärischen Körpers 26 aufweist.

Die Halteeinrichtungen 22 für den sphärischen Körper beinhalten auch eine Rotationsantriebsquelle 32 zum Drehen der rotierenden Scheibe 24. Die Rotationsantriebsquelle 32 ist von einem Puls- bzw. Schrittmotor gebildet, welcher an der stationären Platte 4 festgelegt ist. Eine Ausgangs- bzw. Abtriebswelle 34 des Schrittmotors erstreckt sich im wesentlichen vertikal nach oben und wird in das Durchtrittsloch 12 eingelassen, welches in der unteren, stationären Scheibe 8 ausgebildet ist. In der Abtriebswelle 34 ist ein Anschluß- bzw. Verbindungsloch 36, welches sich nach unten von einem oberen Ende der Abtriebswelle 34 erstreckt, ausgebildet. Das Verbindungsloch 36 weist einen quadratischen Querschnitt auf. An der unteren Oberfläche der rotierenden Scheibe 24 ist eine Eingangs- bzw. Antriebswelle 38, welche sich nach unten von dem Zentrum der unteren Oberfläche erstreckt, integral bzw. einstückig ausgebildet. Die Eingangswelle 38 weist einen quadratischen Querschnitt ensprechend der Querschnittsform des Verbindungslochs 36 auf, welches in der Abtriebswelle 34 ausgebildet ist. Die Antriebswelle 38 ist in das Verbindungsloch 36 der Abtriebswelle 34 eingeführt, um die Abtriebswelle 38 mit der Abtriebswelle 34 zu verbinden, so daß die rotierende Scheibe 24 angetrieben mit der Rotationsantriebsquelle 32 verbunden bzw. gekoppelt ist. Die Rotationsantriebsquelle 32 dreht intermittierend die rotierende Scheibe 24 um einen vorbestimmten Winkel in einer vorbestimmten Richtung. Daraus resultierend wird jede der Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper, welche in der rotierenden Scheibe 24 angeordnet sind, se quentiell bzw. nacheinander zu einer Einbring- bzw. Eintragsposition A für den sphärischen Körper gebracht und auch sequentiell bzw. nacheinander zu einer Ausbring- bzw. Austragsposition B für den sphärischen Körper gebracht. In der illustrierten Ausführungsform sind die Einbringposition A des sphärischen Körpers und die Ausbringposition B des sphärischen Körpers in einem 180° Winkelabstand angeordnet. Falls gewünscht, kann die rotierende Scheibe 24 kontinuierlich mit einer erforderlichen Geschwindigkeit bzw. Drehzahl gedreht werden.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2 und 3 umfaßt die Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper Einbringeinrichtungen bzw. -mittel 40 für den sphä rischen Körper zum Tragen bzw. Bringen des sphärischen Körpers 26 in die Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper der rotierenden Scheibe 24 an der Einbringposition A für den sphärischen Körper und Ausbring- bzw. Austragseinrichtungen bzw. -mittel 42 für den sphärischen Körper zum Ausbringen des sphärischen Körpers 26 aus den Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper der rotierenden Scheibe 24 an der Ausbringposition B des sphärischen Körpers. In weiterem Detail ist ein Paar von Durchtrittslöchern 44 und 46, welche sich im wesentlichen vertikal erstrecken, in der oberen, stationären Scheibe 14 ausgebildet. An einer oberen Oberfläche der oberen, stationären Scheibe 14 sind Verbindungszylinder 48 und 50, welche nach oben von dem Umfangsrand der Durchtrittslöcher 44 und 46 vorragen, durch ein geeignetes Verfahren, wie beispielsweise ein Bonden bzw. festes Verbinden, festgelegt. Die Durchtrittslöcher 44 und 46 sind fluchtend mit der Einbringposition A des sphä rischen Körpers bzw. der Ausbringposition B des sphärischen Körpers angeordnet. Mit den Verbindungszylindern 48 und 50 ist ein flexibler Einbring schlauch 52 und ein flexibler Ausbringschlauch 54 jeweils durch Kopplungsringe 56 und 58 verbunden, welche eine gut bekannte Form aufweisen können. Die Querschnittsformen der Durchtrittslöcher 44 und 46, der Verbindungszylinder 48 und 50 und der Schläuche bzw. Leitungen 52 und 54 können kreisförmig sein und die Innendurchmesser dieser Elemente bzw. Glieder sind im wesentlichen dieselben und sie sind dieselben wie oder geringfügig größer als der Durchmesser des sphärischen Körpers 26. In der unteren, stationären Scheibe 8 ist ein Paar von Durchtrittslöchern 60 und 62 ausgebildet, welche sich im wesentlichen vertikal von der Bodenwand der kreisförmigen Vertiefung 10 zu der unteren Oberfläche der unteren, stationären Scheibe 8 erstrecken. An der unteren Oberfläche der unteren, stationären Scheibe 8 sind kreisförmige Verbindungsvorsprünge bzw. -fortsätze 64 und 66, welche nach unten von dem Umfangsrand bzw. der Umfangskante der Durchtrittslöcher 60 und 62 vorragen, integral bzw. einstückig ausgebildet. Die Durchtrittslöcher 60 und 62 sind fluchtend mit der Einbringposition A für den sphärischen Körper bzw. der Ausbringposition B für den sphärischen Körper positioniert. Mit dem Verbindungsvorsprung bzw. Anschlußstutzen 64 ist ein Ende eines flexiblen Saugschlauchs 68 verbunden und das andere Ende des flexiblen Saugschlauchs 68 ist mit Saugeinrichtungen bzw. -mitteln 70 verbunden, welche eine Vakuumpumpe sein können. Mit dem Verbindungsvorsprung 66 ist ein Ende eines flexiblen Blasschlauchs 72 verbunden und das andere Ende des Blasschlauchs 72 ist mit Blaseinrichtungen bzw. -mitteln 74 verbunden, welche ein Luftkompressor sein können. Die Quer schnittsformen der Durchtrittslöcher 60 und 62 und der Schläuche 68 und 72 können Kreise mit relativ geringen Durchmessern sein. Wie dies klar aus einer nachfolgend zu gebenden Beschreibung verständlich sein wird, bilden der Einbringschlauch 52, der Verbindungszylinder 48, das Durchtrittsloch 44, das Durchtrittsloch 60, der Saugschlauch 68 und die Saugeinrichtungen 70 die Einbringeinrichtungen 40 für den sphärischen Körper. Demgegenüber bilden die Ausblaseinrichtungen 74, der Blasschlauch 72, das Durchtrittsloch 62, das Durchtrittsloch 46, der Verbindungszylinder 50 und der Ausbringschlauch 54 die Ausbringeinrichtungen 42 für den sphärischen Körper.

In der oben beschriebenen Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper weist der Einbringschlauch 52, welcher an einem mit dem Verbindungs zylinder 48 verbunden ist, das andere Ende an einen Zufuhrtrichter bzw. -behälter für den sphärischen Körper oder eine geeignete Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper (nicht gezeigt) angeschlossen auf. Der Ausbringschlauch 54, welcher an einem Ende mit dem Verbindungszylinder 50 verbunden ist, weist das andere Ende an einen Sammeltrichter bzw. -behälter für den sphärischen Körper oder eine geeignete Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper (nicht gezeigt) angeschlossen auf. Wenn die Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper betätigt wird, wird ein Gas, welches Luft sein kann, durch den Einbring schlauch 52, den Verbindungszylinder 48, das Durchtrittsloch 44, eine der Aufnah meeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper (d. h. die Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper, welche an der Einbringposition A für den sphärischen Körper angeordnet ist), welche in der rotierenden Scheibe 24 ausgebildet ist, das Loch 30, das Durchtrittsloch 60 und den Saugschlauch 68 durch die Betätigung bzw. Wirkung der Saugeinrichtungen 70 angesaugt. Daraus resultierend wird der sphärische Körper 26 von dem Zufuhrtrichter für den sphärischen Körper oder einer geeigneten Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper angesaugt und in einer der Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper aufgenommen. Der Innendurchmesser des Lochs 30, welches für die Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper vorgesehen ist, ist ausreichend klein im Vergleich zu dem Durchmesser des sphärischen Körpers 26. Derart wird der sphärische Körper 26, welcher in der Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper aufgenommen ist, nicht in das Loch 30 angesaugt. Betreffend die Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper, welche an der Austrags- bzw. Ausbringposition B für den sphärischen Körper angeordnet ist, wird ein Gas, wie beispielsweise Druckluft, welche von den Blaseinrichtungen 74 zugeführt wird, durch den Blasschlauch 72, das Durchtrittsloch 62, das Loch 30, eine der Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper (d. h. die Aufnah meeinrichtung 28 für den sphärischen Körper, welche an der Austrags- bzw. Ausbringposition B für den sphärischen Körper angeordnet ist), welche in der ro tierenden Scheibe 24 ausgebildet ist, das Durchtrittsloch 46, den Verbindungszy linder 50 und den Austragsschlauch 54 geblasen. Daraus resultierend wird der sphärische Körper 26, welcher in der Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper aufgenommen ist, nach außen durch das Durchtrittsloch 46, den Ver bindungszylinder 50 und den Ausbringschlauch 54 ausgebracht bzw. ausgetragen und zu dem Sammeltrichter bzw. -bunker für den sphärischen Körper oder eine geeignete Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper transportiert. Unter diesen Umständen wird, wenn die rotierende Scheibe 24 intermittierend in der vorbestimmten Richtung gedreht wird, um die Aufnahmeeinrichtungen 28 für den sphärischen Körper nacheinander bzw. sequentiell zu der Einbringposition A für den sphärischen Körper zu bringen, der sphärische Körper 26 in die Aufnahme einrichtung 28 für den sphärischen Körper durch die Wirkung der Einbringeinrich tungen 40 für den sphärischen Körper eingebracht. Der sphärische Körper 26, welcher in die Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper eingebracht wurde, wird temporär bzw. zeitweilig in der Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphä rischen Körper gehalten und in Übereinstimmung mit der Rotation der rotierenden Scheibe 24 zu der Ausbringposition B für den sphärischen Körper bewegt. Wenn der sphärische Körper 26 zu der Austragsposition B für den sphärischen Körper bewegt wurde, wird der sphärische Körper 26, welcher in der Aufnahmeein richtung 28 für den sphärischen Körper aufgenommen ist, aus der Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper durch die Wirkung der Ausbringeinrichtungen 42 für den sphärischen Körper ausgebracht bzw. ausge tragen.

In der Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper, welche unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2 und 3 beschrieben wurde, sind eine Einbringein richtung 40 für den sphärischen Körper und eine Ausbringeinrichtung 42 für den sphärischen Körper für eine rotierende Scheibe 24 ausgebildet bzw. angeordnet. Falls gewünscht, kann für eine rotierende Scheibe 24 eine Vielzahl der Einbringeinrichtungen 40 für den sphärischen Körper und/oder der Ausbringein richtungen 42 für den sphärischen Körper mit erforderlichen Winkelabständen in der Umfangsrichtung der rotierenden Scheibe 24 angeordnet sein. Beispielsweise können, wenn die Behandlungskapazität der Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper bzw. Kugelkörper-Behandlungsvorrichtung, welche stromaufwärts von der Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper an geordnet ist, das Doppelte der Behandlungskapazität der Behandlungsvorrichtung für den sphärischen Körper ist, welche stromabwärts von der Transportvorrichtung 2 für den sphärischen Körper angeordnet ist, eine Einbringeinrichtung 40 für den sphärischen Körper und zwei Ausbringeinrichtungen 42 für den sphärischen Kör per für eine rotierende Scheibe 24 angeordnet sein. In diesem Fall werden die Blaseinrichtungen 74 der zwei Ausbringeinrichtungen 42 für den sphärischen Körper, welche in Zusammenhang bzw. im Zusammenwirken mit getrennten Aus bringpositionen für den sphärischen Körper angeordnet sind, abwechselnd in Übereinstimmung mit der Betätigung der einen Einbringeinrichtung 40 für den sphärischen Körper betätigt, wodurch der sphärische Körper 26, welcher in der Aufnahmeeinrichtung 28 für den sphärischen Körper der rotierenden Scheibe 24 durch die eine Einbringeinrichtung 40 für den sphärischen Körper aufgenommen ist, abwechselnd nach außen durch die zwei Ausbringeinrichtungen 42 für den sphärischen Körper ausgebracht werden kann.

Fig. 4 zeigt ein Poliersystem für einen sphärischen Körper bzw. ein Ku gelkörper-Poliersystem, umfassend zwei Poliervorrichtungen für einen sphä rischen Körper, d. h. eine primäre Poliervorrichtung 100A für den sphärischen Körper zum rauhen bzw. groben Polieren eines sphärischen Körpers und eine zweite Poliervorrichtung 1008 für einen sphärischen Körper für ein feines Polieren des sphärischen Körpers und Transportvorrichtungen 2A, 2B und 2C für den sphärischen Körper, welche mit diesen Poliervorrichtungen verbunden sind und eine Konfiguration aufweisen, wie sie unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2 und 3 beschrieben wurde. Die Poliervorrichtungen 100A und 100B für den sphärischen Körper beinhalten Transportbandeinrichtungen bzw. -mittel 102A und 102B für den sphärischen Körper, Polierbandeinrichtungen bzw. -mittel 104A und 104B und Wendeeinrichtungen bzw. -mittel 106A und 106B für den sphärischen Körper. Die Transportbandeinrichtungen 102A und 102B für den sphärischen Körper weisen Endlosbänder bzw. -gurte 110A und 110B auf, welche eine Vielzahl von Aufnahmeöffnungen 108A und 108B für den sphärischen Körper aufweisen, welche mit einem geeigneten Abstand in einer Längsrichtung ausgebildet sind. Die Endlosbänder 110A und 110B werden in Richtungen angetrieben, welche durch Pfeile 112A und 112B angedeutet sind, und sequentiell bzw. nacheinander durch eine Beladestation, welche durch eine Abdeckung 114A oder 114B abgedeckt ist, eine Polierstation, welche mit einer Abdeckung 116A oder 116B abgedeckt ist, und eine Enffernungs- bzw. Entnahmestation bewegt, welche durch eine Abdeckung 118A oder 118B abgedeckt ist. Die Polierbandeinrichtungen 104A beinhalten ein Grobpolierband 120A, welches in einer Richtung angetrieben ist, welche durch einen Pfeil 122A angedeutet ist. Die Polierbandeinrichtungen 104B beinhalten ein Feinpolierband 120B, welches in einer Richtung angetrieben ist, welche durch einen Pfeil 122B angezeigt ist.

Ein stromaufwärtiges Ende eines Einbringschlauchs 52A der Transport vorrichtung 2A für den sphärischen Körper ist mit einem Zufuhrtrichter bzw. -behälter für den sphärischen Körper (nicht gezeigt) verbunden. Ein unteres Ende eines Ausbringschlauchs 54A ist in der Beladestation der primären Polier vorrichtung 100A für den sphärischen Körper positioniert. Ein stromaufwärtiges Ende eines Einbringschlauchs 52B der Transportvorrichtung 2B für den sphä rischen Körper ist in der Entnahmestation der primären Poliervorrichtung 100A für den sphärischen Körper positioniert. Ein unteres Ende eines Ausbringschlauchs 54B ist in der Beladestation der zweiten Poliervorrichtung 100B für den sphärischen Körper positioniert. Ein stromaufwärtiges Ende eines Einbring schlauchs 52C der Transportvorrichtung 2C für den sphärischen Körper ist in der Entnahme- bzw. Ausbringstation der zweiten Poliervorrichtung 100B für den sphärischen Körper positioniert. Ein unteres Ende eines Ausbringschlauchs 54C ist mit einem Sammeltrichter bzw. -bunker für den sphärischen Körper (nicht gezeigt) verbunden.

In der primären Poliervorrichtung 100A für den sphärischen Körper in dem Poliersystem für den sphärischen Körper, wie es in Fig. 4 illustriert ist, wird, wenn das Endlosband 110A der Transportbandeinrichtungen 102A für den sphärischen Körper durch die Beladestation hindurchtritt, ein sphärischer Körper bzw. Kugelkörper, welcher von dem Zufuhrtrichter bzw. -behälter für den sphärischen Körper über die Transportvorrichtung 2A für den sphärischen Körper transportiert wird, in der Aufnahmeöffnung 108A für den sphärischen Körper aufgenommen. Während eines Durchtritts des Endlosbands 110A durch die Polierstation wirkt das Rauh- bzw. Grobpolierband 120A, welches in der Richtung des Pfeils 122A angetrieben wird, auf den sphärischen Körper, welcher in der Aufnahmeöffnung 108A für den sphärischen Körper aufgenommen ist, um ein grobes Polieren des sphärischen Körpers durchzuführen. Die Wendeeinrichtung 106A für den sphärischen Körper dreht statistisch bzw. zufällig den sphärischen Körper, welcher in der Aufnahmeöffnung 108A für den sphärischen Körper aufgenommen ist, so daß die gesamte Oberfläche des sphärischen Körpers einem Grobpoliervorgang des Grobpolierbands 120A ausreichend einheitlich unterworfen wird. Während das Endlosband 110A durch die Entnahmestation hindurchtritt, wird der sphärische Körper, welcher in der Aufnahmeöffnung 108A für den sphärischen Körper aufgenommen ist, in den Einbringschlauch 52B der Transportvorrichtung 2B für den sphärischen Körper angesaugt. In der sekundären bzw. zweiten Poliervorrichtung 100B für den sphärischen Körper wird, wenn das Endlosband 110B der Transportbandeinrichtungen 102B für den sphärischen Körper durch die Beladestation hindurchtritt, der sphärische Körper, welcher von der primären Poliervorrichtung 100A für den sphärischen Körper über die Transportvorrichtung 2B für den sphärischen Körper transportiert wurde, in der Aufnahmeöffnung 108B für den sphärischen Körper aufgenommen. Während eines Durchtritts des Endlosbands 110B durch die Polierstation wirkt das Feinpolierband 120B, welches in der Richtung des Pfeils 122B angetrieben wird, auf den sphärischen Körper, welcher in der Aufnahmeöffnung 108B für den sphärischen Körper aufgenommen ist, um ein Feinpolieren des sphärischen Körpers durchzuführen. Die Wendeein richtung 106B für den sphärischen Körper dreht statistisch bzw. zufällig den sphä rischen Körper, welcher in der Aufnahmeöffnung 108B für den sphärischen Körper aufgenommen ist, so daß die gesamte Oberfläche des sphärischen Körpers dem Feinpoliervorgang des Feinpolierbands 120B ausreichend einheitlich unterworfen wird. Während das Endlosband 110B durch die Entnahmestation hindurchtritt, wird der sphärische Körper, welcher in der Aufnahmeöffnung 108B für den sphärischen Körper aufgenommen ist, in den Einbringschlauch 52C der Transportvorrichtung 2C für den sphärischen Körper angesaugt. Der in den Einbringschlauch 52C der Transportvorrichtung 2C für den sphärischen Körper angesaugte, sphärische Körper wird zu dem Sammeltrichter bzw. -behälter für den sphärischen Körper über die Transportvorrichtung 2C für den sphärischen Körper transportiert.

Die primäre Poliervorrichtung 100A für den sphärischen Körper und die sekundäre Poliervorrichtung 100B für den sphärischen Körper in dem in Fig. 4 illustrierten Poliersystem für den sphärischen Körper können die Konfiguration aufweisen, die im Detail in der Beschreibung und den Zeichnungen der oben genannten, japanischen Patentanmeldung Nr. 11-119490 geoffenbart ist, welche auf den Zessionar bzw. Inhaber der vorliegenden Erfindung übertragen wurde. Es wird somit die gesamte Offenbarung der japanischen Patentanmeldung Nr. 11- 119490, beinhaltend die Beschreibung, die Ansprüche, Zeichnungen und Zusammenfassung, hier als Bezugnahme in ihrer Gesamtheit aufgenommen und Details der Ausbildung dieser Poliervorrichtungen für den sphärischen Körper sind hier weggelassen.

Die bevorzugten Ausführungsformen der Transportvorrichtung für den sphärischen Körper bzw. Kugelkörper-Transportvorrichtung, welche in Überein stimmung mit der vorliegenden Erfindung ausgebildet ist, wurden im Detail unter Bezugnahme auf die beigeschlossenen Zeichnungen beschrieben. Es sollte verstanden werden, daß die Erfindung nicht auf derartige Ausführungsformen beschränkt ist, sondern daß verschiedene Änderungen und Modifikationen durchgeführt werden können, ohne den Geist und den Rahmen bzw. Umfang der Erfindung zu verlassen.

Claims

1. Transportvorrichtung für sphärischen Körper, umfassend:
Halteeinrichtungen bzw. -mittel für einen sphärischen Körper zum zeit weiligen Halten eines sphärischen bzw. kugelförmigen Körpers, wobei die Halte einrichtungen für den sphärischen Körper wenigstens eine Aufnahmeeinrichtung für den sphärischen Körper aufweisen;
Eintrage- bzw. Einbringmittel bzw. -einrichtungen für den sphärischen Kör per zum Tragen des sphärischen Körpers in die Aufnahmeeinrichtung für den sphärischen Körper der Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper; und
Ausbringeinrichtungen bzw. -mittel für den sphärischen Körper zum Aus bringen des sphärischen Körpers aus der Aufnahmeeinrichtung des sphärischen Körpers der Halteeinrichtungen des sphärischen Körpers.

2. Transportvorrichtung für sphärischen Körper nach Anspruch 1, worin:
die Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper der Halteeinrich tungen für den sphärischen Körper eine Form und Abmessungen aufweisen, welche zur Aufnahme von lediglich einem sphärischen Körper geeignet sind.

3. Transportvorrichtung für sphärischen Körper nach Anspruch 1 oder 2, worin:
die Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper eine Vielzahl von Auf nahmeeinrichtungen bzw. -mittel für den sphärischen Körper aufweisen und wie derholt nacheinander bzw. sequentiell jede der Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper in eine Einbringposition für den sphärischen Körper und eine Ausbringposition für den sphärischen Körper bringen;
die Einbringeinrichtungen für den sphärischen Körper den sphärischen Körper in die Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper tragen, welche an der Einbringposition für den sphärischen Körper angeordnet sind; und
die Ausbringeinrichtungen für den sphärischen Körper den sphärischen Körper aus den Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper ausbringen, welche an der Ausbringposition für den sphärischen Körper angeordnet sind.

4. Transportvorrichtung für sphärischen Körper nach einem der vorher gehenden Ansprüche, worin:
die Halteeinrichtungen für den sphärischen Körper eine drehbar ange ordnete, rotierende Scheibe und eine Rotationsantriebsquelle zum Drehen der drehbaren Scheibe beinhalten; und
eine Vielzahl von Aufnahmeeinrichtungen für den sphärischen Körper mit einem Abstand in einer Umfangsrichtung in der drehbaren Scheibe angeordnet sind.

5. Transportvorrichtung für sphärischen Körper nach Anspruch 4, worin:
die Aufnahmeeinrichtung für den sphärischen Körper der Halteeinrich tungen für den sphärischen Körper von einer Ausnehmung bzw. Vertiefung ge bildet ist, welche an einer oberen Oberfläche der rotierenden Scheibe offen ist und eine halbsphärische bzw. halbkugelförmige Bodenoberfläche aufweist.

6. Transportvorrichtung für sphärischen Körper nach Anspruch 4 oder 5, worin:
ein Loch, welches sich von der Bodenoberfläche von jeder der Vertie fungen zu einer unteren Oberfläche der drehbaren Scheibe erstreckt, in der dreh baren Scheibe ausgebildet ist, wobei das Loch eine Querschnittsform und Abmes sungen aufweist, welche nicht erlauben, daß der sphärische Körper durch das Loch hindurchtritt;
die Einbringeinrichtungen für den sphärischen Körper von Einbring-Weg einrichtungen bzw. -mitteln, welche mit einer oberen Oberfläche der Vertiefung an der Einbringposition für den sphärischen Körper zusammenwirken bzw. in Ver bindung stehen, und Ansaugeinrichtungen bzw. -mitteln zum Ansaugen eines Gases durch die Einbring-Wegeinrichtungen, die Vertiefung und das Loch zusammengesetzt sind, um den sphärischen Körper als eine Begleitung zu dem angesaugten Gas von den Einbring-Wegeinrichtungen in die Vertiefung zu tragen; und
die Ausbringeinrichtungen für den sphärischen Körper von Ausbring- Wegeinrichtungen bzw. -mitteln, welche mit der oberen Oberfläche der Vertiefung an der Ausbringposition des sphärischen Körpers zusammenwirken bzw. in Verbindung stehen, und Blaseinrichtungen bzw. -mitteln zum Ausblasen eines Gases durch das Loch, die Vertiefung und die Ausbring-Wegeinrichtungen zusammengesetzt sind, um den sphärischen Körper als eine Begleitung zu dem ausgeblasenen Gas aus der Vertiefung zu den Ausbring-Wegeinrichtungen zu tra gen.

7. Transportvorrichtung für sphärischen Körper nach einem der vorher gehenden Ansprüche, worin:
die Einbring-Wegeinrichtungen und die Ausbring-Wegeinrichtungen jeweils eine Querschnittsform und Abmessungen aufweisen, welche für ein Erlauben eines Durchtritts von lediglich einem sphärischen Körper geeignet sind.