DE10017742C2 - Vorrichtung zum Handling von Bauelementen - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung
zum Handling von Bauelementen, insbesondere von
aus dem Wafer vereinzelten Halbleiterchips, gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
Eine derartige Vorrichtung ist beispielsweise aus der
DE 42 44 640 A1 bekannt.
In einem abschließenden Abschnitt der Herstellung von Halb
leiterbauelementen (Backend) werden vereinzelte Halbleiter
bauelemente auf einem Förderband transportiert, so dass ab
schließende Fertigungsschritte an diesen Chips nacheinander
durchgeführt werden können. Es
werden unterschiedliche Anlagenteile eingesetzt, um die Bau
elemente von dem Chip herunterzunehmen und sie weiteren Bear
beitungsvorrichtungen, die in der Regel seitlich zu dem För
derband angeordnet sind, zuzuführen. Für die Aufnahme und Be
wegung der Chips (sogenanntes Handling) werden z. B. Schwer
krafthandler, Zangen- oder Saugpinzetten verwendet.
In der DE 42 44 640 A1 ist eine Vorrichtung zum Ver- und Be
arbeiten von elektrischen Bauelementen beschrieben, die mit
einer Transporteinrichtung zum Transportieren von Bauelemen
ten versehen ist, die ein über wenigsten zwei Umlenkräder ge
führtes, eine in sich geschlossene Schlaufe bildendes Trans
portmittel sowie an diesem angeordnete Halter zum Aufnehmen
der Bauelemente aufweist, wobei die Vorrichtung wenigstens ei
ne Aufgabestation, an der die Bauelemente jeweils nacheinan
der an die sich an die Station getaktet vorbeibewegenden Hal
ter übergeben werden, sowie wenigstens eine Abgabe- bezie
hungsweise Entnahmestation für die Bauelemente besitzt. Das
Transportmittel ist ein Metallband, an dessen bezogen auf die
Schlaufe außen liegender Seite die Halter aufnehmende Träger
angeordnet und von innen jeweils durch wenigstens ein Haltee
lement gehalten sind, welches mit einem um eine Achse senk
recht zur Transportrichtung sowie parallel zur Bandoberfläche
konvex gekrümmten Bereich gegen die innen liegende Fläche des
Metallbandes anliegt, wobei zur Verarbeitung von an einem
Leadframe ausgebildeten Bauelementen die Aufgabestation we
nigstens ein Stanzwerkzeug zum Freistanzen der Bauelemente und
deren Anschlüsse sowie Mittel zur Übergabe jedes freigestanz
ten Bauelementes an einen an der Aufgabestation bereitstehen
den Halter aufweist.
In der DE 198 30 562 A1 ist eine Einrichtung zum Aufnehmen
von ausgemusterten elektrischen Bauelementen beschrieben, die
in offenen Taschen eines leeren Bauteilegurtes ablegbar sind.
Der Bauteilegurt wird durch ein abgewandtes Zuführmodul hin
durchgezogen, wobei die ausgemusterten Bauelemente in einem
Ablegebereich der Einrichtung sukzessive in die Taschen ein
gelegt werden.
In der US 4 754 545 ist eine Vorrichtung zur Handhabung von
Bauelementen beschrieben, bei der erhaben angeordnete Förder
spuren parallel zu einem Trägerband für gedruckte Schaltungs
platinen verlaufen. Diese erhaben angeordneten Förderspuren
tragen einen Arm, der in der jeweiligen Reihenfolge wechsel
weise den Aufnahmekopf für die elektronischen Komponenten
trägt. Die Zuführvorrichtung ist unter der erhaben angeordne
ten Förderspur angeordnet, so dass ein Operationselement die
Zuführung der elektronischen Komponenten in der Zuführvor
richtung bewirken kann, ohne über die Zuführbahn hinauszura
gen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein vereinfachtes
Handlingsystem für Bauelemente, insbesondere für Herstel
lungsprozesse an vereinzelten Halbleiterbauelementen, anzuge
ben.
Diese Aufgabe wird mit der Vorrichtung mit den Merkmalen des
Anspruches 1 gelöst. Ausgestaltungen ergeben sich aus den ab
hängigen Ansprüchen.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird ein Förderband
verwendet, das rahmenförmig angeordnete Aufsätze oder Ausspa
rungen aufweist, in die Bauelemente, insbesondere vereinzelte
Halbleiterchips, eingesetzt werden können, und das zusätzlich
zwischen diesen Chip-Positionen Öffnungen oder Löcher auf
weist, die ausreichend groß sind, so dass die Bauelemente
durch diese Öffnungen hindurch transportiert werden können.
Auf diese Weise ist es möglich, die eingesetzten Bauelemente
mittels einer angepassten Aufnahme-Absetz-Vorrichtung (Pick-and-place-System) durch rein
vertikale Bewegung in Ebenen über bzw. unter dem Förderband
zu bringen, in denen die Bauelemente weiter bearbeitet werden
können.
Es folgt eine genauere Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen
Vorrichtung anhand der in den Fig. 1 bis 3 dargestellten
Beispiele.
Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Anordnung in einem
seitlichen Querschnitt.
Fig. 2 zeigt eine Aufsicht auf ein erfindungsgemäß einge
setztes Förderband.
Fig. 3a bis 3f zeigen die Ansicht der Fig. 1 für ver
schiedene Schritte beim Einsatz der Vorrichtung.
In der Fig. 1 ist eine seitlich auf das Förderband gerichte
te Schnittansicht eines Ausschnittes der erfindungsgemäßen
Vorrichtung dargestellt. Das Förderband 1 bewegt sich über
eine feste Unterlage 10 der Apparatur, die die übrigen für
das Handling oder speziell die Bearbeitung der Bauelemente
erforderlichen Komponenten enthält. Auf dem Förderband befin
den sich Aufsätze 2, die rahmenförmig gestaltet sind oder
z. B. durch rahmenförmig angeordnete Noppen oder dergleichen
gebildet sind. Im Prinzip ist es auch möglich, das Förderband
1 mit Aussparungen zu versehen, in die die Bauelemente 3,
insbesondere Halbleiterchips, eingesetzt werden. Die Unter
seite der in die rahmenförmig angeordneten Aufsätze 2 einge
setzten Bauelemente 3 sind durch Öffnungen 5 im Förderband
zugänglich.
Zwischen den Bereichen, die für die Bauelemente vorgesehen
sind, sind in dem Förderband 1 Öffnungen 4 vorhanden, deren
seitliche Abmessungen mindestens den seitlichen Abmessungen
der Bauelemente entsprechen. Die eingesetzten Bauelemente 3
können daher aus den Aufsätzen 2 herausgenommen und durch die
Öffnungen 4 im Förderband 1 bewegt werden. Dafür ist eine
Aufnahme-Absetz-Vorrichtung (Pick-and-place-System) vorgese
hen, die in der Fig. 1 durch einen eingezeichneten Ansaug
stutzen 6 dargestellt ist. Dieser Ansaugstutzen wird mit der
Ansaugöffnung 7 auf ein Bauelement 3 auf dem Förderband 1
aufgesetzt; das Bauelement wird angesaugt und kann so von dem
Förderband heruntergenommen werden. Das Bauelement kann,
nachdem das Förderband weiter transportiert worden ist, durch
eine der Öffnungen 4 z. B. durch eine in der Apparatur dafür
vorgesehene Öffnung 9 in einen unter der Auflage 10 der Appa
ratur angebrachten Gurt 8 übergeben werden.
Fig. 2 zeigt das Förderband in der Aufsicht. Die Aufsätze 2
sind mit durchgehenden Konturen als Rahmen eingezeichnet, die
das jeweilige Bauelement rings umschließen. Alternativ können
die kreisrund punktiert eingezeichneten Noppen auf dem Band
angebracht sein, zwischen denen die Bauelemente auf dem Band
gehalten werden. Es ist in Fig. 2 eine Ansicht ohne einge
brachte Bauelemente dargestellt, so dass die Öffnungen 5 un
terhalb der für die Bauelemente 3 vorgesehenen Bereiche in
dem Band erkennbar sind. Diese Öffnungen 5 können weggelassen
sein. Zwischen den durch die Aufsätze 2 gebildeten Halterun
gen der Bauelemente befinden sich die erfindungsgemäß vorge
sehenen Öffnungen 4, die mindestens die für die Bauelemente
vorgesehenen seitlichen Abmessungen aufweisen. In Fig. 2
sind noch zusätzlich an den Rändern des Förderbandes Markie
rungen 11 eingezeichnet, die durch Marken oder weitere kleine
Öffnungen gebildet sind und der genauen Positionierung des
Bandes nach den einzelnen Vorschubschritten dienen. Mit die
sem Förderband, das in der dargestellten Weise mit Durchbrü
chen und Chiphalterungen versehen ist, lassen sich die Bau
elemente sicher und schnell zu den Bearbeitungsstationen
transportieren. Die Oberseiten der Bauelemente können direkt
auf dem Förderband bearbeitet werden; die restlichen Seiten
der Bauelemente sind zugänglich, nachdem ein jeweiliges Bau
element mittels der erfindungsgemäß ausgestalteten Vorrich
tung in die Ebene über bzw. unter dem Band transportiert wor
den ist.
Für die vorzugsweise nur in der Vertikalen erfolgende Bewe
gung der Bauelemente wird eine Aufnahme-Absetz-Vorrichtung,
insbesondere ein vorzugsweise prozessorgesteuertes Moving-
coil-pick-and-place-System verwendet. Dabei handelt es sich
um ein universelles, hochdynamisches System, da nur kleine
Massen über kleine Strecken bewegt werden. Wenn die Bewegung
des Bauelementes nur in der Vertikalen erfolgt, können mit
der erfindungsgemäßen Vorrichtung extrem hohe Bearbeitungsge
schwindigkeiten erreicht werden. Das ist eingehender in den
Fig. 3a bis 3f dargestellt.
In Fig. 3a ist die Ansicht gemäß Fig. 1 in geringfügig ver
einfachter Form dargestellt, wobei sich der Ansaugstutzen 6
direkt über einem Halbleiterchip 3 auf dem Förderband 1 be
findet. Vorzugsweise wird dieser Ansaugstutzen 6 von dem
Pick-and-place-System nur in der Vertikalen, d. h. senkrecht
zur Bewegungsrichtung des Förderbandes bewegt, die in Fig. 1
mit den waagrechten Pfeilen gekennzeichnet ist. Die Relativ
bewegung zwischen den Bauelementen und dem Ansaugstutzen 6
erfolgt daher einzig durch die Bewegung des Förderbandes 1.
Der Ansaugstutzen 6 kann grundsätzlich durch eine andere Auf
nahmevorrichtung ersetzt sein. Die Verwendung einer Ansaug
vorrichtung für die Aufnahme der Bauelemente von dem Band ist
aber besonders vorteilhaft, da damit hohe Bearbeitungsge
schwindigkeiten erzielt werden können. Die Teile der Appara
tur, die der Bewegung und Steuerung des Ansaugstutzens 6 die
nen, entsprechen im Prinzip einem an sich bekannten Pick-and-
place-System und sind der Einfachheit halber in den Figuren
weggelassen.
Fig. 3b zeigt die Darstellung der Fig. 3a in dem Verfah
rensschritt mit auf das Bauelement aufgesetztem Ansaugstutzen
6; zur Deutlichkeit wurden die Schraffuren weggelassen. Fig.
3c zeigt das Aufnehmen des Bauelementes 3, das um eine Hubdi
stanz H von der ursprünglichen Position auf dem Förderband
nach oben angehoben wurde.
Fig. 3d zeigt, wie durch Weiterbewegen des Förderbandes eine
darin vorhandene Öffnung in eine Position unterhalb des in
Längsrichtung des Förderbandes nicht bewegten Ansaugstutzens
6 gelangt. In diesem Beispiel befindet sich unter dem Ansaug
stutzen eine Öffnung 9 in der Auflage des Förderbandes, so
dass - wie in Fig. 3e gezeigt - das Bauelement 3 durch die
Öffnungen 4, 9 hindurch in einen unter der Apparatur vorhan
denen Gurt 8 übergeben werden kann. Die Steuerung des Luft
drucks in dem Ansaugstutzen sorgt dann dafür, dass das Bau
element 3 von dem Ansaugstutzen 6 gelöst wird, so dass ent
sprechend Fig. 3f der Ansaugstutzen wieder nach oben fahren
kann und das Förderband weiter bewegt werden kann. Das Bau
element 3 kann dann in dem Gurt weiter transportiert und ge
gebenenfalls weiter bearbeitet werden.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es ausreichend,
wenn das Förderband in Längsrichtung und die Aufnahme-Absetz-
Vorrichtung nur vertikal dazu bewegt wird. Auch so ist es
möglich, das Bauelement in verschiedene Bearbeitungsebenen zu
transportieren. Durch eine eingebaute Steuerung oder Regelung
ist es möglich, die Bearbeitungsgeschwindigkeit drastisch zu
erhöhen, da die für den Transport der Bauelemente erforderli
chen Bewegungen bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung extrem
schnell durchgeführt werden können. Insbesondere ist es auch
möglich, beim Aufsetzen der Aufnahme-Absetz-Vorrichtung auf
das Bauelement den darauf ausgeübten Druck zu steuern. Die
Bewegung des Förderbandes, das vorzugsweise Metall ist, aber
auch z. B. aus Kunststoff hergestellt werden kann, wird vor
zugsweise durch Sensoren, die die Position oder Bewegung des
Förderbandes erfassen, gesteuert. Derartige Sensoren können
z. B. optisch arbeiten, indem auf dem Band angebrachte re
flektierende Markierungen genutzt werden oder kleine Öffnun
gen in dem Band, die von der gegenüberliegenden Seite von ei
ner Lichtquelle durchstrahlt werden.
Claims (5)
1. Vorrichtung zum Handling von Bauelementen,
bei der ein Förderband (1) vorhanden ist, das zur Aufnahme von Bauelementen (3) vorgesehen ist, und
bei der Mittel vorhanden sind, mit denen ein Bauelement auf das Förderband gesetzt oder von dem Förderband herunter ge nommen werden kann,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Förderband (1) mit rahmenförmig angeordneten Aufsätzen (2) oder Aussparungen versehen ist, die für die Aufnahme von Bauelementen (3) vorgesehen sind,
das Förderband (1) außerhalb der für die Aufnahme von Bauele menten vorgesehenen Bereiche Öffnungen (4) aufweist, deren seitliche Abmessungen mindestens den seitlichen Abmessungen der Bauelemente entsprechen, und
eine Aufnahme-Absetz-Vorrichtung für die Bauelemente vorhanden ist, die so konstruiert und ange ordnet ist, dass mit ihr ein Bauelement von dem Förderband (1) aufgenommen und durch eine Öffnung (4) hindurch bewegt werden kann.
bei der ein Förderband (1) vorhanden ist, das zur Aufnahme von Bauelementen (3) vorgesehen ist, und
bei der Mittel vorhanden sind, mit denen ein Bauelement auf das Förderband gesetzt oder von dem Förderband herunter ge nommen werden kann,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Förderband (1) mit rahmenförmig angeordneten Aufsätzen (2) oder Aussparungen versehen ist, die für die Aufnahme von Bauelementen (3) vorgesehen sind,
das Förderband (1) außerhalb der für die Aufnahme von Bauele menten vorgesehenen Bereiche Öffnungen (4) aufweist, deren seitliche Abmessungen mindestens den seitlichen Abmessungen der Bauelemente entsprechen, und
eine Aufnahme-Absetz-Vorrichtung für die Bauelemente vorhanden ist, die so konstruiert und ange ordnet ist, dass mit ihr ein Bauelement von dem Förderband (1) aufgenommen und durch eine Öffnung (4) hindurch bewegt werden kann.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
bei der der Auflagedruck auf die Bauelemente durch die Auf
nahme-Absetz-Vorrichtung einstellbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
bei der die Aufnahme-Absetz-Vorrichtung einen vertikal zum
Förderband (1) bewegten Ansaugstutzen (6) aufweist und
bei der die rahmenförmig angeordneten Aufsätze (2) oder Aus
sparungen und die Öffnungen (4) in dem Förderband längs einer
vorgesehenen Bewegungsrichtung des Förderbandes angeordnet
sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3,
bei der der Ansaugstutzen (6) der Aufnahme-Absetz-Vorrichtung eine Position bezüglich der Bewegungsrichtung des Förderbandes beibehält,
bei der das Förderband (1) mit Markierungen (11) versehen ist und
bei der eine Steuerung vorhanden ist, die die Position der Markierungen (11) mittels eines Sensors erfasst und vorgese henen Handlingschritten entsprechend das Förderband relativ zu dem Ansaugstutzen (6) bewegt.
bei der der Ansaugstutzen (6) der Aufnahme-Absetz-Vorrichtung eine Position bezüglich der Bewegungsrichtung des Förderbandes beibehält,
bei der das Förderband (1) mit Markierungen (11) versehen ist und
bei der eine Steuerung vorhanden ist, die die Position der Markierungen (11) mittels eines Sensors erfasst und vorgese henen Handlingschritten entsprechend das Förderband relativ zu dem Ansaugstutzen (6) bewegt.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
bei der die Aufnahme-Absetz-Vorrichtung ein Moving-coil-pick-
and-place-System ist.
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