DE10015953A1 - Linsenhalter, Verfahren zur Herstellung eines Linsenhalters, Metallstempel für die Herstellung eines Linsenhalters und Objektivlinsenvorrichtung - Google Patents
Linsenhalter, Verfahren zur Herstellung eines Linsenhalters, Metallstempel für die Herstellung eines Linsenhalters und ObjektivlinsenvorrichtungInfo
- Publication number
- DE10015953A1 DE10015953A1 DE10015953A DE10015953A DE10015953A1 DE 10015953 A1 DE10015953 A1 DE 10015953A1 DE 10015953 A DE10015953 A DE 10015953A DE 10015953 A DE10015953 A DE 10015953A DE 10015953 A1 DE10015953 A1 DE 10015953A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- lens
- lenses
- lens holder
- objective lens
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/021—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses for more than one lens
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/22—Apparatus or processes for the manufacture of optical heads, e.g. assembly
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/26—Moulds
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/18—Optical objectives specially designed for the purposes specified below with lenses having one or more non-spherical faces, e.g. for reducing geometrical aberration
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
- G11B7/1374—Objective lenses
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
- G11B2007/13727—Compound lenses, i.e. two or more lenses co-operating to perform a function, e.g. compound objective lens including a solid immersion lens, positive and negative lenses either bonded together or with adjustable spacing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
Es wird ein Linsenhalter (4; 14) vorgeschlagen, mit dem mehrere Linsen (2, 3) in einer einstellfreien Art und Weise befestigt werden können und eine relative Positionierung zwischen den Linsen mit einer hohen Genauigkeit erreicht werden kann. Hierzu sind eine erste Referenzfläche (4a1; 14a1) für die Richtung der optischen Achse eines ersten Befestigungsabschnitts (4a; 14a) und eine zweite Referenzfläche (4b1; 14c) für die Richtung der optischen Achse eines zweiten Befestigungsabschnitts (4b) zur Objektpunktseite hin ausgebildet, um jeweils als eine Referenzfläche zur Bestimmung des Abstandes zwischen der ersten und der zweiten Linse (2, 3) entlang der optischen Achse zu dienen. Die erste Referenzfläche (4a1; 14a1) für die Richtung der optischen Achse und die zweite Referenzfläche (4b1; 14c) für die Richtung der optischen Achse dienen dabei auch zur Steuerung der Neigung der Linsen (2, 3).
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Linsenhalter zum Halten einer Objektivlinse,
die auf einem optischen Meßkopf montiert ist, der zur Aufzeichnung und/oder
Wiedergabe auf ein bzw. von einem Informationsaufzeichnungsmedium, wie beispiels
weise einer optischen Disk, benutzt wird. Die vorliegende Erfindung betrifft ebenso ein
Verfahren zur Herstellung eines solchen Linsenhalters, einen bei der Herstellung eines
Linsenhalters verwendeten Metallstempel und eine durch die Objektivlinse und den
Linsenhalter gebildete Objektivlinsenvorrichtung.
Die Informationsaufzeichnungsmedien, wie beispielsweise eine nur abspielbare optische
Disk, eine Phasenänderungsdisk, eine magneto-optische Disk oder eine optische Karte,
erfahren eine umfassende Verwendung zum Speichern von Bildinformationen,
Sprachinformationen oder Daten für Computerprogramme. So steigt der Bedarf an der
Erhöhung der Aufzeichnungsdichte und der Aufzeichnungskapazität dieser
Informationsaufzeichnungsmedien Jahr für Jahr.
Zur Erhöhung der Aufzeichnungsdichte des Informationsaufzeichnungsmediums ist es
wirkungsvoll, die numerische Apertur NA der Objektivlinse zu vergrößern oder die
Lichtemissionswellenlänge der Lichtquelle zu verkleinern. Zum Beispiel betragen bei
einem optischen Meßkopf für eine Compact Disk (CD), die eine digitale optische Disk
hauptsächlich für die Aufzeichnung von Musiksignalen ist, die numerische Apertur NA
der Objektivlinse und die Lichtemissionswellenlänge der Lichtquelle 0,45 bzw. 780 nm,
während bei einem sogenannten optischen Meßkopf für die Digital Versatile Disk
(DVD) die numerische Apertur NA der Objektivlinse und die Lichtemissions
wellenlänge der Lichtquelle 0,6 bzw. 650 nm betragen. Bei der DVD ist die
Aufzeichnungsdichte gegenüber derjenigen bei der CD verbessert, um die Aufzeichnung
von Bildsignalen zu ermöglichen.
Die für die Aufzeichnung und/oder Wiedergabe der Informationen für die gewöhnliche
CD oder DVD verwendete Objektivlinse ist üblicherweise eine aus Glas oder Kunststoff
geformte einzelne asphärische Linse. Diese einzelne, durch den Linsenhalter getragene
asphärische Linse bildet eine Objektivlinsenvorrichtung und wird auf einem optischen
Meßkopf montiert. Zum Beispiel ist die einzelne asphärische Linse mit einer Referenz
fläche des Linsenhalters verbunden und daran befestigt. Der diese einzelne asphärische
Linse tragende Linsenhalter ist mit einer voreingestellten Genauigkeit an dem optischen
Meßkopf montiert.
Seit kurzem werden eine höhere Aufzeichnungsdichte und eine größere
Aufzeichnungskapazität des Informationsaufzeichnungsmediums erwünscht, so daß eine
größere numerische Apertur NA der Objektivlinse und eine Wellenlänge des von den
Bildsignalen ausgestrahlten Lichts kürzer als beispielsweise 650 nm erforderlich sind.
Es ist jedoch unmöglich, die einzelne asphärische Linse wegen der Schwierigkeiten bei
der Metallstempelbearbeitung und bei der Steuerung der Exzentrizität während der
Linsenformung mit einer numerischen Apertur von nicht kleiner als 0,75 herzustellen.
Das heißt, bei der Bearbeitung eines Metallstempels zur Formung der einzelnen
asphärischen Linse mit der numerischen Apertur von nicht weniger als 0,75 ist der
Neigungswinkel der Linsenoberfläche zu der optischen Achse in der Nähe der Linse
kleiner als 40°, so daß die Bearbeitung in Anbetracht der Größe des distalen Endes der
Schneidekante, wie beispielsweise einer Diamantbohrkrone, schwierig wird. Auch
wird, wenn die Krümmung der Linsenoberfläche erhöht wird, der Durchhang (die Tiefe
entlang der optischen Achse vom Scheitelpunkt der Linsenoberfläche zum Außenrand
der Linse) vergrößert, so daß die Metallstempelbearbeitung erschwert wird. Aus diesem
Grund ist es nach wie vor schwierig, eine Objektivlinse mit einer numerischen Apertur
NA von nicht weniger als 0,75 als eine einzelne Linse zu bauen.
Seit kurzem wird als Technik der Realisierung einer Objektivlinse mit einer
numerischen Apertur von nicht weniger als 0,75 ein Objektivlinsen-Doppelsatz
eingesetzt. Bei diesem Objektivlinsen-Doppelsatz ist die Objektivlinse aus mehreren
Linsen aufgebaut, um die Brechkraft jeder Linse zu verringern. Dies macht es möglich,
den Krümmungsradius der asphärischen Linsenoberfläche zu vergrößern, um eine
Objektivlinse mit einer numerischen Apertur NA von nicht weniger als 0,75
herzustellen.
Jedoch ist bei dem Objektivlinsen-Doppelsatz mit einer großen numerischen Apertur
eine extrem hohe Präzision als Genauigkeit der relativen Linsenposition beim
Zusammenbau der mehreren Linsen in einen Satz erforderlich. Zum Beispiel ist eine
Genauigkeit in Mikrometergrößenordnung für die Exzentrizität und die Abstände
zwischen den Linsen erforderlich, während eine Genauigkeit in Minutengrößenordnung
für die Linsenneigung erforderlich ist. Durch eine dreidimensionale Positionseinstellung
ist es ausreichend möglich, die Linse zusammenzubauen, um dieser Präzisions
anforderung zu genügen. Jedoch benötigt diese dreidimensionale Positionseinstellung
eine teure Lehre und eine verbesserte Positionseinstelltechnik und kann so nicht zu einer
Massenproduktion führen.
Als Vorrichtung zur Positionierung der Linsen, um sie zu einer einzigen Linseneinheit
zusammenzubauen, kann ins Auge gefaßt werden, die jeweiligen Linsen in dem
Linsenhalter anzuordnen, dessen Referenzabschnitt mit einer Referenzfläche zur
Befestigung der Linsen darauf mit hoher Präzision ausgebildet ist.
Der in dem Linsenhalter gebildete Referenzabschnitt ist in eine Form gebracht, die zur
Positionierung der jeweiligen Linsen bezüglich des Linsenversatzes, der Linsenneigung
und des Abstandes zwischen den Linsen geeignet ist. Der Linsenversatz, die Neigung
und der Abstand werden nachfolgend als drei Elemente bezeichnet. Durch Bilden des
Referenzabschnitts mit einer hohen Präzision bezüglich dieser drei Elemente kann die
Objektivlinse mit einer hohen Präzision zusammengebaut werden, ohne eine
Positionseinstellung der jeweiligen Linsen zu erfordern. Das heißt, die Objektivlinse
kann nur durch ausreichende Optimierung der Formgestaltung des Linsenhalters mit
hoher Präzision zusammengebaut werden.
Die Form des Linsenhalters wird nachfolgend einschließlich des angenommenen
Herstellungsverfahrens erläutert. Die Fig. 15 und 16 zeigen den Aufbau einer Objetiv
linsenvorrichtung 201 mit einer ersten Linse 202 und einer zweiten Linse 203 des in
einem Linsenhalter 204 montierten Objektivlinsen-Doppelsatzes.
Die erste Linse 202 ist eine Linse, in die das von einer nicht dargestellten Lichtquelle
ausgestrahlte Laserlicht einfällt. Der Mittelabschnitt der ersten Linse 202, der
nachfolgend als Abstrahlungsoberfläche bezeichnet wird, liegt der zweiten Linse 203
gegenüber und ist als eine ebene Form 202a ausgebildet. Dagegen ist der
Mittelabschnitt der Oberfläche, auf die das von der Lichtquelle ausgestrahlte Licht fällt
und die die abgewandte Oberfläche der ersten Linse 202 ist, als eine asphärische
Linsenoberfläche 202b ausgebildet. Am Außenrand der Linsenoberfläche 202b ist ein
ebener Abschnitt senkrecht zur optischen Achse geformt. Die oben genannte
abgewandte Oberfläche wird nachfolgend als die Einstrahlungsoberfläche bezeichnet.
Die zweite Linse 203 ist eine Linse des Objektivlinsen-Doppelsatzes, die einer digitalen
optischen Disk, wie beispielsweise einer optischen Phasenänderungsdisk oder einer
magneto-optischen Disk, zugewandt ist. Die Oberfläche der zweiten Linse 203, die der
nicht dargestellten Disk zugewandt ist und nachfolgend als die Frontoberfläche
bezeichnet wird, ist als eine ebene Form ausgebildet, während der Mittelabschnitt der
Oberfläche, welche der ersten Linse 202 als die abgewandte Oberfläche zugewandt ist
und nachfolgend als die Einstrahlungsoberfläche bezeichnet wird, als eine asphärische
Linsenoberfläche 203b ausgebildet ist. Am Außenrand der Linsenoberfläche 203b ist
ein ebener Abschnitt senkrecht zur optischen Achse ausgebildet.
Die Seite der Objetivlinsenvorrichtung 201, auf die das Licht von der Lichtquelle fällt,
wird Objekt(punkt)seite genannt, während die Seite der Objektivlinsenvorrichtung 201,
die entlang der Diskflächenrichtung liegt, d. h. die Seite, auf der durch die Objektiv
linsenvorrichtung 201 durch das Licht von der Lichtquelle ein Bildpunkt gebildet wird,
Bild(punkt)seite genannt wird. So sind bei der ersten und der zweiten Linse 202, 203
die asphärischen Linsenoberflächen auf der Objektpunktseite gebildet.
Der Linsenhalter 204 besitzt im wesentlichen eine Ringform. An der Innenkante auf der
Objektpunktseite ist ein erster Befestigungsabschnitt 204a gebildet, der die erste Linse
202 trägt, während an der Innenkante auf der Bildpunktseite ein zweiter Befestigungs
abschnitt 204b geformt ist, der die zweite Linse 203 trägt.
Der erste Befestigungsabschnitt 204a ist in der Art einer Stufe und als ein Teil mit der
inneren Einfassung der Objektpunktseiten-Öffnung und als ein Teil aus einer ersten
axialen Referenzfläche 204a1, die der Objektpunktseite zugewandt geformt ist, und aus
einer zylindrischen radialen Referenzfläche 204a2 mit der optischen Achse als Achse
geformt. Der zweite Befestigungsabschnitt 204b ist als ein Teil in der Art einer Stufe an
der inneren Einfassung der Öffnung an der Bildpunktseite aus einer zweiten axialen
Referenzfläche 204b1, die der Bildpunktseite zugewandt geformt ist, und aus einer
zylindrischen radialen Referenzfläche 204b2 mit der optischen Achse als Achse
geformt. Dieser Linsenhalter 204 wird zum Beispiel als Formteil aus Kunstharz
gefertigt.
Bei dem oben beschriebenen Linsenhalter 204 dienen die erste axiale Referenzfläche
204a1 des ersten Befestigungsabschnitts 204a und die zweite axiale Referenzfläche
204b1 des zweiten Befestigungsabschnitts 204 als Referenzflächen, die den Abstand der
ersten und der zweiten Linse 202, 203 entlang der optischen Achse bestimmen.
Daneben wirken die erste axiale Referenzfläche 204a1 und die zweite axiale
Referenzfläche 204b1 auch als Referenzflächen zur Steuerung der Neigung der ersten
und der zweiten Linse 202, 203. Man kann sagen, daß die Ausrichtungen der ersten
axialen Referenzfläche 204a1 und diejenige der zweiten axialen Referenzfläche 204b1
um 180° bezüglich der optischen Achse gegeneinander gedreht sind. Die radiale
Referenzfläche 204a2 des ersten Befestigungsabschnitts 204a und die radiale
Referenzfläche 204b2 des zweiten Befestigungsabschnitts 204b dienen als Referenz
flächen, welche die Positionen der ersten und der zweiten Linse 202, 203 entlang des
Linsenradius bestimmen.
Auf dem Linsenhalter 204 ist die erste Linse 202 durch ihren Außenrand 202c auf dem
ersten Befestigungsabschnitt 204a befestigt. Die zweite Linse 203 ist durch ihren
Außenrand 203c auf dem zweiten Befestigungsabschnitt 204b befestigt.
Dieser Linsenhalter 204 wird als Formteil hergestellt. Zum Beispiel wird er unter
Verwendung eines in Fig. 17 dargestellten Stempels, der nachfolgend als ein erster
Metallstempel bezeichnet wird, und einer Matrize 302, die nachfolgend als ein zweiter
Metallstempel bezeichnet wird, gefertigt. Wenn die Stempel 301, 302 zusammengefügt
sind, wie dies in Fig. 17 gezeigt ist, wird ein Formmaterial 204a zur Herstellung des
Linsenhalters 204 in einen Hohlraum zwischen dem ersten Metallstempel 301 und dem
zweiten Metallstempel 302 eingebracht, um den Linsenhalter 204 zu formen.
Bei diesem Metallstempel zum Herstellen des Linsenhalters ist der erste Metallstempel
301 mit einem Formabschnitt 301a zum Formen des ersten Befestigungsabschnitts 204a
versehen, der nachfolgend als erster Befestigungsabschnitt-Formabschnitt bezeichnet
wird, während der zweite Metallstempel 302 mit einem Formabschnitt 302a zum
Formen des zweiten Befestigungsabschnitts 204b versehen ist, welcher nachfolgend als
zweiter Befestigungsabschnitt-Formabschnitt bezeichnet wird.
Der erste Metallstempel 301 besteht aus einer Basis 301b und einem auf dieser Basis
301b vorgesehenen Vorsprung 301c, und er ist allgemein in einer im wesentliche
konvexe Form geformt, wie dies in den Fig. 17 und 18 gezeigt ist.
Die Basis 301b ist im wesentlichen als eine flache Plattenform geformt. Diese Basis
301b ist mit einem Vorsprung 301c an einem Mittelabschnitt der Hauptfläche 301b1 in
eine Richtung zum zweiten Metallstempel 302 versehen. Diese Richtung zum zweiten
Metallstempel 302 ist die Richtung zur Bildpunktseite des Objektivlinsen-Doppelsatzes
201, und sie wird nachfolgend als Bildpunktseitenrichtung bezeichnet. Der Außenrand
der Hauptfläche 301b1 der Basis 301b bildet eine Anschlagfläche 301b2, die gegen eine
Anschlagfläche 302b21 des zweiten Metallstempels 302 drückt.
Der Vorsprung 301c ist mit Stufen 301d, 301e, 301f ausgebildet, die in eine Richtung
zur Bildpunktseite fortlaufend kleiner im Durchmesser werden, wie dies auch in Fig. 19
dargestellt ist. Bei diesem Vorsprung 301c dient die Hauptfläche 301f1 der Stufe 301f
als das distale Ende des Vorsprungs 301c als die Oberfläche des ersten Metallstempels
301, die gegen die Hauptfläche 302c1 des zweiten Metallstempels 302 drückt. Bei
diesem ersten Metallstempel 301 besteht der erste Formabschnitt 301a aus einer der
Bildpunktseite zugewandten Fläche 301a1 der Außenkante der Stufe 301d und aus einer
Außenfläche 301a2 der Stufe 301d.
Der zweite Metallstempel 302 besteht aus einer Basis 302b und einem Vorsprung 302c,
der aufrecht auf einem Mittelabschnitt der Hauptfläche 302b11 steht. Die Basis 302b
besteht aus einem im wesentlichen als flache Platte geformten Boden 302b1 und einem
Seitenwandabschnitt 302b2, der aufrecht auf dem Außenrand der Hauptfläche 302b in
eine Richtung zum ersten Metallstempel 301, d. h. in eine Richtung zur Objektpunkt
seite des Objektivlinsen-Doppelsatzes 201 steht, welche nachfolgend als die Objekt
punktseitenrichtung bezeichnet wird.
Bei dem zweiten Metallstempel 302 ist der Seitenwandabschnitt 302b2 ein Abschnitt,
der auf dem Außenrand der Hauptfläche 301b1 des ersten Metallstempels 301 liegt und
eine Stirnseite als Anschlagfläche 302b21 aufweist, die gegen die Anschlagfläche 301b2
des ersten Metallstempels 301 drückt. Die Hauptfläche 302c1 des Vorsprungs 302c ist
eine Anschlagfläche gegen die Hauptfläche 301f1 des ersten Metallstempels.
Die so konstruierten Metallstempel 301, 302 werden zusammengefügt, wie dies in Fig.
17 dargestellt ist, und das Formmaterial 204a wird eingebracht, wie dies in Fig. 18
dargestellt ist, um den Linsenhalter 204 als Formteil zu formen.
Bei den so zusammengefügten Metallstempeln 301, 32 wird das Formmaterial 204a
eingebracht, um den Linsenhalter 204 herzustellen, wodurch der Linsenhalter 204 als
ein Teil mit Referenzflächen zum Positionieren der Linsen 202, 203 geformt wird, so
daß diese Linsen zu einem Objekltivlinsen-Doppelsatz ohne Erhöhung von Kosten oder
Zeit zusammengebaut werden können.
Beim Zusammenbau mehrerer Linsen ist Präzision in den oben genannten drei
Elementen, d. h. dem Versatz, der Neigung und dem Abstand, erforderlich. Das heißt,
der Linsenhalter 204 muß auch in dieser Genauigkeit geformt sein.
Jedoch wird bei dem oben beschriebenen Linsenhalter-Herstellungsverfahren der erste
Befestigungsabschnitt 204a zur Positionierung der ersten Linse 202 durch den ersten
Metallstempel 301 gebildet, während der zweite Befestigungsabschnitt 204b zum
Positionieren der zweiten Linse 203 durch den zweiten Metallstempel 302 gebildet
wird, so daß, wenn das Formmaterial 204a in einem Zustand eingebracht wird, in dem
der zweite Metallstempel 302 nicht richtig bezüglich des ersten Metallstempels 301
positioniert ist, ein Versatz in den oben genannten drei Elementen erzeugt wird.
Wenn zum Beispiel das Formmaterial 204a in einem Zustand eingebracht wird, in dem
der zweite Metallstempel 302 mit einem Versatz von der vorgeschriebenen Position
positioniert ist, wie dies in Fig. 20 gezeigt ist, wird direkt ein Versatz bei Versatz,
Neigung und/oder Abstand zwischen der ersten Linse 202 und der zweiten Linse 203,
die in dem geformten Linsenhalter 204 eingefügt werden, erzeugt.
Insbesondere wird, sollte der zweite Metallstempel 302 gegenüber dem ersten Metall
stempel 301 versetzt sein, wie in Fig. 20 gezeigt, aufgrund des Offsets einer
Mittelachse O2 des zweiten Metallstempels 302 bezüglich der Mittelachse O1 des ersten
Metallstempels 301 ein Offset in der Exzentrizität X erzeugt. Andererseits werden
wegen der Schrägstellung der Mittelachse O2 des zweiten Metallstempels 302 bezüglich
der Mittelachse O1 des ersten Metallstempels 301 ein Offset θ in der Neigung und
wegen der Trennung des zweiten Metallstempels 302 vom ersten Metallstempel 301 ein
Versatz Z erzeugt. Diese Offsets stellen ein Maß der Abweichung zwischen dem ersten
Formabschnitt 301a des ersten Metallstempels 301 zur Formung des ersten
Befestigungsabschnitts 204a und dem zweiten Formabschnitt 302a am zweiten
Metallstempel 302 zum Formen des zweiten Befestigungsabschnitts 204b dar. Wenn die
erste und die zweite Linse 202, 203 in den Linsenhalter 204, der in einem solchen
Zustand geformt wurde, daß der zweite Metallstempel 302 derartige Offsets bezüglich
des ersten Metallstempels 301 in den drei Elementen aufweist, eingefügt werden, wie
dies in Fig. 21 dargestellt ist, kommen der Offset X in der Exzentrizität, der Offset θ in
der Neigung und der Offset Z im Abstand zu dem Fehler, der der Form der Metall
stempel 301, 302 zuzuschreiben ist, d. h. dem Metallstempel-Produktionsfehler, hinzu.
Der produzierte Metallstempel-Produktionsfehler beträgt schätzungsweise etwa 3 µm
für die Exzentrizität und den Abstand und derjenige für die Neigung etwa 0,02°, so
daß, wenn der erste Metallstempel 301 gegenüber dem zweiten Metallstempel 302
versetzt ist, ein Fehler zwischen der ersten und der zweiten Linse 202, 203 in einem
Maße entsprechend dem Metallstempel-Produktionsfehler plus den Beträgen der
Abweichung zwischen den Metallstempeln 301, 302 erzeugt wird. Da bei der Formung
die Exzentrizität und der Abstand zwischen den Metallstempeln schätzungsweise etwa
10 µm beträgt, während die Neigung schätzungsweise etwa 0,067° beträgt, kommen
diese Offsets zu den entsprechenden anderen hinzu, so daß der Fehler in der
Exzentrizität und dem Abstand insgesamt etwa 13 µm beträgt, während derjenige in der
Neigung etwa 0,087° beträgt.
Wenn in dem oben beschriebenen Linsenhalter-Herstellungsverfahren, bei dem der die
erste Linse 202 tragende erste Befestigungsabschnitt 204a und der die zweite Linse 203
tragende zweite Befestigungsabschnitt 204b unter Verwendung getrennter Metallstempel
hergestellt werden, ein Versatz beim Zusammenfügen des ersten und des zweiten
Metallstempels 301, 302 erzeugt wird, überträgt sich dieser Offset selbst als Offset auf
die als Referenzfläche bei der Befestigung der ersten und der zweiten Linse 202, 203
brauchbare Referenzfläche. Das Ergebnis ist, daß die relative Position zwischen der
ersten und der zweiten in Position eingefügten Linse 202, 203 von der gewünschten
Relativposition abweicht.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Linsenhalter, ein
Verfahren zur Herstellung eines Linsenhalters, einen Metallstempel für die Herstellung
eines Linsenhalters und eine unter Verwendung des Linsenhalters aufgebaute
Objektivlinsenvorrichtung vorzusehen, bei denen mehrere Linsen ohne (zusätzliche)
Einstellung mit hoher Präzision befestigt werden können und bei denen die relativen
Linsenpositionen mit hoher Genauigkeit positioniert werden können.
Gemäß einem ersten Aspekt sieht die vorliegende Erfindung einen Linsenhalter vor, der
eine Objektivlinse trägt, welche aus mehreren Linsen gebildet ist, die auf einer
optischen Achse eines optischen Meßkopfes angeordnet sind, der zur Aufzeichnung
und/oder Wiedergabe von Informationssignalen auf ein bzw. von einem Informations
aufzeichnungsmedium mittels Laserlicht konstruiert ist, wobei die mehreren Linsen eine
Objektivlinsenvorrichtung bilden. Mehrere Referenzflächen tragen jeweils auf der
Objektpunktseite die Linsen zur Steuerung der Positionen entlang der optischen Achsen
und der Neigung der Linsen. Die Referenzflächen an der Objektpunktseite steuern die
Positionen entlang der optischen Achsen und die Neigung der Linsen.
Bei diesem Linsenhalter sind die Referenzflächen durch Bearbeitung des Linsenhalters
von der gleichen Seite her geformt.
Gemäß einem zweiten Aspekt sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur
Herstellung eines Linsenhalters, der eine Objektivlinse trägt, welche aus mehreren
Linsen gebildet ist, die auf einer optischen Achse eines optischen Meßkopfes
angeordnet sind, der zur Aufzeichnung und/oder Wiedergabe von Informationssignalen
auf ein bzw. von einem Informationsaufzeichnungsmedium mittels Laserlicht
konstruiert ist, durch eine Spritzgießvorrichtung mittels eines Metallstempels mit
wenigstens einer Matrize und einem Stempel vor, wobei die mehreren Linsen eine
Objektivlinsenvorrichtung bilden. Ein Referenzabschnitt-Formabschnitt mit mehreren
Referenzabschnitten für einen Objektpunktseiten-Linsenhalter, die jeweils die mehreren
Linsen an der Objektpunktseite tragen, ist entweder an dem Stempel oder an der
Matrize an der Objektpunktseite ausgebildet.
Bei diesem Herstellungsverfahren für den Linsenhalter werden die Referenzabschnitte
des Linsenhalters durch den Referenzabschnitt-Formabschnitt, der an dem Stempel oder
der Matrize vorgesehen ist, geformt.
Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Metallstempel für die
Herstellung eines Linsenhalters vorgesehen, mit wenigstens einer Matrize und einem
Stempel, wobei der Objektpunktseiten-Metallstempel zur Herstellung eines Linsen
halters benutzt wird, der eine Objektivlinse trägt, welche aus mehreren Linsen gebildet
ist, die auf einer optischen Achse eines optischen Meßkopfes angeordnet sind, der zur
Aufzeichnung und/oder Wiedergabe von Informationssignalen auf ein bzw. von einem
Informationsaufzeichnungsmedium mittels Laserlicht konstruiert ist, wobei die
Objektpunktseiten-Linsen eine Objektivlinsenvorrichtung bilden. Ein Referenzabschnitt-
Formabschnitt zur Formung mehrerer Referenzabschnitte des Linsenhalters jeweils zum
Befestigen der Objektpunktseiten-Linsen ist entweder an der Matrize oder dem Stempel
ausgebildet.
Bei dem Metallstempel zur Herstellung eines Linsenhalters sind die Referenzabschnitte
des Linsenhalters durch den an der Matrize oder dem Stempel vorgesehenen
Referenzabschnitt-Formabschnitt gebildet.
Gemäß einem weiteren Aspekt sieht die vorliegende Erfindung eine Objektivlinsen
vorrichtung für einen optischen Meßkopf vor, der zur Aufzeichnung und/oder
Wiedergabe von Informationssignalen auf ein bzw. von einem Informations
aufzeichnungsmedium mittels Laserlicht konstruiert ist, wobei die Objektpunktseiten-
Linsen die Objektivlinsenvorrichtung bilden. Die Objektpunktseiten-Objektivlinsen
vorrichtung weist eine Objektivlinse aus einer ersten Linse und einer zweiten Linse und
einen die Objektpunktseiten-Linsen tragenden Linsenhalter auf. Wenigstens eine
Oberfläche der ersten und der zweiten Linse besitzt einen Mittelabschnitt als eine
Linsenoberfläche, wobei der Außenrand der wenigstens einen Objektpunktseiten-
Oberfläche als ein ebener Abschnitt senkrecht zur optischen Achse ausgebildet ist. Der
Objektpunktseiten-Linsenhalter weist eine erste Referenzfläche und eine zweite
Referenzfläche zum Befestigen der ersten bzw. zweiten Objektpunktseiten-Linse zur
Steuerung der Neigung und der Positionen entlang der optischen Achsen der Linsen auf.
Die Objektpunktseiten-Referenzflächen sind in einer Richtung entlang der optischen
Achse ausgerichtet. Ein ebener Abschnitt der ersten Objektpunktseiten-Linse ist mit der
ersten Referenzfläche koplanar, um die erste Objektpunktseiten-Linse zu tragen,
während ein ebener Abschnitt der zweiten Objektpunktseiten-Linse mit der zweiten
Referenzfläche koplanar ist, um die zweite Objektpunktseiten-Linsen zu tragen.
Bei dem erfindungsgemäßen Linsenhalter, in dem mehrere Referenzflächen zum
Befestigen mehrerer Linsen zum Steuern der Neigung und der Positionen entlang der
optischen Achse geformt sind und die jeweiligen Linsen in einer Richtung entlang der
optischen Achse vorgesehen sind, können die Referenzflächen durch Bearbeiten des
Linsenhalters von der gleichen Seite bzw. Richtung geformt werden.
Durch diesen Linsenhalter können mehrere Linsen mit hoher Präzision in einer
einstellfreien Art und Weise positioniert und befestigt werden, um eine hochpräzise
Positionierung zwischen den jeweiligen Linsen zu ermöglichen.
Bei dem Herstellungsverfahren eines Linsenhalters gemäß der vorliegenden Erfindung,
bei dem Metallstempel verwendet werden, die einen Referenzabschnitt-Formabschnitt,
der zur Formung mehrerer Referenzabschnitte zur Befestigung der mehreren Linsen
konstruiert ist, in deren Stempel oder Matrize tragen, können die Referenzabschnitte
des Linsenhalters durch den Referenzabschnitt-Formabschnitt an der Matrize oder dem
Stempel geformt werden.
Mit dem Herstellungsverfahren eines Linsenhalters können mehrere Linsen mit hoher
Genauigkeit in einer einstellfreien Art und Weise befestigt werden, so daß die
Positionierung zwischen den Linsen mit hoher Präzision verwirklicht werden kann.
In dem Metallstempel zur Herstellung des Linsenhalters gemäß der vorliegenden
Erfindung, in dem ein Referenzabschnitt-Formabschnitt zum Formen mehrerer
Referenzabschnitte des Linsenhalters zur Befestigung der mehreren Linsen an dem
Stempel oder der Matrize vorgesehen ist, können die Referenzabschnitte des Linsen
halters durch den in dem Stempel oder der Matrize ausgebildeten Referenzabschnitt-
Formabschnitt geformt werden.
Mit dem Metallstempel zur Herstellung des Linsenhalters ist es möglich, einen
Linsenhalter herzustellen, an dem mehrere Linsen mit hoher Präzision in einer
einstellfreien Art und Weise positioniert werden können, so daß die Positionierung
zwischen den Linsen mit hoher Präzision erzielt werden kann.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind
Gegenstand der Unteransprüche.
Die obigen und weitere Merkmale der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend
anhand verschiedener Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegende
Zeichnung näher beschrieben. Darin zeigen:
Fig. 1 einen Längsschnitt des Aufbaus einer Objektivlinsenvorrichtung, in der zwei
Objektivlinsensätze durch einen Linsenhalter gemäß einem ersten Ausführungs
beispiel der vorliegenden Erfindung gehalten werden;
Fig. 2 einen Längsschnitt eines ersten Metallstempels und eines zweiten Metall
stempels, die bei der Herstellung des Linsenhalters von Fig. 1 verwendet
werden;
Fig. 3 einen Längsschnitt des Metallstempels zur Herstellung des Linsenhalters von
Fig. 2, in den das Material zur Formung des Linsenhalters eingebracht ist;
Fig. 4 einen Längsschnitt des Metallstempels zur Herstellung des Linsenhalters von
Fig. 2, bei dem der zweite Metallstempel gegenüber dem ersten Metallstempel
versetzt ist;
Fig. 5 einen Längsschnitt einer Objektivlinsenvorrichtung mit einem Linsenhalter, der
geformt wurde, als der zweite Metallstempel gegenüber dem ersten
Metallstempel versetzt war;
Fig. 6 einen Längsschnitt des Aufbaus einer Objektivlinsenvorrichtung, in der zwei
Sätze der Objektivlinsen durch einen Linsenhalter gemäß einem zweiten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung getragen werden;
Fig. 7 einen Längsschnitt, der den Zustand zeigt, in dem eine Halterung zur
Steuerung der Position entlang der optischen Achse und der Neigung der
zweiten Linse an dem Linsenhalter des zweiten Ausführungsbeispiels
angebracht ist;
Fig. 8 eine Draufsicht des Aufbaus des Linsenhalters von Fig. 7;
Fig. 9 einen Längsschnitt, der den Zustand zeigt, in dem eine Lehre zur Steuerung
der Position entlang der optischen Achse und der Neigung der zweiten Linse an
dem Linsenhalter gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel angebracht ist;
Fig. 10 einen Längsschnitt, der den Zustand zeigt, in dem ein Metallstempel zur
Herstellung des Linsenhalters zusammengefügt und ein Formmaterial in den
Metallstempel zur Herstellung des Linsenhalters eingebracht ist, wobei der
Metallstempel einen ersten Metallstempel und einen zweiten Metallstempel
aufweist, die zur Herstellung des Linsenhalters gemäß dem zweiten
Ausführungsbeispiel verwendet werden;
Fig. 11 ein Diagramm, das die sphärische Aberration, die astigmatische Aberration und
die Verzeichnungs-Aberration des Linsen-Doppelsatzes zeigt;
Fig. 12 ein Diagramm, das die transversale Aberration des Linsen-Doppelsatzes
darstellt;
Fig. 13 eine schematische Darstellung eines optischen Meßkopfes;
Fig. 14 ein Blockschaltbild einer Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung;
Fig. 15 einen Längsschnitt des Aufbaus einer Objektivlinsenvorrichtung, die den
Objektivlinsen-Doppelsatz mittels eines herkömmlichen Linsenhalters hält;
Fig. 16 einen Längsschnitt des Aufbaus einer Objektivlinsenvorrichtung, in der zwei
Sätze der Objektivlinsen durch den herkömmlichen Linsenhalter gehalten sind;
Fig. 17 einen Längsschnitt eines Metallstempels zur Herstellung des Linsenhalters mit
einem ersten und einem zweiten Metallstempel, der zur Herstellung des
herkömmlichen Linsenhalters verwendet wird;
Fig. 18 einen Längsschnitt eines Metallstempels für den Linsenhalter, gefüllt mit dem
Material zur Formung des herkömmlichen Linsenhalters;
Fig. 19 eine Draufsicht des ersten Metallstempels des Metallstempels zur Formung des
herkömmlichen Linsenhalters;
Fig. 20 eine Seitenansicht, teilweise im Schnitt, des Metallstempels von Fig. 17, bei
dem der zweite Metallstempel gegenüber dem ersten Metallstempel versetzt ist;
und
Fig. 21 einen Längsschnitt des Aufbaus des Objektivlinsen-Doppelsatzes mit dem
herkömmlichen Linsenhalter, der hergestellt wurde, als der zweite Metall
stempel gegenüber dem ersten Metallstempel versetzt war.
Bezug nehmend auf die Zeichnungen, werden nun bevorzugte Ausführungsbeispiele der
vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben. Das erste Ausführungsbeispiel ist auf
einen Linsenhalter gerichtet, der einen Objektivlinsen-Doppelsatz trägt, der bei der
Aufzeichnung und/oder Wiedergabe von Informationen auf ein bzw. von einem
Informationsaufzeichnungsmedium verwendet wird. Das Informationsaufzeichnungs
medium ist eine nur abspielbare optische Disk, eine optische Phasenänderungs-Disk,
eine magneto-optische Disk oder eine optische Karte. Im folgenden wird das
Informationsaufzeichnungsmedium einfach als Disk bezeichnet.
An einem Linsenhalter 4 sind eine erste Linse 2 und eine zweite Linse 3 befestigt, die
einen Linsen-Doppelsatz bilden, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist. Die so in dem
Linsenhalter 4 zusammengebauten Linsen 2, 3 sind auf der optischen Achse angeordnet,
um eine Objetivlinse zu bilden. Das optische System, gebildet durch die Linsen 2, 3,
stellt ein sogenanntes Unendlich-System dar, bei dem ein Objektpunkt an einer
unendlich weiten Position positioniert ist. Der Linsen-Doppelsatz besitzt eine
numerische Apertur NA von nicht weniger als 0,75. Die Konstruktion mit dem
Linsenhalter 4 und den in dem Linsenhalter 4 eingefügten Linsen 2, 3 wird nachfolgend
als Objektivlinsenvorrichtung 1 bezeichnet.
Die erste Linse 2 ist eine Linse, auf die von einer nicht dargestellten Lichtquelle
ausgestrahlte Laserlicht fällt. Ein Mittelabschnitt der Oberfläche der ersten Linse 2,
welcher der zweiten Linse 3 zugewandt ist und nachfolgend als die Abstrahlungsfläche
bezeichnet wird, ist als eine asphärische Linsenoberfläche 2a geformt. Ein Außenrand
der Linsenoberfläche 2a ist mit einem ebenen Abschnitt senkrecht zur optischen Achse
gebildet. Die abgewandte Oberfläche der ersten Linse 2, auf die das von der Lichtquelle
ausgestrahlte Licht fällt und die nachfolgend als Einstrahlungsfläche bezeichnet wird,
besitzt einen als eine asphärische Linsenoberfläche 2b geformten Mittelabschnitt. Am
Außenrand der Linsenoberfläche 2b ist ein ebener Abschnitt senkrecht zur optischen
Achse ausgebildet.
Die zweite Linse 3 ist eine Linse in der Objektivlinsenvorrichtung 1, die der Disk
zugewandt ist. Die Oberfläche 3a dieser zweiten Linse 3, welche der nicht dargestellten
Disk zugewandt ist, ist eben, während die abgewandte Oberfläche der zweiten Linse 3,
die der ersten Linse 2 zugewandt ist, einen als eine asphärische Linsenoberfläche 3b
geformten Mittelabschnitt aufweist, wobei der Außenrand der Linsenoberfläche 3b mit
einem ebenen Abschnitt senkrecht zur optischen Achse ausgebildet ist. Die Oberfläche
3a wird nachfolgend als die Frontfläche bezeichnet, während die abgewandte
Oberfläche nachfolgend als die Einstrahlungsfläche bezeichnet wird. Diese zweite Linse
3 hat einen Außendurchmesser d2, der kleiner als der Außendurchmesser d1 der ersten
Linse 2 ist (d1 < d2).
In der folgenden Erläuterung wird die Seite der Objektivlinsenvorrichtung 1, auf die das
von der Lichtquelle ausgehende Licht fällt, die Objektpunktseite genannt, und die Seite
der Objektivlinsenvorrichtung 1, auf der durch das von der Lichtquelle ausgestrahlte
Licht ein Bild gebildet wird, wird die Bildpunktseite genannt. Somit sind sowohl die
erste als auch die zweite Linse 2, 3 an ihren Objektpunktseiten mit asphärischen
Linsenoberflächen ausgebildet.
Die erste und die zweite Linse 2, 3 können die gleichen sein, wie die erste und die
zweite Linse, die in Zusammenhang mit dem Stand der Technik erläutert wurden. Das
heißt, der Linsenhalter 4 gemäß der vorliegenden Erfindung kann mit Einheitslinsen 2,
3 benutzt werden, um die Objektivlinsenvorrichtung 1 zu bilden, ohne die Linsenform
zu bearbeiten.
Der Linsenhalter 4 weist im wesentlichen eine Ringform auf und ist mit einem
Befestigungsabschnitt 4a für die erste Linse 2 und einem Befestigungsabschnitt 4b für
die zweite Linse 3 an der inneren Objektpunktseite bzw. Bildpunktseite ausgebildet. Der
Linsenhalter 4 ist auch mit Referenzflächen 4a1, 4b1 für die Richtung der optischen
Achse zum Steuern der Positionen und der Neigungen entlang der Richtung der
optischen Achse der Linsen 2, 3 derart ausgebildet, daß diese Referenzflächen in der
gemeinsamen Richtung, d. h. der Richtung der optischen Achse, ausgerichtet sind. Die
Linsen 2, 3 sind an den Referenzflächen 4a1, 4b1 für die Richtung der optischen Achse
befestigt. Der Linsenhalter 4 ist aus einem wärmeaushärtenden (Kunst-)Harzmaterial
geformt.
Der Befestigungsabschnitt 4a für die erste Linse 2, nachfolgend als der erste
Befestigungsabschnitt bezeichnet, ist in der Art einer Stufe als ein Teil an der inneren
Einfassung der Objektpunktseiten-Öffnung geformt und mit einer Referenzfläche 4a1
für die Richtung der optischen Achse und dem Objekt zugewandt und mit einer
zylindrischen Referenzfläche 4a2 für die radiale Richtung mit der optischen Achse als
Achse ausgebildet. Die Referenzfläche 4a2 für die radiale Richtung hat einen etwas
kleineren Durchmesser als der Außendurchmesser d1 der ersten Linse 2.
Der Befestigungsabschnitt 4b für die zweite Linse 3, der nachfolgend als der zweite
Befestigungsabschnitt bezeichnet wird, ist auf der Objektpunktseite eines Vorsprungs 4d
geformt, der sich von der Innenfläche der Objektpunktseiten-Öffnung entlang des
Radius der zweiten Linse 3 erstreckt, und ist mit einer zweiten Referenzfläche 4b1 für
die Richtung der optischen Achse und dem Objekt zugewandt und mit einer
zylindrischen Referenzfläche 4b2 für die radiale Richtung und mit der optischen Achse
als Achse ausgebildet. Die Referenzfläche 4b2 für die radiale Richtung besitzt einen
etwas kleineren Durchmesser als den Außendurchmesser d2 der zweiten Linse 3.
In dem Linsenhalter 4, der wie oben erläutert aufgebaut ist, sind die erste Referenz
fläche 4a1 für die Richtung der optischen Achse des ersten Befestigungsabschnitts 4a
und die zweite Referenzfläche 4b1 für die Richtung der optischen Achse des zweiten
Befestigungsabschnitts 4b zur Objektpunktseite hin ausgerichtet und dienen als
Referenzflächen bei der Bestimmung des Abstandes zwischen der ersten und der
zweiten Linse 2, 3 entlang der Richtung der optischen Achse. Die erste Referenzfläche
4a1 für die Richtung der optischen Achse und die zweite Referenzfläche 4b1 für die
Richtung der optischen Achse dienen auch als Referenzflächen für die Steuerung der
Neigung der Linsen 2, 3. Die Richtungen der ersten Referenzfläche 4a1 für die
Richtung der optischen Achse und der zweiten Referenzfläche 4b1 für die Richtung der
optischen Achse sind im Gegensatz zum herkömmlichen Linsenhalter, bei dem diese
Richtungen sich um 180° voneinander unterscheiden, die gleichen. Andererseits dienen
die Referenzfläche 4a2 für die radiale Richtung des ersten Befestigungsabschnitts 4a und
die Referenzfläche 4b2 für die radiale Richtung des zweiten Befestigungsabschnitts 4b
als Referenzflächen zur Bestimmung der radialen Positionen der ersten und der zweiten
Linse 2, 3.
Der erste Befestigungsabschnitt 4a hat einen größeren Durchmesser als der zweite
Befestigungsabschnitt 4b, d. h. der erste Befestigungsabschnitt 4a und der zweite
Befestigungsabschnitt 4b sind an der Innenseite des Linsenhalters 4 nach außen, d. h.
zur Seite des Objekts hin, gerichtet ausgebildet.
An dem Linsenhalter 4, der wie oben erläutert konstruiert ist, ist der Außenrand 2c der
ersten Linse 2 auf dem ersten Befestigungsabschnitt 4a befestigt. Der Außenrand 3c der
zweiten Linse 3 ist auf dem zweiten Befestigungsabschnitt 4b befestigt.
Die erste und die zweite Linse 2, 3 sind auf dem Linsenhalter 4 mittels Preßpassung
befestigt, weil der Durchmesser der Referenzfläche 4a2 für die radiale Richtung des als
Befestigungsabschnitt für die erste Linse 2 geeigneten, ersten Befestigungsabschnitts 4a
etwas kleiner als der Außendurchmesser d1 der ersten Linse 2 ist, der Durchmesser der
Referenzfläche 4b2 für die radiale Richtung des Befestigungsabschnitts 4b der zweiten
Linse 3 etwas kleiner als der Außendurchmesser d2 der zweiten Linse 3 ist, und der
Linsenhalter 4 aus einem (Kunst-)Harzmaterial geformt ist.
Wenn die Objektivlinsenvorrichtung 1 durch Preßpassung der Linsen 2, 3 auf dem
Linsenhalter 4 zusammengebaut wird, können die Linsen 2, 3 als Linsen konstruiert
sein, die die durch die Preßpassung verursachte Deformation berücksichtigen. Nach der
Preßpassung der Linsen 2, 3 an den Linsenhalter 4 können die Linsen 2, 3 an dem
Linsenhalter 4 zum Beispiel mittels eines UV-aushärtenden Harzes befestigt werden.
Es wird nun das Herstellungsverfahren für den Linsenhalter 4 erläutert. Der
Linsenhalter 4 wird mittels eines Stempels 51 (erster Metallstempel) und einer Matrize
52 (zweiter Metallstempel) gefertigt, wie sie in Fig. 2 dargestellt sind. Wenn die
Stempel 51, 52 zusammengefügt sind, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist, wird ein
Formmaterial (wärmeaushärtendes Harzmaterial) 4a zur Herstellung des Linsenhalters 4
in einen Hohlraum zwischen dem ersten Metallstempel 51 und dem zweiten
Metallstempel 52 eingebracht, um den Linsenhalter 4 zu formen.
Der erste Metallstempel 51 der Metallgußform zur Herstellung des Linsenhalters 4 ist
mit einem Formabschnitt zum Formen des gesamten Linsenbefestigungsabschnitts
versehen. Das heißt, ein Formabschnitt (erster Befestigungsabschnitt-Formabschnitt) 51i
zum Formen des ersten Befestigungsabschnitts 4a und ein Formabschnitt (zweiter
Befestigungsabschnitt-Formabschnitt) 51j zum Formen des zweiten Befestigungs
abschnitts 4b sind an dem ersten Metallstempel 51 vorgesehen.
Der erste Metallstempel 51 besteht aus einer Basis 51b und einem auf der Basis 51b
vorgesehenen Vorsprung 51c und ist in seiner Gesamtheit im wesentlichen
konvexförmig ausgebildet.
Die Basis 51b ist im wesentlichen eine ebene Platte. Die Basis 51b weist an einem
Mittelabschnitt der Hauptfläche 51b1 den Vorsprung 51c auf, der in die Richtung des
zweiten Metallstempels 52 zeigt, d. h. in die Richtung zum Bild der Objektivlinsen
vorrichtung 1, die nachfolgend als Bildpunktseitenrichtung bezeichnet wird. Die äußere
Einfassung der Hauptfläche 51b1 der Basis 51b dient als Anschlagfläche 51b2, die
gegen eine entsprechende Anschlagfläche 52c1 des zweiten Metallstempels 52 drückt.
Der Vorsprung 51c besteht aus mehreren Stufen 51d, 51e, 51f und 51g, welche in
Bildpunktseitenrichtung fortlaufend kleinere Durchmesser aufweisen. Bei dem
Vorsprung 51c dient die Hauptfläche 52g1 der Stufe 51g am distalen Ende des
Vorsprungs als Anschlagfläche gegen eine entsprechende Hauptfläche 52b1 des zweiten
Metallstempels 52, wie nachfolgend erläutert wird.
Am ersten Metallstempel 51 besteht der erste Befestigungsabschnitt-Formabschnitt 51i
aus einer der Bildpunktseite zugewandten Fläche 51d1 des Außenumfangs der Stufe 51d
und aus einer Außenseite 51d2 der Stufe 51d, während der zweite
Befestigungsabschnitt-Formabschnitt 51j aus einer der Bildpunktseite zugewandten
Fläche 51f1 des Außenumfangs der Stufe 51f und aus einer Außenseite 51f2 der Stufe
51f besteht.
Der zweite Metallstempel 52 besteht aus einem Boden 52b, der im wesentlichen die
Form einer ebenen Platte hat, und einem Seitenwandabschnitt 52c, welcher auf dem
Außenrand der Hauptfläche 52b1 des Bodens 52b in Richtung zur Objektpunktseite der
Objektivlinsenvorrichtung 1, welche nachfolgend als Objektpunktseitenrichtung
bezeichnet wird, steht. Der zweite Metallstempel 52 hat in seiner Gesamtheit im
wesentlichen eine vertiefte Konstruktion.
Der Bereich in der Mitte der Hauptfläche 52b1 des Bodens 52b bildet eine Anschlag
fläche, die gegen die oben genannte Hauptfläche 51g1 der Stufe 51g des ersten Metall
stempels 51 drückt. Der Seitenwandabschnitt 52c ist ein Teil des zweiten
Metallstempels 52, der auf dem Außenrand der Hauptfläche 51b1 der Basis 51b des
ersten Metallstempels 51 aufliegt, wobei die Stirnseite 52c1 des Seitenwandabschnitts
52c eine Anschlagfläche bildet, welche gegen die Anschlagfläche 51b2 des ersten
Metallstempels 51 drückt.
Wenn die Metallstempel 51, 52 zusammengefügt sind, wie in Fig. 2 dargestellt, wird
das Formmaterial 4 in einen Spalt der Metallgußformen 51, 52 eingebracht, wie dies in
Fig. 3 dargestellt ist, um den Linsenhalter 5 durch Spritzgießen zu formen.
Der erste Befestigungsabschnitt 4a wird durch den an dem ersten Metallstempel 51
ausgebildeten ersten Befestigungsabschnitt-Formabschnitt 51i geformt, während der
zweite Befestigungsabschnitt 4b durch den an dem ersten Metallstempel 51 aus
gebildeten zweiten Befestigungsabschnitt-Formabschnitt 51j geformt wird. Insbesondere
wird der Linsenhalter 4 aus dem ersten Metallstempel 51 und dem zweiten Metall
stempel 52 geformt, wohingegen der erste Befestigungsabschnitt 4a und der zweite
Befestigungsabschnitt 4b nur durch einen der Metallstempel, d. h. in diesem
Ausführungsbeispiel durch den ersten Metallstempel 51, geformt werden. Anders
ausgedrückt, wirkt der zweite Metallstempel 52 in diesem Ausführungsbeispiel nur als
ein Metallstempel zum Formen der Außenseiten des Linsenhalters 4.
Es wird nun angenommen, daß bei dem Herstellungsprozess des Linsenhalters 4 das
Formmaterial 4 zur Formung des Linsenhalters eingebracht wird, wenn zwischen dem
ersten und dem zweiten Metallstempel 51, 52 ein Offset bezüglich Exzentrizität,
Neigung und Abstand existiert. Insbesondere wird angenommen, daß der zweite
Metallstempel 52 bezüglich des ersten Metallstempels 51 einen Offset aufweist, wie dies
in Fig. 4 dargestellt ist.
Insbesondere wird, sollte der zweite Metallstempel 52 relativ zu dem ersten
Metallstempel 51 versetzt sein, wie in Fig. 4 gezeigt, aufgrund des Offsets einer
Mittelachse O2 des zweiten Metallstempels 52 bezüglich der Mittelachse O1 des ersten
Metallstempels 51 ein Offset X in der Exzentrizität erzeugt. Außerdem werden
aufgrund der Schrägstellung der Mittelachse O2 des zweiten Metallstempels 52
bezüglich der Mittelachse O1 des ersten Metallstempels 51 ein Offset θ in der Neigung
und aufgrund der Trennung des zweiten Metallstempels 52 vom ersten Metallstempel 51
ein Offset Z erzeugt.
Wenn der zweite Metallstempel 52 relativ zum ersten Metallstempel 51 versetzt ist, so
daß Offsets X, θ und Z bezüglich der drei Elemente Exzentrizität, Neigung und
Abstand erzeugt werden, werden jedoch der erste und der zweite Befestigungsabschnitt-
Formabschnitt 51i, 51j durch diese Offsets nicht beeinflußt, da der erste Befestigungs
abschnitt-Formabschnitt 51i und der zweite Befestigungsabschnitt-Formabschnitt 51j
beide an dem ersten Metallstempel 51 ausgebildet sind. So werden der erste
Befestigungsabschnitt 4a und der zweite Befestigungsabschnitt 4b in dem Linsenhalter 4
geformt, ohne durch die Positionsverschiebung des ersten und des zweiten
Metallstempels 51, 52 beeinträchtigt zu sein, wie dies in Fig. 5 dargestellt ist.
Die obigen Ausführungen beziehen sich auf die Erläuterung des ersten Ausführungs
beispiels des Linsenhalters 4, des Herstellungsverfahrens für diesen Linsenhalter 4, des
Metallstempels zur Herstellung dieses Linsenhalters 4 und der Objektivlinsen
vorrichtung.
Es wird nun der Linsenhalter 14 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel erklärt.
Der Linsenhalter 4 des ersten Ausführungsbeispiels enthält einen Vorsprung 4d an der
Außeneinfassung einer Gegenfläche 3a der zweiten Linse 3, die der optischen Disk
zugewandt ist. Der Linsenhalter 14 des zweiten Ausführungsbeispiels kann dagegen die
zweite Linse 3 ohne Vorsehen irgendeines Abschnitts an der Gegenfläche 3a der
zweiten Linse 3 halten.
Der Linsenhalter 14 des zweiten Ausführungsbeispiels ist im wesentlichen ringförmig
ausgebildet, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist. An der Innenseite des Linsenhalters 14
sind Befestigungsabschnitte 14a, 14b für die erste bzw. die zweite Linse 2, 3
ausgebildet.
Der erste Befestigungsabschnitt 14a hat im wesentlichen das gleiche Profil wie im Falle
des oben beschriebenen Linsenhalters 4. Das heißt, der erste Befestigungsabschnitt 14a
ist als eine Stufe einteilig mit der Innenseite der Öffnung der Objektpunktseite geformt,
und er ist als ein Teil aus einer ersten Referenzfläche 14a1 für die Richtung der
optischen Achse und der Objektpunktseite der ersten Linse zugewandt und aus einer
zylindrischen Referenzfläche 14a2 für die radiale Richtung und mit der optischen Achse
als Achse geformt.
Dagegen ist der zweite Befestigungsabschnitt 14b an der Bildpunktseiten-Öffnung
vorgesehen und weist eine zylindrische Referenzfläche 14b2 für die radiale Richtung
und mit der optischen Achse als Achse auf. Der zweite Befestigungsabschnitt 14b ist
aber nicht mit der Funktion der Steuerung der Position und der Neigung der zweiten
Linse in Richtung der optischen Achse versehen. Somit wird eine Vorrichtung zur
Steuerung der zweiten Linse 3 betreffend die Position und Neigung entlang der
Richtung der optischen Achse benötigt.
Bezug nehmend auf Fig. 7 wird nun eine Vorrichtung zur Steuerung der Position
entlang der optischen Achse und der Neigung der zweiten Linse 3 erläutert. In Fig. 7 ist
die zweite Linse 3 entlang der optischen Achse und bezüglich der Neigung der zweiten
Linse 3 mittels einer Halterung 70 positioniert, die im wesentlichen eine flache,
ringförmige Halterung 70 in dem Linsenhalter 14 ist. Das heißt, es ist eine Halterung
70 vorgesehen, welche die Funktion der Steuerung der Position entlang der optischen
Achse und der Neigung der zweiten Linse 3 hat, ähnlich wie der Vorsprung 4d des
Linsenhalters 4. Diese Halterung 70 ist bezüglich der zweiten Linse 3 auf der
Objektpunktseite angeordnet, und durch eine Bildpunktseiten-Referenzfläche 70a der
Halterung 70 sind der ebene Flächenabschnitt 3d der zweiten Linse 3 und eine
Befestigungsfläche 14c an der Innenseite des Linsenhalters 14 zur Objektpunktseite
zueinander ausgeglichen, um die Richtung der optischen Achse und die Neigung der
zweiten Linse 3 zu steuern. Das heißt, die Richtung der Referenzfläche entlang der
optischen Achse wird um 180° in die Richtung entlang der optischen Achse geändert,
um die Position entlang der optischen Achse und die Neigung der zweiten Linse 3 zu
kontrollieren.
Insbesondere wird die Halterung 70 an dem Linsenhalter 14 durch Einsetzen der
Halterung 70 durch eine Öffnung des Linsenhalters 14, in der die erste Linse 2 befestigt
wird, in einem derartigen Zustand montiert, in dem die erste und die zweite Linse 2, 3
noch nicht an dem Linsenhalter 14 befestigt sind. Die Innenseite des Linsenhalters 14
ist mit einer der Objektpunktseite zugewandten Befestigungsfläche 14c ausgebildet, auf
der die Halterung 70 angebracht wird.
Durch Befestigen der Halterung 70 an dem Linsenhalter 14 steht die Referenzfläche 70a
der Halterung 70 in radialer Richtung der Linse zur optischen Achse vor und stößt an
den ebenen Abschnitt 3d der zweiten Linse 3, um als eine zur Bildpunktseite gerichtete
Referenzfläche zu dienen.
Das heißt, die erste Linse 2 wird an dem Linsenhalter 14 befestigt, während die zweite
Linse 3 an der Referenzfläche 70a der Halterung 70 im Linsenhalter 14 befestigt wird.
Bei der Befestigung der zweiten Linse 3 im Linsenhalter 14 wird der ebene Abschnitt
3d der Einstrahlungsfläche 3b der zweiten Linse 3 in Anschlag gegen die
Referenzfläche 70a gebracht. Dies positioniert die zweite Linse 3, da sie in der Position
entlang der optischen Achse und in der Neigung gesteuert wird. So hat in Wirklichkeit
der an dem Linsenhalter 14 in der gleichen Richtung wie die erste Referenzfläche 14a1
entlang der optischen Achse des ersten Befestigungsabschnitts 14a ausgebildete
Befestigungsabschnitt 14c eine Funktion ähnlich der zweiten Referenzfläche 4b1 für die
Richtung der optischen Achse des Linsenhalters 4, um als zweite Referenzfläche für die
Richtung der optischen Achse zu dienen, welche die Position entlang der optischen
Achse und die Neigung der zweiten Linse 3 steuert.
Die Halterung 70 kann so konstruiert sein, daß eine imaginäre Fläche, die jeden
Scheitelpunkt des die Linse an drei Stellen tragenden Vorsprungs enthält, die
Referenzfläche 70a bildet. Insbesondere ist die Referenzfläche 70a der Halterung 70
durch vorzugsweise drei beschlagartige Vorsprünge 70a1, 70a2, 70a3 an der Innenseite
der Halterung 70 konstruiert, wie dies in Fig. 8 deutlich zu erkennen ist. Dies
kontrolliert und setzt die Position entlang der optischen Achse und die Neigung der
zweiten Linse 3 durch die Referenzfläche, die aus der imaginären Ebene mit den
Vorsprüngen 70a1, 70a2, 70a3 gebildet ist.
Die Halterung 70 kann nach der Befestigung der zweiten Linse 3 aus dem Linsenhalter
14 wieder entfernt werden. Alternativ kann die Halterung 70 auch in dem Linsenhalter
14 verbleiben. Wenn die Halterung 70 in einer wieder aus dem Linsenhalter 14
entfernbaren Form ausgebildet ist, kann die zweite Linse 3 mittels eines Klebemittels an
dem Linsenhalter 14 befestigt und anschließend die Halterung 70 entfernt werden.
Indem die Halterung 70 in einer nach der Anbringung der zweiten Linse 3 an dem
Linsenhalter 14 wieder lösbaren Form ausgebildet wird, kann die Objektivlinsen
vorrichtung 1 in ihrer Gesamtheit im Gewicht reduziert werden, um die Funktions
fähigkeit des die Objektivlinsenvorrichtung 1 antreibenden Stellgliedes zu verbessern.
Die zweite Linse 3 kann anstelle der oben beschriebenen Halterung 70 ebenso unter
Verwendung einer zylindrischen Lehre 71 positioniert werden, deren Stirnfläche
entsprechend der Hauptfläche der Halterung 70 geformt ist. Das heißt, die zweite Linse
3 kann bezüglich der Richtung der optischen Achse und der Neigung durch Anbringen
einer im wesentlichen zylindrischen Lehre 71 positioniert werden, wie dies in Fig. 9
gezeigt ist. Dies bedeutet, die Lehre 71 wird zur Steuerung der Position der zweiten
Linse 3 entlang der optischen Achse verwendet und bezüglich der zweiten Linse 3 an
der Objektpunktseite angeordnet. Durch die Referenzfläche 71a als Bildpunktseiten-
Stirnfläche der Lehre 71 werden der ebene Abschnitt 3d der zweiten Linse 3 und die
zur Objektpunktseite gerichtete, an der Innenseite des Linsenhalters 14 ausgebildete
Befestigungsfläche 14c miteinander abgeglichen, um die Position entlang der optischen
Achse und die Neigung der zweiten Linse 3 zu steuern. Das heißt, die Position entlang
der optischen Achse und die Neigung der zweiten Linse werden durch Umdrehen der
Richtung der Referenzfläche entlang der Richtung der optischen Achse um 180°
gesteuert.
Insbesondere wird beim Einbringen der Lehre 71 in den Linsenhalter 14 die Lehre 71
durch eine Öffnung eingesetzt, in der die erste Linse 2 des Linsenhalters 14 befestigt
wird, solange die erste und die zweite Linse 2, 3 nicht am Linsenhalter 14 angebracht
sind, um die Lehre 71 in ihre Position an der Innenseite des Linsenhalters 14 zu
bringen. Die Innenseite des Linsenhalters 14 ist mit einer der Objektpunktseite
zugewandten Befestigungsfläche 14c ausgebildet. Die Lehre 71 wird in den Linsenhalter
14 eingeführt, bis die als Referenzfläche 71a dienende Stirnfläche der Lehre 71 gegen
die Befestigungsfläche 14c anstößt.
Durch Einbringen der Lehre 71 in den Linsenhalter 14 auf diese Art und Weise steht
die Referenzfläche 71a der Lehre 71 entlang des Radius der Linse zum Anschlag gegen
den ebenen Abschnitt 3d der zweiten Linse 3 vor, wodurch die Referenzfläche 71a als
eine zur Bildpunktseite gerichtete Referenzfläche gebildet wird.
Das heißt, bevor die erste Linse 2 an dem Linsenhalter 14 befestigt wird, wird die
zweite Linse 3 an dem Linsenhalter 14 mit Hilfe der Referenzfläche 71a der Lehre 71
als Referenzfläche angebracht. Beim Befestigen der zweiten Linse 3 an dem
Linsenhalter 14 stößt der ebene Abschnitt 3d der Einstrahlungsoberfläche 3b der
zweiten Linse 3 gegen die Referenzfläche 71a. Da die Referenzfläche 71a eine
Positionierfunktion ähnlich derjenigen der ersten Referenzfläche 14a1 für die Richtung
der optischen Achse besitzt, wird die zweite Linse 3 positioniert, während sie bezüglich
der Position entlang der optischen Achse und der Neigung gesteuert wird. So hat in
Wirklichkeit die an dem Linsenhalter 14 in der gleichen Richtung wie die erste
Referenzfläche 14a1 des ersten Befestigungsabschnitts 14a ausgebildete Befestigungs
fläche 14c eine Funktion ähnlich derjenigen der zweiten Referenzfläche 4b1 für die
Richtung der optischen Achse des Linsenhalters 4, und dient als die zweite Referenz
fläche für die Richtung der optischen Achse zum Steuern der Position entlang der
optischen Achse und die Neigung der zweiten Linse 3.
Die Stirnfläche der Lehre 71 kann derart konstruiert sein, daß die virtuelle Fläche,
welche die Scheitelpunkte der die Linse an wenigstens drei Stellen tragenden
Vorsprünge enthält, die Referenzfläche 71a bildet, wie in dem Fall der oben
beschriebenen Halterung 70. Vorteilhafterweise ist die Referenzfläche 71a der Lehre 71
in der Form von vorzugsweise drei beschlagartigen Vorsprüngen an der Innenseite der
Lehre 71 ausgebildet. Hierdurch wird die zweite Linse 3 positioniert, indem die
Richtung der optischen Achse und die Neigung durch die aus einer imaginären Ebene
mit den Vorsprüngen gebildete Referenzfläche gesteuert werden.
Nachdem die zweite Linse 3 in dem Linsenhalter 14 positioniert und an dem
Linsenhalter 14 mittels eines Klebemittels befestigt ist, wird die Lehre 71 wieder aus
dem Linsenhalter 14 entfernt. Da die Lehre 71 im Gegensatz zu der Halterung 70 nicht
in dem Linsenhalter 14 verbleibt, kann das Gewicht der gesamten Objektivlinsen
vorrichtung 1 verringert werden, um die Leistungsfähigkeit des die Objektivlinsen
vorrichtung 1 antreibenden Stellgliedes zu erhöhen.
Die die zweite Linse 3 tragende Referenzfläche kann auch im Fall des oben
beschriebenen Linsenhalters 4 des ersten Ausführungsbeispiels als eine Dreipunkt-
Beschlagform angeordnet sein. In diesem Fall kann der Vorsprung 4d in dem
Linsenhalter 4 in der vorgenannten Dreipunkt-Beschlagform konstruiert sein.
Fig. 10 zeigt einen Metallstempel für die Herstellung des Linsenhalters gemäß dem
zweiten Ausführungsbeispiel, mit einem ersten Metallstempel 61 und einem zweiten
Metallstempel 62, der zur Herstellung des oben unter Bezug auf Fig. 6 beschriebenen
Linsenhalters 14 benutzt wird. Dieser erste Metallstempel 61 hat im wesentlichen die
gleiche Form wie der erste Metallstempel 51 der Fig. 2 und 3, während der zweite
Metallstempel 62 im wesentlichen die gleiche Form wie der zweite Metallstempel 52
der Fig. 2 und 3 aufweist.
Der erste Metallstempel 61 besteht aus einer Basis 61b und einem auf der Basis 61b
vorgesehenen Vorsprung 61c, und ist in seiner Gesamtheit im wesentlich konvex
geformt. Die Basis 61b hat im wesentlichen die Form einer flachen Platte. Der
Vorsprung 61c ist an einem Mittelabschnitt der Hauptfläche 61b1 der Basis 61b
vorgesehen. Der Außenrand der Hauptfläche 61b1 der Basis 61b bildet eine
Anschlagfläche 61b2, die gegen eine Anschlagfläche 62c1 des zweiten Metallstempels
62 drückt, wie später erläutert.
Der Vorsprung 61c ist mit mehreren Stufen 61d, 61e und 61f ausgebildet, die in
Richtung des Bildpunktes fortlaufend kleinere Durchmesser aufweisen. Am Vorsprung
61c bildet die Hauptfläche 61f1 der Stufe 61f als distales Ende des Vorsprungs 61c eine
Oberfläche, die gegen eine entsprechende Hauptfläche 62b1 des zweiten Metallstempels
62 drückt.
Bei diesem ersten Metallstempel 61 besteht ein erster Befestigungsabschnitt-
Formabschnitt 61i zur Formung des Befestigungsabschnitts 14a für die erste Linse 2 aus
einer der Bildpunktseite zugewandten Fläche 61d1 des Außenrandes der Stufe 61d und
aus einer Außenseite 61d2 der Stufe 61d, während der zweite Befestigungsabschnitt-
Formabschnitt 61j zur Formung des Befestigungsabschnitts 14b für die zweite Linse 3
aus einer Außenseite 61f2 der Stufe 61f besteht.
Der zweite Metallstempel 62 besteht aus einem Boden 62b, der im wesentlichen die
Form einer flachen Platte aufweist, und einem Seitenwandabschnitt 62c, der aufrecht
auf der Umrandungsfläche der Hauptfläche 62b1 in Richtung zur Objektpunktseite
steht.
Der Bereich um den Mittelabschnitt der Hauptfläche 62b1 des Bodens 62b bildet eine
Anschlagfläche, die gegen die Hauptfläche 61f1 der Stufe 61f des ersten Metallstempels
61 drückt. Der Seitenwandabschnitt 62c ist ein Teil des zweiten Metallstempels 62, der
auf dem Außenrand der Hauptfläche 61b1 der Basis 61b des ersten Metallstempels 61
aufliegt, wobei die Stirnfläche 62c1 des Seitenwandabschnitts eine Anschlagfläche
bildet, die gegen die entsprechende Anschlagfläche 61b2 des ersten Metallstempels 61
drückt.
In dem Zustand, in dem die Metallgußformen 61, 62 zusammengefügt sind, wie dies in
Fig. 10 dargestellt ist, wird das Formmaterial 14 in den Spalt zwischen den
Metallgußformen 61, 62 eingebracht, um den Linsenhalter 14 durch Spritzgießen
herzustellen.
Die Objektivlinsenvorrichtung 1 wird durch Befestigen der zwei Objektivlinsensätze,
bestehend aus der ersten und der zweiten Linse 2, 3, an den oben beschriebenen
Linsenhaltern 4, 14 aufgebaut. Die Linsenhalter 4, 14 werden mittels eines Metall
stempels zur Herstellung des Linsenhalters mit einem ersten und einem zweiten
Metallstempel gefertigt.
Die Linsenhalter 4, 14 sind mit einem ersten Befestigungsabschnitt und einem zweiten
Befestigungsabschnitt ausgebildet, die sich bezüglich der Richtung der optischen Achse
in die gleiche Richtung erstrecken. So werden durch den ersten und den zweiten
Befestigungsabschnitt-Formabschnitt, die auf dem selben Metallstempel vorgesehen
sind, die Linsenhalter 4, 14 mit dem ersten Befestigungsabschnitt und dem zweiten
Befestigungsabschnitt geformt. Die Formabschnitte, welche die die jeweiligen Linsen
tragenden Befestigungsabschnitte formen, sind an dem selben Metallstempel
ausgebildet, so daß, wenn ein Offset bezüglich der Exzentrizität, der Neigung oder des
Abstandes beim Zusammenfügen der zwei Metallstempel erzeugt wird, die relative
Position zwischen dem ersten und dem zweiten Befestigungsabschnitt aufrechterhalten
wird, ohne durch den Offset zwischen den zur Formung der Linsenhalter 4, 14
verwendeten Metallstempel beeinflußt werden. So hängen die Befestigungsabschnitte
der Linsenhalter 4, 14 nur von den Fehlern in der Bearbeitungsgenauigkeit der
Metallgußformen ab, sofern sie Fehler in der relativen Positionierung betreffen, so daß
es, wenn die Objektivlinsenvorrichtung 1 ohne besondere Einstellung zusammengebaut
wird, möglich ist, Fehler bezüglich der Exzentrizität, der Neigung und des Abstandes
zwischen der ersten und der zweiten Linse 2, 3 zu unterdrücken. Dies verringert die
durch den Offset beim Zusammenfügen der Metallgußformen verursachte optische
Aberration.
Das heißt, da die Befestigungsabschnitt-Formabschnitte zum Formen der Befestigungs
abschnitte für die Linsen alle an dem selben Metallstempel vorgesehen sind, beeinflußt
ausschließlich der Metallstempel-Produktionsfehler die drei Elemente. Zum Beispiel
betragen, da die Exzentrizität, die Neigung und der Abstand nur von dem
Produktionsfehler des einzelnen Metallstempels abgeleitet werden, die Exzentrizität und
der Abstand nur etwa 3 µm, während die Neigung nur etwa 0,02° beträgt. In diesem
Fall beträgt die Wellenfront-Aberration WFE für die Exzentrizität 0,05 rmsλ, die für
den Abstandsfehler 0,012 rmsλ und die für die Neigung 0,008 rmsλ. So daß die ideale
optische Abbildung ausreichend kleiner als der kritische Mareshall-Wert der WFE von
0,7 rmsλ als Grenzwert ist.
Wenn die Befestigungsabschnitt-Formabschnitte, wie bei dem herkömmlichen
Herstellungsverfahren, in den unterschiedlichen Metallstempeln vorgesehen sind,
kommt der Produktionsfehler der Metallstempel 301, 302 zu den kombinierten Offsets
hinzu, so daß die Fehler in der Exzentrizität und im Abstand etwa 13 µm betragen,
während der in der Neigung etwa 0,087° beträgt, so daß, auch wenn die gleichen
Linsen 2, 3 wie für die Objektivlinsenvorrichtung 1 der vorliegenden Erfindung in dem
Linsenhalter 204 verwendet werden, die WFE für die Exzentrizität 0,023 rmsλ, die für
den Abstandsfehler 0,051 rmsλ und die für die Neigung 0,035 rmsλ beträgt, welche
deutlich größer als jene für den erfindungsgemäßen Linsenhalter 4, 14 sind.
Da die Linsen 2, 3 an den Linsenhaltern 4, 14 ohne zusätzliche Einstellung der
Befestigungspositionen mit hoher Genauigkeit befestigt werden können, kann die
Formgebung der Linsenhalter 4, 14 ausreichend optimiert werden. Ebenso wird, da die
Linsen 2, 3 ohne Einstellung der Befestigungspositionen mit hoher Genauigkeit an den
Linsenhaltern 4, 14 befestigt werden können, eine Massenproduktion mit geringeren
Produktionskosten durchführbar.
Da der erste und der zweite Befestigungsabschnitt so an den Linsenhaltern 4, 14
angebracht sind, daß sie in einer gegebenen Richtung entlang der optischen Achse
ausgerichtet sind, können die Linsen 2, 3 auf einfache Weise montiert werden. Zum
Beispiel kann bei der Befestigung der jeweiligen Linsen 2, 3 dieser Arbeitsschritt ohne
Neu-Ausrichtung der Linsenhalter 4, 14 zu den Linsenhalter-Halteelementen ausgeführt
werden.
Wenn die Durchmesser der Referenzflächen in der radialen Richtung des ersten und des
zweiten Befestigungsabschnitts der Linsenhalter 4, 14 etwas kleiner als die Außen
durchmesser der Linsen 2, 3 eingestellt und die Linsen durch Preßpassung in ihren
Positionen befestigt werden, können die Linsen 2, 3 auch einfach an den Linsenhaltern
4, 14 angebracht werden, während die Linsen 2, 3 einfach in der radialen Richtung
positioniert werden können. Das heißt, wenn ein Spalt in der radialen Richtung der
Linse zwischen dem Linsenhalter und der daran befestigten Linse existiert, ist die Linse
maximal um einen dem Spalt entsprechenden Betrag versetzt. Ein solcher Versatz der
Linsen 2, 3 kann durch die Preßpassung der Linsen 2, 3 in den Linsenhaltern 4, 14
vermieden werden.
Die Formgenauigkeit der Linsenhalter 4, 14 ist einfach durch Formen der Linsenhalter
4, 14 aus einem wärmeaushärtenden (Kunst-)Harz als Formmaterial sicherzustellen.
Dies erlaubt eine hochpräzise Formgebung der Referenzflächen, welche die Positionen
der Linsen 2, 3 bestimmen. Wenn beispielsweise der Außendurchmesser der Linse etwa
3 mm beträgt und das Formmaterial ein thermoplastisches Kunstharz ist, wird eine
Exzentrizität von ungefähr 10 mm erzeugt. Wenn ein wärmeaushärtendes Kunstharz
verwendet wird, kann die Exzentrizität auf etwa 3 µm abgesenkt werden.
Der Abstand zwischen der Disk-Oberfläche und der Grenzfläche der Objektivlinse wird
Arbeitsabstand genannt. Beim Linsenhalter 14 kann dieser Arbeitsabstand der
Objektivlinse verringert werden, weil die Gegenfläche 3a der zweiten Linse 3 über die
Diskseiten-Stirnseite des Linsenhalters 4 vorsteht und kein Risiko besteht, daß ein Teil
des Linsenhalters 14 von der Grenzfläche der Objektivlinse (Gegenfläche 3a der zweiten
Linse 3) vorsteht. Dies bedeutet, der Abstand zwischen der Disk und dem Linsenhalter
kann auch in einem optischen System mit einem äußerst nahen Arbeitsabstand der
Objektivlinse gewährleistet werden.
Es kann angenommen werden, daß der Betrag des Vorstehens des Vorsprungs 4d des
Linsenhalters 4 von der Grenzfläche der Objektivlinse entlang der optischen Achse nicht
kleiner als 0,5 mm ist, weil eine ausreichende Stärke des aus Harz geformten
Vorsprungs mit einem Betrag des Vorstehens von nicht größer als 0,5 mm nicht
sichergestellt werden kann. So ist bei dem Linsenhalter 4 ein Arbeitsabstand der
Objektivlinse von wenigstens 0,5 mm erforderlich. Somit kann bei dem Linsenhalter
14, welcher die zweite Linse 3 ohne den Vorsprung 4d positionieren und halten kann,
die Objektivlinsenvorrichtung 1 mit einer Objektivlinse aufgebaut werden, deren
Arbeitsabstand nicht größer als 0,5 mm ist. Mit der Objektivlinse mit einer hohen
numerischen Apertur NA, vorzugsweise einer Objektivlinse mit einem Multi-Linsen-
Aufbau, wird der Arbeitsabstand reduziert, so daß die obige Konstruktion effektiv ist,
wenn die numerische Apertur NA nicht kleiner als 0,75 ist, wie dies bei dem
vorliegenden Objektivlinsen-Doppelsatz der Fall ist.
Da der Objektivlinsen-Doppelsatz, der die hohe numerische Apertur NA ermöglicht,
mit hoher Genauigkeit zusammengebaut werden kann, ist es möglich, eine optimale
Funktionsfähigkeit der Objektivlinse zu erreichen, um eine hohe Aufzeichnungsdichte
und eine große Kapazität des Informationsaufzeichnungsmediums zu verwirklichen.
Außerdem kann, wenn die Referenzfläche der Halterung 70 oder der Lehre 71, welche
die Position entlang der optischen Achse und die Neigung der zweiten Linse 3 bezüglich
des Linsenhalters 14 steuert, durch Dreipunkt-Beschlagvorsprünge 70a1, 70a2, 70a3
aufgebaut ist, der Kontaktbereich der zweiten Linse 3 mit der Halterung 70 oder der
Lehre 71 verringert werden, so daß, wenn zum Zeitpunkt der Montage der zweiten
Linse 3 an den Linsenhalter 14 Verunreinigungen in die Halterung 70 oder die Lehre 71
eindringen, kein Risiko besteht, daß die Verunreinigungen zwischen der zweiten Linse
3 und der Halterung 70 oder der Lehre 71 eingefangen werden, so daß die zweite Linse
3 genau in Position an dem Linsenhalter 14 befestigt werden kann. Wenn zum Beispiel
die Halterung 70 und die Lehre 71 geformt sind, um den gesamten Umfang der zweiten
Linse 3 zu stützen, könnte befürchtet werden, daß die Verunreinigungen zwischen der
zweiten Linse 3 und der Halterung 70 bzw. der Lehre 71 eingefangen werden, um einen
Offset in der Neigung der zweiten Linse 3 zu erzeugen. Durch Stützen der zweiten
Linse an wenigsten drei Punkten kann jedoch der Effekt des Eindringens von
Verunreinigungen ausgeschlossen werden, um eine Positionierung der zweiten Linse 3
ohne Erzeugung eines Offsets in der Neigung zu realisieren.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen ist die Objektivlinsenvorrichtung 1
durch einen Objektivlinsen-Doppelsatz aufgebaut. Die vorliegende Erfindung ist jedoch
nicht auf diesen Aufbau beschränkt. Das heißt, die Linsenhalter 4, 14 können auch
konstruiert werden, um drei oder mehr Sätze von Linsen entlang der optischen Achse
aufzunehmen. In diesem Fall kann die jeder Linse zugewandte Referenzfläche entlang
der optischen Achse vorgesehen sein, um als Referenzfläche zur Steuerung der Position
entlang der optischen Achse und der Neigung der Linse zu dienen.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen sind die Linsenhalter 4, 14 mittels
Spritzgießen gefertigt. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese
Konstruktion beschränkt. Zum Beispiel können die Linsenhalter 4, 14 auch durch
maschinelle Bearbeitung hergestellt werden, wobei in diesem Fall ein Schneidbohrer
oder dergleichen aus einer einzigen gegebenen Richtung zur Schneidbearbeitung
eingeführt werden kann, um den Linsenhalter zu formen, und deshalb die
Befestigungsabschnitte für die Linsen 2, 3 ohne eine Neu-Ausrichtung der Schnittmatrix
des Werkzeugs vorgesehen werden können, um eine Formung der Befestigungs
abschnitte der Linsen 2, 3 mit hoher Genauigkeit zu ermöglichen.
Ein beispielhafter Aufbau des Objektivlinsen-Doppelsatzes aus der ersten und der
zweiten Linse 2, 3 und ein beispielhafter Aufbau der Aufzeichnungs- und/oder
Wiedergabevorrichtung zum Laden der Objektivlinsenvorrichtung 1 werden
nachfolgend erläutert.
In der folgenden Tabelle 1 ist die Form, etc. der ersten und der zweiten Linse 2, 3
dargestellt.
In der obigen Tabelle 1 ist ein Objekt OBJ, ein Öffnungsanschlag ist STO und die
Linsenoberflächen sind S1, S2, S3, . . ., wobei die Disk-Aufzeichnungsoberfläche eine
abbildende Oberfläche (IMG) ist.
Die Fig. 11 und 12 zeigen optische Charakteristika des optischen Systems aus dem
Objektivlinsen-Doppelsatz. Die Fig. 11a, 11b und 11c geben die sphärische Aberration,
die astigmatische Aberration bzw. die Verzeichnungs-Aberration an. Die Fig. 12a und
12b geben die transversale Aberration mit einem Feldwinkel von 0,5° bzw. die axiale
Transversal-Aberration an.
Fig. 13 stellt einen beispielhaften Aufbau eines optischen Meßkopfes mit der oben
beschriebenen Objektivlinsenvorrichtung 1 dar. Ein optischer Meßkopf 101 ist auf einer
Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung zur Aufzeichnung und/oder
Wiedergabe der Informationen auf eine bzw. von einer Disk (ein(em) Informations
aufzeichnungsmedium) 400 montiert und arbeitet zum Ausstrahlen des Laserlichts auf
die Disk und zum Erfassen des von der Disk 400 zurück reflektierten Lichts.
In der folgenden Beschreibung ist die Disk 400 eine optische Phasenänderungs-Disk,
auf die bzw. von der die Informationssignale aufgezeichnet und/oder wiedergegeben
werden sollen. Jedoch kann das Informationsaufzeichnungsmedium ebenso eine nur
abspielbar optische Disk, eine magneto-optische Disk oder eine optische Karte sein. Die
optische Phasenänderungs-Disk ist im wesentlichen eine flache Scheibe mit einem
Substrat 401, auf der eine Aufzeichnungsschicht 402 und eine Schutzschicht 403 in
dieser Reihenfolge aufgebracht sind.
Der optische Meßkopf 101 weist eine nicht dargestellte Lichtquelle, einen Polarisations-
Strahlteiler 102, eine Lambda-Viertel-Platte 103 und eine Objektivlinsenvorrichtung 1
mit einem Objektivlinsen-Doppelsatz auf. Ein Beugungsgitter und eine Sammellinse,
nicht gezeigt, sind zwischen der Lichtquelle und dem Polarisations-Strahlteiler 102
angeordnet.
Die Lichtquelle ist ein Halbleiterlaser, der linear polarisiertes Laserlicht von
beispielsweise 635 nm ausstrahlt. Die Lichtquelle sendet Laserlicht einer konstanten
Ausgangsleistung für die Wiedergabe von Informationssignalen von der Disk 400 aus,
während die Intensität des ausgesendeten Laserlichts entsprechend den Informations
signalen für die Aufzeichnung für die Aufzeichnung der Informationssignale auf die
Disk 400 moduliert wird. Es gibt keine speziellen Einschränkungen bezüglich der
Wellenlänge des von der Lichtquelle ausgestrahlten Laserlichts. Es ist aber vorteilhaft,
Laserlicht einer kürzeren Wellenlänge zu verwenden, um eine höhere Aufzeichnungs
dichte und eine größere Aufzeichnungskapazität zu erzielen.
Das von der Lichtquelle ausgesendete Laserlicht wird durch das nicht dargestellte
Beugungsgitter gebeugt und dadurch in ein Licht 0ter Beugungsordnung, ein Licht der
Beugungsordnung +1 und ein Licht der Beugungsordnung -1 aufgespalten. Das Licht
0ter Ordnung und das Licht der Beugungsordnungen ±1 werden durch die nicht
dargestellte Sammellinse geführt, um einen gebündelten Lichtstrahl zu erhalten.
Das so durch die Sammellinse gebündelte, einfallende Laserlicht wird durch einen
Polarisations-Strahlteiler 102 übertragen, um auf eine Lambda-Viertel-Platte 103 zu
fallen. Der durch die Lambda-Viertel-Platte 103 weiterlaufende Lichtstrahl wird in ein
zirkularpolarisiertes Licht umgewandelt, welches dann auf die Objektivlinsen
vorrichtung 1 fällt.
Die Objektivlinsenvorrichtung 1 enthält die erste Linse 2 und die zweite Linse 3, wie
dies oben erläutert wurde. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weist die Objektiv
linsenvorrichtung 1 den Linsenhalter 14 auf. Das Laserlicht, welches durch die
Lambda-Viertel-Platte 103 in zirkularpolarisiertes Licht umgewandelt wurde, wird
durch die erste und die zweite Linse 2, 3 der Objektivlinsenvorrichtung 1 übertragen,
um so auf die Aufzeichnungsoberfläche, welche die Oberfläche der Aufzeichnungs
schicht 402 der Disk 400 ist, gebündelt zu werden.
Das einfallende Licht, das auf die Signalaufzeichnungsoberfläche der Disk 400
gebündelt wurde, wird durch diese Signalauf 06431 00070 552 001000280000000200012000285910632000040 0002010015953 00004 06312zeichnungsoberfläche reflektiert, um das
Reflexionslicht zu bilden, welches dann durch die Objektivlinse der
Objektivlinsenvorrichtung 1 übertragen wird, um auf die Lambda-Viertel-Platte 103 zu
fallen. Dieses Reflexionslicht wird durch die Lambda-Viertel-Platte 103 übertragen, um
einen linear polarisierten Lichtstrahl zu bilden, der um 90° bezüglich der Vorwärts-
Polarisierungsrichtung des Lichts gedreht ist. Dieser linear polarisierte Lichtstrahl wird
dann durch die reflektierende Oberfläche des Polarisations-Strahlteilers 102 reflektiert.
Das Reflexionslicht, welches durch den Polarisations-Strahlteiler 102 reflektiert wurde,
wird durch eine Fokussierlinse 104 und eine Mehrfachlinse 105 geführt, um durch
einen Photodetektor 106 erfaßt zu werden.
Die Mehrfachlinse 105 erzeugt eine astigmatische Aberration für den einfallenden
Lichtstrahl. Diese astigmatische Aberration erlaubt die Fokussierung von zu erfassenden
Servosignalen mittels des sogenannten astigmatischen Aberrationsverfahrens. Der
Photodetektor 106 weist beispielsweise sechs Photodioden auf und gibt elektrische
Signale aus, die der Intensität des Reflexionslichts des einfallenden Lichts auf die
jeweiligen Photodioden entsprechen.
Die Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung wendet eine festgelegte
Verarbeitung auf die durch den Photodetektor 106 ausgegebenen elektrischen Signale
an, um fokussierende Servosignale und spurnachführende Servosignale durch das
astigmatische Aberrationsverfahren bzw. das sogenannte Dreistrahl-Verfahren zu
erzeugen, um ein biaxiales Stellglied 107 anzutreiben. Basierend auf den fokussierenden
und den spurnachführenden Servosignalen betätigt das biaxiale Stellglied 107 die
Objektivlinsenvorrichtung 1 entlang der optischen Achse der Objektivlinse und entlang
des Radius der Disk 400.
Der Photodetektor 106 verarbeitet auch die elektrischen Signale, die der Intensität des
auf die jeweiligen Photodioden einfallenden Reflexionslichts, um Wiedergabesignale
von der Disk 400 zu erzeugen und auszugeben.
Es ist somit möglich, daß der optische Meßkopf 101 mit der Objektivlinsenvorrichtung
1 Informationssignale auf die bzw. von der Disk 400 schreibt und liest.
Es wird nun ein Ausführungsbeispiel einer Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabe
vorrichtung 121 mit diesem optischen Meßkopf 101 erläutert. Bezug nehmend auf Fig.
14, weist diese Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung 121 einen Spindel
motor 122 zum Drehantrieb der Disk 400, den optischen Meßkopf 101, einen
Stellmotor 123 für die Bewegung des optischen Meßkopfes 101, einen Signalumsetzer
124 zur Ausführung von festgelegten Modulations- und Demodulationsvorgängen, eine
Servosteuerschaltung 125 zum Durchführen einer Servosteuerung des optischen
Meßkopfes 101 und eine Systemsteuerung 126 zum Ausführen der gesamten System
steuerung auf.
Der Spindelmotor 122 treibt die Disk 400, die auf einem nicht dargestellten Drehteller
geladen ist, mit einer festgelegten Drehgeschwindigkeit drehend an, und er wird
basierend auf einem Steuersignal von der Servosteuerschaltung 125 angetrieben.
Der optische Meßkopf 101 ist mit dem Signalumsetzer 124 verbunden. Bei der
Aufzeichnung von Informationssignalen auf die Disk 400 leitet der optische Meßkopf
101 das Laserlicht, das zuvor einer Lichtintensitätsmodulation unterzogen wurde, auf
die Disk 400. Das Laserlicht wurde basierend auf Signalen, die von einer externen
Schaltung 127 ausgegeben wurden, in der Lichtintensität moduliert, wobei es in einer
festgelegten Art und Weise durch den Signalumsetzer 124 moduliert wurde.
Bei der Wiedergabe von Informationssignalen leitet der optische Meßkopf das Laserlicht
einer festgelegten Ausgangsstärke auf die Disk 400, um Wiedergabesignale aus dem
Reflexionslicht zu erzeugen, um die Wiedergabesignale dann dem Signalumsetzer 124
weiterzuleiten.
Dieser optische Meßkopf 101 ist auch mit der Servosteuerschaltung 125 verbunden. Der
optische Meßkopf 101 erzeugt fokussierende Servosignale aus dem Reflexionslicht von
der Disk 400, um die Servosignale der Servosteuerschaltung 125 zuzuführen. Die
Servosteuerschaltung 125 führt einer Fokussier- und Spurnachführ-Steuerung durch das
biaxiale Stellglied 107 unter der Kontrolle durch die Systemsteuerung 126 durch.
Der Signalumsetzer 124 ist mit der Systemsteuerung 126 verbunden und moduliert die
Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabesignale unter der Steuerung der Systemsteuerung
126.
Ein Stellmotor 123 arbeitet zum Verschieben des optischen Meßkopfes 101 in eine
festgelegte radiale Position der Disk 400 und wird mittels eines Steuersignals von der
Servosteuerschaltung 125 angetrieben.
Die Servosteuerschaltung 125 steuert den Spindelmotor 122 und den Stellmotor 123
unter der Kontrolle der Systemsteuerung 126.
Mit der oben beschriebenen Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung 121
können die Informationen auf die bzw. von der Disk 400 aufgezeichnet und/oder
wiedergegeben werden.
Mit der Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung 121, die die
Objektivlinsenvorrichtung 1 mit dem Objektivlinsen-Doppelsatz verwendet, bei dem
während des Herstellungsverfahrens kein Positionsoffset zwischen der ersten und der
zweiten Linse 2, 3 erzeugt wird, können Informationssignale auf die bzw. von der Disk
400 aufgezeichnet und/oder wiedergegeben werden, ohne die durch die oben genannten
drei Fehlerelemente erzeugte Verschlechterung zu enthalten.
Claims (28)
1. Linsenhalter, der eine Objektivlinse trägt, welche aus mehreren Linsen (2, 3)
gebildet ist, die auf einer optischen Achse eines optischen Meßkopfes (101)
angeordnet sind, der zur Aufzeichnung und/oder Wiedergabe von Informations
signalen auf ein bzw. von einem Informationsaufzeichnungsmedium (400) mittels
Laserlicht konstruiert ist, wobei die Linsen (2, 3) eine Objektivlinsenvorrichtung
(1) bilden,
gekennzeichnet durch
mehrere Referenzflächen (4a1, 4b1; 14a1, 14c), die jeweils die Linsen (2, 3) zur
Steuerung der Positionen der Linsen entlang der optischen Achsen und der Neigung
der Linsen tragen, wobei die Referenzflächen (4a1, 4b1; 14a1, 14c) die Positionen
der Linsen entlang der optischen Achsen und die Neigung der Linsen steuern.
2. Linsenhalter nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
zwei Referenzflächen (4a1, 4b1; 14a1, 14c) zum Tragen der zwei Sätze von auf der
optischen Achse angeordneten Linsen (2, 3).
3. Linsenhalter nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Referenzfläche (4a2, 4b2; 14a2, 14b2) in der radialen Richtung zum
Positionieren der Linse (2, 3) entlang ihres Radius angrenzend an die
Referenzfläche (4a1, 4b1; 14a1, 14c) vorgesehen ist.
4. Linsenhalter nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) aus einem elastischen Material geformt ist, und daß die
Linse (2, 3) an der radialen Referenzfläche (4a2, 4b2; 14a2, 14b2) in Preßpassung
einsetzbar ist.
5. Linsenhalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Referenzfläche (4b1; 14c) eine imaginäre Ebene ist, die Scheitelpunkte von
Vorsprüngen (70a1, 70a2, 70a3) enthält, die die Linse (3) an wenigstens drei
Punkten tragen.
6. Linsenhalter nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) mittels Spritzgießen geformt ist.
7. Linsenhalter nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) aus einem wärmeaushärtenden Harz geformt ist.
8. Linsenhalter nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) eine Objektivlinse (2, 3) mit einer numerischen
Apertur von nicht weniger als etwa 0,75 trägt.
9. Linsenhalter nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Arbeitsabstand zwischen dem Informationsaufzeichnungsmedium (400) und
der Objektivlinse (2, 3) nicht weniger als etwa 0,5 mm beträgt.
10. Linsenhalter nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) eine Objektivlinse (2, 3) in einem optischen Meßkopf
(101) mit einer Laserlicht ausstrahlenden Lichtquelle und einer Licht
empfangsvorrichtung (106) zum Empfangen des von dem Informations
aufzeichnungsmedium (400) reflektierten Lichts trägt.
11. Verfahren zur Herstellung eines Linsenhalters (4; 14), der eine Objektivlinse trägt,
die aus mehreren Linsen (2, 3) aufgebaut ist, welche auf einer optischen Achse
eines optischen Meßkopfes (101) angeordnet sind, der zur Aufzeichnung und/oder
Wiedergabe von Informationssignalen auf ein bzw. von einem Informations
aufzeichnungsmedium (400) mittels Laserlicht konstruiert ist, wobei die Linsen (2,
3) eine Objektivlinsenvorrichtung (1) bilden, mittels einer Spritzgießvorrichtung,
die einen Metallstempel mit wenigstens einer Matrize (52; 62) und einem Stempel
(51; 61) verwendet,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Referenzabschnitt-Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) zur Formung mehrerer
Referenzabschnitte (4a, 4b; 14a, 14b) an dem Linsenhalter (4; 14) zum Tragen der
mehreren Linsen (2, 3) an entweder dem Stempel (51; 61) oder der Matrize (52;
62) ausgebildet ist.
12. Verfahren nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) aus einem wärmeaushärtenden Harz geformt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß jeder Referenzabschnitt (4a, 4b; 14a, 14b) mit einer Referenzfläche (4b1; 14c)
zur Steuerung der Neigung und der Position entlang der optischen Achse jeder
Linse (2, 3) der Objektivlinse für jede Linse der Objektivlinse durch einen
Referenzabschnitt-Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) geformt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Referenzflächen (4b1; 14c) von mehreren Referenzabschnitten (4a,
4b; 14a, 14b) in einer nur einer Richtung entlang der optischen Achse der
Objektivlinse geformt werden.
15. Verfahren nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Referenzabschnitte (4a, 4b; 14a, 14b) durch die Referenzabschnitt-
Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) so geformt werden, daß sie Referenzflächen
(4a1; 14a1) für die radiale Richtung zur Positionierung der Linsen (2, 3) der
Objektivlinse entlang der Radialrichtungen der Linsen aufweisen.
16. Verfahren nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Referenzabschnitte (4a, 4b; 14a, 14b) durch die Referenzabschnitt-
Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) so geformt werden, daß sie Vorsprünge (70a1,
70a2, 70a3) aufweisen, die die Linsen (2, 3) der Objektivlinse an wenigstens drei
Stellen tragen, so daß imaginäre Ebenen, welche die Scheitelpunkte der Vorsprünge
enthalten, die Referenzflächen (4b1; 14c) bilden.
17. Metallstempel zur Herstellung eines Linsenhalters (4; 14) mit wenigstens einer
Matrize (52; 62) und einem Stempel (51; 61), wobei der Metallstempel zur
Herstellung eines Linsenhalters (4; 14) benutzt wird, der eine Objektivlinse trägt,
die aus mehreren Linsen (2, 3) aufgebaut ist, welche auf einer optischen Achse
eines optischen Meßkopfes (101) angeordnet sind, der zur Aufzeichnung und/oder
Wiedergabe von Informationssignalen auf ein bzw. von einem Informations
aufzeichnungsmedium (400) mittels Laserlicht konstruiert ist, wobei die Linsen (2,
3) eine Objektivlinsenvorrichtung (1) bilden,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Referenzabschnitt-Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) zur Formung mehrerer
Referenzabschnitte (4a, 4b; 14a, 14b) des Linsenhalters (4; 14) jeweils zum
Befestigen der Linsen (2, 3) entweder an der Matrize (52; 62) oder an dem Stempel
(51; 61) ausgebildet ist.
18. Metallstempel nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Referenzabschnitt-Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) jeden Referenz
abschnitt (4a, 4b; 14a, 14b) so formt, daß er eine Referenzfläche (4b1; 14c) zur
Steuerung der Neigung und der Position entlang der optischen Achse jeder Linse
(2, 3) der Objektivlinse aufweist.
19. Metallstempel nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Abschnitte der Referenzabschnitt-Formabschnitte (51i, 51j; 61i, 61j) zur
Formung der Referenzflächen (4b1; 14c) in einer Richtung ausgebildet sind.
20. Metallstempel nach Anspruch 18 oder 19,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Referenzabschnitt-Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) den Referenzabschnitt
(4a, 4b; 14a, 14b) so formt, daß er eine Referenzfläche (4a1; 14a1) für die radiale
Richtung zur Positionierung der Linsen (2, 3) der Objektivlinse entlang der
Radialrichtungen der Linsen aufweist.
21. Metallstempel nach einem der Ansprüche 18 bis 20,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Referenzabschnitt-Formabschnitt (51i, 51j; 61i, 61j) den Referenzabschnitt
(4a, 4b; 14a, 14b) so formt, daß er Vorsprünge (70a1, 70a2, 70a3) aufweist,
welche die Linsen (2, 3) der Objektivlinse an wenigstens drei Stellen tragen, wobei
imaginäre Ebenen, welche die Scheitelpunkte der Vorsprünge enthalten, die
Referenzflächen (4b1; 14c) bilden.
22. Objektivlinsenvorrichtung für einen optischen Meßkopf (101), der zur
Aufzeichnung und/oder Wiedergabe von Informationssignalen auf ein bzw. von
einem Informationsaufzeichnungsmedium (400) mittels Laserlicht konstruiert ist,
wobei die Objektivlinsenvorrichtung aufweist:
eine Objektivlinse aus einer ersten Linse (2) und einer zweiten Linse (3); und
einen Linsenhalter (4; 14) der die Objektivlinse trägt;
wobei wenigstens eine Oberfläche (2b, 3b) der ersten und der zweiten Linse (2, 3) einen als eine Linsenoberfläche geformten Mittelabschnitt aufweist, wobei am Außenrand der wenigstens einen Oberfläche (2b, 3b) ein ebener Abschnitt (2e, 3d) senkrecht zur optischen Achse ausgebildet ist;
wobei der Linsenhalter (4; 14) eine erste Referenzfläche (4a1; 14a1) und eine zweite Referenzfläche (4b1; 14c) zum Befestigen der ersten bzw. der zweiten Linse (2, 3) für die Steuerung der Neigung und der Position entlang der optischen Achsen der Linsen aufweist, wobei die Referenzflächen in einer Richtung entlang der optischen Achse ausgerichtet sind, wobei ein ebener Abschnitt (2d) der ersten Linse (2) koplanar mit der ersten Referenzfläche (4a1; 14a1) ist, um die erste Linse zu tragen und ein ebener Abschnitt der zweiten Linse (3) koplanar mit der zweiten Referenzfläche (4b1; 14c) ist, um die zweite Linse zu tragen.
eine Objektivlinse aus einer ersten Linse (2) und einer zweiten Linse (3); und
einen Linsenhalter (4; 14) der die Objektivlinse trägt;
wobei wenigstens eine Oberfläche (2b, 3b) der ersten und der zweiten Linse (2, 3) einen als eine Linsenoberfläche geformten Mittelabschnitt aufweist, wobei am Außenrand der wenigstens einen Oberfläche (2b, 3b) ein ebener Abschnitt (2e, 3d) senkrecht zur optischen Achse ausgebildet ist;
wobei der Linsenhalter (4; 14) eine erste Referenzfläche (4a1; 14a1) und eine zweite Referenzfläche (4b1; 14c) zum Befestigen der ersten bzw. der zweiten Linse (2, 3) für die Steuerung der Neigung und der Position entlang der optischen Achsen der Linsen aufweist, wobei die Referenzflächen in einer Richtung entlang der optischen Achse ausgerichtet sind, wobei ein ebener Abschnitt (2d) der ersten Linse (2) koplanar mit der ersten Referenzfläche (4a1; 14a1) ist, um die erste Linse zu tragen und ein ebener Abschnitt der zweiten Linse (3) koplanar mit der zweiten Referenzfläche (4b1; 14c) ist, um die zweite Linse zu tragen.
23. Objektivlinsenvorrichtung nach Anspruch 22,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Linsenhalter (4; 14) eine erste Referenzfläche (4a2; 14a2) für die radiale Richtung, die angrenzend an die erste Referenzfläche (4a1; 14a1) ausgebildet ist und der Positionierung der ersten Linse (2) in der radialen Richtung der ersten Linse dient, und eine zweite Referenzfläche (4b2; 14b) für die radiale Richtung, die angrenzend an die zweite Referenzfläche (4b1; 14c) ausgebildet ist und der Positionierung der zweiten Linse (3) in der radialen Richtung der ersten Linse dient, aufweist;
wobei die erste Linse (2) getragen wird, während ihr Außenrand gegen die erste Referenzfläche (4a2; 14a2) in der radialen Richtung drückt, und die zweite Linse (3) getragen wird, während ihr Außenrand gegen die zweite Referenzfläche (4b2; 14b) in der radialen Richtung drückt.
daß der Linsenhalter (4; 14) eine erste Referenzfläche (4a2; 14a2) für die radiale Richtung, die angrenzend an die erste Referenzfläche (4a1; 14a1) ausgebildet ist und der Positionierung der ersten Linse (2) in der radialen Richtung der ersten Linse dient, und eine zweite Referenzfläche (4b2; 14b) für die radiale Richtung, die angrenzend an die zweite Referenzfläche (4b1; 14c) ausgebildet ist und der Positionierung der zweiten Linse (3) in der radialen Richtung der ersten Linse dient, aufweist;
wobei die erste Linse (2) getragen wird, während ihr Außenrand gegen die erste Referenzfläche (4a2; 14a2) in der radialen Richtung drückt, und die zweite Linse (3) getragen wird, während ihr Außenrand gegen die zweite Referenzfläche (4b2; 14b) in der radialen Richtung drückt.
24. Objektivlinsenvorrichtung nach Anspruch 23,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Linse (2) durch Preßpassung in einem zylindrischen Abschnitt
getragen wird, der durch die erste Referenzfläche (4a2; 14a2) für die radiale
Richtung gebildet wird, und die zweite Linse (3) durch Preßpassung in einem
zylindrischen Abschnitt getragen wird, der durch die zweite Referenzfläche (4b2;
14b) für die radiale Richtung gebildet wird.
25. Objektivlinsenvorrichtung nach Anspruch 22 oder 23,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste und die zweite Linse (2, 3) durch den Linsenhalter (4; 14) mittels
eines Klebemittels gehalten und befestigt sind.
26. Objektivlinsenvorrichtung nach Anspruch 22 oder 23,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Linse durch Preßpassung in einem zylindrischen Abschnitt, der durch
die erste Referenzfläche (4a2; 14a2) für die radiale Richtung gebildet wird, und
durch anschließende Befestigung mittels eines Klebemittels an dem Linsenhalter (4;
14) getragen ist, und die zweite Linse (3) durch Preßpassung in einem
zylindrischen Abschnitt, der durch die zweite Referenzfläche (4b2; 14b) für die
radiale Richtung gebildet wird, und durch anschließende Befestigung mittels eines
Klebemittels an dem Linsenhalter (4; 14) getragen ist.
27. Objektivlinsenvorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 26,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Stirnseite der ersten und/oder der zweiten Linse (2, 3) aus der Stirnseite des
Linsenhalters (4; 14) nach außen ragen.
28. Objektivlinsenvorrichtung nach Anspruch 27,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste oder die zweite Linse (2, 3), deren Stirnseite aus der Stirnseite des
Linsenhalter (4; 14) nach außen ragt, einen kleineren Durchmesser als die andere
Linse (3, 2) hat und daß ihr ebener Abschnitt innerhalb der Referenzfläche (4b1)
positioniert ist, welche koplanar mit dem ebenen Abschnitt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9415399 | 1999-03-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10015953A1 true DE10015953A1 (de) | 2000-10-26 |
Family
ID=14102447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10015953A Withdrawn DE10015953A1 (de) | 1999-03-31 | 2000-03-30 | Linsenhalter, Verfahren zur Herstellung eines Linsenhalters, Metallstempel für die Herstellung eines Linsenhalters und Objektivlinsenvorrichtung |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6594204B1 (de) |
KR (1) | KR100752826B1 (de) |
CN (1) | CN100354682C (de) |
DE (1) | DE10015953A1 (de) |
HK (1) | HK1033360A1 (de) |
ID (1) | ID25424A (de) |
MY (1) | MY126028A (de) |
SG (1) | SG97873A1 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003012529A2 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Objektiv, insbesondere projektionsobjectiv für die halbleiter-lithographie |
EP1406105A1 (de) * | 2001-07-09 | 2004-04-07 | Sony Corporation | Objektivlinse und optische erfassungseinrichtung mit der objektivlinse |
EP1426938A1 (de) * | 2001-08-29 | 2004-06-09 | Sony Corporation | Vorrichtung zur herstellung einer objektivlinse und herstellungsverfahren |
EP1850161A1 (de) * | 2006-04-27 | 2007-10-31 | Fujinon Corporation | Verfahren zur Montage eines Linsensystems mittels Abstandsvorrichtung |
EP1873567A1 (de) * | 2006-06-30 | 2008-01-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Haltevorrichtung für eine optische Komponente sowie Laserscanner und Bilderzeugungsvorrichtung damit |
US7768723B2 (en) | 2003-12-23 | 2010-08-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Replacement apparatus for an optical element |
US8710471B2 (en) | 2008-04-03 | 2014-04-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projection illumination system for EUV microlithography |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6594204B1 (en) * | 1999-03-31 | 2003-07-15 | Sony Corporation | Lens holder, method for manufacturing lens holder, metal die for producing lens holder and objective lens device |
JP4083955B2 (ja) * | 2000-06-12 | 2008-04-30 | パイオニア株式会社 | 対物レンズ、光ピックアップ装置及び光学式記録再生装置 |
JP2002092926A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Sony Corp | 光ヘッドおよび光ピックアップ |
JP4698874B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2011-06-08 | ローム株式会社 | イメージセンサモジュール、およびイメージセンサモジュールの製造方法 |
US7576928B2 (en) * | 2003-10-31 | 2009-08-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens holder |
JP4507588B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-07-21 | パナソニック株式会社 | レンズユニットとそれを用いた電子機器 |
JP2006085837A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Konica Minolta Opto Inc | 対物レンズユニット及びこれを用いた光ピックアップ装置 |
CN100462763C (zh) * | 2004-11-08 | 2009-02-18 | 松下电器产业株式会社 | 透镜单元 |
JP2006154764A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズユニット |
US20090040360A1 (en) * | 2006-02-24 | 2009-02-12 | Koji Taniguchi | Imaging device and portable terminal device |
EP1953746A3 (de) * | 2007-02-01 | 2009-11-04 | Ricoh Company, Ltd. | Linsenaktuator, optische Aufnahmevorrichtung und optische Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrichtung |
US8152340B1 (en) * | 2008-08-22 | 2012-04-10 | Nguyen Ronald C | Compact loupe light |
JP6944283B2 (ja) * | 2017-06-27 | 2021-10-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | レンズユニットおよびレンズユニットの製造方法 |
CN111277732A (zh) * | 2018-12-04 | 2020-06-12 | 三赢科技(深圳)有限公司 | 车载摄像头及交通工具 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56151902A (en) * | 1980-04-25 | 1981-11-25 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Plastic lens |
JPS58175624A (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-14 | Hitachi Ltd | レンズ保持部材およびその成形用金型機構 |
DE3475114D1 (en) | 1983-10-19 | 1988-12-15 | Perkin Elmer Corp | Optical assemblies |
US5249082A (en) | 1991-05-08 | 1993-09-28 | Eastman Kodak Company | Exact constraint arrangement for and methods of mounting an element such as a lens |
JPH04356748A (ja) | 1991-06-03 | 1992-12-10 | Sony Corp | 光磁気記録装置 |
US5270869A (en) | 1992-12-23 | 1993-12-14 | Eastman Kodak Company | Passively athermalized optical assembly incorporating laminate fiber compensation ring |
JP3567515B2 (ja) * | 1995-02-15 | 2004-09-22 | ソニー株式会社 | 光学ピックアップ装置 |
JPH08315404A (ja) * | 1995-05-18 | 1996-11-29 | Sony Corp | 光学ピックアップ装置 |
JPH1069648A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Sony Corp | 光学ピックアップ装置及びこの光学ピックアップ装置の調整方法 |
US6115347A (en) * | 1996-02-12 | 2000-09-05 | Sony Corporation | Optical pick-up device, optical recording/reproducing apparatus and objective lens |
US5729393A (en) * | 1996-04-03 | 1998-03-17 | Digital Papyrus Corporation | Optical flying head with solid immersion lens having raised central surface facing medium |
JP3787925B2 (ja) * | 1996-11-14 | 2006-06-21 | ソニー株式会社 | 対物レンズ装置及び記録再生装置 |
JPH10320773A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Sony Corp | 光ディスクの製造方法、光ディスク及び光ディスク装置 |
CN1132163C (zh) * | 1997-10-06 | 2003-12-24 | 皇家菲利浦电子有限公司 | 用于从/向记录介质读取和/或写入信息的设备 |
US6151174A (en) * | 1997-10-06 | 2000-11-21 | U.S. Philips Corporation | Device for optically scanning a record carrier |
JP2002500800A (ja) * | 1998-03-26 | 2002-01-08 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 第1及び第2のレンズ部を有する光学的走査装置 |
JP2000099987A (ja) * | 1998-09-24 | 2000-04-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 光磁気ヘッド装置 |
KR20010033374A (ko) * | 1998-10-21 | 2001-04-25 | 이데이 노부유끼 | 광학 헤드 및 광학 기록 매체의 구동 장치 |
US6594204B1 (en) * | 1999-03-31 | 2003-07-15 | Sony Corporation | Lens holder, method for manufacturing lens holder, metal die for producing lens holder and objective lens device |
-
2000
- 2000-03-20 US US09/532,177 patent/US6594204B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-24 SG SG200001738A patent/SG97873A1/en unknown
- 2000-03-29 MY MYPI20001253A patent/MY126028A/en unknown
- 2000-03-30 DE DE10015953A patent/DE10015953A1/de not_active Withdrawn
- 2000-03-30 KR KR1020000016377A patent/KR100752826B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-03-30 ID IDP20000255D patent/ID25424A/id unknown
- 2000-03-31 CN CNB001053485A patent/CN100354682C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-04-17 HK HK01102699A patent/HK1033360A1/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1406105A1 (de) * | 2001-07-09 | 2004-04-07 | Sony Corporation | Objektivlinse und optische erfassungseinrichtung mit der objektivlinse |
US7170693B2 (en) | 2001-07-09 | 2007-01-30 | Sony Corporation | Objective lens, and optical pickup device using the objective lens |
EP1406105A4 (de) * | 2001-07-09 | 2007-05-30 | Sony Corp | Objektivlinse und optische erfassungseinrichtung mit der objektivlinse |
WO2003012529A2 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Objektiv, insbesondere projektionsobjectiv für die halbleiter-lithographie |
WO2003012529A3 (de) * | 2001-07-26 | 2004-01-08 | Zeiss Carl Smt Ag | Objektiv, insbesondere projektionsobjectiv für die halbleiter-lithographie |
EP1426938A1 (de) * | 2001-08-29 | 2004-06-09 | Sony Corporation | Vorrichtung zur herstellung einer objektivlinse und herstellungsverfahren |
EP1426938A4 (de) * | 2001-08-29 | 2005-08-10 | Sony Corp | Vorrichtung zur herstellung einer objektivlinse und herstellungsverfahren |
US6977782B2 (en) | 2001-08-29 | 2005-12-20 | Sony Corporation | Object lens producing device and producing method |
US7768723B2 (en) | 2003-12-23 | 2010-08-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Replacement apparatus for an optical element |
US7995296B2 (en) | 2003-12-23 | 2011-08-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Replacement apparatus for an optical element |
US8488261B2 (en) | 2003-12-23 | 2013-07-16 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Replacement apparatus for an optical element |
US8902519B2 (en) | 2003-12-23 | 2014-12-02 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Replacement apparatus for an optical element |
US9081296B2 (en) | 2003-12-23 | 2015-07-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Replacement apparatus for an optical element |
US7471472B2 (en) | 2006-04-27 | 2008-12-30 | Fujinon Corporation | Lens system assembling method and spacing jig |
EP1850161A1 (de) * | 2006-04-27 | 2007-10-31 | Fujinon Corporation | Verfahren zur Montage eines Linsensystems mittels Abstandsvorrichtung |
EP1873567A1 (de) * | 2006-06-30 | 2008-01-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Haltevorrichtung für eine optische Komponente sowie Laserscanner und Bilderzeugungsvorrichtung damit |
US7528857B2 (en) | 2006-06-30 | 2009-05-05 | Samsung Electronics, Inc. | Apparatus for supporting optical component, and laser scanner and image forming device having the same |
US8710471B2 (en) | 2008-04-03 | 2014-04-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projection illumination system for EUV microlithography |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MY126028A (en) | 2006-09-29 |
KR100752826B1 (ko) | 2007-08-29 |
SG97873A1 (en) | 2003-08-20 |
ID25424A (id) | 2000-10-05 |
KR20000071509A (ko) | 2000-11-25 |
CN100354682C (zh) | 2007-12-12 |
US6594204B1 (en) | 2003-07-15 |
CN1271864A (zh) | 2000-11-01 |
HK1033360A1 (en) | 2001-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10015953A1 (de) | Linsenhalter, Verfahren zur Herstellung eines Linsenhalters, Metallstempel für die Herstellung eines Linsenhalters und Objektivlinsenvorrichtung | |
DE69736507T2 (de) | Objektiv und optischer Kopf | |
DE60217690T2 (de) | Vorrichtung zur herstellung einer objektivlinse und herstellungsverfahren | |
DE69133432T2 (de) | Mehrschichtinformationsspeichersystem | |
DE69632493T2 (de) | Optisches Abtastgerät und Identifizierungsgerät zum Identifizieren des Typs eines optischen Aufzeichnungsmediums | |
DE69724541T2 (de) | Optische abtastvorrichtung und optisches aufzeichnungsgerät | |
DE69932017T2 (de) | Optisches Abtastgerät und optische Vorrichtung | |
DE3522849A1 (de) | Optischer kopf | |
DE69727186T2 (de) | Vorrichtung zur Aufzeichnung und Wiedergabe eines optischen Aufzeichnungsträgers | |
DE4446325C2 (de) | Optische Abtastvorrichtung | |
DE60008691T2 (de) | Optische Abtastvorrichtung | |
DE2918931A1 (de) | Optischer kopf | |
DE10206923A1 (de) | Optische Abtastbeugungslinse und eine diese Linse verwendende optische Abtastvorrichtung | |
DE69836202T2 (de) | Katadioptrisches optisches system, optischer kopf, optisches plattenlaufwerk mit dem system sowie optische platte | |
DE19705750C2 (de) | Objektivlinsenvorrichtung, mit dieser versehener optischer Aufnehmer sowie Verfahren zur Herstellung einer Objektivlinse | |
DE602004012171T2 (de) | Optischer Kopf, optische Informationrn aufzeichnende/wiedergebende Vorrichtung, Computer, Video-Aufzeichnungs-/Wiedergabevorrichtung, Videowiedergabevorrichtung, Server und Autonavigationssystem | |
DE69728313T2 (de) | Multifokale Linse, multifokale optische Abtastvorrichtung und optisches Informationswiedergabegerät | |
DE69726527T2 (de) | Optischer kopf und optisches aufzeichnungsgerät | |
DE69917763T2 (de) | System zur optischen datenspeicherung, das polarisationserhaltende optische fasern verwendet | |
DE112009000292T5 (de) | Abtastkopfanordnung für eine optische Platte, die eine elektrisch einstellbare Flüssigkristalllinse verwendet | |
DE602004011580T2 (de) | Optischer Kopf und Verfahren zur Anpassung dessen optischer Weglänge | |
DE60309542T2 (de) | Verfahren und Gerät zur Korrektur der sphärischen Aberration | |
DE69732471T2 (de) | Optischer Abtastkopf | |
DE19740567A1 (de) | Optischer Aufnehmer zum Einsatz bei Disketten mit jeweils unterschiedlicher Dicke | |
DE60128614T2 (de) | Anamorphes Prisma, optischer Kopf und optisches Aufzeichnungs-/Lesegerät |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |