DE10007201A1

DE10007201A1 - Verfahren zur Synchronsteuerung mehrerer Schrittmotoren

Info

Publication number: DE10007201A1
Application number: DE10007201A
Authority: DE
Inventors: Ralf Joram; Tobias Kaufhold
Original assignee: Carl Zeiss Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 2000-02-17
Filing date: 2000-02-17
Publication date: 2001-08-23
Also published as: EP1169774A1; EP1169774B1; US6590359B2; JP4665084B2; WO2001061837A1; DE50115293D1; JP2003523713A; US20020158592A1

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Synchronsteuerung mehrerer Schrittmotoren SM¶1¶, SM¶2¶...SM¶n¶, die als Antriebe in einem Zustellsystem dienen, wobei die Schrittmotoren SM¶1¶, SM¶2¶...SM¶n¶ mit einer Grundfrequenz f¶a¶ angesteuert werden und jeweils eine Periode der Grundfrequenz f¶a¶ einer vorgegebenen Schrittlänge SL proportional ist. DOLLAR A Erfindungsgemäß werden mit jeder Periode derselben Grundfrequenz f¶a¶ bei den einzelnen Schrittmotoren SM¶1¶, SM¶2¶...SM¶n¶ unterschiedliche Schrittlängen SL¶1¶, SL¶2¶...SL¶n¶ ausgelöst, wobei dem Schrittmotor SM¶1¶ eine spezifische Schrittlänge SL¶1¶, dem Schrittmotor SM¶2¶ eine spezifische Schrittlänge SL¶2¶ zugeordnet ist usw. DOLLAR A Auf diese Weise ist es nicht mehr erforderlich, für jeden der Schrittmotoren gesonderte Ansteuerfrequenzen aufzubereiten. Alle Schrittmotoren können nun mit gleicher Frequenz angesteuert werden und es ist lediglich nur noch eine Zähler- bzw. Timereinheit für alle Schrittmotoren des Positioniersystems erforderlich.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Synchron steuerung mehrerer Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n, die als Antriebe in einem Zustellsystem dienen, wobei die Schritt motoren SM₁, SM₂ . . . SM_n mit einer Grundfrequenz f_a ange steuert werden und jeweils eine Periode der Grundfrequenz f_a einer vorgegebenen Schrittlänge SL proportional ist.

Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, die für einen Schrittmotor per Ansteuerung definiert vorgegebenen Schrittwinkel in Inkremente einer Längsbewegung zu wandeln und auf dieser Grundlage Positioniersysteme zu betreiben, mit denen Verschiebungen von Gerätebaugruppen entlang eines Verstellbereiches bzw. einer Bahn hochgenau vorgenommen werden.

Bei entsprechender Beschaltung der Wicklungen bzw. Phasen steuerung eines Schrittmotors läßt sich eine sensible An steuerung und damit ein Fortschreiten der Drehbewegung in so kleinen Schrittwinkeln erzielen, daß auch für optische Feingeräte, wie beispielsweise Mikroskope mit Zoomeinrich tung, die präzise Positionierung der einzelnen Zoomgruppen erreicht wird, die zum Verändern der Vergrößerung bei Bei behaltung der Abbildungsschärfe erforderlich ist.

So sind beim derzeiten Stand der Entwicklung bei permanent erregten Schrittmotoren Schrittwinkel von 3,75°, bei Hy bridschrittmotoren Schrittwinkel von 1,8° und bei Reluk tanzschrittmotoren Schrittwinkel von 1° üblich. Die Wandlung der Dreh- in eine Längsbewegung wird in der Regel mit Spindelsystemen vorgenommen.

Für Anwendungen in Zoomobjektiven wie auch für andere An wendungen sind Positioniersysteme entwickelt worden, bei denen jeweils einem Schrittmotor eine entlang einer Bahn zu verschiebende Baugruppe zugeordnet ist. Dabei besteht ins besondere bei Anwendung für Zoomobjektive die Notwendig keit, die verschiedenen Baugruppen mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten zu verschieben, damit nach einer Ver schiebung die Zoomgruppen sich in einem vorbestimmten Ab stand zueinander befinden, der sowohl der neu einzustellen den Vergrößerung genügen muß als auch zur Beibehaltung der Abbildungsschärfe erforderlich ist. Eine nach diesem Prin zip arbeitende "Anordnung zur direkten Steuerung der Bewe gung eines Zoomsystems in einem Stereomikroskop" ist bei spielsweise in WO 99/60436 beschrieben.

Im Stand der Technik sind bei der Ansteuerung von mehreren, zu einem Positioniersystem gehörenden Schrittmotoren jedem der Schrittmotoren bzw. jeder Bahn eine Zähler- bzw. Ti mereinheit zugeordnet. Alle Zähler- bzw. Timereinheiten werden mit verschiedenen Frequenzen und Zeiten geladen, die jeweils auf eine zugeordnete Bahn bezogen und unter Zugrun delegung der entsprechenden Positionieraufgabe errechnet worden sind.

Die Schrittmotoren werden gemeinsam gestartet, und nach Ab lauf jeweils einer vorgegebenen Sequenz von Perioden der Grund- bzw. Ansteuerfrequenz wird über Ausgabeeinheiten die Verschiebung veranlaßt, wobei stets eine Ausgabeeinheit ei nem Schrittmotor zugeordnet ist. Für eine nachfolgende weitere Verstellung werden die Zähler- bzw. Timereinheiten der entsprechend neu geladen und gestartet.

Dieser Ablauf wird für jede neue Positioniervorgabe wieder holt, wobei jedesmal die Baugruppen die vorgegebenen Ziele auf ihrer Bahn erreichen. Dabei werden die Baugruppen in gleichen Zeiten über unterschiedliche Weglängen verschoben, d. h. sie erreichen ihre Zielpositionen mit unterschiedli chen Geschwindigkeiten; diese werden aufgrund der Ansteue rung der einzelnen Schrittmotoren mit unterschiedlichen Frequenzen erzielt.

Da jede Bahn, insbesondere bei der Verstellung von Zoom gruppen, auch noch gesonderte Beschleunigungsprofile auf weist, erfordert ein in dieser Weise ausgeführtes Positio niersystem verhältnismäßig viel Speicherkapazität und dem zufolge auch eine recht lange Berechnungsdauer.

Hinzu kommt außerdem, daß aufgrund der geforderten hohen Zustellgenauigkeit - die maximale Bahnabweichung soll im vorliegenden Fall nicht mehr als 10 µm bei allen Antrieben betragen - jede Zähler- bzw. Timereinheit aus mindestens drei Einzelzählern besteht.

Um die maximal mögliche Verstellgeschwindigkeit erreichen zu können, wird der Schrittmotor, der die weiteste Ver schiebung auf der ihm zugeordneten Bahn vorzunehmen hat, als führender Antrieb betrachtet, an dem sich alle anderen Antriebe, denen kürzere Zustellweiten zugeordnet sind, zu orientieren haben, indem diese langsamer betrieben werden.

Aus der bisherigen Darstellung wird klar, daß der verhält nismäßig hohe Aufwand für Speicherkapazität und Rechenzeit seine Ursache in der gesonderten Frequenzaufbereitung für jeden einzelnen Schrittmotor eines solchen Positioniersy stems hat.

Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs beschriebenen Art so weiterzu entwickeln, daß unter Beibehaltung einer hohen Positionier genauigkeit und optimalen Verstellgeschwindigkeit die Steuerung des gesamten Positioniersystems bei reduziertem technischen Aufwand möglich ist.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß mit jeder Periode der selben Grundfrequenz f_a bei den einzelnen Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n unterschiedliche Schrittlängen SL₁, SL₂ . . . SL_n ausgelöst werden, wobei dem Schrittmotor SM₁ eine spe zifische Schrittlänge SL₁, dem Schrittmotor SM₂ eine spezi fische Schrittlänge SL₂ zugeordnet ist usw.

Auf diese Weise ist es nicht mehr erforderlich, für jeden der Schrittmotoren gesonderte Ansteuerfrequenzen aufzube reiten. Alle Schrittmotoren können nun mit gleicher Fre quenz angesteuert werden und es ist lediglich nur noch eine Zähler- bzw. Timereinheit für alle Schrittmotoren des Posi tioniersystems erforderlich.

Da bei Ansteuerung mit ein und derselben Frequenz jeder Schrittmotor die ihm zugeordnete spezifische Schrittlänge SL₁, SL₂ . . . SL_n zurücklegt, wird auf einfache Weise er reicht, daß die einzelnen Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten fahren und nach Ende einer Verstellbewegung jede der zu verschiebenden Bau gruppen unterschiedliche Verschiebeweiten zurückgelegt und jeweils ihre Zielposition erreicht hat.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorge sehen, daß beispielsweise der Schrittmotor SM₁ mit einer Schrittlänge SL₁ betrieben wird, die dem Vollschritt des Schrittmotors SM₁ bei einer kompletten Drehfelddrehung ent spricht. Der Schrittmotor SM₁ ist dabei mit einer Baugruppe gekoppelt, die bei Auslösung eines Positionierbefehles im Vergleich zu den anderen Baugruppen die größere Verschiebe weite zurückzulegen hat.

Den übrigen Schrittmotoren SM₂ . . . SM_n sind kleinere Schrittlängen SL₂ . . . SL_n zugeordnet, die jeweils einer teilweisen Drehfelddrehung entsprechen. Die mit diesen Schrittmotoren SM₂ . . . SM_n gekoppelten Baugruppen legen al so geringere Verschiebeweiten zurück.

Der Unterteilung der vollen, sich aus einer kompletten Drehfelddrehung ergebenden Schrittlänge SM₁ in mehrere Teilschritte, in sogenannte "Mikroschritte", beruht darauf, daß durch angepaßte Steuerung der in die einzelnen Phasen einzuprägenden Ströme theoretisch jede Lage des Drehmomen tenvektors innerhalb einer Drehfelddrehung einstellbar ist. Diese Art der Steuerung ist an und für sich bekannt und beispielsweise in Schörlin, F. "Mit Schrittmotoren steuern, regeln und antreiben", Fransisverlag 1996, 2. Auflage 1996 beschrieben.

Auf diese Weise läßt sich eine Anzahl z diskreter Mi kroschritte erzeugen. Zur praktischen Nutzung dieses Effektes ist die Teilung eines Vollschrittes in z = 100 Mi kroschritte ausreichend und hat sich als Grundlage für die Konfiguration von Positioniersystemen durchaus bewährt.

Insofern besteht eine Ausgestaltung der Erfindung darin, daß für die Schrittlängen SL₂ . . . SL_n gilt SL₁ = k₁/z, SL₂ = k₂/z . . . SL_n = k_n/z. Hierbei sind k₁ bis k_n Äquivalente der je Pe riode der Grundfrequenz f_a vorzugebenden Mikroschritte.

Unter der Voraussetzung, daß dem Schrittmotor SM₁ eine Vollschrittlänge zugeordnet wird, die einer kompletten Drehfelddrehung entspricht, gilt für den Schrittmotor SM₁ bei z = 100 das Äquivalent k₁ = 100. Bei der Vorgabe von k₁ = 100 würde demzufolge die spezifische Schrittlänge SL₁ des Schrittmotors SM₁ 100 Mikroschritte bzw. eine Vollschritt länge betragen, d. h. mit jedem Ansteuerimpuls bzw. jeder Periode der Grundfrequenz f_a wird eine Verschiebeweite aus gelöst, die einer Vollschrittlänge bzw. 100 Mikroschritten entspricht.

Wird beispielhaft dem Schrittmotor SM_n das Äquivalent k_n = 25 zugeordnet, so würden über den Schrittmotor SM₂ bei An steuerung mit derselben Grundfrequenz f_a je Ansteuerimpuls 25/100 Mikroschritte ausgelöst. Die Geschwindigkeit des Schrittmotors SM₁ wäre demzufolge um den Faktor "vier" hö her als die Geschwindigkeit des Schrittmotors SM_n.

Dies gilt im übertragenen Sinne für die übrigen Schrittmo toren SM₂ . . . SM_n-1 desselben Positioniersystems auch, wenn diesen entsprechend der vorgesehenen Verstellweite der je weils angekoppelten Baugruppen Äquivalente k₂ . . . k_n-1 zuge ordnet werden. Auf diese Weise fahren alle Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n bei Ansteuerung mit derselben Grundfrequenz f_a mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten und erreichen nach Ende einer vorgegebenen Sequenz von Perioden gleich zeitig die vorgegebenen Zielpositionen.

In einer ganz besonders bevorzugten Ausgestaltung der Er findung ist vorgesehen, daß den einzelnen Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n bzw. den auf der entsprechenden Bahn zu verschiebenden Baugruppen charakteristische Zustellpositio nen, wie beispielsweise Start-, Wende- und/oder Halteposi tionen, zuordnet werden und die Schrittlängen SL₁, Sl₂ . . . SL_n durch Äquivalente k₁, k₂ . . . k_n in Abhängigkeit von den Abständen zwischen charakteristischen Zustellpositionen auf einer Bahn so vorgegeben werden, daß bei Ansteuerung aller Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n mit derselben Anzahl Peri oden der Grundfrequenz f_a die Verschiebung zwischen zwei Zustellpositionen veranlaßt wird.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbei spieles näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeich nungen zeigen

Fig. 1 ein Beispiel für die Teilung einer Vollschrittlänge in Mikroschritte,

Fig. 2 ein Beispiel für die erfindungsgemäße Ansteuerung mehrerer Schrittmotoren,

Fig. 3 im Vergleich zu Fig. 2 die Ansteuerung mehrerer Schrittmotoren innerhalb eines Positioniersystems nach dem bekannten Stand der Technik.

Anhand der Fig. 1 soll zunächst das Zustandekommen von Mi kroschritten erläutert werden. Dazu sind in Fig. 1 in der oberen Bildhälfte links zunächst die Drehmomentvektoren ei nes Schrittmotors dargestellt. Hier entspricht die einge zeichnete Vierteldrehung zwischen der Richtungsachse Y und der Richtungsachse X einer kompletten Drehfelddrehung.

Diese Drehfelddrehung soll einer Vollschrittlänge (VSL) entsprechen, die auf das Diagramm in der Bildmitte übertra gen ist. Die Mikroschritte ergeben sich aus Teildrehungen des Drehfeldes und sind in der Darstellung oben links als eine Schar von Durchmessern eingetragen. Der Übersichtlich keit halber wurde die Anzahl der Mikroschritte hier ledig lich auf z = 8 begrenzt. Damit entspricht die mit jedem Mi kroschritt ausgelöste Verschiebeweite einem Achtel der mit einem Vollschritt ausgelösten Verschiebeweite.

Wird also beispielsweise dem Schrittmotor SM₁ das Äquiva lent k₁ = 8 zugeordnet, ergibt sich dessen spezifische Schrittlänge SL₁ aus SL₁ = k₁/z = 8/8 mit acht Mikroschritten bzw. einer Vollschrittlänge. Je Ansteuerimpuls bzw. je Pe riode der Grundfrequenz f_a wird mit diesem Schrittmotor SM₁ also eine Verschiebeweite von acht Mikroschritten erzielt.

Ein Schrittmotor SM₅ dagegen mit beispielsweise einem zuge ordneten Äquivalent k₅ = 4 legt bei derselben Sequenz von An steuerimpulsen lediglich die Hälfte des Weges, nämlich vier Mikroschritte zurück (vgl. Fig. 1).

Hieraus folgt, daß die Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n in Abhängigkeit von den zugeordneten Äquivalenten k₁, k₂ . . . k_n mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten fahren. Wird nun beispielsweise anstelle von z = 8 die feinere Geschwindig keitsabstufung auf der Grundlage von z = 100 Mikroschritten vorgenommen, so ist leicht einsehbar, daß nach diesem Prin zip eine sehr präzise Positionierung der verschiedenen Bau gruppen möglich ist.

Ein Beispiel für die erfindungsgemäße Ansteuerung mehrerer Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n ist in Fig. 2 dargestellt. Hier ist einem Frequenzgenerator 1 eine Zählereinheit 2 nachgeordnet, die über Ausgabeeinheiten 3.1, 3.2 . . . 3.n mit Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n verknüpft sind. Dabei wird mit dem Frequenzgenerator 1 die Grundfrequenz f_a vor gegeben, mit der Zählereinheit 2 wird die Umsetzung der Grundfrequenz f_a in eine Pulssequenz vorgenommen, die der jeweils gewünschten Verschiebeweite der Baugruppe von einer Startposition in eine Halteposition entspricht, und über die Ausgabeeinheiten 3.1, 3.2 . . . 3.n erfolgt die Ausgabe der aktuellen Ströme zur Lagesteuerung des Drehfeldes für jeden einzelnen der Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n in Ab hängigkeit von der vorgegebenen spezifischen Schrittlänge SL₁, SL₂ . . . SL_n.

Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt sich aus dem Vergleich der Darstellung nach Fig. 2 mit Fig. 3, wo bei in Fig. 3 die Verfahrensweise der Synchronsteuerung nach dem Stand der Technik dargestellt ist. Aus dem Vergleich wird ersichtlich, daß anstelle mehrerer Zählereinheit 2.1, 2.2 . . . 2.n, von denen in Fig. 3 jeweils eine einem der Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n zugeordnet ist, in Fig. 2 und damit erfindungsgemäß nun nur noch eine gemeinsame Zäh lereinheit 2 benötigt wird.

Der Vorteil, der sich aus der Anwendung der Erfindung er gibt, besteht im wesentlichen in der Reduzierung des Hard- und Softwareaufwandes. Wird in Ergänzung des beschriebenen Beispieles ein synchrones Durchschaltsignales genutzt, kön nen auch die Ausgabeeinheiten 3.1, 3.2 . . . 3.n zu einer Ausgabeeinheit zusammengefaßt werden, die im Multiplexbe trieb alle Motoren bedient.

Außerdem ist vorteilhaft, daß beliebig viele Schrittmotoren in ein Positioniersystem einbezogen werden können, ohne daß dadurch der Aufwand für die Ansteuerung bedeutend anwächst.

Das gesamte Positioniersystem kann durch Veränderung allein der Grundfrequenz f_a beschleunigt oder gebremst werden, wo bei der Quantisierungsfehler konstant bleibt. Hinzu kommt außerdem, daß der Quantisierungsfehler einfach berechenbar und damit besser beherrschbar wird.

Ein wesentlicher Vorteil besteht weiterhin in der verbes serten Laufruhe aller Synchronmotoren, da die Schrittausga be immer zu gleichen Zeiten erfolgt, wodurch eine gegensei tige Überlagerung der Ansteuerfrequenzen vermieden wird. Aufgrund dessen ist das erfindungsgemäße Verfahren auch sehr gut in Verbindung mit nichtlinearen Beschleunigungs rampen geeignet.

Aus alledem folgt, daß das erfindungsgemäße Positioniersy stem insbesondere zur Anwendung in Zoomobjektiven mit be liebiger Anzahl an Zoomgruppen geeignet ist.

Bezugszeichenliste

1

Frequenzgenerator

2

Zählereinheit

3

Ausgabeeinheit
X, Y Richtungsachsen
k Äquivalent
z Mikroschritt
SL₁

, SL₂

, SL_n

Schrittlängen
SM₁

, SM₂

, SM_n

Schrittmotoren
f_a

Grundfrequenz

Claims

1. Verfahren zur Synchronsteuerung mehrerer Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n, die als Antriebe in einem Zustellsy stem dienen, wobei die Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n mit einer Grundfrequenz f_a angesteuert werden und je weils eine Periode der Grundfrequenz f_a einer vorgege benen Schrittlänge SL der Zustellung proportional ist, dadurch gekennzeichnet, daß mit jeweils einer Periode derselben Grundfrequenz f_a bei den einzelnen Schrittmo toren SM₁, SM₂ . . . SM_n unterschiedliche Schrittlängen SL₁, SL₂ . . . SL_n ausgelöst werden, wobei dem Schrittmotor SM₁ eine spezifische Schrittlänge SL₁, dem Schrittmotor SM₂ eine spezifische Schrittlänge SL₂ und so weiter Zuge ordnet ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schrittmotor SM₁ im Vollschrittbetrieb betrieben wird, wobei ihm als Schrittlänge SL₁ die Schrittlänge zugeordnet ist, die sich aus einer kompletten Drehfeld drehung bei dem Schrittmotor SM₁ ergibt, während den übrigen Schrittmotoren SM₂, SM₃ . . . SM_n jeweils Schritt längen SL₂, SL₃ . . . SL_n zugeordnet sind, die einer teil weisen Drehfelddrehung bei dem jeweiligen Schrittmotor SM₂, SM₃ . . . SM_n entsprechen.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich net, daß eine Drehfelddrehung in z Mikroschritte unter teilt ist und für die Schrittlängen SL₁, SL₂ . . . SL_n gilt SL₁ = k₁/z, SL₂ = k₂/z . . . SL_n = k_n/z, mit Äquivalenten k_{1
.} . . k_n, die ein Maß für die Anzahl der jeweils für einen Schrittmotor SM₁, SM₂ . . . SM_n vorzugebenden Mi kroschritte sind.

4. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß

- den einzelnen Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n innerhalb des Zustellsystems Bahnen mit charakteristischen Zu stellpositionen, bevorzugt Start-, Wende- und/oder Hal tepositionen, zugeordnet werden und
- die Schrittlängen SL₁, SL₂ . . . SL_n und die Äquivalente k₂, k₃ . . . k_n in Abhängigkeit von den Abständen zwischen den charakteristischen Zustellpositionen auf den Bahnen so vorgegebenen werden, daß bei Ansteuerung aller Schrittmotoren SM₁, SM₂ . . . SM_n mit derselben Sequenz von Perioden der Grundfrequenz f_a die Zustellung auf den Bahnen mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten veran laßt wird, wodurch nach Ende der Sequenz auf allen Bah nen die charakteristischen Zustellpositionen erreicht sind.