DD254121A3 - Vorrichtung zur spannungsfreien positinierung von elektroden in multielektroden-gasentladungsgefaessen - Google Patents

Abstract

Das Ziel der Erfindung ist ein Entladungsrohr, in das, ohne Spannungen im Gefaess zu erzeugen, seitlich mehrere Elektroden positionsgerecht und in definiertem Abstand voneinander vakuumdicht eingeschmolzen sind. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Lehre anzugeben, mit der mehrere Elektroden positionsgerecht und in definiertem Abstand voneinander vakuumdicht mit dem Entladungsgefaess verbunden werden, ohne dass Spannungen im Rohr oder Verbiegungen des Rohres auftreten. Sie wird dadurch gloest, dass auf einem auf einem Traeger lagernden axialbeweglichen Schieber mehrere Aufnahmeelemente angeordnet sind, die innerhalb des Entladungsgefaesses die Elektroden halten und positionieren. Nach erfolgter Einschmelzung einer Elektrode wird durch Betaetigung des Schiebers das jeweilige Aufnahmeelement abgesenkt und damit die Elektrode freigegeben.

Description

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft die maßgerechte und spannungsfreie Positionierung von Elektroden, die seitlich in langgestreckte Multielektroden-Gasentladungsgefäße hineinragen und in das Gefäßmaterial vakuumdicht eingeschmolzen werden.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Zur Erzielung reproduzierbarer Entiadungsbedingungen und zur Schaffung eines gleichmäßigen Entladungskanals ist es erforderlich, daß die Spitzen aller seitlich in das Multielektroden-Gasentladungsgefäß (DD-WP 187492, DE-OS 2627778) hineinragenden Elektroden in einer axialen Flucht liegen. Bei hohem Leistungsumsatz im Plasma, wie z. B. in einer stromstarken Impulsentladung, können auf Grund der hohen thermischen Belastung die Elektroden nicht auf einfache Weise eingeklebt werden. In diesem Falle ist es erforderlich, die Elektroden in die Gefäßwandung einzuschmelzen, ohne daß Spannungen im Entladungsrohr auftreten oder sich das Rohr infolge der durch den Einschmelzprozeß unvermeidbaren Wärmeeinwirkung verzieht. Es ist bekannt, im Fertigungs- und Montagebau spezielle Lehren zur maßgerechten Positionierung bestimmter Bauelemente zu verwenden. Bei der Herstellung von Laserrohren können starre Lehren nur dann verwendet werden, wenn die Rohre nicht länger als 20cm sind. Laserrohrlängen von einem Meter und darüber machen dagegen eine Lehre erforderlich, die aus einem Material besteht, dessen Ausdehnungskoeffizient mit dem des Glases übereinstimmt, da sonst bei der Einschmelzung Spannungen zwischen Entladungsrohr und Lehre auftreten, die zur Zerstörung des Lasergefäßes führen. Derartige Materialien stehen jedoch nicht zur Verfügung.

Da zur Herstellung von Gasentladungsgefäßen der genannten Länge starre Lehren ungeeignet sind, könnte die Lehre mit Dehnungsfugen versehen werden, womit jedoch keine genaue Positionierung der Elektroden möglich ist. Eine regeltechnisch ausgeführte Einschmelzlehre, ausgestattet z. B. mit Temperaturmeßfühlern und zusätzlicher Wärmezuführung, bringt erhebliche Probleme hinsichtlich der Lokalisierung der Temperaturmeßfühler und der Bestimmung der genauen Temperaturverteilung in Lehre und Glas mit sich.

Aus der Literatur ist bisher keine Lehre bekannt, die für über einen Meter lange Multielektroden-Gasentladungsgefäße eine maßgerechte Elektrodenpositionierung gestattet.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist ein Entladungsrohr, in das, ohne Spannungen im Gefäß zu erzeugen, seitlich mehrere Elektroden positionsgerecht und in definiertem Abstand voneinander vakuumdicht eingeschmolzen sind.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Das Einschmelzen von Elektroden in ein aus Glas bestehendes Entladungsgefäß erfordert relativ hohe Temperaturen, so daß sich Schwierigkeiten bei der exakten Positionierung der Elektroden im Entladungsraum ergeben.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Lehre anzugeben, mit der mehrere Elektroden positionsgerecht und in definiertem Abstand voneinander vakuumdicht mit dem Entladungsgefäß verbunden werden, ohne daß Spannungen im Rohr oder Verbiegungen des Rohres auftreten.

Erfindungsgemäß besteht die Lehre aus einem auf zwei Stützen lagernden Träger, auf dem Aufnahmeelemente geführt werden.

Dabei ist jeder Elektrode ein Aufnahmeelement zugeordnet. Diese Aufnahmeelemente dienen zum Positionieren der Elektroden, wobei ihre Längen^;die Abstände der Elektroden voneinander bestimmen.

Zwischen Träger und Aufnahmeelementen ist ein axialbeweglicher Schieber angeordnet. Dadurch ist es möglich, daß die Aufnahmeelemente einzeln abgesenkt werden können und unmittelbar nach dem'Einschmelzen die Elektroden freigeben.

Diese Lehre stellt keine besonderen Ansprüche an das Material, so daß die im Vorrichtungsbau üblichen Metalle verwendet werden können.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll im folgenden an einem Ausführungsbeispiel erläutert werden.

Figur 1 zeigt den Aufbau der Lehre im Multielektroden-Gasentladungsgefäß 1 und Figur 2 einen Schnitt durch die Lehre. Unter den zum maßgerechten Positionieren der Elektroden 2 dienenden Aufnahmeelementen 3 ist ein axialbeweglicher Schieber 4 angeordnet. Vor Beginn der Einschmelzung liegen alle Aufnahmeelemente auf diesem Schieber auf, wobei Schieber und Aufnahmeelemente vom Träger 5 seitlich geführt werden, der an den Gefäßenden auf den Stützen 6 gelagert ist.

Die Elektroden können nun fortlaufend eingeschmolzen werden, wobei nach erfolgter Einschmelzung der Schieber um eine Position weitergezogen, dadurch das entsprechende Aufnahmeelement abgesenkt und somit die jeweilige Elektrode freigegeben wird.

Claims (1)

1. Lehre zur spannungsfreien und maßgerechten Positionierung von Elektroden in Multielektroden-Gasentladungsgefäßen, gekennzeichnet dadurch, daß die Lehre aus einem an den Gefäßenden auf Stützen gelagerten Träger besteht, daß auf dem Träger ein axialbeweglicher Schieber angeordnet ist, daßsich auf dem Schiebervoneinanderunabhängige Aufnahmeelemente fürdie Elektroden befinden, die mittels des Schiebers einzeln abgesenkt werden können.

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