CN2826899Y - 静电消除器的升降承载机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种静电消除器的升降承载机构，用以设置于承载大尺寸玻璃基板(substrate)的卡匣(cassette)外侧，其包括有垂直设立于卡匣一侧的两支平行导杆，且于两平行导杆上架设有可供静电消除器(ionizer bar)安装于其上的至少一水平载台；两支平行导杆同时与一传动连杆承接以接受连动，当传动连杆经由驱动马达驱动后，两支平行导杆即会同步正向或反向旋转以带动水平载台做垂直升降运动；由此，通过对水平载台升降位移的控制，以让安装于其上的静电消除器能够对卡匣内不同高度的每一层玻璃基板进行表面静电消除动作。

Description

静电消除器的升降承载机构

技术领域

本实用新型涉及一种升降承载机构，尤其是一种用以设置于承载大尺寸玻璃基板(substrate)的卡匣(cassette)外侧，用以驱使静电消除器(ionizer bar)做升降运动，以逐层消除玻璃基板(substrate)表面残存静电的升降承载机构。

背景技术

静电往往通过接触或磨擦而形成于物体<如玻璃基板(substrate)>表面，然而存在于玻璃基板(substrate)表面的静电会吸引周围的微粒，使其吸附在玻璃基板(substrate)表面而造成污染及发生ESD障碍，也易使玻璃基板(substrate)上的细微线路因放电效应而造成损坏。

为了解决静电累积于产品上的问题，目前产业界常见之道包含有：将设备接地，并且调整环境相对湿度，以达到使物体表面的静电导出。另外，也有采用静电消除器(ionizer bar)喷洒离子(ion)至物体表面以消除物体表面静电。

图1中即显示有一种使用静电消除器来消除玻璃基板(substrate)表面残存静电的已知结构，如图所示，针对承载于卡匣(cassette)内的大尺寸玻璃基板(substrate)，为了确保层叠放置于卡匣内的每一片玻璃基板(substrate)表面都能完整的接收到从静电消除器喷嘴所喷洒出的离子，公知技术都会采取较为保险的做法，亦即在卡匣四周外侧通常会分别设立四至六支的静电消除器，以使玻璃基板(substrate)能够全面性的从四面八方接收到消除表面静电的离子。

但是，上述的做法存在有一些不理想的缺点，理由在于当静电消除器的数量需求越多，包含定期更换、电力消耗等营运成本也必然会相对提高。此外，由图中可以见悉，静电消除器是采用垂直站立的方式设置在卡匣外侧，以致于从静电消除器喷嘴的喷洒范围会受到卡匣支柱阻挡，造成玻璃基板(substrate)部分表面可能无法接收到自喷嘴喷洒出的离子。另一方面，由于玻璃基板(substrate)是以层叠的方式存放于卡匣内，所以每片玻璃基板(substrate)仅能够接收到从少数一至二个静电消除器喷嘴喷洒出的离子，为了提高消除玻璃基板(substrate)表面静电的效果，只能采取多支静电消除器同时自四周喷洒离子的结构，才能获得较理想的效果。

除此之外，诚如前述采取多支静电消除器同时对存放于同一卡匣内的玻璃基板(substrate)喷洒离子的方式来达到消除表静电的目的，由于无尘室内存在有朝特定方向流动的气流，且此气流方向往往与静电消除器喷洒的路径方向相冲突，导致部分静电消除器喷洒的路径会因此而改变，使得静电消除器的效果大打折扣。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：针对以往利用静电消除器消除存放在卡匣内的玻璃基板(substrate)表面静电所存在的问题点，提出一种可以减少静电消除器的使用数量，同时也让静电消除器所喷洒出的离子不会遭到卡匣本身的卡匣或配件所阻档的静电消除器的升降承载机构。

本实用新型的技术解决方案是：一种静电消除器的升降承载机构，其设置在承载玻璃基板的卡匣外侧，包括有：垂直设立的两支平行导杆、两端分别设有一导块的至少一静电消除器，其中，该静电消除器通过其两端的导块分别套接于两导杆上，且该二导杆接受驱动而同步旋转，通过导块结合于导杆上的静电消除器沿着该导杆轴向可升降运动地设置。

本实用新型还提出另一种静电消除器的升降承载机构，其设置在承载玻璃基板的卡匣外侧，包括有：垂直设立的两支平行导杆；至少一水平载台，其承载所述静电消除器，且其两端分别设有一导块以分别套接在一导杆上；一传动连杆，可驱使该二导杆旋转地同时与该二导杆承接，且该导块结合于导杆上的水平载台沿着该导杆轴向升降运动地设置；及一提供该传动连杆所需动力的驱动马达。

如上所述静电消除器的升降承载机构，其中该导杆为一螺杆，该导块为套接于其上的螺帽。

如上所述静电消除器的升降承载机构，其中该传动连杆与该二导杆通过一垂直动力传递机构承接。

如上所述静电消除器的升降承载机构，其中该驱动马达为一伺服马达。

如上所述静电消除器的升降承载机构，其中该驱动马达还结合有一减速器。

本实用新型的特点和优点是：本实用新型公开了一种静电消除器的升降承载机构，用以设置于承载大尺寸玻璃基板(substrate)的卡匣(cassette)外侧，其包括有垂直设立于卡匣一侧的两支平行导杆，且于两平行导杆上架设有可供静电消除器(ionizer bar)安装于其上的至少一水平载台；两支平行导杆同时与一传动连杆承接以接受连动，当传动连杆经由驱动马达驱动后，两支平行导杆即会同步正向或反向旋转以带动水平载台做垂直升降运动；由此，通过对水平载台升降位移的控制，以使单一静电消除器可以利用其水平高度的改变而对存放于不同高度的玻璃基板(substrate)喷洒离子，安装于其上的静电消除器能够对卡匣内不同高度的每一层玻璃基板进行表面静电消除动作。通过搭配使用该升降承载机构后，除了静电消除器所需使用数量可以降低至一至两支，静电消除器的喷洒范围也不会因受到到卡匣支柱阻挡。

附图说明

图1为公知将静电消除器应用于玻璃基板(substrate)卡匣的立体示意图；及

图2为本实用新型静电消除器的升降承载机构的立体示意图，并且显示其应用于玻璃基板(substrate)卡匣上的状态。

附图标号说明：

10、升降承载机构    12、导杆        14、水平载台

142、导块           16、传动连杆    18、驱动马达

20、卡匣            22、玻璃基板    30、静电消除器

40、动力传递机构

具体实施方式

本实用新型的升降承载机构可设置在承载玻璃基板(substrate)的卡匣(cassette)一侧，且可供至少一静电消除器搭载于其上，以使静电消除器可经由升降带动，以对存放于不同高度的玻璃基板喷洒离子。

如图2所示，该升降承载机构10包括有垂直设立的两支平行导杆12、一水平载台14、一传动连杆16，以及一驱动马达18。

前述的两支平行导杆12可依据卡匣20宽度而调整彼此间的距离长度。至于水平载台14则其两端各设有一导块142，并且可通过导块142分别套接于一导杆12上；其中，当二导杆12接受驱动而同步旋转时，套接于导杆12上的导块142即会沿着导杆12上升或下降。

为了达到前述导杆12与导块142之间的连动关系，举例来说，导杆12可以是一支螺杆，而水平载台14两端的导块142则是恰可套接于螺杆上的螺帽。

传动连杆16同时承接于二导杆12的下端或上端，且经由驱动马达18提供旋转所需动力后，传动连杆16即可同步驱使二导杆12旋转，以使通过导块142结合于导杆12上的水平载台14沿着导杆12轴向上升或下降。

由于传动连杆16垂直连结于二导杆12一侧，为了确使传输动力能够有效传递给二导杆12，于实施时，传动连杆16可与二导杆12通过一垂直动力传递机构40来加以承接。

至于提供驱出动力给传动连杆16的驱动马达18可以选用伺服马达或其它型式的马达或动力输出器；此外，为了减速增矩，于驱动马达18上可以更结合有一减速器。

通过上述说明可知，该升降承载机构10为一套可以达到让水平载台14改变水平高度的机构，由此构成，静电消除器30即可通过结合于水平载台14上，并且接受水平载台14的承载而同步移动，让静电消除器30上的喷嘴可以随着升降高度变化而对卡匣20内不同高度的每一层玻璃基板22进行表面静电消除动作。

值得特别说明，该升降承载机构10中的水平载台14也可以加以省略，主要理由是水平载台14也可以直接以设有导块142的静电消除器30取而代之。

综上所述可知，将本实用新型升降承载机构设置于承载玻璃基板22的卡匣20外侧，搭载于两平行轴杆12上的静电消除器30可以通过着水平载台14升降位移的控制，对卡匣20内不同高度的每一层玻璃基板(substrate)22进行表面静电消除动作。

由此可知，将静电消除器30搭配使用升降承载机构10之后，由于静电消除器30采用水平配置的方式安装在水平载台14上，所以横向排列的所有喷嘴会同时对一片玻璃基板(substrate)22喷洒离子，加上静电消除器30的可移动范围大，因此对于承载于卡匣20内的所有玻璃基板(substrate)22的消除静电工作，只需要在升降承载机构10上搭载一至两支静电消除器30就足够；此外，由于静电消除器30采用水平方向安装于升降承载机构10上，所以可避免如传统采用垂直侧装于卡匣20外侧时，静电消除器30所喷洒出的离子会遭到卡匣支柱阻挡的缺点。

除此之外，为避免自静电消除器30喷洒离子的路径遭受无尘室内部气流影响而改变，可以通过将升降承载机构10安装在使静电消除器30的喷洒方向与无尘室内部气流流向一致的位置，让静电消除器30的喷洒方向不会受到无尘室内部气流的干扰而影响其对玻璃基板(substrate)22消除表面静电的效果。

虽然本实用新型已以具体实施例揭示，但其并非用以限定本实用新型，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和范围的前提下所作出的等同组件的置换，或依本实用新型专利保护范围所作的等同变化与修饰，皆应仍属本专利涵盖的范畴。

Claims (7)

1.一种静电消除器的升降承载机构，其特征在于，其设置在承载玻璃基板的卡匣外侧，包括有：垂直设立的两支平行导杆、两端分别设有一导块的至少一静电消除器，其中，该静电消除器通过其两端的导块分别套接于两导杆上，且该二导杆接受驱动而同步旋转，通过导块结合于导杆上的静电消除器沿着该导杆轴向可升降运动地设置。

2.如权利要求1所述静电消除器的升降承载机构，其特征在于，该导杆为一螺杆，该导块为套接于其上的螺帽。

3.一种静电消除器的升降承载机构，其特征在于，其设置在承载玻璃基板的卡匣外侧，包括有：

垂直设立的两支平行导杆；

至少一水平载台，其承载所述静电消除器，且其两端分别设有一导块以分别套接在一导杆上；

一传动连杆，可驱使该二导杆旋转地同时与该二导杆承接，且该导块结合于导杆上的水平载台沿着该导杆轴向升降运动地设置；及

一提供该传动连杆所需动力的驱动马达。

4.如权利要求3所述静电消除器的升降承载机构，其特征在于，该导杆为一螺杆，该导块为套接于其上的螺帽。

5.如权利要求3所述静电消除器的升降承载机构，其特征在于，该传动连杆与该二导杆通过一垂直动力传递机构承接。

6.如权利要求3所述静电消除器的升降承载机构，其特征在于，该驱动马达为一伺服马达。

7.如权利要求3所述静电消除器的升降承载机构，其特征在于，该驱动马达还结合有一减速器。