CN102740578A

CN102740578A - 一种静电消除装置及卡匣

Info

Publication number: CN102740578A
Application number: CN2012101740358A
Authority: CN
Inventors: 李贤德; 吴俊豪; 林昆贤; 朱二庆; 齐明虎; 杨卫兵
Original assignee: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2012-05-30
Filing date: 2012-05-30
Publication date: 2012-10-17
Anticipated expiration: 2032-05-30
Also published as: WO2013177826A1; CN102740578B

Abstract

本发明公开了一种静电消除装置，用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电，该静电消除装置包括旋转轴及静电消除器，该旋转轴设于该玻璃基板的卡匣外侧，该静电消除器与该旋转轴固定连接；该旋转轴受驱动旋转，带动该静电消除器绕该旋转轴在一定角度内反复旋转，同时喷洒离子至装载于该卡匣内的该玻璃基板表面，彻底去除该玻璃基板表面静电，不存在盲点和死角。本发明的静电消除装置具有结构简单、低耗高效、成本低廉、静电消除效率高的特点，适用于任意规格的玻璃基板的静电消除。本发明还提供一种装配有该静电消除装置的卡匣。

Description

一种静电消除装置及卡匣

技术领域

本发明涉及静电消除技术领域，特别是涉及一种静电消除装置。本发明还涉及一种装配有该静电消除装置的卡匣。

背景技术

目前，液晶显示面板(LCD)等平面显示器是电子产品必备的显示装置，在薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)的制造过程中，由于在各个工艺中的传送中因接触或摩擦经常造成玻璃基板(substrate)的表面产生静电，而存在于玻璃基板表面的静电会吸引周边的微粒使其吸附在玻璃基板的表面而造成玻璃基板被污染甚至发生静电释放(ESD)障碍。此外，静电会导致电荷的累积，当电荷累积到一定程度之后，经常会产生巨大的瞬间放电，进而造成设置在玻璃基板上的半导体元件损坏。再者，由于玻璃基板存放于卡匣(cassette)中，卡匣在搬运或运输过程中也可能产生静电。

为了解决静电危害问题，目前液晶面板业通常采用两种方法消除静电，一种就是将设备接地，并且调整环境相对湿度，以达到使物体表面的静电导出。另一种就是采用静电消除器喷洒离子至玻璃基板表面以消除表面静电。第二种方法一般是在卡匣四周外侧分别设立四至六支的杆状静电消除器，以使层叠放置在卡匣内的每一片玻璃基板表面最大面积地接收到从静电消除器喷嘴中所喷洒出的离子。然而，上述静电消除方法中存在一定的缺陷：

1、静电消除器是采用垂直站立的方式设置于卡匣四周，由于受卡匣支柱的阻挡，玻璃基板部分表面可能无法接收到自静电消除器喷嘴喷洒的离子。

2、由于玻璃基板是以层叠的方式存放在卡匣内，所以每片玻璃基板仅能收到少数静电消除器所喷洒出的离子，随着玻璃基板尺寸的不断加大，为了提高玻璃基板表面静电的消除效果，只能采取多支静电消除器才能获得较理想的结果，但随着静电消除器的数量增多，定期更换、电力消耗等营运成本必然也会增加。

3、增加静电消除器的数量除了会增加成本外，而且较多的静电消除器受无尘室内气流干涉较大。由于无尘室内存在有朝特定方向流动的气流，且气流方向往往与静电消除器喷洒的路径方向相冲突，将导致部分静电消除器喷洒的路径改变，严重影响静电消除器的静电去除效果。

发明内容

本发明提供了一种静电消除装置，主要用于解决现有技术中静电消除成本消耗较高且效率低的问题。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种静电消除装置，用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电，包括：旋转轴，所述旋转轴设于所述玻璃基板的卡匣外侧；静电消除器，所述静电消除器与所述旋转轴相固定；其中，所述旋转轴受驱动旋转，带动所述静电消除器绕所述旋转轴在一定角度内往复旋转。

其中，所述静电消除装置进一步包括：固定轴，所述固定轴设于所述旋转轴的一侧且与所述旋转轴平行；伸缩机构，所述伸缩机构的一端与所述固定轴固定连接，所述伸缩机构的另一端与所述旋转轴转动连接；且所述固定轴和所述旋转轴之间的水平连线方向与所述伸缩机构的伸缩方向平行；短连杆，所述短连杆的一端与所述旋转轴固定连接，另一端与所述静电消除器固定连接。

其中，所述伸缩机构为气缸机构。

其中，所述静电消除器绕所述旋转轴旋转的角度为0～90度。

其中，所述静电消除器包括杆体及多个放电针组，所述杆体的内部通有高压气体，所述多个放电针组沿所述杆体的竖直方向以一定间距设于所述杆体上。

其中，所述多个放电针组包括：放电针，所述放电针与所述杆体的竖直方向垂直设置，所述放电针的尖端持续放电，用于产生中和所述玻璃基板表面静电的离子；喷嘴，所述喷嘴设于所述放电针的外围，且所述喷嘴的开口方向与所述放电针的尖端所指方向一致；其中，所述喷嘴与所述杆体内部相连通，通入所述杆体内部的高压气体经由所述喷嘴将所述放电针产生的离子以一定喷洒角度喷洒至所述玻璃基板的表面。

其中，所述喷嘴为圆锥形结构，其展开的设计喷洒角度为35度。

其中，所述静电消除装置进一步包括伺服驱动马达，所述伺服驱动马达与所述旋转轴相连，驱动所述旋转轴在一定角度内自旋。

其中，所述静电消除装置的数量为两组，分别对称安装在所述卡匣外侧的对角处且与所述卡匣的底面垂直。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种一种卡匣，所述卡匣包括上述的静电消除装置，用于消除装载于所述卡匣内的玻璃基板的表面静电。

与现有技术相比，本发明的静电消除装置的静电消除器设置于卡匣的外侧的对角处，静电消除器绕旋转轴作指定角度的往返旋转，同时喷洒离子至装载于卡匣内的玻璃基板表面，彻底去除玻璃基板表面静电，不存在盲点和死角。本发明的静电消除装置具有结构简单、低耗高效、成本低廉、静电消除效率高的特点，适用于任意规格的玻璃基板的静电消除。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本发明静电消除装置一实施例的立体示意图；

图2是图1中静电消除器的结构示意图；

图3是图1中S处的俯视放大示意图；

图4是本发明静电消除装置另一实施例的立体示意图；以及

图5是图4中S’处的俯视放大示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

请参阅图1，本发明实施例提供一种静电消除装置，该静电消除装置用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电。在本发明实施例中，该静电消除装置的数量为两组，分别对称安装在装载有玻璃基板2的卡匣1外侧的对角处且与该卡匣1的底面垂直。该静电消除装置包括固定轴3、伸缩机构4、旋转轴5、短连杆6、及静电消除器7。

该旋转轴5设于该卡匣1外侧；该固定轴3设于该旋转轴5的一侧且与该旋转轴5平行；该伸缩机构4的一端与该固定轴3固定连接，另一端与该旋转轴5转动连接，且该固定轴3和该旋转轴5之间的水平连线方向与该伸缩机构4的伸缩方向平行；该短连杆6的一端与该旋转轴5固定连接，另一端与该静电消除器7固定连接。该静电消除装置还包括伺服驱动马达(图中未画出)，该伺服驱动马达与该旋转轴5相连，驱动该旋转轴5在一定角度内自旋。当该旋转轴5接受驱动而旋转时，该旋转轴5通过该短连杆6带动该静电消除器7作同步旋转。为了确保该旋转轴5的传输动力能够有效地传输给该静电消除器7，在本实施例中，该短连杆6为相互平行设置的两个短连杆。

请继续参阅图2，在本实施例中，该静电消除器7包括杆体701及多个放电针组702，该杆体701的内部通有高压气体，通有交流电的电源线8穿设于该杆体701内，该多个放电针组702沿该杆体701的竖直方向以一定间距设于该杆体701上，间距一般选择5-10厘米。

具体地，该多个放电针组702包括放电针7021及喷嘴7022，该放电针7021与该电源线8电性连接且与该杆体701的竖直方向垂直设置，该放电针7021的尖端持续放电，用于产生中和该玻璃基板2表面的静电的离子，该离子的电性随着该交流电的电性进行交互改变。该喷嘴7022设于该放电针7021的外围，且该喷嘴7022的开口方向与该放电针7021的尖端所指方向一致。该喷嘴7022与该杆体701内部相连通，通入该杆体701内部的高压气体经由该喷嘴7022将该放电针7021产生的离子以一定喷洒角度喷洒至该玻璃基板2的表面。其中，该喷嘴7022为圆锥形结构，其展开的设计喷洒角度通常固定为35度，当然也可以为30度或40度等其他适当角度。

请一并参阅图1、图2及图3，在本实施例中，该静电消除器7的放电针组702沿该杆体701的竖直方向排列，分别对装设于该卡匣1内不同高度的每一层玻璃基板2喷洒离子，以中和该玻璃基板2表面的静电。当该旋转轴5受该伺服驱动马达驱动旋转时，该旋转轴5通过该短连杆6带动该静电消除器7绕该旋转轴5在一定角度内往复旋转，静电消除器7绕该旋转轴5旋转的角度为0～90度。在本实施例中，优选地，该静电消除器7的旋转角度为90度，如图2所示，即该静电消除器7喷洒离子的喷洒方向从朝向该卡匣1的正面101旋转到朝向该卡匣1的侧面102。该静电消除器7的喷嘴7022随着该静电消除器7的旋转也产生移动，在该玻璃基板2的表面产生来回摆动，该喷嘴7022对该玻璃基板2的喷洒离子面积大大增加，进而得以增加该静电消除器7对该玻璃基板2上表面静电的消除面积，由于该静电消除器7的喷洒离子面积大，因而只需要设置一至两组静电消除器7即可满足各种大尺寸玻璃基板2的静电消除。此外，由于该静电消除器7具有可移动性，喷洒出的离子不会因该卡匣1框架的遮挡而减少离子与该玻璃基板2的有效接触，因此静电消除效率得以提高。

在本实施例中，该伸缩机构4采用气缸机构，该伸缩机构4设于该固定轴3和该旋转轴5之间，如图3所示，当需要取放该卡匣1和该玻璃基板2时，该静电消除装置通过伸缩机构的收缩将该静电消除器7从A处移动到B处，使其远离该卡匣1和该玻璃基板2，以方便取放该卡匣1和该玻璃基板2，保证取放的安全性。当然，伸缩机构4的具体结构并不限于此，还可以采用其他功能相同的类似结构。

在本实施例中，该旋转轴5采用伺服驱动马达驱动，当然也可以采用其他功能相同的类似驱动装置。本发明的短连杆6也不局限为平行设置，也可以为非平行设置，短连杆6的数量也可以为一个或两个以上。此外本发明的静电消除装置并非限定为两组，也可以为一组或两组以上。

综上所述，本领域技术人员容易理解，该静电消除器绕该旋转轴作指定角度的往返旋转，同时喷洒离子至装载于该卡匣内的该玻璃基板表面，彻底去除该玻璃基板表面静电，不存在盲点和死角。同时由于该静电消除器喷洒离子的喷洒方向并不固定，避免了因该静电消除器喷洒离子的路径受无尘室内部气流的干扰而影响其对该玻璃基板上表面静电的消除效果。本发明的静电消除装置避免了现有技术中静电消除需要安装多个静电消除器且效率低的问题，具有结构简单、低耗高效、成本低廉、静电消除效率高的特点，适用于任意规格的玻璃基板的静电消除。同时本发明的静电消除装置还设置有伸缩机构，该伸缩机构在取放该卡匣和该玻璃基板时收缩该静电消除器使其远离该卡匣和该玻璃基板，以方便取放该卡匣和该玻璃基板，保证了取放的安全性。

实施例二

请参阅图4，本发明实施例提供一种静电消除装置，该静电消除装置用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电。在本实施例中，该静电消除装置未设置实施例一中所示的固定轴、伸缩机构及短连杆。

该静电消除装置的数量为两组，分别对称安装在装载有玻璃基板31的卡匣21外侧的对角处且与该卡匣21的底面垂直。该静电消除装置包括旋转轴41及静电消除器51，该旋转轴41设于该玻璃基板31的卡匣21的外侧；该静电消除器51与该旋转轴41固定连接，连接方式为铆接或螺栓连接。该静电消除装置进一步包括伺服驱动马达(图中未画出)，该伺服驱动马达与该旋转轴41相连，驱动该旋转轴41在一定角度内自旋；其中，静电消除器51绕旋转轴41旋转的角度为0～90度，在本实施例中，该角度优选地为90度。

请参阅图5，在本实施例中，该静电消除器51包括杆体511及多个放电针组512，该杆体511内部通有高压气体，通有交流电的电源线穿设于该杆体701内，该多个放电针组512沿该杆体511的竖直方向以一定间距设于该杆体511上，间距一般选择5-10厘米。

在本实施例中，静电消除器51与实施例一中的静电消除器相同，其结构和工作原理如前所述，故此不再赘述。

请继续参阅图4及图5，同样，在本发明实施例中，该静电消除器51的放电针组512沿该杆体511的竖直方向排列，分别对装设于该卡匣21内不同高度的每一层玻璃基板31喷洒离子，以中和该玻璃基板31的表面的静电。当该旋转轴41受该伺服驱动马达驱动旋转时，该旋转轴41带动该静电消除器51绕该旋转轴41在一定角度内反复旋转，静电消除器51绕该旋转轴41旋转的角度为0～90度，在本实施例中，优选地，该静电消除器51的旋转角度为90度，如图2所示，即该静电消除器51喷洒离子的喷洒方向从朝向该卡匣21的正面旋转到朝向该卡匣21的侧面。该静电消除器51随着该静电消除器的旋转也产生移动，在该玻璃基板的表面产生来回摆动，该静电消除器51对该玻璃基板31的喷洒离子面积大大增加，进而得以增加该静电消除器51对该玻璃基板31上表面静电的消除面积，由于该静电消除器51的喷洒离子面积大，因而只需要设置一至两组静电消除器51即可满足各种大尺寸玻璃基板的静电消除。此外，由于该静电消除器51具有可移动性，喷洒出的离子不会因该卡匣21框架的遮挡而减少离子与该玻璃基板31的有效接触，因此静电消除效率得以提高。

在本实施例中，该旋转轴41采用伺服驱动马达驱动，当然也可以采用其他功能相同的类似驱动装置。此外本发明的静电消除装置并非限定为两组，也可以为一组或两组以上。

综上所述，本领域技术人员容易理解，在本发明实施例中，该静电消除器绕该旋转轴作指定角度的往返旋转，同时喷洒离子至装载于该卡匣内的该玻璃基板表面，彻底去除该玻璃基板表面静电，不存在盲点和死角。同时由于该静电消除器喷洒离子的喷洒方向并不固定，避免了因该静电消除器喷洒离子的路径受无尘室内部气流的干扰而影响其对该玻璃基板上表面静电的消除效果。本发明的静电消除装置避免了现有技术中静电消除需要安装多个静电消除器且效率低的问题，具有结构简单、低耗高效、成本低廉、静电消除效率高的特点，适用于任意规格的玻璃基板的静电消除。

另外，本发明还提供一种卡匣，该卡匣包括上述的静电消除装置，用于消除装载于该卡匣内的玻璃基板的表面静电。

以上仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims

1.一种静电消除装置，用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电，其特征在于，包括：

旋转轴，所述旋转轴设于所述玻璃基板的卡匣外侧；

静电消除器，所述静电消除器与所述旋转轴固定连接；

其中，所述旋转轴受驱动旋转，带动所述静电消除器绕所述旋转轴在一定角度内往复旋转。

2.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除装置进一步包括：

固定轴，所述固定轴设于所述旋转轴的一侧且与所述旋转轴平行；

伸缩机构，所述伸缩机构的一端与所述固定轴固定连接，所述伸缩机构的另一端与所述旋转轴转动连接；且所述固定轴和所述旋转轴之间的水平连线方向与所述伸缩机构的伸缩方向平行；

短连杆，所述短连杆的一端与所述旋转轴固定连接，另一端与所述静电消除器固定连接。

3.根据权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，所述伸缩机构为气缸机构。

4.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除器绕所述旋转轴旋转的角度为0～90度。

5.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除器包括杆体及多个放电针组，所述杆体的内部通有高压气体，所述多个放电针组沿所述杆体的竖直方向以一定间距设于所述杆体上。

6.根据权利要求5所述的静电消除装置，其特征在于，所述多个放电针组包括：

放电针，所述放电针与所述杆体的竖直方向垂直设置，所述放电针的尖端持续放电，用于产生中和所述玻璃基板表面的静电的离子；

喷嘴，所述喷嘴设于所述放电针的外围，且所述喷嘴的开口方向与所述放电针的尖端所指方向一致；

其中，所述喷嘴与所述杆体内部相连通，通入所述杆体内部的高压气体经由所述喷嘴将所述放电针产生的离子以一定喷洒角度喷洒至所述玻璃基板的表面。

7.根据权利要求6所述的静电消除装置，其特征在于，所述喷嘴为圆锥形结构，其展开的设计喷洒角度为35度。

8.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除装置进一步包括伺服驱动马达，所述伺服驱动马达与所述旋转轴相连，驱动所述旋转轴在一定角度内自旋。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除装置的数量为两组，分别对称安装在所述卡匣外侧的对角处且与所述卡匣的底面垂直。

10.一种卡匣，其特征在于，所述卡匣配备有根据权利要求1-9任意一项所述的静电消除装置，用于消除装载于所述卡匣内的玻璃基板的表面静电。