CN103400788A - 静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种静电消除装置，用于消除玻璃基板上的静电。该静电消除装置包括呈框体结构的导轨、静电消除器及驱动装置。该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器能够滑动地装设在该导轨内。该驱动装置固定在该导轨上并用于驱动该静电消除器沿着该导轨来回移动。另，本发明还提供一种装配有该静电消除装置的卡匣承载设备以及使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。

Description

静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法

技术领域

本发明涉及静电消除技术，尤其涉及一种静电消除装置及装配有该静电消除装置的卡匣承载设备。本发明还涉及一种使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。

背景技术

目前，薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)及有机发光二极管(OLED)显示面板越来越多地作为显示屏而应用在电子产品中。在制造液晶显示面板及OLED显示面板的过程中，需要使用物料搬运系统中的搬运设备将玻璃基板(substrate)搬运至放置在卡匣承载台(cassette stage)上的卡匣(cassette)中或者搬离该卡匣。玻璃基板在搬运之前的各个工艺之间传送时会因接触或摩擦而使其表面带有静电，这些存在于玻璃基板表面的静电会吸引周边的微粒使其吸附在玻璃基板的表面而造成玻璃基板被污染甚至产生静电释放(ESD)障碍。此外，静电会导致电荷累积，当电荷累积到一定程度之后，会产生巨大的瞬间放电，从而损坏玻璃基板上的电路。

为了解决静电危害的问题，目前面板业通常采用两种方法消除静电，第一种是将设备接地，并且调整环境的相对湿度，以使物体表面的静电导出。第二种是采用静电消除器喷洒正负离子至玻璃基板表面以消除玻璃基板表面上的静电。第一种方法消除静电效果有限，第二种方法消除静电的效果较佳。然而，物料搬运系统通常包含有多个用于放置卡匣的卡匣承载台，采用上述第二种方法消除静电需要在每个卡匣承载台上都装配一台静电消除器，从而导致安装成本以及后期维护成本均较高。

因此，有必要提供能够解决上述问题的静电消除装置、装配有该静电消除装置的卡匣承载设备以及使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种静电消除装置，用于消除玻璃基板上的静电。该静电消除装置包括呈框体结构的导轨、静电消除器及驱动装置。该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器能够滑动地装设在该导轨内。该驱动装置固定在该导轨上并用于驱动该静电消除器沿着该导轨来回移动。

其中，该静电消除装置还包括滑块，该滑块能够滑动地装设在该导轨内，该静电消除器固定在该滑块上，该驱动装置驱动该滑块沿着该导轨来回移动以带动该静电消除器沿着该导轨来回移动。

其中，该导轨为矩形框体且包括平行相背的两个第一侧壁及平行相背的两个第二侧壁，该滑块横跨在该两个第一侧壁上，该驱动装置包括驱动马达及螺杆，该驱动马达装设在其中一个第二侧壁的外表面上，该螺杆位于该框体内且其一端与该驱动马达连接，另一端能够转动地装设在另一个第二侧壁上，该螺杆穿过该滑块并与该滑块螺纹配合。

其中，该滑块呈“工”字形并包括承载部、与该承载部平行相背的连接部以及垂直连接该承载部及该连接部的穿设部，该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上，该连接部与该两个第一侧壁的下表面抵触，该穿设部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔，该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。

其中，该滑块呈T形并包括垂直连接的承载部及连接部，该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上，该连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔，该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。

为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种卡匣承载设备，其包括一个卡匣承载台组件及如上所述的静电消除装置。该卡匣承载台组件包括多个并排串联起来的卡匣承载台，相邻卡匣承载台之间共用一个侧壁。该静电消除装置的导轨设置在该卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器与该卡匣承载台组件的底部相对。

为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种物料搬运系统，其包括一个机械手臂以及如上所述的卡匣承载设备。该机械手臂设置于该卡匣承载设备的外部。该机械手臂用于夹持住玻璃基板并将该玻璃基板运送到对应的卡匣承载台内或者从对应的卡匣承载台内取出该玻璃基板。

其中，该物料搬运系统还包括滑轨以及驱动器，该机械手臂能够滑动地装设在该滑轨内，该驱动器固定在该滑轨上并用于驱动该机械手臂沿着该滑轨来回移动。

其中，该物料搬运系统还包括激发单元、第一接收器、第二接收器以及位置检测单元。该激发单元与该第一接收器及该第二接收器均电性连接并传递目标卡匣承载台的位置信号至该第一接收器及该第二接收器中。该第一接收器与该驱动装置电性连接并控制该驱动装置驱动该静电消除器沿着该导轨移动。该位置检测单元与该第一接收器及该第二接收器均电性连接并用于检测该静电消除器是否到达该目标卡匣承载台并将检测到的结果传输给该第一接收器、该第二接收器及该静电消除器。该第二接收器与该驱动器电性连接并在该静电消除器到达该目标卡匣承载台时控制该驱动器驱动该机械手臂到达该目标卡匣承载台以运进玻璃基板至该目标卡匣承载台或从该目标卡匣承载台运出玻璃基板。

为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了使用如上所述的物料搬运系统的物料搬运方法，其包括以下步骤：传送目标卡匣承载台的位置信号至该第一接收器及该第二接收器；使该第一接收器控制该驱动装置驱动该静电消除器沿着该导轨移动至该目标卡匣承载台；使该位置检测装置检测该静电消除器是否到达该目标卡匣承载台；若该静电消除器被检测到已经到达该目标卡匣承载台，则该静电消除器根据该检测结果自动开启，且使该第二接收器控制该驱动器驱动该机械手臂到达该目标卡匣承载台以将玻璃基板运送到该目标卡匣承载台内或者从该目标卡匣承载台内取出该玻璃基板；若该静电消除器被检测到未到达该目标卡匣承载台，则回到第一步重新传送目标卡匣承载台的位置信号至该第一接收器及该第二接收器。

本发明所提供的静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法采用驱动装置驱动静电消除器沿着导轨来回移动至任意位置，以使用同一个静电消除器先后对进出所有卡匣承载台的玻璃基板进行消除静电操作，避免每个卡匣承载台对应装配一台静电消除器，从而节省安装成本以及后期的维护成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明第一实施例所提供的卡匣承载设备的立体示意图。

图2是图1中的卡匣承载设备中的静电消除装置的立体示意图。

图3是图2中的静电消除装置的俯视图。

图4是图2中的静电消除装置沿IV-IV线的剖面示意图。

图5是图2中的静电消除装置中的静电消除器的工作示意图。

图6是本发明第二实施例提供的静电消除装置的剖面示意图。

图7是本发明第三实施例提供的物料搬运系统的结构示意图。

图8是本发明第三实施例提供的物料搬运系统的功能模块图。

图9是本发明第四实施例提供的物料搬运方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

请参阅图1，本发明第一实施例提供的卡匣承载设备1包括一个卡匣承载台组件10以及一个静电消除装置20。该静电消除装置20装配在该卡匣承载台组件10上。

该卡匣承载台组件10由四个卡匣承载台10a、10b、10c及10d并排串联在一起而形成，每个卡匣承载台10a、10b、10c及10d均为矩形框体结构，且相邻的卡匣承载台之间共用一个侧壁。该卡匣承载台组件10包括一个底部12以及一个与该底部12平行相背的顶部14。该底部12呈平板状，用于承载装有玻璃基板的卡匣(图未示)。该顶部14包括两个平行相背的短侧边142及两个平行相背的长侧边144。该两个短侧边142与该两个长侧边144均垂直连接。该静电消除装置20装配在该长侧边144的外表面146上。

该静电消除装置20包括一个导轨22、一个滑块24、一个静电消除器26以及一个驱动装置28。

请一并参阅图2至图4，该导轨22为一个矩形框体，其包括平行相背的两个第一侧壁222及两个平行相背的两个第二侧壁223，该两个第一侧壁222与该两个第二侧壁223均垂直连接。其中一个第一侧壁222的外表面224胶合在该长侧边144的外表面146上从而将该静电消除装置20装配在该卡匣承载组件10上。可以理解，该导轨22并不局限于本实施例中的胶合方式装配在该外表面16上，还可以通过卡合或螺纹连接等方式装配在该外表面16上。

该滑块24呈“工”字形，其包括一个承载部242、与该承载部242平行相背的连接部244以及垂直连接该承载部242及该连接部244的穿设部246。该承载部242承载在该两个第一侧壁222的上表面226上。该连接部244与该两个第一侧壁222的下表面227抵触。该穿设部246位于该导轨22内并开设有一个螺纹孔247。

请结合图1及图5，该静电消除器26包括一个杆体262及多个喷嘴264。该杆体262固定连接在该连接部244上。该杆体262的侧壁上开设有进气口266以供正负离子风进入，该杆体262的内部开设有通风道268以供正负离子流通。该多个喷嘴264从该杆体262上垂直延伸并朝向正下方以对进出目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d喷洒正负离子风。本实施例中，该多个喷嘴264排列成一条直线，且该直线的延伸方向为该导轨22的导引方向。

请一并参阅图2至图4，该驱动装置28包括一个驱动马达282及一个螺杆284。该驱动马达28通过胶合的方式装设在其中一个第二侧壁223的外表面228上。该螺杆284位于该导轨22内，且该螺杆284的一端与该驱动马达28连接，另一端穿设在另一个第二侧壁223上开设的收容孔229内以使该螺杆284能够在该驱动马达282的驱动下转动。该螺杆284从该螺纹孔247穿过该滑块24，且该螺杆284上的螺纹286与该螺纹孔247配合。优选地，本实施例中的驱动马达282为伺服电机。可以理解，该驱动马达28并不局限于本实施例中的胶合方式装配在该第二侧壁223的外表面228上，还可以通过卡合或螺纹连接等方式装配在该外表面228上。

请一并参阅图1至图5，工作时，该驱动马达282接收外界指令转动而带动该螺杆284转动，由于该螺杆284上的螺纹286与该螺纹孔247配合，且该导轨22对该滑块24的限位，则该螺杆284转动使该滑块24只沿着该导轨22移动从而带动该静电消除器26也沿着该导轨22移动。当该静电消除器26到达目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d时，该驱动马达282停止转动。玻璃基板进出目标卡匣承载台10a、10b、10c时，该静电消除器26开启，正负离子风从该进气口266进入并沿着该通风道268流动到该多个喷嘴264，最后从该多个喷嘴264喷洒至运送中的玻璃基板上以与玻璃基板上的正负离子中和，从而控制及有效减少玻璃基板上的静电量，使玻璃基板在各制程中的良率得到提高，进而提高产能。而且，由于该静电消除装置20中的静电消除器26可以移动到该导轨22上的任意位置，则该静电消除装置20可以使用同一个静电消除器26先后对进出所有卡匣承载台10a、10b、10c或10d的玻璃基板进行消除静电操作，避免每个卡匣承载台10a、10b、10c或10d对应装配一台静电消除器，从而节省安装成本以及后期的维护成本。

上述的静电消除器26沿着该导轨22的移动方向取决于该驱动马达282的转向，而该驱动马达282的转向取决于通给其电流的方向。例如：当该驱动马达282通上一个方向的电流而正转，该螺杆284也正转，该滑块24则沿着该导轨22朝接近该驱动马达282的方向移动；当该驱动马达282通上一个相反方向的电流而反转，该螺杆284也反转，该滑块24则沿着该导轨22朝远离该驱动马达282的方向移动。

可以理解的是，该静电消除装置20并不局限于本实施例中装配在该顶部14的长侧边144上，该静电消除装置20还可以装配在该底部12的长侧边上，此时，静电消除器26固定设置在承载部242上，且喷嘴264朝向正上方。当然，喷嘴264的朝向并不局限于正上方或者是正下方，还可以稍微倾斜，只要满足从喷嘴264中喷洒出来的正负离子能够到达玻璃基板上即可。

实施例二

请一并参阅4及图6，本发明第二实施例提供的静电消除装置30中的导轨32、静电消除器36及驱动装置38与第一实施例中的静电消除装置20中的导轨22、静电消除器26及驱动装置28的结构基本相同，不同之处在于该静电消除装置30中的滑块34与静电消除装置20中的滑块24的结构不同。具体为：该滑块34呈T形，其包括垂直连接的承载部342及连接部344。该承载部342承载在两个第一侧壁322的上表面326上。该连接部344位于该导轨32内并开设有与螺杆384配合的螺纹孔347。该静电消除器36固定连接在该连接部244上。本实施例中的静电消除装置30可以取代第一实施例中的静电消除装置20而装配在卡匣承载台组件10上以形成一个卡匣承载设备。本实施例中的静电消除装置30的工作原理与第一实施例中的静电消除装置20的工作原理以及能达到的功效完全相同，在此不再赘述。

实施例三

请一并参阅图7及图8，本发明第三实施例提供的物料搬运系统2包括第一实施例中的卡匣承载设备1、一个滑轨42、一个滑动件44、一个机械手臂46、一个驱动器48、一个激发单元50、一个第一接收器60、一个第二接收器70以及一个位置检测单元80。

该滑轨42、该滑动件44、该机械手臂46及该驱动器48放置在该卡匣承载设备1的外部且位于该静电消除装置20所在的一侧。该滑轨42、该滑动件44以及该驱动器48的结构与第一实施例中的该导轨22、该滑块24以及该驱动装置28的结构及工作原理完全相同，在此不再赘述。另外，该滑轨42的长度至少等于该长侧边144的长度。该机械手臂46固定在该滑动件44的上表面440上。该驱动器48驱动该滑动件44沿着该滑轨42来回移动而带动该机械手臂46沿着该滑轨42来回移动以与目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d相对从而将玻璃基板运送到该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d内或者从该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d内取出该玻璃基板。

该激发单元50与该第一接收器60及该第二接收器70均电性连接。该激发单元50用于传递目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d的位置信号至该第一接收器60及该第二接收器70中。该第一接收器60与该驱动装置28电性连接并控制该驱动装置28驱动该静电消除器26沿着该导轨22移动。该位置检测单元80与该第一接收器60及该第二接收器70均电性连接，该位置检测单元80用于检测该静电消除器26是否到达目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d并将检测到的结果传输给该第一接收器60、该第二接收器70及该静电消除器26。该第二接收器70与该驱动器48电性连接，该第二接收器70在该静电消除器26到达目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d时控制该驱动器48驱动该机械手臂46沿着该滑轨42移动至与目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d相对的位置而取出玻璃基板或放入玻璃基板。

可以理解，第二实施例中的静电消除装置30可以取代物料搬运系统2中的静电消除装置20。

实施例四

请一并参阅图7至图9，利用第三实施例中的物料搬运系统2从目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d搬出玻璃基板或搬进玻璃基板至目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d的物料搬运方法包括以下步骤：

S100：激发单元50传送目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d的位置信号至该第一接收器60及该第二接收器70。

S102：该第一接收器60控制该驱动装置28驱动该静电消除器26沿着该导轨22移动至目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d。

S104：该位置检测装置80检测该静电消除器26是否到达该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d。

S106：若该静电消除器26被检测到已经到达该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d，则该静电消除器26根据该检测结果自动开启喷洒正负离子风，且该第二接收器70根据该检测结果控制该驱动器48驱动该机械手臂46到达该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d以将玻璃基板运送到该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d内或者从该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d内取出该玻璃基板。在此过程中，该静电消除器26喷洒的正负离子风与玻璃基板上的正负离子中和，从而控制及有效减少玻璃基板上的静电量，使玻璃基板在各制程中的良率得到提高，进而提高产能。而且，由于该静电消除器26可以移动到该导轨22上的任意位置，则该静电消除装置20可以使用同一个静电消除器26先后对进出所有卡匣承载台10a、10b、10c或10d的玻璃基板进行消除静电操作，避免每个卡匣承载台10a、10b、10c或10d对应装配一台静电消除器，从而节省安装成本以及后期的维护成本。

若该静电消除器26被检测到未到达该目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d，则回到步骤S100重新传送目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d的位置信号至该第一接收器60及该第二接收器70。然后重复步骤S102-S106。

另外，物料搬运系统2还可以仅包括第一实施例中的卡匣承载设备1及一个机械手臂46。此时，若利用该物料搬运系统2来搬运玻璃基板，则机械手臂46固定不动，但其手臂能够伸长至与目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d相对。而且，静电消除器26是否到达目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d则由操作人员目测判断。因此，利用物料搬运系统2搬运玻璃基板的步骤包括：静电消除器26沿着导轨22移动至目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d并开启向外喷洒正负离子风，机械手臂的手臂伸长至与目标卡匣承载台10a、10b、10c或10d的位置来夹取或者放下玻璃基板。

以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种静电消除装置，用于消除玻璃基板上的静电，其特征在于，该静电消除装置(20)包括：

呈框体结构的导轨(22)，该导轨(22)设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件(10)的一条侧边的外表面上；

静电消除器(26)，该静电消除器(26)能够滑动地装设在该导轨(22)内；及

驱动装置(28)，该驱动装置(28)固定在该导轨(22)上并用于驱动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)来回移动。

2.如权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，该静电消除装置(20)还包括滑块(24)，该滑块(24)能够滑动地装设在该导轨(22)内，该静电消除器(26)固定在该滑块(24)上，该驱动装置(28)驱动该滑块(24)沿着该导轨(22)来回移动以带动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)来回移动。

3.如权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，该导轨(22)为矩形框体且包括平行相背的两个第一侧壁(222)及平行相背的两个第二侧壁(223)，该滑块(24)横跨在该两个第一侧壁(222)上，该驱动装置(28)包括驱动马达(282)及螺杆(284)，该驱动马达(282)装设在其中一个第二侧壁(223)的外表面(228)上，该螺杆(284)位于该框体内且其一端与该驱动马达(282)连接，另一端能够转动地装设在另一个第二侧壁(223)上，该螺杆(284)穿过该滑块(24)并与该滑块(24)螺纹配合。

4.如权利要求3所述的静电消除装置，其特征在于，该滑块(24)呈“工”字形并包括承载部(242)、与该承载部(242)平行相背的连接部(244)以及垂直连接该承载部(242)及该连接部(244)的穿设部(246)，该承载部(242)承载在该两个第一侧壁(222)的上表面(226)上，该连接部(244)与该两个第一侧壁(222)的下表面(227)抵触，该穿设部(246)位于该框体内并开设有与该螺杆(284)配合的螺纹孔(247)，该静电消除器(26)包括固定连接在该连接部(244)上的杆体(262)及从该杆体(262)上伸出的多个喷嘴(264)。

5.如权利要求3所述的静电消除装置，其特征在于，该滑块(34)呈T形并包括垂直连接的承载部(342)及连接部(344)，该承载部(342)承载在该两个第一侧壁(322)的上表面(326)上，该连接部(344)位于该框体内并开设有与该螺杆(284)配合的螺纹孔(347)，该静电消除器(36)包括固定连接在该连接部(344)上的杆体(362)及从该杆体(362)上伸出的多个喷嘴(364)。

6.一种卡匣承载设备，其特征在于，该卡匣承载设备(1)包括一个卡匣承载台组件(10)及如权利要求1-5任意一项所述的静电消除装置(20)，该卡匣承载台组件(10)包括多个并排串联起来的卡匣承载台(10a-10d)，相邻卡匣承载台(10a-10d)之间共用一个侧壁，该静电消除装置(20)的导轨(22)设置在该卡匣承载台组件(10)的一条侧边(144)的外表面(146)上，该静电消除器(26)与该卡匣承载台组件(10)的底部(12)相对。

7.一种物料搬运系统，其特征在于，该物料搬运系统(2)包括一个机械手臂(46)以及如权利要求6所述的卡匣承载设备(1)，该机械手臂(46)设置于该卡匣承载设备(1)的外部，该机械手臂(46)用于夹持住玻璃基板并将该玻璃基板运送到对应的卡匣承载台(10a-10d)内或者从对应的卡匣承载台(10a-10d)内取出该玻璃基板。

8.如权利要求7所述的物料搬运系统，其特征在于，该物料搬运系统(2)还包括滑轨(42)以及驱动器(48)，该机械手臂(46)能够滑动地装设在该滑轨(42)内，该驱动器(48)固定在该滑轨(42)上并用于驱动该机械手臂(46)沿着该滑轨(42)来回移动。

9.如权利要求8所述的物料搬运系统，其特征在于，该物料搬运系统(2)还包括激发单元(50)、第一接收器(60)、第二接收器(70)以及位置检测单元(80)，该激发单元(50)与该第一接收器(60)及该第二接收器(70)均电性连接并传递目标卡匣承载台(10a-10d)的位置信号至该第一接收器(60)及该第二接收器(70)中，该第一接收器(60)与该驱动装置(28)电性连接并控制该驱动装置(28)驱动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)移动，该位置检测单元(80)与该第一接收器(60)及该第二接收器(70)均电性连接并用于检测该静电消除器(26)是否到达该目标卡匣承载台(10a-10d)并将检测到的结果传输给该第一接收器(60)、该第二接收器(70)及该静电消除器(26)，该第二接收器(70)与该驱动器(48)电性连接并在该静电消除器(26)到达该目标卡匣承载台(10a-10d)时控制该驱动器(48)驱动该机械手臂(46)到达该目标卡匣承载台(10a-10d)以运进玻璃基板至该目标卡匣承载台(10a-10d)或从该目标卡匣承载台(10a-10d)运出玻璃基板。

10.一种使用如权利要求9所述的物料搬运系统的物料搬运方法，包括以下步骤：

传送目标卡匣承载台的位置信号至该第一接收器及该第二接收器(S100)；

使该第一接收器控制该驱动装置驱动该静电消除器沿着该导轨移动至该目标卡匣承载台(S102)；

使该位置检测装置检测该静电消除器是否到达该目标卡匣承载台(S104)；

若该静电消除器被检测到已经到达该目标卡匣承载台，则该静电消除器根据该检测结果自动开启，且使该第二接收器控制该驱动器驱动该机械手臂到达该目标卡匣承载台以将玻璃基板运送到该目标卡匣承载台内或者从该目标卡匣承载台内取出该玻璃基板(S106)；

若该静电消除器被检测到未到达该目标卡匣承载台，则回到第一步重新传送目标卡匣承载台的位置信号至该第一接收器及该第二接收器(S100)。

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