CN101607378B - 平面显示器用的面板r角加工研磨机组 - Google Patents

Abstract

一种平面显示器用的面板R角加工研磨机组，包括可载放面板的面板承载机组，进行面板研磨加工的研磨加工机组，用以卸载面板的面板卸载机组，载置及固定上述面板，并与连结上述面板承载机组和面板卸载机组之间的一条虚拟作业线形呈直角相交，且彼此相互分离配置的复数作业平台；载置于上述复数的作业平台，并具备有可进行面板的对位作业的至少一组对位摄影机，和载置于上述复数的作业平台，并对面板进行研磨加工作业的至少一组的研磨加工机组用的砂轮的研磨机。本发明能够缩减循环工时，提高生产效率，也能够改善当复数的作业平台及复数的研磨加工机组用的砂轮的中的任何一组发生故障时，整体设备就无法进行作业的缺点。

Description

平面显示器用的面板R角加工研磨机组

技术领域

本发明是有关一种平面显示器用的面板R角加工研磨机组，更详细的解说能够比旧式的R角加工方法节省更多的循环工时(tact time)，而且能够提高平面显示器用的面板R角加工研磨机的生产效率。而且可以改善万一复数作业平台及复数的研磨加工用的砂轮的中的任何一组发生故障时，全部设备即无法动工的R角加工研磨机的问题，得以提高生产效率。 

背景技术

最近，半导体产业中的电子显示器产业急遽地发展起来，平面显示器(FDP)的制造也开始广受瞩目。 

從前，在平面显示器(FDP)尚未流行前，电视或电脑等的显示器(Display)主要都使用阴极射线管(CRT-Cathode Ray Tube)，而现在发展出又轻又薄的影像显示装置，主要包括有液晶显示装置(LCD-Liquid Crystal Display)，电浆显示器面板(PDP，Plasma Display Panel)，有机发光二极管(OLED，Organic Light EmittingDiodes)等。 

以下将说明LCD，PDP及OLED等的平面显示器(FDP)的面板。 

通常面板都是长方形的玻璃材质做成的。因此，必须要对面板的四个边角及长边和短边的边缘，进行边角加工，将面板短边边缘及长边边缘实施边材的角落加工，也就是说对面板的四角及边材采取磨圆方式的研磨R角加工，以便将玻璃本身的尖锐角落除去，因此便于进行后面的制程间的搬送及操作，又可预防发生刮伤等有关人身安全的意外等，因此需要使用R角加工研磨机进行R角的加工。 

在以往使用的R角加工研磨机的中，有的是使用单一的研磨R角加工用的砂轮(wheel)对面板的四个边角，短边边缘及长边边缘的任一处进行加工。但是像那样使用单一的研磨R角加工用的砂轮来对四个边角，短边边缘及长边边缘的任一处加工时，因为不可能实施连续作业，故会造成浪费许多工时的问题。

基于上述问题，于是我们思考改善上述缺点，因此发表了新发明的磨圆R角的加工研磨机，能够分别地对面板的四个边角，短边边缘及长边边缘实施加工作业。 

图1所示是旧型R角加工研磨机的概略构成图示。 

而如图1中所显示，旧型的R角加工研磨机在对面板进行R角研磨加工时，其配置方式是配置在面板两侧的面板承载机组10和面板卸载机组30之间，夹住R角研磨加工机组20的配置形式。 

面板载放在R角加工机组20之上，沿着连结面板承载机组10和面板卸载机组30所形成的一个虚拟的作业线形，而第一作业平台21及第二作业平台22呈直线排列配置，而为了让第一作业平台21及第二作业平台22要对载放的面板实施对位，故须配置第一组对位用摄影机25a，及第二组对位用摄影机25b，还有对第一组R角加工用的砂轮26a，及对第二组R角加工用的砂轮26b。 

第一对位用摄影机25a和进行第一组R角加工用的砂轮26a，会沿着面板的搬送进行方向对面板之前面两侧的四个角落，以及对短边边缘进行对位及加工。后面两侧的机组负责对四角加工，而第二对位用摄影机25b和第二组R角加工用的砂轮26b，则负责对面板长边边缘的对位及加工。 

依上述的结构，当面板从放在面板承载机组10，再移送到要实施R角加工的第一作业平台21之上面时，首先根据第一对位用摄影机25a所拍摄的影像，将面板放置在第一作业平台21的定位位置对好角度。之后，第一作业平台21可能会向着进行第一组R角加工用的砂轮26a移动，或者反的也可以采取移动第一组R角加工用的砂轮26a，向第一作业平台21移动加工的动作，然后分别依序对着面板的进行方向，面板之前面两侧的四角，短边边缘，还有后面两侧的边缘按顺序加工。 

其后，再另外由面板搬送机器人(pick-up robot)(图未显示)会将第一作业平台21上的面板举起旋转九十度之后，再移送到第二作业平台22之上。接着，再度将对已经被送到第二作业平台22上的面板，实施对位作业到指定位置后，使用第二组研磨R角加工用的砂轮26b，对着面板的长边边缘进行加工，到最后完成R角加工的面板，则由面板卸载机组30送出。 

如上述，旧型的R角加工研磨机在第二作业平台22上，对着面板长边边缘进行加工时，为了让面板在第一作业平台21上面对着面板之前面两侧的边缘，以及短边边缘，还有后面两侧的边缘进行加工的动作，会比只使用一组R角加 工用的砂轮(无图示)的R角加工研磨机(无图示)更能够缩减工时。换言之，在R角加工机组20上将第一作业平台21及第二作业平台22排列成一直线，即可让R角加工作业变成生产线生产的加工方式，因而能够缩短加工工时。 

但问题是类似这种旧型R角加工研磨机在进行加工时，在将面板从第一作业平台21搬移到第二作业平台22上的时候，因为一定要使用搬送机器人(pick-up robot)，把面板抬放到第二作业平台22之上，接着必须要再度进行一次对位校准的作业，因而须包含用搬送机器人移放面板的搬送时间，及在第二作业平台22上二度对面板实施对位校准作业也需要花费时间，故从缩减工时的角度上来说，是相当缺乏效率的。 

另外还有一个缺点是这种旧型的R角加工研磨机上面的第一作业平台21及第二作业平台22，还有负责进行第一组R角加工用的砂轮26a，及第二组R角加工用的砂轮26b彼此之间都是呈直线排列配置的构造，故只要是其中任何一个发生故障，则全部的设备都会停顿无法进行作业，而形成降低生产效率的主因。 

发明内容

<本项发明所要解决的课题> 

本发明的目的是希望能够更进一步缩减及改善以往进行面板的R角加工作业时所需要的循环工时(tact time)，以提高生产效率，而且万一复数的作业平台及复数的研磨加工机组的一发生故障时，全部的机组就完全无法进行加工作业的平面显示器用的旧型R角加工研磨机所有之上述问题。 

<解决问题的手段> 

上述发明的目的是通过实施本发明后，在面板承载机组(loading unit)和面板卸载机组(unloading unit)之间，配置包括可对面板进行R角加工的R角研磨加工机组，以及可卸载上述面板的面板卸载机组。研磨加工机组还有包含连结及配置在可载置及固定面板的面板承载机组，和面板卸载机组的一条虚拟的作业线形上，并与的呈直角相交，同时可相互分离配置的复数作业平台，以及载置于上述复数作业平台上，可实施面板的对位作业的至少一组的对位摄影机，还有具备有可对载置于上述复数的作业平台的面板进行加工的砂轮的研磨加工机组。 

<发明的效果>

若能运用本发明，则研磨R角加工作业时所需要的循环工时(tact time)将会比采用以往的研磨方式缩减不少工时，故能提高生产效率。而且可以改善类似万一复数的作业平台及复数的研磨加工机组用的砂轮的中的任何一个发生故障时，则整体设备就完全无法动工的旧型R角加工研磨机组的问题点，故能够改善问题并提高生产效率。 

附图说明

图1为旧型的R角加工研磨机组对面板的长边及短边分别地进行研磨加工的概略构成图； 

图2为利用本发明的一种加工实施形态，即平面显示器用的R角加工研磨机组的概略构成图； 

图3为作业平台的扩大斜视图； 

图4为在对图3的作业平台显示加工动作的斜视图； 

图5(a)是显示，在转盘的表面所形成的第1真空孔洞的构成图； 

图5(b)则是显示，形成于可变作业平台的表面上的第2真空孔洞的构成图； 

图6是表示作业平台的概略的侧面图； 

图7是表示移载机构的扩大斜视图； 

图8是表示显示图7的移载机构的部份加工动作的斜视图； 

图9是显示安装在作业平台之上方的作业平台清洗机组的配置状态的斜视图； 

图10是显示于图9中的单位清洗装置的斜视图； 

图11是显示于图10的A-A线的横剖面图； 

图12是显示配置在面板卸载机组之后方的R角研磨量的测量装置构成的斜视图； 

图13是显示于图12中的“B”部份的扩大斜视图； 

图14是用来说明在图13中所示的清除异物机构的斜视图； 

图15是图14中的分解斜视图； 

图16是显示于图14的C-C线的横剖面图； 

图17是显示利用本发明的其他加工实施形态，对平面显示器进行R角加工的R角加工研磨机组的概略构成图。 

附图标记说明：

10-面板承载机组；20-R角加工机组；30-面板卸载机组；21-第一作业平台；22-第二作业平台；25a-第一组对位用摄影机；25b-第二组对位用摄影机；26a、26b-砂轮；110-面板承载机组；120-研磨加工机组；130-面板卸载机组；121-第一作业平台；122-第二作业平台；125、125a-对位摄影机；126-共用砂轮；126a、126b-砂轮；123-研磨机；124-共用起重支架机构；127-固定支架；128-起重支架机构；221-研磨机；300a-第一作业平台；300b-第二作业平台；310-转盘；315-第一真空孔洞；315a-第一真空吸附线槽；320-可变作业平台；330-驱动装置；331a、331b-连结组件；332-滚珠轴承；333-驱动马达；334-组件支持机构；321-切开机构；325-第二真空孔洞；325a-第二真空吸附线槽；326a-真空配管；326b-真空配管；326c-真空配管；327a、327b、327c-中间配管；340-平坦度调节机构；341-调节螺帽；342-接触支撑螺帽；400a-第一移载机构；400b-第二移载机构；410-基本支持机构；411a、411b-连结机构；412a、412b-导引装置；413-驱动装置；430-安全支持机构；431-固定杆；433-转动支持机构；431a-垂直杆；431b-水平杆；440-头部机构；461-X轴驱动装置；462-Y轴驱动装置；463-Z轴驱动装置；530-作业平台清洗机组；531a、531b-单位清洗装置；532-喷射机构装置；533-转动机构；534-喷射机构装置；534s-移动空间；534h-喷嘴；535-遮蔽装置；540-转动组件；541-支架缔结机构；542-连结转动机构；545-设备支架；570a-作业平台；630-R角研磨量测量装置；631-测量装置；633-测量支架；635-移动支架；637-升降驱动装置；638-移动驱动装置；640-面板卸载机组；641s-单侧开放式隧道；641-异物清除机构；642s-移动空间；642-喷设机构装置；643-遮蔽装置；642h-喷嘴。 

具体实施方式

为了让阅读本发明的人，充分地了解本发明和发明的动作上的优点，及通过实施本发明而能达成缩减工时的目的，故必须要以附图的方式，举例说明本发明之内容，故请务必参照附图及文字记载之内容阅读。 

以下，发明人将通过附图以详细说明，本发明所希望做到的实施加工的型态。各图面中都附加相同的参考符号，所有的编码代表相同的机构或装置。 

图2是为说明本发明的实施形态的一的平面显示器用的R角加工研磨机组的概略性结构图面。

在尚未进入图面的说明之前，以下所说明的面板是属于TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)的面板，而本项发明的专利权范围，并不止限定于TFT-LCD的面板而已，也可适用于电浆显示器面板(PDP，Plasma Display Panel)，有机发光二极管(OLED，Organic LightEmitting Diodes)，太阳能电池(SOLAR CELL)等的平面显示器(FLAT PANELDisplay，FDP)。但以下的文章为了方便说明，故只采用TFT-LCD面板为例做说明。 

如图2所示，利用本发明中的一实施例制作的平面显示器用的R角加工研磨机组包括，可承载研磨加工机组的加工面板的面板承载机组110，以及对面板进行研磨加工的研磨加工机组120，和完成研磨加工之后卸载面板的面板卸载机组130。 

由于面板承载机组110的主要工作是搬送所有的面板，一般都是利用产线式(conveyor type)的方式进行搬送面板的工作。但因为本发明专利范围，并不限定一定要采取上述的加工形态，也可以采取滚轴式(roller type)或是作业平台式的(stage type)的生产线型态。非但如此，也可以采用能让面板朝上(up)浮起的空气喷射飘浮模组，把面板支撑在规定的高度上进行加工。 

在面板承载机组110上面的面板在被搬送到研磨加工机组120旁边，或是在从研磨加工机组120被搬送到面板卸载机组130上时，最好能够安装可侦测面板的搬送状态的传感器等(此部分在此不作详述)。 

在本发明的加工型态中，在面板卸载机组130之上面设置有用来测量R角研磨量的测量装置630。该测量R角研磨量的测量装置630负责对完成研磨加工的面板，测量其R角的研磨量。若是测量装置630所量测出来的面板R角研磨量，是不符合标准的状态时，或是研磨到不应研磨的地方时，或是R角研磨量不正确时，则要据以决定这片加工过的面板是否要丢弃，或是再度由面板承载机组110送回研磨加工机组再度进行加工。在本发明的加工形态当中，测量R角研磨量的测量装置630会被配置在面板卸载机组130之上，但也可以安装在研磨加工机组120之上面。关于测量R角研磨量的测量装置630，其详细内容请容后再作一详述。 

而另一方面，研磨加工机组120就是实际上负责对由面板承载机组110所载放过来的面板的四个角落，及对长边及短边进行研磨加工的机组。 

即使在旧式的加工技术方面，也是一样会设置专门用来进行研磨加工的研 磨加工机组120，但问题是如上述图1中所说明，在旧型的研磨加工机组120当中，当面板被从第一作业平台121搬送到第二作业平台122之上时，搬送机器人(pick-up robot)，把面板抬放到第二作业平台122之上，再对面板实施对位作业，故需要多花费使用搬送机器人的时间，以及再度在第二作业平台122上，对面板进行对位作业所要时间，对于缩短工时的要求，是极为无效率的一种作法。 

非但如此，如在图1中所说明的旧型R角加工研磨机组当中，由于此机组的第一作业平台121及第二作业平台122，还有，第1研磨加工机组用的砂轮126a及第2研磨加工机组用的砂轮126b，彼此之间是属于相互间呈直排配置的构造，故当任何一组发生故障时，就会造成全部的机组设备无法起动的问题。 

但是，在本发明的加工型态当中，如下面所述，配备有研磨加工机组120的第一及第二作业平台300a、300b会被配置在连结面板承载机组110和面板卸载机组130的一条虚拟的作业线形上，并与的呈直角相交，彼此相互分隔配置的构造，意即，它是和旧式机组不同的并列型配置的构造，而且又再配置有与的相对应的研磨机123，因而可以解决以往的旧机种的不良问题。 

由于在本发明的加工型态当中的研磨加工机组120被设置在连结面板承载机组110和面板卸载机组130之间的一条虚拟的作业线形之上呈直角相交，相互分隔配置，还配备有可以载置及固定支持面板的第一及第二作业平台300a、300b，以及研磨机123。 

第一及第二作业平台300a、300b和以往的加工技术的不同点在于它被配置在连结面板承载机组110和面板卸载机组130的一条虚拟的作业线形上，呈横向的直角相交形式，并且相互分隔的配置。在本发明的加工型态当中，研磨加工机组120会配备有两组第一及第二作业平台300a、300b，但有时也可以安装三组以上的作业平台。但即使是配备有三组以上的作业平台，只要这些作业平台是被配置在连结面板承载机组110和面板卸载机组130的一条虚拟的作业线形上，呈横向的直角相交形式，并且相互分隔的配置，也就是说，这些配备是呈并列配置的构造的话，即已足够运用。 

此处并未准备详细图示，但是为了分别对第一及第二作业平台300a、300b上面的面板进行对位，故应设定作业平台应可以在研磨加工机组120上面的指定位置上，可顺着X轴，Y轴及z轴进行转动的动作。 

当第一及第二作业平台300a、300b在对着X轴及Y轴进行转动动作时，是 由线性马达(linear motor)等执行动作的控制，第一及第二作业平台300a、300b对z轴的转动动作则是由旋转马达(rotating motor)执行转动的控制，但是本发明并不限一定要使用上述两种马达，即使是采用其他的构造，能够对第一及第二作业平台300a，300b执行对着X轴，Y轴及z轴转动的动作即可。 

而另一方面，研磨机123会顺着设在连结于第一及第二作业平台300a、300b的一条假想的作业线形上，并横跨在第一及第二作业平台300a，300b之上设置的共用起重支架(gantry)机构124的某一侧，沿着共用起重支架机构124一边移动，一边利用对位摄影机125分别对着载置于第一及第二作业平台300a、300b上的面板进行对位，另一组对位摄影机则会沿着共用起重支架机构124的另一侧移动，以便分别拍摄载置于第一及第二作业平台300a、300b上的面板，并实际根据对位结果，使用研磨加工机组用的共用砂轮126进行研磨加工的作业。 

如图示，共用起重支架机构124是被设置在一条与连接第一及第二作业平台300a、300b的假想作业线形的平行方向。在这个共用起重支架机构124上面分别架上对位摄影机125和研磨加工机组用的共用砂轮126。为方便提供参考，图面上只是概略性地显示对位摄影机125和研磨加工机组用的共用砂轮126的图示。 

为了让对位摄影机125分别对着被载置于第一及第二作业平台300a、300b的面板进行对位作业，也就是说，必须要让第一及第二作业平台300a、300b绕着X轴，Y轴及z轴进行旋转动作，而且对着在面板的两侧当中有形成一边两个的对位记号(align mark)进行摄影，以便对面板进行对位作业。 

在本发明的加工形态当中，每一个作业平台之上面分别会有2个对位记号。在图面中显示的对位记号是以十字架(+)状做图示。因此，对位摄影机125必须要对着一边两个的对位记号进行摄影。但是，本发明的专利范围并非只限于此，对位摄影机125可以沿着共用起重支架机构124移动，以便对第一及第二作业平台300a、300b进行对位摄影，这时候只须要设置两组共用对位摄影机即可。当使用两组共用对位摄影机时，在对着载置于第一作业平台300a上的面板拍摄对位记号时，会配置一组共用对位摄影机对准第一作业平台300a之上面，而在对着载置于第二作业平台300b上的面板拍摄对位记号时，就会移动共用对位摄影机到第二作业平台300b上面的位置。 

研磨加工机组用的共用砂轮126会被安装在共用起重支架(gantry)机构124之上，而且是在与对位摄影机125对向的位置上。这是因为研磨加工机组用的 共用砂轮126必须要在共用起重支架机构124之上面移动，而且要避免干扰到对位摄影机125，才做这样的配置。 

如上所述，由于研磨加工机组用的共用砂轮126必须要对着面板的四个角落，长边及短边进行研磨加工，故原则上可以在每一个作业平台上各自配置两组研磨砂轮。但是，在本发明的加工形态当中，研磨加工机组用的砂轮是设定为必须要沿着共用起重支架机构124可移动的研磨加工机组用的共用砂轮，故配置两组研磨加工机组用的共用砂轮126。因此，在对着载置于第一作业平台300a上的面板进行研磨加工作业时，会在如图2中的实线所示的位置上配置研磨加工机组用的共用砂轮126，而当在对着载置于第二作业平台300b上的面板进行研磨加工作业时，则会将研磨加工机组用的共用砂轮126移动到如图2中的图示的虚线位置。 

还有，如前述，因为在本发明的加工形态当中的研磨加工机组用的共用砂轮126必须要对着面板的四个角落，长边及短边进行研磨加工作业，故应使用复式砂轮，而非单纯的单一砂轮。 

另一方面，以下在针对R角加工研磨机组的作用进行说明之前，对于在上述内容中无法说明清楚的构造再做一次简略的说明，也就是说，第一及第二作业平台300a、300b，第一及第二移载机构400a、400b，作业平台清洗机组530，及R角研磨量的测量装置630，将一边参考图3至图16一边进行详细的说明。 

图3是作业平台的扩大斜视图，图4则是显示对在图3的作业平台上面动作的斜视图，图5的(a)则是，对在转盘的表面形成的第1真空孔洞的构成图，图5的(b)则是，对在可变作业平台的表面形成的第2真空孔洞的构成图，图6是作业平台的概略性的侧视图，图7则是，移载机构的扩大斜视图，图8则是显示对在图7的移载机构进行的部份动作的图示的斜视图，图9则是显示设置在作业平台之上方的作业平台清洗机组的安装状态的斜视图，图10则是显示在图9中图示的单位清洗装置的斜视图，图11则是显示，如图10的A-A线所构成的横剖面图，图12则是显示，配置在面板卸载机组后方的R角研磨量测量装置的构成的斜视图，图13则是显示，在图12中所示的扩大“B”部份的扩大斜视图，图14则是显示，说明在图13中所示的异物清除机构的斜视图，图15则是显示，在图14中的分解斜视图，图16则是显示，在图14的C-C线所构成的横剖面图； 

首先，针对作业平台300a、300b进行说明，在本发明的加工形态当中，作 业平台300a、300b会如图2中示的，沿着Y轴配置两组第一及第二作业平台300a、300b。由于第一及第二作业平台300a、300b会分别同时和研磨机221的其余构造同时以并列方式进行研磨加工作业，故可大幅缩减作业工时，提高生产性。 

但是，由于本发明的专利范围并非仅只限于此，故也可以只设置一组作业平台，或是设置3组以上的作业平台。这就是如前面所陈述的理由，但若是配置3个以上的作业平台时，只要这三组作业平台是沿着Y轴，做并列配置的构造时，就已经足够运用了。 

第一及第二作业平台300a、300b也是一样，只是其配置的位置相异，构造及动作全部都是相同的。因此为了便于图示及进行说明，我们在此将会对第一及第二作业平台300a、300b的细部机构构成给予相同的参考符号。 

若是针对第一及第二作业平台300a、300b进行简单说明的话，即是在本发明的加工型态当中，第一及第二作业平台300a、300b是可以对各式各样的尺寸的面板进行混合加工的构造型态。 

意即，在旧型的R角加工研磨机组中所开示的作业平台(无图示)，是使用真空方式吸附载置于上面的面板的单纯的组件状的构造，由于其上面的面积是属于固定大小的尺寸，故只能吸附及支持单一种尺寸的面板。因此，类似这样的旧型作业平台的R角加工研磨机组，就不适合运用于各种尺寸的面板的混用加工的型态，若先前进行研磨加工的面板和接下来要进行加工的面板尺寸不同的时候，在进行下一个研磨加工之前，就必须要先更换作业平台(无图示)，而由于要加上更换作业平台的时间，会造成工时增加，并使生产性降低的缺点。但是，在本发明的加工型态当中第一及第二作业平台300a、300b则可以依据必要状况，直接调整作业平台上面的全部面积，故是具备适用于各式各样的尺寸的面板的构造。 

因此，在本发明的加工型态当中，适用R角加工研磨机组加工作业的第一及第二作业平台300a、300b之上面，分别具备有可吸附面板并将的旋转的转盘310，和在转盘310之外围中一起吸附固定及支持面板，并且可以对应所有各式各样的尺寸的面板，而且对转盘310可做可做接近及分离动作的复数可变作业平台320。 

而如图3及图4中所示，在第一及第二作业平台300a、300b的中央会配置一个转盘310，而可变作业平台320则是在转盘310之外围中，以彼此相互对称 的方式共计配置四组。这四组的可变作业平台320则是以两两成对的方式对转盘310进行接近及分离的动作。 

为了让四组可变作业平台320以两两成对的方式对转盘310进行接近及分离的动作，故在作业平台上要再加装驱动装置330。 

请参考图4，作业平台驱动装置330，对分别连结在两个一组的可变作业平台320的一对的连结组件331a、331b之上，为了要让这一对连结组件331a、331b可分别旋转及结合做正向及逆向旋转，则又应该要包括可控制这一对连结组件331a、331b进行相互接近及分离动作的滚珠轴承332，滚珠轴承332必须要结合可做正向及逆向旋转的驱动马达333。 

一对连结组件331a，331b分别具备有四角的组件构造，在它之上面，则又再配置可支持各一组的可变作业平台320的组件支持机构334。该组件支持机构334负责支持一对连结组件331a、331b中每一个连结两个的可变作业平台320。在本发明的加工形态当中，为了方便图示及进行说明，对组件支持机构334全部使用相同的参考符号。 

滚珠轴承332则是连结到一对连结组件331a、331b，在其外面形成连杆状，而在连结一对连结组件331a，331b的滚珠轴承332的指定范围中的连杆则是呈相互朝着相反方向进行加工的形式。 

如上所述，在滚珠轴承332之外面形成的连杆是呈相互朝相反方向进行加工的形式，它又被分别锁付在一对连结组件331a、331b之上面，例如，当滚珠轴承332朝正向转动时，一对连结组件331a、331b会如图3一般地相互分离，而同时可变作业平台320就会被打开，因此可以吸附大型的面板，相反地若是滚珠轴承332朝着逆向旋转时，一对连结组件331a、331b就会如图4一般地相互接近，而同时可变作业平台320就会被缩小，而可以吸附小型的面板。 

驱动马达333就是用来为滚珠轴承332进行正向及逆向旋转的动力发生机构。在本发明的加工形态当中，单一个的驱动马达333就可以控制滚珠轴承332的正向及逆向旋转动作。像这样，即是只利用单一驱动马达333即可驱动可变作业平台320，故可简化机组的结构，其安装及维修也都很简便，而且还有降低成本的优点。 

转盘310之上面大致上是呈圆形，而四组可变作业平台320则是呈现一部份可以切开的大致上是长方形的形状。但是，由于本发明的专利范围并非仅只限于此，故可以适度地变更转盘310及可变作业平台320的形状。

例如，至少转盘310之上面也可以制作成包括椭圆形的多角形。还有，可变作业平台320也不一定非要设置四个，也可以把可变作业平台320配置在转盘310之外围中，以彼此相互对称的方式分别设置两个。即使在这样的状态下，也是同样可以具体实现作业平台驱动装置330的构成，以及必须进行的加工动作。 

如前述，当研磨加工机组要加工的面板尺寸较大时，则可以如图3一般地将转盘310和四个可变作业平台320之间的距离拉开，即可加大整体的吸附面积；而当要进行研磨加工作业的面板尺寸较小时，则如图4所示，必须要调整转盘310对4个可变作业平台320的距离使的接近。此时，如图4所示，当四个可变作业平台320接近转盘310的时候，为了防止这四个可变作业平台320的侧面和转盘310相互冲撞，则必须要在可变作业平台320的侧面形成一个切开机构321。在本发明的加工形态当中，切开机构321会在转盘310之外面，呈现出一个拱形(arc)的状态，但也不一定非要按照此一形式设计不可。 

在转盘310和可变作业平台320之间的表面上，会具有如图5中所示的，分别形成可吸附及支持面板的复数的第一及第二真空孔洞315、325。第一及第二真空孔洞315、325的安装方式是用可以分别贯通转盘310和可变作业平台320的厚度的形态设置的。 

故如上述，事实上即使只利用第一及第二真空孔洞315、325，即足以充分地吸附及支持面板。但是，在本发明的加工型态当中，转盘310和可变作业平台320之间的表面中，还包括有一个深陷入转盘310和可变作业平台320的表面下方的固定深度下呈凹陷状态的固定形状的线槽，即是形成第一及第二真空吸附线槽315a、325a，再度倍增对着面板真空吸附面积。也就是说，当第一及第二真空孔洞315、325发生真空吸引力时，真空吸引力是通过第一及第二真空吸附线槽315a、325a而扩大其作用范围，因此可以更加扩大对面板的真空吸附面积。在本发明的加工形态当中，第一及第二真空吸附线槽315a、325a是配置在第一及第二真空孔洞315、325以一对一的方式配置，但是当然也不是一定要采取相同的配置方式不可。 

在本发明的加工形态当中，形成在转盘310之上的第一真空吸附线槽315a，即是如图5的(a)中所示的，呈现出类似披萨(pizza)的形状，而在可变作业平台320里所形成的第二真空吸附线槽325a，则是如图5的(b)所示的，可以形成倒钩式的‘

’形状，但是由于本发明的专利范围并不限定其形式。故意思就是 如图5的(a)及图5的(b)中所示的，转盘310和可变作业平台320之间的表面上，具备有未打洞的部份，以及有打洞的部份，在比较之下呈现出陷没的状态之意。 

如前所述，由于配置有四组可变作业平台320，若是在四个可变作业平台320中形成的真空压力不平均的话，则无法稳定地支持面板，或是会呈现出朝向单侧扭曲的状态。因此，实质上对四个可变作业平台320提供真空压力时，至少要每两个成对平均地对可变作业平台320提供真空压力。还有，因为面板必须要在中央对齐，意即，以中央为标准做对称方式配置，故应以对称方式控制真空的开/关ON/OFF控制才会有效。 

在参考图5的(b)的时候，在可变作业平台320的表面上形成的第2真空孔洞325之上面，又分别地连结有可控制真空的ON/OFF的复数的真空配管326a、326b、326c，复数的真空配管326a、326b、326c又会和复数的中间配管327a、327b、327c连结起来。 

此时，真空配管326a、326b、326c，中间配管327a、327b、327c应该是呈分别连成一线，并隔着一对彼此相邻的可变作业平台320，而呈现相互对称的分岐管线。意即，例如，例如参考符号327a的中间配管会形成一组的管线，而从参考符号327a的中间配管拉出分岐的两组管线真空配管326a，则会分别隔着一对彼此相邻的一对可变作业平台320，而朝向第二组真空孔洞325。通过这种方式所作的配管组合，由于至少分别是每两个配成一对，而对可变作业平台320提供的真空压力，会以中央为标准形成对称而平均的真空压力，因此可以提高对面板的吸附效率。 

而另一方面，第一及第二组真空孔洞315、325，尤其是虽然通过第二组真空孔洞325而形成均匀的真空压力，但如果可变作业平台320的平坦度不够正确时，则会让面板之间产生间隙，而降低面板的吸附效率，同时也造成真空的损失。 

因此，在本发明的加工型态中，再加设一个平坦度调节机构340，可以利用简单的方法来调节连结组件331a、331b对可变作业平台320的平坦度。 

平坦度调节机构340是如图6中所示的，加工成两端的连杆呈彼此相反方向的状态，且其两端部位被锁附在连结可变作业平台320的连结组件331a、331b的复数的调节螺帽341上，又再结合在连结组件331a、331b上，而其另一端则在可变作业平台320上，备有以接触方式支撑的复数接触支撑螺帽342。 

由于具备上述的构造，故若是在必须要调整可变作业平台320的平坦度时， 首先需要旋松复数的接触支撑螺帽342，利用接触支撑螺帽342的一端隔开可变作业平台320到规定的平坦度调节的位置之后，再视在该位置中有必要时，锁紧或是旋松调节螺帽341。调节螺帽341的两端部分会形成相反方向的连杆，而由于此相反方向的连杆分别连结到可变作业平台320的连结组件331a、331b上，因此只需要锁紧或是旋松调节螺帽341，即可利用连结可变作业平台320的连结组件331a、331b来调整可变作业平台320的高度上升或是下降。故可以利用此种简便的操作，即可轻易地调整可变作业平台320的平坦度，一旦可变作业平台320的平坦度被调好的话，则可再度锁紧接触支撑螺帽342，以让接触支撑螺帽342的其中一端部位以接触方式支撑可变作业平台320，即可以预防可变作业平台320发生不稳定及任意倾斜的现象。 

另一方面，若是参考图2之内容时，在面板承载机组110和研磨加工机组120之间，还有，在研磨加工机组120和面板卸载机组130之间，还包括有设置有移载机构400a、400b，能够在面板承载机组110之上面移动，把要加工前的面板送到第一及第二作业平台300a、300b之上，接着能够再把在第一及第二作业平台300a、300b上加工完成的面板搬送到面板卸载机组130之上的功用。 

在本发明的加工形态当中，设置在面板承载机组110和研磨加工机组120之间的，以及在研磨加工机组120和面板卸载机组130之间的移载机构400a、400b的构造及动作全部都必须相同。而为了方便做图示及说明的故，在移载机构400a、400b上的细部构造都给予相同的参考符号。 

参考图7及图8所示，第一及第二移载机构400a、400b会被配置在与原本在面板的两侧面，支持面板的复数的基本支持机构410，和复数的基本支持机构410不同的位置上，而且在搬送面板途中或是停止途中，还备有安全支持机构430固定住面板以防止面板从基本支持机构410上面脱落。 

基本支持机构410和安全支持机构430都会被结合在头部机构440之上。因此，若是将后面会提及的X轴驱动装置461，Y轴驱动装置462及Z轴驱动装置463等产生作用，而把头部机构440移动至所要指定的位置时，基本支持机构410和安全支持机构430也会同时被移动到指定位置上。 

在本发明的加工形态当中，会在头部机构440的两侧面(短边)分别各安装两组共计四个复数的基本支持机构410，而在朝向研磨加工机组120或是面板卸载机组130的头部机构440之前面(长边)会配置一个安全支持机构430。 

但是，由于本发明的专利范围，并未限定一定要采用上述形式，故可以在 头部机构440的两侧面分别设置一个基本支持机构410，或是在头部机构440的两侧面分别设置3个，或是设置超过以上个数的基本支持机构410。还有，若是要设置安全支持机构430时，可以在头部机构440之前面(长边)安装两个以上，也可以在头部机构440之前面(长边)和后面(长边)全部都配置安全支持机构430。安全支持机构430的个数越多时，则越具有可防止大型面板下垂的效果，故可以采取有效而适度的构造安装。 

若是针对四个基本支持机构410说明的话，在本发明的加工实施形态中，会在头部机构440的短边范围分别配置两组共计四个基本支持机构410。此时，分别配置的两个基本支持机构410将会分别连结到一对连结机构411a、411b之上。 

一对连结机构411a、411b的中应包括，结合及收容在头部机构440的侧面形成并可以引导上述这一对连结机构移动的一对导引装置412a、412b。在本发明的加工型态当中，导引装置412a、412b是配置成一对，有时导引装置412a、412b也可以设置成不同于图面的分离的形式，而可以采用一体成型的构造。 

在第一及第二移载机构400a、400b之上方，会通过一对导引装置412a、412b在规定的控制信号下，导引一对连结机构411a、411b彼此互相接近及分离，故另外还要包括可控制驱动这一对连结机构412a、412b的驱动装置413。此处并未预备驱动装置413的详细图示，该驱动装置413是通过马达的带动做正向及逆向的旋转，而此马达又由具备可朝不同方向运动的连杆的滚珠轴承连结到一对连结机构411a、411b，进而控制其运动方式。 

因此，若是对驱动装置413的马达供给电源时，而当滚珠轴承朝着正向旋转的话，则就会像图8中的虚线图所示，分别配置的两个基本支持机构410可在一对连结机构411a、411b的连动下相互接近，相反地若是滚珠轴承朝逆向旋转时，两两配置的基本支持机构410则会在一对连结机构411a、411b的拉动下相互分离。由于四组基本支持机构410会彼此互相接近及分离，故具有随时适用于各式各样尺寸的面板的优点。 

若再针对单一个安全支持机构430的构造作一说明，为配置安全支持机构430需要备有固定杆431，和转动支持机构433。 

固定杆431是设置固定在头部机构440之上方，即是所谓的套筒式(bracket)结构，固定杆431则是具备有垂直杆431a，在垂直杆431a的一端又具备有水平杆431b和垂直杆431a形成十字相交的状态彼此相互固定住。

转动支持机构433是在水平杆431b一端由安全支持机构430所固定支持，转动支持机构433は可以在水平杆431b的支持及固定下，转动安全支持机构430。转动支持机构433的转动动作即是如前所述，由控制信号发出指令，在基本支持机构410动作时发生连动现象而产生动作。意即，如图8中的虚线图所示，当基本支持机构410开始动作，而实质上在支撑面板的两个侧面，及支持其下面的一部份时，在转动支持机构433的转动动作配合下，安全支持机构430能够支持及固定面板之前面及其下方的部份支点，因而可以防止面板在搬送或是停止途中掉落的现象。 

如上述，实际上基本支持机构410和安全支持机构430是为了单纯地支持面板，或是能够稳定地支持面板而设，故全部都要在指定的位置上，以接触到面板侧面的状态，能够支持到面板下方的部份支点，所以要制作‘

’状。但是，在本发明的专利范围中并不限定非要采用此种形状不可。 

而且，由于基本支持机构410和安全支持机构430全都是在和面板接触的状态下支持面板，故有可能在接触到面板的过程中发生刮伤面板(scratch)的状况。 

因此，在本发明的加工形态当中，为了防止发生刮伤面板的情形，所有的基本支持机构410和安全支持机构430皆应采用MD-PA的材质制作。但是，并非一定要采用MD-PA材质，只要是不易损伤面板的材质，同时还要具备有一定的刚性者，即可用不同的材质制作基本支持机构410和安全支持机构430。 

另一方面，就如前所述及，为了要能够支持各式各样尺寸的面板，其中特别是基本支持机构410必须要设定为能够彼此互相接近及分离的构造，另外移载机构400a、400b本身也必须要设定为能够顺着X轴、Y轴及Z轴移动，因而能够搬送及载放面板到面板承载机组110上面，以及载放到第一及第二作业平台300a、300b之上，接着又可以将载放在第一及第二作业平台300a、300b上的面板搬送到面板卸载机组130之上。 

因此，在本发明的加工型态当中，移载机构400a、400b会沿着一条连结面板承载机组110和面板卸载机组130和的虚拟的X轴移动，故需要包含能够驱动及结合基本支持机构410和安全支持机构430所连结的头部机构440的X轴驱动装置461，和与X轴呈直角相交，可驱动头部机构440沿着Y轴移动的Y轴驱动装置462，还有可以驱动头部机构440沿着Z轴朝上下方向移动的Z轴驱动装置463。

X轴驱动装置461、Y轴驱动装置462及Z轴驱动装置463可以采用容易实施线形移动控制的线性马达，但也可以视实际情况，采用汽缸结合马达、滚珠轴承的组合式构造等来进行控制。 

另外如前所述，在完成面板研磨加工后，再度将面板搬送至卸载机组130之后，作业平台300a、300b会开始准备，朝向面板承载机组110的方向移动，以便再度重复新的作业循环。不过，此时载置过加工过的面板的作业平台300a、300b之上面，会残留有上一回研磨加工时所产生的异物，故必须要先清洗过载置过面板的作业平台300a、300b的表面之后，才能够再度载放下一片要加工的面板。若是未经清洗，即载放新的面板于作业平台300a、300b之上时，残存在作业平台300a、300b上面的异物会污染到尚未加工的面板。 

因此，在本发明的加工型态当中，R角加工研磨机组当必须要包括，配置在研磨加工机组120和面板卸载机组130之间，用来清洗作业平台300a、300b的表面的作业平台清洗机组530(请参考图2)，还有用来控制喷射清洗流体到作业平台300a、300b的表面上的作业平台清洗机组530的动作的控制机构(无图示)，由于具备上述的清洗机组，才能够防止残存在作业平台300a、300b上的异物污染后面要进行研磨加工的面板。 

此处的清洗机组控制装置，要控制的是当在将完成研磨加工的面板搬送至面板卸载机组130，接着未载置面板的作业平台300a、300b朝向要搬放新的面板加工的面板承载机组110的方向移动时，要让作业平台清洗机组530作动，以除去作业平台300a、300b的表面可能残存的异物，还有，当作业平台300a、300b通过平台清洗机组530的喷射之后，即能够停止作业平台清洗机组530的动作等控制的功能。 

在本发明的加工型态当中，作业平台清洗机组530即是如图2及图9中所示的，分别具备两组单位清洗装置531a，531b，并且应被配置在横向面对第一及第二作业平台300a、300b的移动线形上的移动方向的位置，还应包括有可连结两组单位清洗装置531a、531b的设备支架545。 

但由于上述两组单位清洗装置531a、531b事实上是属于相同的构造，故以下将只针对配置在第一作业平台300a上方的一对单位清洗装置531a进行说明。 

一对单位清洗装置531a，会如图9及图11中的详图所示，是沿着第一作业平台300a之上方的移动线形配置并移动的，同时设计用来朝向第一作业平台300a之上面方向喷射清洗流体。此时，一对单位清洗装置531a会以呈扁平方向 的角度，对着残留在第一作业平台300a上面的异物喷洒，以便让异物朝向作业平台之外侧脱落，因此是以相互对称的角度作倾斜地安装。 

换言之，清洗流体的喷射方向是朝向第一作业平台300a上方的平面方向倾斜的角度配置，因而能够通过清洗流体的压力将残留在第一作业平台300a上面的异物，冲离作业平台之外侧。所谓第一作业平台300a之上方，就是指包括前述的转盘310及复数的可变作业平台320之上面。 

因此，为了要让单位清洗装置531a可以最大限度有效地除去残留在作业平台570a上的异物，而必须要调整清洗流体朝作业平台喷射的方向，故单位清洗装置531a固定在设备支架545之上时，亦要设定为可朝向多个方向转动的形式。 

若是再针对上述单位清洗装置531a的具体构造作一说明，在本发明的加工型态当中，单位清洗装置531a当中应该要包括，配备有可朝向第一作业平台300a喷射清洗流体的喷嘴的喷射机构装置532，和设备支架545以便支持及固定喷射机构装置532朝向各个方向转动，还有与此设备支架连结的连结转动组件540。 

该喷射机构装置532又包括，能连结转动机构533对连结转动组件540进行连结转动，实际上会与转动机构533呈并联旋转，以让清洗流体从位于上方的部位朝向内侧方向移动，而且清洗流体还会在喷射机构装置534呈凹陷状的移动空间534s中流动，还有应包含组装在喷射机构装置534之上面，用以遮蔽喷射机构装置534之内部和外部的遮蔽装置535。 

于此，若是结合喷射机构装置534和遮蔽装置535时，其尖端部位会配置一个与移动空间534s形成连通状态的狭缝式喷嘴534h，清洗流体会通过喷嘴534h斜斜地朝向第一作业平台300a上面喷射，以便彻底地清除留在第一作业平台300a上的异物。 

首先转动机构533会如图10及图11中所示的，连结转动组件540并对着“θ1”的方向行进及转动。因此，可以通过喷射机构装置534的喷嘴534h调节所喷射的清洗流体的喷射方向。意即，必须要容易调节对着第一作业平台300a的喷射机构装置534的倾斜角度，以便清洗流体的喷出压力足够将残留在第一作业平台300a上的异物朝向外侧吹出。 

至于遮蔽装置535是为了保护配置于喷射机构装置534内侧组件，即是为了防止外部异物侵入需容纳清洗流体移动的喷射机构装置534之内侧，故会把遮蔽装置535连结在喷射机构装置534之上方。而且，遮蔽装置535非但要足以保护喷射机构装置534内侧的结构，还设计得很容易连结及分离，故其优点 就是容易维修喷射机构装置534之内侧的构造。 

此外，由于上述的喷射机构装置532是连结在连结转动组件540之上，故又包括锁附于设备支架545之上的支架缔结机构541，和连结转动机构542以便利用转动机构533为中心轴转动的转动机构533，还有配置于支架缔结机构541及连结转动机构542之间，能够让连结转动机构542对着支架缔结机构541进行相对性转动的连结机构543。 

由于具备有上述的连结转动组件540的构造，故喷射机构装置532不但可以朝向“θ₁”的方向转动，也能够让连结转动机构542对着支架缔结机构541朝向“θ₂”的方向，进行相对性的转动，因此喷射机构装置532的整体机组可以对着连结转动组件540朝向“θ₂”的方向进行相对性的转动。因此，只要适度地调整单位清洗装置531a对第一作业平台300a的倾斜角度，即能够有效地除去残存于第一作业平台300a上的异物。 

另一方面，在实施前述的第一作业平台300a的清洗作业时，并不需要暂时中断制程，在实施清洗作业当中，制程仍然可以持续进行。意即，已经完成研磨加工的面板被搬送到面板卸载机组130之上，接着未载置面板的第一作业平台300a可以沿着作业移动线形朝向下一步作业移动，即再度朝向面板承载机组110的方向移动，此时，作业平台清洗机组530同时启动动作，把残留在第一作业平台300a上面的异物除去。因此，可以缩短面板研磨加工机组工程的循环工时，而达成提升全部的加工作业生产效率。 

同时，在本发明的加工形态当中，如上述，为与作业平台300a、300b的数量相对应，而配合作业平台数量结合安装单位清洗装置531a、531b，是连结在设备支架545之上，此设备支架是为了连结一对单位清洗装置以便进行移动的形式，同时也可以采取交替的形式移动，以便对复数的作业平台实施清洗作业。 

另外，参考图2、图12及图16时，也可发现如前面所述，在本发明的加工型态当中，在R角加工研磨机组中的面板卸载机组130之上方，还会配置有测量研磨加工后的面板的R角研磨量的测量装置630。这是因为在对面板进行R角的研磨加工时，必须要研磨规定的标准R角研磨，例如，由于必须要测量出面板的研磨量是否有超过规定的标准，故必须要利用R角研磨量的测量装置630以便正确地测量出面板的R角研磨量，再将测量结果回馈给研磨加工机组的共用砂轮126，以补正面板的R角研磨量，这也是为了能够正确地对后续的面板进行研磨加工，故应测量出正确的研磨量。

不过也如前述，在利用以往的技术实施R角加工研磨的时候，由于测量R角研磨量的测量装置(无图示)会被安装在研磨R角加工机组20(参考图1)之上，同时要测量其研磨量，因而会有增加整体的循环工时的问题。意即，在习用的加工技术中，因为需要利用配置在研磨R角加工机组20之上的R角研磨量的测量装置，进行R角研磨量的测量的故，非但会因而造成增加研磨加工机组作业工时的问题，而且为了测量R角研磨量，必须要另外安排停止面板移动的时间，即造成以往的研磨机工时较浪费的问题。 

因此，在本发明的加工型态当中，为了解决R角加工研磨机组的工时增加的问题，故在将已经完成研磨加工的面板搬送到外部的面板卸载机组130，并顺着面板卸载的滚轴搬放面板时，将R角研磨量测量装置630安装在面板卸载机组130之上下方，以便同时测量面板的R角研磨量。以下将针对R角研磨量测量装置630的结构作一详细说明。 

请参考图2、图12及图16，在本发明的加工型态当中，R角研磨量测量装置630会被分别安装在面板卸载机组130之上方及下方，包括用来测量面板的短边边缘部份的R角研磨量测量装置630，和配置在面板卸载机组130的纵长方向，并与的相交叉的横向位置的测量装置631，以及可结合移动上述装置的测量支架633，和装载着测量装置631沿着测量支架633的纵长方向移动，并可调节面板测量装置631的位置的移动支架635，还有安装在移动支架635之上，可控制测量装置631之上下升降动作，并且控制测量装置631对面板卸载机组130进行接近及分离动作的升降驱动装置637。 

在本发明的加工形态当中，为了测量面板一侧短边的边缘部份的的R角研磨量，会在面板卸载机组130之上方及下方配置一对测量装置631，而总共在面板的两侧短边边缘部份配置两对测量R角研磨量的装置。 

由于测量装置631可在升降驱动装置637的控制下，在移动支架635上进行上下升降的动作，并可以沿着面板卸载机组640的滚轴(无图示)，以接近或是分隔的形式对准被搬送的面板的两侧短边边缘部份做研磨量的测量。还有，连结测量装置631移动的支架635则可以沿着测量支架633的纵长方向，以伸缩自如的方式朝向左右方向调整测量面板的尺寸大小的位置，因此，本机组中安装测量装置631可以弹性地运用于测量尺寸相异的复数面板的R角研磨量。 

在此可以沿着测量装置631的移动支架635的高度方向，安装可控制升降驱动装置637的线性移动(liner motion)的线性马达。还有，也可以另外安装一组 移动驱动装置638，以便驱动移动支架635对测量支架633进行线性移动。 

在本发明的加工型态当中，为了让测量装置631得以正确地测量面板的R角研磨量，故可使用能对准研磨加工中的面板两侧短边边缘部份，故采用可进行连续拍摄的线性扫瞄摄影机(line scan camera)。因此，本机组的优点在于能够正确地测量面板的R角研磨量，以及其研磨状态等。 

不过，在本发明的加工形态当中，虽然可利用线性扫瞄摄影机安装在测量装置631之上，但也可以使用区块范围摄影机(area camera)等来测量面板面板的R角研磨量，以及其研磨状态。虽然区块范围摄影机和线性扫瞄摄影机不同，它只能拍摄被加工研磨的面板的两侧短边边缘的一小部份，但是仍然是可以和线性扫瞄摄影机相同地，能够正确地测量面板的R角研磨量，以及其研磨状态等。 

此外，在本发明的加工型态当中，在利用R角研磨量的测量装置631测量过完成研磨加工的面板的R角研磨量后，平面显示器用的R角加工研磨机组就会根据所测量到的值，回馈给研磨加工机组用的砂轮126，以补正R角研磨量，并据以再调整今后要加工的面板的R角研磨量，故应再包括可控制研磨加工机组用的砂轮126的控制机构(无图示)。 

换言之，测量装置631会利用摄影的方式测量研磨加工机组对面板的R角研磨量，若是面板在加工研磨过后，测量发现有部份的地方不符合规定的标准，而需要再度进行加工时，控制机构就会根据测量得到的R角研磨量的情报，进行补正R角的研磨量，而再度调整研磨加工机组用的砂轮126的位置。若是更进一步详细说明的话，假设面板被加工研磨的部份的超过规定的标准时，则控制机构会将研磨加工机组用的砂轮126之间隔调小，以缩小后面进行研磨加工的面板的研磨量；而假设面板的研磨加工的部份的未达到规定的标准时，控制机构即会将研磨加工机组用的砂轮126之间隔加大，以便补正R角研磨量，并加深对后来必须进行研磨加工的面板的R角研磨量，这就是利用测量装置631进行R角研磨量测量的方法。 

还有，在本发明的加工型态当中，R角研磨量的测量装置630在实施对测量其面板R角研磨量之前，应该再加入设置可除去面板在进行研磨加工后所残余的部份异物的异物清除机构641。在利用异物清除机构641除去残留在面板的两侧短边边缘部份上的异物之后，即可利用测量装置631正确地测量R角研磨量。

在本发明的加工型态当中，异物清除机构640会如图13及图16中所示，设置在可由移动面板的单侧开放式隧道641s当中，包括有连结移动支架635向着面板承载机组110的方向移动，并朝向内侧方向喷射清除异物用的作业流体的移动空间642s(参考图16)呈凹陷状态的异物清除机构641，还有设在异物清除机构641的中，会向通过移动空间642s的面板的长边或是短边，喷射去除异物用作业流体的喷射机构装置642。又包括有配置在喷射机构装置642的中，可任意拆卸并遮蔽异物清除机构641之内部及外部的遮蔽装置643。 

在此，于移动空间642s中移动的清除异物用的作业流体会形成在连结喷射机构装置642和遮蔽装置643之间的部份，意即，清洗流体会通过连结在喷射机构装置642和遮蔽装置643之间的喷嘴642h喷射出来。为了有效地让清除异物用的作业流体喷洒出来，所以喷射出口642h必须要以对面板倾斜的角度方式安装，才能有效地清除残留在面板上的异物，因此喷射出口642h应该要安装在连接异物清除机构641之上端和下端的一条虚拟的直线上。 

异物清除机构641应被固定在移动支架635之上，并在移动或折迭移动支架635时，同时也能够移动测量支架633。因而能够配合面板的尺寸大小，来调节位于面板两侧的异物清除机构641的位置，也因为这样的设计，面板可以通过位于异物清除机构641的隧道部份的641s中的测量装置631，而接着进行研磨量的测量。 

此外一对喷射机构装置642会被配置在开放式隧道641s的异物清除机构641的另面呈彼此相对向的形式，而且是对着邻遮蔽装置643的一面倾斜设置。因此，不但可以朝着面板两侧短边边缘部份喷射清除异物的气体，以除去加工研磨时所产生的面板两侧短边边缘部份的异物，同时还可用测量装置631正确地测量面板的R角研磨量。 

遮蔽装置643的功用是为了用来保护设在异物清除机构641内侧的流体移动管(无图示)，故此遮蔽装置643是采用活动式拆卸方式安装在异物清除机构641的某一面。这种设计不但可让遮蔽装置643足以保护设在异物清除机构641之内侧中的装置，因为容易安装及拆卸，因此也很容易对异物清除机构641之内侧组件进行维修工作。 

再进一步对拥有此种构造的R角加工研磨机组的作用详加作一说明，请看如下的解释内容。 

当需要进行研磨加工的面板被从面板承载机组110移放到第1移载机构 400a，接着再载置到第一作业平台300a之上时，首先位于第一作业平台300a上面的对位摄影机125会拍摄面板的对位记号。拍摄到的影像情报就会被传送到图示上所未出现的控制机构，而由控制机构操纵第一作业平台300a对着X轴、Y轴及z轴的旋转动作，就是利用这种方式进行第一作业平台300a上面的面板对位作业。 

当对着第一作业平台300a上的面板完成对位作业之后，作业平台就实际进入研磨加工的作业。而为了要进行研磨加工作业，研磨加工机组用的共用砂轮126会顺着共用起重支架机构124的引导下，沿着图2的实线位置移动。在进行研磨加工时，第一作业平台300a会向着研磨加工机组用的共用砂轮126移动，或者也可能是相反地由研磨加工机组用的共用砂轮126朝向第一作业平台300a移动，而依序对面板的进行方向之前面两侧边缘，两侧短边边缘，还有后面两侧的边缘等分别按顺序进行研磨加工的作业。 

当研磨加工机组完成了对面板进行方向之前面两侧边缘，两侧短边边缘，还有后面两侧的边缘等的研磨加工工作之后，第一作业平台300a会绕着z轴旋转。因此，这时第一作业平台300a会呈现横向配置的状态。此时因为本发明的研磨加工机组不需要像以往的旧机种一般地需另行使用搬送机器人(pick-uprobot)抬放面板，而只须由第一作业平台300a本身绕着z轴旋转的故，因而无需像旧型加工机器一般地，还要二度对面板进行对位作业，因此可以大幅缩短加工的循环工时。 

当第一作业平台300a绕着z轴旋转时，即可接着对面板两侧的长边边缘进行研磨加工的作业。此时也是一样，也可以由第一作业平台300a朝向研磨加工机组用的共用砂轮126移动，或者也可能是相反地由研磨加工机组用的共用砂轮126朝向第一作业平台300a移动，而对面板的两侧长边边缘进行研磨加工作业。 

完成研磨加工作业的面板会被第2移载机构400b移放到面板卸载机组130之上，同时在面板卸载机组130之上面，进行R角研磨量的测量。但若是发生测量出的研磨量不正确的状况时，或是R角研磨量不足的状况时，本发明的加工机组即会将此一资讯回馈出去，以决定该片面板是否要报废，或是必须再度送回面板承载机组110侧，以便进行二度的研磨加工作业。 

另一方面，如上所述，当前面的面板在第一作业平台300a之上进行对面板的四个角落，长边及短边边缘的研磨加工作业的过程当中，与的同步并行地， 本机组已经准备好将新的一片搬送到可进行面板研磨加工作业的第二作业平台300b之上，以备进行相同的研磨加工作业。换言之，在本发明的加工形态当中，第一及第二作业平台300a，300b是采取相互并列的构造配置，故整体的研磨加工作业是完全不中断，也无待机时间的状态下连续地在第一及第二作业平台300a，300b之上进行加工作业，故研磨加工机组和研磨机123之间是相互同步进行的作业。例如，当面板在第一作业平台300a之上，朝着面板的进行方向对着面板之前面两侧边缘，两侧短边边缘，以及后面两侧边缘等分别依序进行研磨加工的作业之后，当第一作业平台300a在绕着z轴旋转的时候，下一片等待进行研磨加工作业的面板，已经被载置在第二作业平台300b之上，并正由第二作业平台300b上面的对位摄影机125完成对位工作，而且也要开始对着面板进行研磨加工作业等，所以在研磨加工机组上作业的第一及第二作业平台300a、300b之上面，还有研磨机123能够以相互并列的方式，同步地进行加工。还有一项与的同步并行的是，当作业平台300a、300b朝向面板承载机组110侧移动，以便装载下一片新的面板时，作业平台清洗机组530会先清洗此两组作业平台的表面，以预防异物污染后面的新加工面板，更进一步地防止发生不良现象。而且，如同上述的说明，无论是对大尺寸或小尺寸的面板，无论面板的尺寸大小全都适用于本发明的R角加工研磨机组，故对支持及载置面板的第一及第二作业平台300a、300b上面的全体面积，只要依照图3及图4所示的方法实施调整之后，即很容易使用，因此本加工机组的适用范围更广。 

如上所述，若是利用本发明的加工实施形态，对面板进行研磨加工时，能够比向来的旧型机种缩减许多循环工时，而能提高生产效率。还有，无论第一及第二作业平台300a、300b中的任一组作业平台发生故障时，仍然无须中断设备的加工作业，可继续进行加工。 

图17所显示的，就是利用本发明的其他加工实施形态，对平面显示器进行加工的R角加工研磨机组的概略构成图； 

在本发明的加工型态当中，也如前述，可以同时适用于加工形态完全相异的构造的研磨机123a。意即，如图17中所示的，在本发明的加工型态当中，研磨机123a也是一样具备了复数的对位摄影机125a，和复数的研磨加工机组用的砂轮126a，和复数的对位摄影机125a，以及支持摄影机的固定支架127，还有复数的研磨加工机组用的砂轮126a，和支持及固定砂轮用的起重支架机构128。 

在前述的加工实施形态当中，特别是用于研磨加工的砂轮，其构造也可以 适用于第一及第二作业平台300a，300b当中的所有研磨加工机组的共用砂轮126，在本发明的加工型态当中，对位摄影机125a及研磨加工机组用的砂轮126a，在第一及第二作业平台300a，300b当中每一组作业平台皆配置两组分别独立的加工用砂轮。 

若是在同步共用的状态下时，对位摄影机125a及研磨加工机组用的砂轮126a总共会分别安装四组，而此时由于无须要使用前述的加工形态中的共用起重支架(gantry)机构124，故会如图示一般的，只要连结四组对位摄影机125a并且固定在摄影机固定支架127之上，而且，四组研磨加工机组用的砂轮126a组合在支持砂轮用的起重支架(gantry)机构128之下，即足以应用。 

请参看图17，两组研磨加工机组用的砂轮126a是分别被配置在支持砂轮用的起重支架(gantry)机构128的两侧，但也是可以被配置在这些支持砂轮用的起重支架(gantry)机构128的单侧形成一列单行的配置。 

在本发明的加工型态当中，即使是采用上述的结构，当在进行对面板研磨加工的时候，仍然是可以比习知的旧型机种，能够充分地缩减循环工时，具有高度的提升生产效果。 

特别是在本发明的加工型态当中，当第一及第二作业平台300a、300b的中的任何一组，或是两组对位摄影机125a，及研磨加工机组用的砂轮126b的中的任何一组发生故障时，仍然无须中断设备的加工作业，可继续进行加工，因而能够大幅提高生产性。 

如上所述，相信有意采用的业者皆可明白，本发明并不限定非要采取上述的加工实施形态，只要不偏离本发明的基本考量范围，完全可以实施各式各样的修正及改变。所有的修正实施例或者是变形实施例，皆列属于本发明的权利要求范围内。

Claims (44)

1.一种平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，包括有：

承载面板的面板承载机组；

对上述面板实施研磨R角加工的研磨加工机组；以及

卸载上述面板的面板卸载机组；

载置及固定上述面板，并与连结上述面板承载机组和面板卸载机组之间的一条虚拟作业线形呈直角相交，并且彼此相互分离配置的复数作业平台；以及

载置于上述复数的作业平台，并具备有能够进行面板的对位作业的至少一组对位摄影机，和载置于上述复数的作业平台，并具备有所述研磨加工机组所包括的对面板进行研磨加工作业的至少一组的砂轮研磨机；

该复数作业平台为包含顺着连结上述面板承载机组和面板卸载机组之间的一条虚拟的作业线形，并与之呈横向配置的两组第一作业平台及两组第二作业平台；

该复数作业平台为执行面板的对位作业，而设定允许该作业平台在机组上的指定位置，顺着X轴、Y轴及z轴进行旋转动作以便作业；

该复数作业平台应该还包含有：

吸附面板并使之旋转的至少一组转盘，以及

对该转盘进行接近及分隔的动作，并配置于转盘之外围，并能够配合面板的尺寸大小，并且与上述的转盘呈相对的配置位置，且和上述转盘一起吸附并固定面板的复数可变作业平台。

2.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨机又包括：

配置于沿着连结于上述第一及第二作业平台的一条虚拟的作业线形，并横跨上述第一及第二作业平台配置，用以固定及支持上述至少一组的对位摄影机的摄影机固定支架；

上述至少一组的对位摄影机是用来针对一个面板进行其两侧边缘的摄影，而独立地安装及固定在上述第一及第二作业平台之一的每一组上方，对位摄影机安装配置在一个摄影机固定支架。

3.如权利要求2所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，在第一及第二作业平台当中安装至少一组的研磨加工机组用的砂轮，第一及第二作业平台中的每一个平台上分别独立设置两组分别独立的加工用砂轮；

该研磨机是设置在连结于上述第一及第二作业平台的一条虚拟的作业线形上，并且横跨在上述第一及第二作业平台之上面，进而再结合上述研磨加工机组用的砂轮，以及固定砂轮用的起重支架机构。

4.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，至少一组的研磨加工机组用的砂轮为第一及第二作业平台都能够共用的研磨加工机组的共用砂轮；以及

至少一组的对位摄影机为上述第一及第二作业平台都能够共用的对位摄影机。

5.如权利要求4所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨机又包括有：

连结于上述第一及第二作业平台的一条虚拟的作业线形之上，并且横跨在第一及第二作业平台之上面配置的共用起重支架机构；

该研磨加工机组用的砂轮则是安装在共用起重支架机构部位的一侧，而共用对位摄影机则又是安装在共用起重支架机构部位的另一侧。

6.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于上述至少一组的对位摄影机则是配置于面板的两侧边缘进行对位摄影，而在上述第一及第二作业平台中每一个作业平台上分别安装的两组独立的对位摄影机。

7.如权利要求6所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨机又包括有：

沿着连结于上述第一及第二作业平台的一条虚拟的作业线形，并且横跨在第一及第二作业平台之上所配置的共用起重支架机构部位；

以及配置在共用起重支架机构部位的一侧的对位摄影机；

而研磨加工机组用的砂轮是安装在上述共用起重支架机构部位的另一侧。

8.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨加工机组用的砂轮是能够对上述面板的4个角落，长边及短边边缘都能进行加工。

9.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，至少有一组的转盘应设置在机台的中央，而复数可变作业平台则是在上述位于机台中央的转盘之外围，以彼此相互对称的方式共计配置四组。

10.如权利要求9所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，当可变作业平台接近位于机台中央的该转盘时，为防止冲撞到转盘，该可变作业平台的侧面形成一个切开机构部位。

11.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该转盘的表面应形成能够利用真空吸附面板的复数的第一真空孔洞，

且在该可变作业平台的表面上另包括有为了对面板作真空吸附的复数的第二真空孔洞，而由复数的真空配管对个别的第二真空孔洞执行开/关控制。

12.如权利要求11所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该复数真空配管又包括和复数的真空配管连结的中间配管；

该真空配管乃分别隔着和上述每一条中间配管相邻的一对的可变作业平台，以彼此相互对称的方式做分岐配对。

13.如权利要求11所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨加工机组又包括配置在上述第一及第二真空孔洞的周围，并且会从该转盘及可变作业平台的表面朝向下方凹陷至固定深度，以形成固定形状的线条状态，增加对上述面板的表面的真空吸附面积的第一及第二真空吸附线槽。

14.如权利要求13所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该第一及第二真空吸附线槽是于第一及第二真空孔洞当中每一个孔洞分别配置有一个线槽。

15.如权利要求9所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨加工机组又包括驱动四组上述可变作业平台能够对位于机台中央的转盘进行接近及分离动作的平台的驱动装置部份。

16.如权利要求15所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该可变作业平台的驱动装置中包括有：

分别连结两个一组的可变作业平台的一对连结组件；以及当上述一对连结组件进行正向旋转或逆向旋转时，控制上述一对连结组件彼此相互接近及分离动作的滚珠轴承；以及控制上述滚珠轴承的正向旋转或逆向旋转的单一驱动马达。

17.如权利要求16所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨加工机组又包含配置在上述可变作业平台和上述连结组件之间，调节上述连结组件对可变作业平台的平坦度的平坦度调节机构。

18.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该研磨加工机组又包括，在上述面板承载机组和上述研磨加工机组之间及在上述研磨加工机组和面板卸载机组之间分别设有沿着X轴、Y轴及Z轴移动，并能够移载上述面板的面板移载机构；

该面板移载机构是呈能够彼此互相分离及互相接近移动的形式，

并且该面板移载机构另包括，能够在面板的两侧固定住面板的复数基本支持机构，以及

在搬送上述面板，或在中途停止时，能够防止面板从上述基本支持机构脱落，故在与上述基本支持机构彼此相互分离及接近的直角相交的方向上，设置能够支持及固定面板的至少一组安全支持机构。

19.如权利要求18所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该面板移载机构又包括：

结合复数基本支持机构和至少一组安全支持机构的头部机构；

该复数基本支持机构是设置于上述头部机构的两侧面，

该至少一组的安全支持机构是设置于朝向研磨加工机组或面板卸载机组的上述的头部机构的前面。

20.如权利要求19所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该复数基本支持机构是分别设置在头部机构的两侧面，每一个侧面各设置两个，合计共四个基本支持机构，所述至少一组的安全支持机构应设置一个。

21.如权利要求20所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该面板移载机构更包括分别连接到四个基本支持机构的一对连结机构；

及在头部机构之上设置有驱动装置，该驱动装置包括能够引导上述一对连结机构移动的一对导引装置，驱动该对连结机构彼此互相接近及分离。

22.如权利要求20所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该面板移载机构又包括：连结在上述头部机构的固定杆；以及

能够在上述固定杆上转动安全支持机构的转动支持机构。

23.如权利要求18所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该复数基本支持机构和上述至少一组的安全支持机构，是和面板的侧面呈接触状态，形成形状在面板之下方。

24.如权利要求18所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该面板移载机构是顺着连结面板承载机组和面板卸载机组之间的一条假设的X轴设置，并且由一个能够驱动复数的基本支持机构，和上述至少一组的安全支持机构的X轴驱动装置构成，以及沿着和上述X轴交叉的Y轴，并能够驱动上述复数的基本支持机构，和上述至少一组的安全支持机构的Y轴驱动装置，还有能够将上述复数的基本支持机构，和至少一组的安全支持机构朝上下方向升降，即沿着Z轴驱动的Z轴驱动装置构成。

25.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，为承载下一片待加工的面板，安装在紧邻研磨加工机组上，且朝向面板承载机组方向移动的第一及第二作业平台表面，还包含有一配置专为清洗第一及第二作业平台用，喷射清洗流体用的作业平台清洗机组。

26.如权利要求25所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该作业平台清洗机组又包括有和上述第一及第二作业平台的移动方向呈直角交叉的横向位置的设备支架，以及位于作业平台上方，且能够在上述的设备支架上作自由装卸组合，在上述作业平台的表面喷射清洗流体的至少一组的单位清洗装置。

27.如权利要求26所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该单位清洗装置朝向第一及第二作业平台的表面喷射的清洗流体，是为从第一及第二作业平台之内侧朝向外侧方向进行喷射，该单位清洗装置是以朝向设备支架呈倾斜方式固定于设备支架上。

28.如权利要求27所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该单位清洗装置在每一个第一及第二作业平台上分别安装一对，且被固定在设备支架上；而分别安装在该第一及第二作业平台上的一对单位清洗装置，是呈彼此相互对称倾斜的角度固定在设备支架上。

29.如权利要求26所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该单位清洗装置又包括有安装在第一及第二作业平台表面上具有能够喷射清洗流体的喷嘴的喷射机构装置，该喷射机构装置是连结在设备支架上且能够转动，该单位清洗装置还包括有一结合喷射机构装置设备支架上的连结转动组件。

30.如权利要求29所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该喷射机构装置能够连结一转动机构及对该连结转动组件进行连结转动，并与所述转动机构呈并联旋转，以让清洗流体从位于上方的部位朝向内侧方向移动。

31.如权利要求30所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该喷射机构装置又包括有结合于该喷射机构装置上端部位，并遮蔽喷射机构装置之内部及外部机构的遮蔽装置，在喷射机构装置的尖端部位，并设置有彼此相互分隔呈狭缝状的喷嘴。

32.如权利要求30所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该连结转动组件又包括有：

连结设备支架上的支架缔结机构；以及

连结转动机构，以便利用转动机构为中心轴而转动，还有配置于支架缔结机构及连结转动机构之间，能够让连结转动机构对着支架缔结机构进行相对性转动的连结机构。

33.如权利要求25所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该作业平台清洗机组，是安装在研磨加工机组和面板卸载机组之间。

34.如权利要求25所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，研磨加工机组又包括一控制机构：当完成面板研磨加工，面板会被移送到面板卸载机组之上，当第一及第二作业平台朝向面板承载机组的方向移动时，能够控制作业平台清洗机组朝向第一及第二作业平台喷射清洗流体用以控制上述作业平台清洗机组的动作。

35.如权利要求1所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，又包括有一R角研磨量的测量装置，该R角研磨量的测量装置是设置在上述面板卸载机组之上，当研磨加工机组完成对面板的加工后，能够用来测量R角研磨量。

36.如权利要求35所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该R角研磨量的测量装置又包括，分别安装于上述面板卸载机组之上方及下方，以便对着由面板卸载机组搬送过来的面板的长边或是短边，测量其R角研磨量的至少一对R角研磨量的测量装置。

37.如权利要求36所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该至少一对R角研磨量的测量装置又包含，对着由面板卸载机组搬送过来的面板的一对长边或短边以进行连续拍摄的两对摄影机。

38.如权利要求37所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该摄影机是为线性扫瞄摄影机，或区块扫瞄摄影机。

39.如权利要求36所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该R角研磨量的测量装置是沿着面板的搬送方向并与该搬送方向呈横向的直角相交形式设置呈彼此相互分隔，该R角研磨量的测量装置包括有配置在向着面板搬送方向且在该R角研磨量的测量装置之间的一对用于除去面板上残留异物的异物清除机构。

40.如权利要求39所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该异物清除机构是安装在呈单侧开放式的隧道中，当面板卸载机组在装载及搬送面板时，面板的长边或是短边通过单侧开放式隧道，配合形成凹陷状能够从内侧向面板喷洒流动的清洗作业流体以清除异物的移动空间；

又包括一安装在该异物清除机构上，用以喷洒异物清除流体用的喷射机构，当面板长边或是短边通过上述的移动空间时，清除作业流体即会喷洒在面板上。

41.如权利要求40所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，为保护安装在上述异物清除机构之内侧的移动流体管线，又包括有一在该异物清除机构的单面装卸的活动式遮蔽装置；该喷射机构和该遮蔽装置相互分隔连结，形成连通至上述的移动空间和外部的喷射出口。

42.如权利要求41所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该喷射出口是以斜角方式安装在异物清除机构之上端及下端，以对准一条假想直线呈倾斜的方式安装。

43.如权利要求39所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该R角研磨量的测量装置应固定在移动支架上，并且又包括有一能够对着面板卸载机组执行接近及分离动作的升降驱动装置。

44.如权利要求43所述的平面显示器用的面板R角加工研磨机组，其特征在于，该异物清除机构应连结于移动支架上，其清洁作业流体是为用来清除异物用。

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