CN221140004U - 一种石墨舟高精度供收料定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石墨舟高精度供收料定位装置，其包括第一电机、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、设置在所述第一支撑板移载路径上的供收料工位、设置在所述第一支撑板上的输送线、在所述输送线上输送的石墨舟载具、放置在所述石墨舟载具上的石墨舟、设置在所述第一支撑板上且对所述石墨舟的前后位置进行定位的端部定位模组、设置在所述第一支撑板上且对所述石墨舟载具的四周位置进行定位的载具定位模组以及设置在所述供收料工位处且位于所述第一支撑板外部两侧的石墨舟侧夹归正模组。本实用新型能够对石墨舟的位置进行精准的归正与定位，保障硅片能够安全且可靠的进出，避免损坏硅片。
Description
【技术领域】
本实用新型属于硅片制造设备技术领域，特别是涉及一种石墨舟高精度供收料定位装置。
【背景技术】
硅片在原子层沉积设备中进行镀膜时，需要将硅片放置于固定载具石墨舟上，然后送入原子层沉积设备进行镀膜处理，镀膜完成后，再从石墨舟中取出。石墨舟是硅片进行镀膜时的一种载体，结构中有很多具有一定间隔的舟片，而在两个相邻舟片之间有一个距离很窄的空间，硅片则放置在该空间内。在镀膜前，需要将硅片从花篮中取出，然后放置到石墨舟中，石墨舟再进入镀膜设备内进行镀膜，实现供料；当镀膜完成后，石墨舟承载硅片从镀膜设备中输出，需要将硅片从石墨舟中取出然后放回到花篮中进行后续流转。然而，石墨舟中用于承载硅片的插槽是通过两侧的舟片围挡而成，舟片的厚度非常薄，而长度却较长，因此，难免不会出现局部变形的现象，导致硅片在进出石墨舟插槽时出现卡死现象，进而损坏硅片。
因此有必要提供一种石墨舟高精度供收料定位装置来解决上述技术问题。
【实用新型内容】
本实用新型的主要目的在于提供一种石墨舟高精度供收料定位装置，能够对石墨舟的位置进行精准的归正与定位，保障硅片能够安全且可靠的进出，避免损坏硅片。
本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种石墨舟高精度供收料定位装置，其包括第一电机、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、设置在所述第一支撑板移载路径上的供收料工位、设置在所述第一支撑板上的输送线、在所述输送线上输送的石墨舟载具、放置在所述石墨舟载具上的石墨舟、设置在所述第一支撑板上且对所述石墨舟的前后位置进行定位的端部定位模组、设置在所述第一支撑板上且对所述石墨舟载具的四周位置进行定位的载具定位模组以及设置在所述供收料工位处且位于所述第一支撑板外部两侧的石墨舟侧夹归正模组。
进一步的，所述输送线的左右两侧设置有对所述石墨舟载具两侧进行导向限位的若干导向限位滚轮。
进一步的，所述端部定位模组包括固定在所述第一支撑板上且位于所述输送线前端的前端阻挡滚轮组、固定在所述第一支撑板上的且位于所述输送线后端的支架、固定在所述支架上的第一气缸、受所述第一气缸驱动进行上下运动的第二支撑板、固定在所述第二支撑板上的第二气缸以及受所述第二气缸驱动进行前后运动的后端阻挡滚轮组。
进一步的，所述载具定位模组包括固定在所述第一支撑板上的且位于前端的限位挡板、固定在所述第一支撑板上且位于后端的第三气缸、受所述第三气缸驱动进行旋钮运动的压紧块、位于所述输送线一侧的若干第四气缸以及受所述第四气缸驱动进行左右运动的侧压板，所述石墨舟载具的尾部设置有与所述压紧块配合的凹槽。
进一步的，所述石墨舟侧夹归正模组包括相对设置在所述输送线左右两侧的左侧夹压模块与右侧夹压模块，所述左侧夹压模块与所述右侧夹压模块均包括第二电机以及受所述第二电机驱动进行左右运动的且夹持住所述石墨舟外侧表面设定区域的侧夹板。
与现有技术相比，本实用新型一种石墨舟高精度供收料定位装置的有益效果在于：将石墨舟上的插槽区域分区，通过采用第一电机精准的控制石墨舟这些分区插槽分步骤分批次的依次达到供收料工位，在供收料工位处通过石墨舟侧夹归正模组对该分区插槽最外侧的舟片平面位置进行归正，进而保障插槽的位置精准且不会出现变形，保障硅片安全精准的进出石墨舟。
【附图说明】
图1为本实用新型实施例的立体结构示意图；
图2为本实用新型实施例放置有石墨舟的侧视结构示意图；
图3为本实用新型实施例的部分爆炸结构示意图；
图4为本实用新型实施例前侧的局部结构示意图；
图5为本实用新型实施例后侧的局部结构示意图；
图6为本实用新型实施例石墨舟侧夹归正模组的结构示意图；
图中数字表示：
100-石墨舟高精度供收料定位装置；
200-石墨舟载具，201-凹槽；300-石墨舟；
1-第一支撑板；
2-输送线，21-导向限位滚轮；
3-端部定位模组，31-前端阻挡滚轮组，32-支架，33-第一气缸，34-第二支撑板，35-第二气缸，36-后端阻挡滚轮组；
4-载具定位模组，41-限位挡板，42-第三气缸，43-压紧块，44-第四气缸，45-侧压板；
5-石墨舟侧夹归正模组，51-左侧夹压模块，511-第二电机，512-侧夹板，52-右侧夹压模块。
【具体实施方式】
实施例一：
请参照图1-图6，本实施例为一种石墨舟高精度供收料定位装置100，其包括第一电机(图中未标识)、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板1、设置在第一支撑板1移载路径上的供收料工位(图中未标识)、设置在第一支撑板1上的输送线2、在输送线2上输送的石墨舟载具200、放置在石墨舟载具200上的石墨舟300、设置在第一支撑板1上且对石墨舟300的前后位置进行定位的端部定位模组3、设置在第一支撑板1上且对石墨舟载具200的四周位置进行定位的载具定位模组4、以及设置在所述供收料工位处且位于第一支撑板1外部两侧的石墨舟侧夹归正模组5。
石墨舟300放置在石墨舟载具200中，在输送线2与镀膜设备之间进行循环利用。输送线2用于与镀膜设备内的输送装置对接，实现石墨舟300和石墨舟载具200的输送承接。
输送线2的左右两侧设置有对石墨舟载具200两侧进行导向限位的若干导向限位滚轮21。
端部定位模组3包括固定在第一支撑板1上且位于输送线2前端的前端阻挡滚轮组31、固定在第一支撑板1上的且位于输送线2后端的支架32、固定在支架32上的第一气缸33、受第一气缸33驱动进行上下运动的第二支撑板34、固定在第二支撑板34上的第二气缸35以及受第二气缸35驱动进行前后运动的后端阻挡滚轮组36。第一气缸33驱动第二支撑板34进行上下运动，驱动后端阻挡滚轮组36向上移动至高位，以让石墨舟300通过输送到位。通过前端阻挡滚轮组31和后端阻挡滚轮组36对石墨舟300的前后位置进行归正定位。
载具定位模组4包括固定在第一支撑板1上的且位于前端的限位挡板41、固定在第一支撑板1上且位于后端的第三气缸42、受第三气缸42驱动进行旋钮运动的压紧块43、位于输送线2一侧的若干第四气缸44以及受第四气缸44驱动进行左右运动的侧压板45，石墨舟载具200的尾部设置有与压紧块43配合的凹槽201。石墨舟载具200通过输送线2输送到位后，通过限位挡板41阻挡住，然后通过压紧块43卡入凹槽201内，实现对石墨舟载具200的前后位置定位。通过输送线2上的导向限位滚轮21和侧压板45实现对石墨舟载具200左右两侧位置的定位。
石墨舟侧夹归正模组5包括相对设置在输送线2左右两侧的左侧夹压模块51与右侧夹压模块52，左侧夹压模块51与右侧夹压模块52结构相同且均包括第二电机511以及受第二电机511驱动进行左右运动的侧夹板512。石墨舟侧夹归正模组5主要在硅片吸取模组伸入石墨舟300内进行硅片取放时夹持住石墨舟待取放硅片区域的左右两侧，保障舟片侧身的平面度，归正其变形现象，保障硅片能够准确可靠的进出石墨舟。
本实施例一种石墨舟高精度供收料定位装置100的工作流程为：初始状态下，后端阻挡滚轮组36位于高位，左侧夹压模块51与右侧夹压模块52处于打开状态，所述第一电机驱动第一支撑板1移动至石墨舟输入端；石墨舟载具200承载着石墨舟300通过输送线2输送到位，载具定位模组4对石墨舟载具200的位置进行固定；端部定位模组3对石墨舟300的前后位置进行固定；然后所述第一电机驱动第一支撑板1向前移动，使得石墨舟300的前端第一个设定容器区域移动至所述供收料工位处，当移动到位后，左侧夹压模块51与右侧夹压模块52启动，处于夹持状态，对石墨舟300对应于第一个设定区域的左右侧表面进行归正；硅片吸取模组进行硅片的取出或放入；然后左侧夹压模块51与右侧夹压模块52打开，所述第一电机驱动第一支撑板1继续向前移动，使得石墨舟300的第二个设定容器区域移动至所述供收料工位处，重复上述动作进行硅片取放；以此类推，直至石墨舟300上的所有设定容器区域全部完成硅片的取放。
本实施例中，由于石墨舟300自身的组装误差或舟片的变形误差，且石墨舟300中硅片插槽的厚度非常薄，对于硅片的取放精度要求较高，在进行硅片取放时，若石墨舟上的插槽出现变形，则一方面硅片吸取模块无法正常伸入石墨舟内，另一方面还会造成硅片损坏，且无法安全进出石墨舟插槽。因此，本实施例将石墨舟上的插槽区域分区，通过采用第一电机精准的控制石墨舟这些分区插槽分步骤分批次的依次达到供收料工位，在供收料工位处通过石墨舟侧夹归正模组对该分区插槽最外侧的舟片平面位置进行归正，进而保障插槽的位置精准且不会出现变形，保障硅片安全精准的进出石墨舟。
以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种石墨舟高精度供收料定位装置，其特征在于：其包括第一电机、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、设置在所述第一支撑板移载路径上的供收料工位、设置在所述第一支撑板上的输送线、在所述输送线上输送的石墨舟载具、放置在所述石墨舟载具上的石墨舟、设置在所述第一支撑板上且对所述石墨舟的前后位置进行定位的端部定位模组、设置在所述第一支撑板上且对所述石墨舟载具的四周位置进行定位的载具定位模组以及设置在所述供收料工位处且位于所述第一支撑板外部两侧的石墨舟侧夹归正模组。
2.如权利要求1所述的石墨舟高精度供收料定位装置，其特征在于：所述输送线的左右两侧设置有对所述石墨舟载具两侧进行导向限位的若干导向限位滚轮。
3.如权利要求1所述的石墨舟高精度供收料定位装置，其特征在于：所述端部定位模组包括固定在所述第一支撑板上且位于所述输送线前端的前端阻挡滚轮组、固定在所述第一支撑板上的且位于所述输送线后端的支架、固定在所述支架上的第一气缸、受所述第一气缸驱动进行上下运动的第二支撑板、固定在所述第二支撑板上的第二气缸以及受所述第二气缸驱动进行前后运动的后端阻挡滚轮组。
4.如权利要求1或2所述的石墨舟高精度供收料定位装置，其特征在于：所述载具定位模组包括固定在所述第一支撑板上的且位于前端的限位挡板、固定在所述第一支撑板上且位于后端的第三气缸、受所述第三气缸驱动进行旋钮运动的压紧块、位于所述输送线一侧的若干第四气缸以及受所述第四气缸驱动进行左右运动的侧压板，所述石墨舟载具的尾部设置有与所述压紧块配合的凹槽。
5.如权利要求1所述的石墨舟高精度供收料定位装置，其特征在于：所述石墨舟侧夹归正模组包括相对设置在所述输送线左右两侧的左侧夹压模块与右侧夹压模块，所述左侧夹压模块与所述右侧夹压模块均包括第二电机以及受所述第二电机驱动进行左右运动的且夹持住所述石墨舟外侧表面设定区域的侧夹板。
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