CN218638837U - 用于电池片的激光加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于电池片的激光加工设备，所述用于电池片的激光加工设备包括：工作台，所述工作台包括多个载物台和第一转动机构，多个所述载物台均安装于所述第一转动机构，所述第一转动机构驱动多个所述载物台转动，每个所述载物台均包括第一工位和第二工位，所述第一工位适于放置第一电池片，所述第二工位适于放置第二电池片；移栽机构，所述移栽机构适于将所述第一电池片和所述第二电池片共同移动至其中一个载物台。曝光设备，所述曝光设备位于曝光位，所述第一转动机构驱动载物台转动至所述曝光位。根据本实用新型实施例的激光加工设备，具有生产效率高、提高产能、成本低等优点。

Description

用于电池片的激光加工设备

技术领域

本实用新型涉及光刻设备领域，尤其是涉及一种用于电池片的激光加工设备。

背景技术

太阳能电池的掩膜图形化方案大都采用光刻、显影工艺来完成，而光刻工艺一般是采用掩膜版以及相应的光刻设备进行曝光，其一般的加工过程：首先将光致抗蚀材料涂覆于太阳能电池表面，将需要制作的图形刻画在掩膜版上，经过曝光机曝光以及显影清洗后，在太阳能电池表面形成所需图形。

相关技术中的用于电池片的激光加工设备，每次运送一个电池片至加工工位，同一个台面上只能加工一个电池片，曝光设备对单片电池片整体进行激光切割加工，曝光完成后再对电池片进行切割，电池片的加工效率较低，并且对单片电池片切割容易损坏电池片，若增加多工位数来增加曝光效率的，会增加曝光设备的数量，导致成本升高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种用于电池片的激光加工设备，该激光加工设备，具有生产效率高、提高产能、成本低等优点。

根据本实用新型实施例的用于电池片的激光加工设备，包括：工作台，所述工作台包括多个载物台和第一转动机构，多个所述载物台均安装于所述第一转动机构，所述第一转动机构驱动多个所述载物台转动，每个所述载物台均包括第一工位和第二工位，所述第一工位适于放置第一电池片，所述第二工位适于放置第二电池片；移栽机构，所述移栽机构适于将所述第一电池片和所述第二电池片共同移动至其中一个载物台的所述第一工位和所述第二工位；曝光设备，所述曝光设备位于曝光位，所述第一转动机构驱动载物台转动至所述曝光位，所述曝光设备用于对所述第一电池片和所述第二电池片曝光加工。

根据本实用新型实施例的用于电池片的激光加工设备，具有生产效率高、提高产能、成本低等优点。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述载物台构造成正方形，所述第一电池片和所述第二电池片均构造成矩形且分别设置于所述载物台的两侧。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述第一电池片和所述第二电池片沿所述第一转动机构周向对称排布于所述载物台。

根据本实用新型的一些具体实施例，用于电池片的激光加工设备，其特征在于，还包括：进片输送线和出片输送线，所述进片输送线和所述出片输送线适于输送所述第一电池片和所述第二电池片，所述进片输送线和所述出片输送线间隔设置，所述移栽机构设于所述进片输送线和所述出片输送线之间，所述进片输送线用于输送未曝光的所述第一电池片和所述第二电池片，所述出片输送线用于输送已加工的所述第一电池片和所述第二电池片。

进一步地，所述进片输送线和所述出片输送线的延长线彼此重合。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述移栽机构包括：第二转动机构；吸附臂，所述吸附臂连接于所述第二转动机构，所述第二转动机构驱动所述吸附臂转动，所述吸附臂构造有吸盘，所述吸盘用于吸附所述第一电池片和所述第二电池片。

进一步地，所述吸附臂包括：第一吸附臂，所述第一吸附臂安装于所述第二转动机构；第二吸附臂，所述第二吸附臂安装于所述第二转动机构，所述第一吸附臂和所述第二吸附臂相互垂直。

根据本实用新型的一些具体实施例，用于电池片的激光加工设备，还包括：对准系统，所述对准系统用于检测所述第一电池片和所述第二电池片在所述载物台的位置；位置调整机构，所述位置调整机构位于所述曝光位，所述位置调整机与所述对准系统通讯连接，所述位置调整机构根据所述对准系统检测的所述第一电池片和所述第二电池片位置摆正所述第一电池片和所述第二电池片。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述多个载物台包括：第一载物台、第二载物台、第三载物台和第四载物台，所述第一载物台、所述第二载物台、所述第三载物台和所述第四载物台沿所述第一转动机构的周向等间隔排布，所述第一载物台和所述第三载物台分别位于所述第一转动机构的径向相对两侧，所述第二载物台和所述第四载物台分别位于所述第一转动机构的径向相对两侧。

根据本实用新型的一些具体实施例，所述曝光设备包括：激光器，所述激光器用于发射激光；驱动机构，所述驱动机构在激光切割的区域可移动；曝光平台，所述曝光平台安装于所述驱动机构，所述驱动机构驱动所述曝光平台移动；曝光头，所述激光器通过光纤与所述曝光头相连，曝光头安装于所述曝光平台，所述曝光头随所述曝光平台移动以对所述第一电池片和所述第二电池片加工。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的激光加工设备的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的激光加工设备运送第一电池片和第二电池片的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的工作台的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的移栽机构的结构示意图。

附图标记：

激光加工设备1、工作台100、载物台110、第一工位101、第二工位102、

第一转动机构120、移栽机构200、曝光设备300、进片输送线400、出片输送线500、

第二转动机构210、吸附臂220、第一吸附臂221、第二吸附臂222、

对准系统600、第一载物台111、第二载物台112、

第三载物台113、第四载物台114、激光器310、驱动机构320、曝光头330、

曝光平台340、第一电池片10、第二电池片20。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的用于电池片的激光加工设备1。

如图1－图4所示，根据本实用新型的一些具体实施例，用于电池片的激光加工设备1包括工作台100、移栽机构200和曝光设备300，工作台100包括多个载物台110和第一转动机构120，多个载物台110均安装于第一转动机构120，第一转动机构120驱动多个载物台110转动，每个载物台110均包括第一工位101和第二工位102，第一工位101适于放置第一电池片10，第二工位102适于放置第二电池片20。移栽机构200适于将第一电池片10和第二电池片20共同移动至其中一个载物台110的第一工位101和第二工位102。曝光设备300位于曝光位，第一转动机构120驱动载物台110转动至曝光位，曝光设备300用于对第一电池片10和第二电池片20曝光加工。

举例而言，激光加工设备1具体可以用于双片太阳能电池掩膜光刻工艺，如光刻图形化工艺在太阳能电池片电极电镀制造用应用。载物台110承载有第一电池片10和第二电池片20，通过第一转动机构120传送至不同加工位。加工位包括上料位、对准位、曝光位和待下料位。承载第一电池片10和第二电池片20的载物台110通过依次经过多个加工位后完成加工。第一电池片10和第二电池片20的形状与载物台110的形状相同，第一电池片10和第二电池片20在同一个载物台110上可以同时进行加工。工作台100可以固定在大理石平台上。

根据本实用新型实施例的用于电池片的激光加工设备1，通过载物台110构造第一工位101和第二工位102，第一电池片10和第二电池片20共同放置在同一个载物台110上。载物台110通过磁吸结构将第一电池片10和第二电池片20吸附在载物台110上。激光加工设备1将第一电池片10和第二电池片20加工成特定的形状。通过将第一电池片10和第二电池片20共同由移栽机构200输送至同一个载物台110，激光加工设备1同时对第一电池片10和第二电池片20进行加工，每次移动两个电池片，无需对电池片进行切割，充分利用了载物台110的空间，提高了输送效率。并且，曝光设备300在同一个载物台110上进行加工，无需设置多个曝光设备300，节省成本的同时曝光效率更高。

因此，根据本实用新型实施例的激光加工设备1，具有生产效率高、提高产能、成本低等优点。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图1和图3所示，载物台110构造成正方形，第一电池片10和第二电池片20均构造成矩形且分别设置于载物台110的两侧。

例如，第一电池片10和第二电池片20的形状均构造成1/2正方形的矩形，第一电池片10和第二电池片20可以充分填满载物台110，充分利用载物台110的空间，方便激光载物台110加工。

进一步地，如图1所示，第一电池片10和第二电池片20沿第一转动机构120周向对称排布于载物台110。第一电池片10和第二电池片20沿周向并排设置，移栽机构200将第一电池片10和第二电池片20移动后无需调整位置，提升第一电池片10和第二电池片20的加工效率。

在本实用新型的一些具体实施例，如图1和图2所示，用于电池片的激光加工设备1还包括进片输送线400和出片输送线500，进片输送线400和出片输送线500适于输送第一电池片10和第二电池片20，进片输送线400和出片输送线500间隔设置，移栽机构200设于进片输送线400和出片输送线500之间，进片输送线400用于输送未曝光的第一电池片10和第二电池片20，出片输送线500用于输送已加工的第一电池片10和第二电池片20。

例如，进片输送线400和出片输送线500均沿直线延伸，进片输送线400同时运送未曝光的第一电池片10和第二电池片20，利用移栽机构200将进片输送线400的第一电池片10和第二电池片20移动至其中一个载物台110上，载物台110通过第一转动机构120转动至曝光位曝光加工第一电池片10和第二电池片20，载物台110上的第一电池片10和第二电池片20曝光后再通过移栽机构200移动至出片输送线500，完成第一电池片10和第二电池片20的加工。

进一步地，进片输送线400和出片输送线500的延长线彼此重合。例如，进片输送线400和出片输送线500均沿直线延伸且共线，进片输送线400和出片输送线500沿直线输送第一电池片10和第二电池片20，输送线排布较为整齐。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图4所示，移栽机构200包括第二转动机构210和吸附臂220，吸附臂220连接于第二转动机构210，第二转动机构210驱动吸附臂220转动，吸附臂220构造有吸盘，吸盘用于吸附第一电池片10和第二电池片20。

吸盘同时吸附进片输送线400上的第一电池片10和第二电池片20并输送至工作台100曝光加工，曝光加工完成后的第一电池片10和第二电池片20再由吸盘吸附至出片输送线500上，完成曝光加工工序。

进一步地，如图4所示，吸附臂220包括第一吸附臂221和第二吸附臂222。第一吸附臂221安装于第二转动机构210。第二吸附臂222安装于第二转动机构210，第一吸附臂221和第二吸附臂222相互垂直。

例如，第一吸附臂221在工作台100和出片输送线500往复移动，不断将曝光加工后的第一电池片10和第二电池片20移动至出片输送线500。第二吸附臂222在进片输送线400和工作台100往复移动，不断将进片输送线400未曝光加工的第一电池片10和第二电池片20运送至工作台100加工。如此，第一吸附臂221的进片输送线400将第一电池片10和第二电池片20移动至工作台100的同时，第二吸附臂222也可以移出工作台100上的第一电池片10和第二电池片20至出片输送线500，进片和出片可以同时进行，生产效率更高。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图1所示，用于电池片的激光加工设备1还包括对准系统600和位置调节机构。

对准系统600用于检测第一电池片10和第二电池片20的位置。位置调整机构位于曝光位，位置调整机与对准系统通讯连接，位置调整机构根据对准系统检测的第一电池片10和第二电池片20在载物台110的位置。

具体而言，位于对转系统600位于工作台100的上部，第一电池片10和第二电池片20标记有标记点，对准系统600构造有摄像头，摄像头拍照标记点以获取第一电池片10和第二电池片20的位置并进行确认，将位置数据传输至位置调节机构中，然后第一转动机构120转动载物台110后，利用位置调节机构根据对准系统记录的位置信息调整载物台110上的第一电池片10和第二电池片20的位置，保证曝光加工的精度。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图3所示，多个载物台110包括第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114。第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114沿所述第一转动机构120的周向等间隔排布，第一载物台111和第三载物台113分别位于第一转动机构120的径向相对两侧，第二载物台112和第四载物台114分别位于第一转动机构120的径向相对两侧。

其中，第一转动机构120和第二转动机构210同步转动，使第一吸附臂221对应其中一个载物台110，第二吸附臂222对应相邻的载物台110。第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114分别对应上料位、对准位、曝光位和待下料位，第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114均设有减重孔，用于降低重量。例如，第一载物台111放置有第一电池片10和第二电池片20，第一载物台111位于上料位时，第二载物台112位于对准位，第三载物台113位于曝光位，第四载物台114位于待下料位。第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114通过第一转动机构120驱动而转动。第一载物台111依次经过上料位、对准位、曝光位和待下料位，同时第二载物台112也依次经过对准位、曝光位、待下料位和上料位置，以此类推。

第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114均可以放置第一电池片10和第二电池片20，从而曝光位的曝光设备300不间断地对第一载物台111、第二载物台112、第三载物台113和第四载物台114的第一电池片10和第二电池片20进行加工。

在本实用新型的一些具体实施例中，如图1所示，曝光设备300包括激光器310、驱动机构320、曝光平台340和曝光头330。

激光器310用于发射激光。驱动机构320在激光切割的区域可移动。曝光平台340安装于驱动机构320，驱动机构320驱动曝光平台340移动。激光器310通过光纤与曝光头330相连，曝光头330安装于曝光平台340，曝光头330随曝光平台340移动以对第一电池片10和第二电池片20加工。

例如，驱动机构320为直线电机，具体地可采用双动子直线电机，增加了设备的可靠性。一方面可以减小负载以及提高灵敏度，另一方面加快电池片的加工时间。曝光设备300还包括多个导轨，多个导轨均设于大理石平台上，多个导轨配合直线电机调节曝光头330的曝光路径，达到在特定区域的光刻的作用。提高系统稳定性和加工精度。进一步地，曝光设备300还包括光栅尺位置传感器，光栅尺位置传感器用于反馈和控制曝光头330移动距离和速度。

根据本实用新型实施例的用于电池片的激光加工设备1的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于电池片的激光加工设备，其特征在于，包括：

工作台，所述工作台包括多个载物台和第一转动机构，多个所述载物台均安装于所述第一转动机构，所述第一转动机构驱动多个所述载物台转动，每个所述载物台均包括第一工位和第二工位，所述第一工位适于放置第一电池片，所述第二工位适于放置第二电池片；

移栽机构，所述移栽机构适于将所述第一电池片和所述第二电池片共同移动至其中一个载物台的所述第一工位和所述第二工位；

曝光设备，所述曝光设备位于曝光位，所述第一转动机构驱动载物台转动至所述曝光位，所述曝光设备用于对所述第一电池片和所述第二电池片曝光加工。

2.根据权利要求1所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述载物台构造成正方形，所述第一电池片和所述第二电池片均构造成矩形且分别设置于所述载物台的两侧。

3.根据权利要求2所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述第一电池片和所述第二电池片沿所述第一转动机构周向对称排布于所述载物台。

4.根据权利要求1所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，还包括：

进片输送线和出片输送线，所述进片输送线和所述出片输送线适于输送所述第一电池片和所述第二电池片，所述进片输送线和所述出片输送线间隔设置，所述移栽机构设于所述进片输送线和所述出片输送线之间，所述进片输送线用于输送未曝光的所述第一电池片和所述第二电池片，所述出片输送线用于输送已加工的所述第一电池片和所述第二电池片。

5.根据权利要求4所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述进片输送线和所述出片输送线的延长线彼此重合。

6.根据权利要求1所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述移栽机构包括：

第二转动机构；

吸附臂，所述吸附臂连接于所述第二转动机构，所述第二转动机构驱动所述吸附臂转动，所述吸附臂构造有吸盘，所述吸盘用于吸附所述第一电池片和所述第二电池片。

7.根据权利要求6所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述吸附臂包括：

第一吸附臂，所述第一吸附臂安装于所述第二转动机构；

第二吸附臂，所述第二吸附臂安装于所述第二转动机构，所述第一吸附臂和所述第二吸附臂相互垂直。

8.根据权利要求1所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，还包括：

对准系统，所述对准系统用于检测所述第一电池和所述第二电池在所述载物台的位置；

位置调整机构，所述位置调整机构位于所述曝光位，所述位置调整机与所述对准系统通讯连接，所述位置调整机构根据所述对准系统检测的所述第一电池片和所述第二电池片位置摆正所述第一电池片和所述第二电池片。

9.根据权利要求1所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述多个载物台包括：第一载物台、第二载物台、第三载物台和第四载物台，

所述第一载物台、所述第二载物台、所述第三载物台和所述第四载物台沿所述第一转动机构的周向等间隔排布，所述第一载物台和所述第三载物台分别位于所述第一转动机构的径向相对两侧，所述第二载物台和所述第四载物台分别位于所述第一转动机构的径向相对两侧。

10.根据权利要求1所述的用于电池片的激光加工设备，其特征在于，所述曝光设备包括：

激光器，所述激光器用于发射激光；

驱动机构，所述驱动机构在激光切割的区域可移动；

曝光平台，所述曝光平台安装于所述驱动机构，所述驱动机构驱动所述曝光平台移动；

曝光头，所述激光器通过光纤与所述曝光头相连，曝光头安装于所述曝光平台，所述曝光头随所述曝光平台移动以对所述第一电池片和所述第二电池片加工。

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