CN221005948U - 炉体结构及加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种炉体结构及加工设备，该炉体结构包括方形热场和炉管，方形热场包括多个拼接的片式热场，多个片式热场合围出容纳腔，容纳腔的两端敞开设置，炉管安装于容纳腔内，炉管的两端均伸出容纳腔。该炉体结构的空间利用率较高，结构简单，方便实现多个炉体结构的叠加，且叠加完成的多炉体结构的占地空间较小。

Description

炉体结构及加工设备

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种炉体结构及加工设备。

背景技术

在光伏行业的热制程设备和镀膜设备中，炉体结构基本采用圆形结构，炉体外侧的热场对应的也设置为圆形结构，热场为一体式结构。由于装载片材的载具以及片材大多为方形，这就导致了载具进入圆形腔体后，圆形腔体内还有大量空间被浪费，降低了炉体结构的空间利用率。与此同时，为了提升产能，现有的镀膜设备均采用多炉体结构，即采用多个沿竖直方向分布的炉体结构，圆形的炉体结构以及热场结构需要外置支撑架才能够实现竖直方向的分布，不仅会提升设备复杂程度，增大安装空间，并且由于热场为一体式，在组装过程中非常不方便。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提出一种炉体结构，该炉体结构的空间利用率较高，结构简单，方便实现多个炉体结构叠加，且叠加完成的多炉体结构的占地空间较小。

本实用新型的第二目的在于提出一种加工设备，该加工设备的空间利用率较高，结构简单，组装方便。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种炉体结构，包括：方形热场，所述方形热场包括多个拼接的片式热场，多个所述片式热场合围出容纳腔，所述容纳腔的两端敞开设置；炉管，所述炉管安装于所述容纳腔内，所述炉管的两端均伸出所述容纳腔。

本实施例的炉体结构的有益效果：由于套设在炉管外侧的热场为方形热场，当多个炉体结构进行叠加时无需外部支架进行支撑，直接将两个炉体结构的方形热场叠放在一起即可，不仅组装方便，还能够使得叠加完成的多炉体结构的占地空间较小。此外，由于方形热场包括多个拼接的片式热场，多个片式热场合围出容纳腔，容纳腔的两端敞开设置，当多个炉体结构进行组合时，不需要将如现有技术中先搭接好外部支架，然后将每个炉体结构的热场以及炉管组装完成后，将多个炉体结构依次放入外部支架，而是安装多个片式热场形成多个容纳腔，然后将多个炉管依次放进多个容纳腔即可，进一步简化了组装步骤，提升了组装效率。

在一些实施例中，所述片式热场内设有多个加热件。多个加热件实现片式热场能够分区独立控温，同时在加热件损坏时便于更换安装。

在一些实施例中，所述片式热场为四个，四个所述片式热场分别对应所述炉管的四个侧壁设置，且相邻的两个片式热场通过连接组件相连。

在一些具体的实施例中，所述连接件包括连接板和紧固件；其中：所述片式热场具有第一安装孔，所述连接件上设有与所述第一安装孔对应设置的第二安装孔，紧固件穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔连接相邻的两个片式热场。

在一些实施例中，所述炉管为方形管，且所述炉管的侧壁与所述方形热场的侧壁以对应平行设置。炉管为方形管，当装载有方形片材的载具进入方形管后，方炉管内的无效空间较少，提升了整个炉体结构的空间利用率。

在一些实施例中，所述炉管的两端敞开设置，所述炉体结构还包括炉门和尾盖，所述炉门和所述尾盖分别连接于所述炉管的两端。能够确保在实际工艺进行时，炉管的内部处于密闭的状态，从而有利于提升产品良率。

在一些具体的实施例中，所述炉体结构还包括进气匀流板，所述进气匀流板连接于所述炉门，且与所述炉门间隔设置，所述进气匀流板、所述炉门与所述炉管合围出气体缓冲腔，所述炉管的一端沿设有沿其径向的进气口，所述进气口位于所述进气匀流板和所述炉门之间并朝向所述气体缓冲腔。炉门关闭后从进气口进入的气体只能经过进气匀流板进入反应腔体中，使反应腔体内气体更均匀，均匀的气体使得镀膜质量更容易控制。

在一些具体的实施例中，所述炉管的内侧壁上设有止挡凸起，所述炉门止抵于所述炉管的端部时，所述进气匀流板止抵于所述止挡凸起。避免了进气匀流板在气流的作用下沿炉管的长度方向窜动的现象发生。

在一些具体的实施例中，所述炉体结构还包括抽气匀流板，所述抽气匀流板连接在所述尾盖上，且与所述尾盖间隔设置。提升了抽气均匀性，有利于提升工艺良率。

在一些实施例中，所述炉体结构还包括设在所述抽气匀流板和所述尾盖之间的炉尾隔热板。炉尾隔热板能够降低炉管内部的热量向外扩散速度，有利于炉管保温。

本实用新型还公开了一种加工设备，包括前文所述的炉体结构，用于加工片材。

本实用新型的加工设备的有益效果：由于具有前文所述的炉体结构，该加工设备的空间利用率较高，结构简单，组装方便。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例的炉体结构的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的炉体结构的剖视图；

图3是图2圈示A处的放大示意图；

图4是本实用新型实施例的炉管的结构示意图；

图5是本实用新型实施例的炉体结构的炉门端局部结构示意图；

图6是本实用新型实施例的炉体结构的炉尾端局部结构示意图；

附图标记：

100、方形热场；110、片式热场；120、容纳腔；

200、炉管；210、进气口；220、止挡凸起；230、加强筋；240、支撑块；300、炉门；310、第一安装柱；400、尾盖；410、抽气口；420、第二安装柱；500、进气匀流板；600、炉口隔热板；700、抽气匀流板；800、炉尾隔热板；

900、连接组件；1000、电极杆。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图6描述本实用新型实施例的炉体结构的具体结构。

本实用新型公开了一种炉体结构，如图1和图2所示，本实施例的炉体结构包括方形热场100和炉管200，方形热场100包括多个拼接的片式热场110，多个片式热场110合围出容纳腔120，容纳腔120的两端敞开设置，炉管200安装于容纳腔120内，炉管200的两端均伸出容纳腔120。

可以理解的是，由于套设在炉管200外侧的热场为方形热场100，当多个炉体结构进行叠加时无需外部支架进行支撑，直接将两个炉体结构的方形热场100叠放在一起即可，不仅组装方便，还能够使得叠加完成的多炉体结构的占地空间较小。此外，由于方形热场100包括多个拼接的片式热场110，多个片式热场110合围出容纳腔120，容纳腔120的两端敞开设置，不需要将如现有技术中先搭接好外部支架，然后将每个炉体结构的热场以及炉管200组装完成后，将多个炉体结构依次放入外部支架，而是先安装多个式热场110形成多个容纳腔120，然后将多个炉管200依次放入多个容纳腔120即可，进一步简化了组装步骤，提升了组装效率。

在一些实施例中，如图1所示，片式热场110为四个，四个片式热场110分别对应炉管200的四个侧壁设置，且相邻的两个片式热场110通过连接组件900相连。可以理解的是，片式热场110为四个，每个片式热场110均形成为板状结构，这样方便了片式热场110的组装，从而有利于提升炉体结构的组装效率。与此同时，相邻的两个片式热场110通过连接组件900相连，一方面能够提升两个片式热场110的连接稳定性，另一方面还方便了两个片式热场110的安装和拆卸。

在一些具体的实施例中，连接组件900包括连接件和紧固件，片式热场110具有第一安装孔，连接件上设有与第一安装孔对应设置的第二安装孔，紧固件穿过第一安装孔和第二安装孔连接相邻的两个片式热场110。可以理解的是，在实际工作过程中，只需要将两个片式热场110以及连接件安放到指定位置，使得连接件上第一安装孔和与两个片式热场110上的第二安装孔对正，然后安装紧固件即可，简化了片式热场110的连接操作，提升了片式热场110的连接稳定性。在本实用新型的实施例中，连接件可以根据实际需要选择连接板或者连接块，紧固件可以根据实际需要选择螺钉或者销钉。

在另一些具体的实施例中，连接组件900可以仅包括上述实施例中的紧固件。相邻的两个片式热场110中，其中一个片式热场110的边缘沿厚度方向开设有第一固定孔，另一个片式热场110的边缘沿垂直于厚度方向开设有第二固定孔，且第二固定孔对应第一固定孔设置。紧固件穿过第一固定孔和第二固定孔连接相邻的两个片式热场110。可以理解的是，在实际工作过程中，将两个片式热场110部分重叠设置使得第一固定孔与第二固定孔对应设置，然后将紧固件插入第一固定孔和第二固定孔即可。在本实用新型的实施例中，紧固件可以根据实际需要选择螺钉或者销钉。

在一些具体的实施例中，连接组件900为多个，多个连接组件900沿片式热场110的长度方向间隔分布。由此，能够提升片式热场110的连接稳定性。

当然，这里需要额外说明的是，在本实用新型的其他实施例中，连接组件900还可以为卡扣结构，例如一个片式热场110上设有卡凸，另一个片式热场上设有卡孔，在连接时将将两个片式热场110部分重叠设置使得，卡凸卡入卡孔即可。

在一些实施例中，炉管200为方形管，且炉管200的侧壁与方形热场100的侧壁一一对应且平行设置。可以理解的是，由于炉管200为方形管，当装载有片材的载具进入炉管200后，炉管200内的无效空间较少，提升了整个炉体结构的空间利用率。

在一些实施例中，如图2所示，炉管200的两端敞开设置，炉体结构还包括炉门300和尾盖400，炉门300和尾盖400分别连接于炉管200的两端。可以理解的是，能够确保在实际工艺进行时，炉管200的内部处于密闭的状态，从而有利于提升产品良率。

在一些实施例中，如图4所示，炉管200的外侧壁设有加强筋230，加强筋230一方面能够提升炉管200的强度，另一方面能够使得炉管200的外侧壁与方形热场100的内侧壁具有一定间隔，有利于炉管200的安装以及拆卸。

在一些实施例中，如图4所示，炉管200的两端设有支撑块240，且支撑块240设置于炉管200两端的底壁上。支撑块240的底壁，即支撑块240远离炉管200的一侧与方形热场100的底壁位于同一平面。由此，当炉管200放置于入方形热场100，且两者放置于平面时，能够更好地保证炉管200在方形热场100内部的稳定性。

在一些实施例中，如图2及图5所示，炉管200还包括进气匀流板500，进气匀流板500连接于炉门300，且与炉门300间隔设置，进气匀流板500、炉门300和炉管200合围出气体缓冲腔，炉管200的一端设有沿其径向延伸的进气口210，且进气口210位于进气匀流板500和炉门300之间，并朝向气体缓冲腔设置。可以理解的是，炉门300关闭后从进气口210进入的气体只能经过进气匀流板500进入反应腔体中，使反应腔体内气体更均匀，均匀的气体使得镀膜质量更容易控制。此外，进气匀流板500连接于炉门300可以充分利用炉口的空间，使炉管200的结构更加紧凑。

可选的，炉管200的内壁设有高温绝缘涂层，避免气体对炉管200的内壁进行腐蚀，增加腔体的寿命。

在一些具体的实施例中，如图2及图3所示，炉管200的内侧壁上设有止挡凸起220，炉门300止抵于炉管200的端部时，进气匀流板500止抵于止挡凸起220。可以理解的是，在实际关闭炉门300过程中，炉门300止抵于炉管200的端部时，进气匀流板500止抵于止挡凸起220，由此能够确保进气匀流板500的稳定性，避免了进气匀流板500在气流的作用下沿炉管200的长度方向窜动的现象发生。

可选的，如图5所示，止挡凸起220与炉管200朝向炉门300的侧壁之间的间距H1等于进气匀流板500与炉门300与炉管200贴合的侧壁之间的间距H2。由此，能够确保炉门300止抵于炉管200的端部时，进气匀流板500止抵于止挡凸起220。

在一些具体的实施例中，如图2及图5所示，炉门300和进气匀流板500之间设置炉口隔热板600。可以理解的是，炉口隔热板600能够降低炉管200内部的热量向外扩散速度，有利于炉管200保温。在本实用新型的实施例中，炉口隔热板600的材料以及尺寸均可以根据实际需要选择，在此不对炉口隔热板600的详细参数做出限定。

可选的，如图5所示，炉门300上设有第一安装柱310，进气匀流板500及炉口隔热板600均穿设于第一安装柱310。由此，方便了进气匀流板500及炉口隔热板600的安装。

可选的，第一安装柱310的长度H3大于等于进气匀流板500与炉门300与炉管200贴合的侧壁之间的间距H2。由此，能够确保炉门300止抵于炉管200的端部时，进气匀流板500止抵于止挡凸起220。

在一些具体的实施例中，如图2及图6所示，炉管200还包括抽气匀流板700，抽气匀流板700连接在尾盖400上，且与尾盖400间隔设置。可以理解的是，在实际抽气过程中，炉管200内部的气体穿过抽气匀流板700后才能够从尾盖400上的抽气口410被抽出，提升了抽气均匀性，有利于提升工艺良率。

在一些更具体的实施例中，如图2及图6所示，炉管200还包括设在抽气匀流板700和尾盖400之间的炉尾隔热板800。可以理解的是，炉尾隔热板800能够降低炉管200内部的热量向外扩散速度，有利于炉管200保温。在本实用新型的实施例中，炉尾隔热板800的材料以及尺寸均可以根据实际需要选择，在此不对炉尾隔热板800的详细参数做出限定。

可选的，如图6所示，尾盖400上设有第二安装柱420，抽气匀流板700及炉尾隔热板800均连接于第二安装柱420。由此，方便了抽气匀流板700及炉尾隔热板800的安装。

可选的，如图6所示，尾盖400上还穿设有电极杆1000，电极杆1000可以做上下两层布置，也可根据炉管200的大小做多层布置，使引入的电场更为均匀。具体来说，尾盖400上设有电极安装法兰，电极杆1000与电机安装法兰相连。这里需要说明的是，电极安装法兰的具体结构以及电极杆1000与电极安装法兰的具体连接形式均为现有技术，无需赘述。

本实用新型还公开了一种加工设备，包括前文所述的炉体结构。

本实用新型的加工设备，由于具有前文所述的炉体结构，用于加工片材，该加工设备的空间利用率较高，结构简单，组装方便。

本实用新型的加工设备还可以包括用于运输舟结构的运输装置，搬运舟结构到炉管200的推舟装置等结构，运输装置和推舟装置等装置均可以根据现有技术选择，在此不再赘述。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (11)

1.炉体结构，其特征在于，包括：

方形热场，所述方形热场包括多个拼接的片式热场，多个所述片式热场合围出容纳腔，所述容纳腔的两端敞开设置；

炉管，所述炉管安装于所述容纳腔内，所述炉管的两端均伸出所述容纳腔。

2.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述片式热场内设有多个加热件。

3.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述片式热场为四个，四个所述片式热场分别对应所述炉管的四个侧壁设置，且相邻的两个所述片式热场通过连接组件相连。

4.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，所述连接组件包括连接件和紧固件；其中：

所述片式热场具有第一安装孔，所述连接件上设有与所述第一安装孔对应设置的第二安装孔，紧固件穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔连接相邻的两个所述片式热场。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的炉体结构，其特征在于，所述炉管为方形管，且所述炉管的侧壁与所述方形热场的侧壁一一对应且平行设置。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的炉体结构，其特征在于，所述炉管的两端敞开设置，所述炉体结构还包括炉门和尾盖，所述炉门和所述尾盖分别连接于所述炉管的两端。

7.根据权利要求6所述的炉体结构，其特征在于，所述炉体结构还包括进气匀流板，所述进气匀流板连接于所述炉门，且与所述炉门间隔设置，所述进气匀流板、所述炉门与所述炉管合围出气体缓冲腔，所述炉管的一端设有沿其径向延伸的进气口，且所述进气口位于所述进气匀流板和所述炉门之间并朝向所述气体缓冲腔设置。

8.根据权利要求7所述的炉体结构，其特征在于，所述炉管的内侧壁上设有止挡凸起，所述炉门止抵于所述炉管的端部时，所述进气匀流板止抵于所述止挡凸起。

9.根据权利要求6所述的炉体结构，其特征在于，所述炉管还包括抽气匀流板，所述抽气匀流板连接在所述尾盖上，且与所述尾盖间隔设置。

10.根据权利要求9所述的炉体结构，其特征在于，所述炉体结构还包括设在所述抽气匀流板和所述尾盖之间的炉尾隔热板。

11.加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-10中任一项所述的炉体结构，用于加工片材。