CN220116665U - 一种匀流装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种匀流装置，该匀流装置包括匀流框架、支撑杆和匀流板，匀流框架包括底板和连接在底板上两端的支撑板，支撑杆的两端可拆卸地连接于两个支撑板，底板和支撑杆中的至少一个上设有多个间隔设置的限位槽，匀流板插接于限位槽。由于匀流框架包括底板和支撑板，在实际安装过程中，只需要将匀流框架和支撑杆组装在一起，然后将匀流板从匀流框架的上方插入两个支撑板之间的空间内，并且保证匀流板卡入设在底板和/或支撑杆上的限位槽即可，安装较为方便，当某个匀流板出现损坏时，直接将其抽出更换即可，操作非常方便。由于匀流框架形成为类似凵字型的框架，该匀流装置就能够兼容多种长度的匀流板，兼容性较好。

Description

一种匀流装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种匀流装置。

背景技术

在半导体设备进行工艺的过程中，需要向反应腔室通入工艺气体，但是在通入工艺气体时，存在工艺气体在整个反应腔室内的分布不均匀的情况，从而影响了工艺的均匀性，为了避免这种情况，通常会在反应腔室的进气位置设置一个匀流装置，现有的匀流装置包括框架结构和设在框架结构内的匀流板，匀流板长度与硅片长度一致，框架结构包括多个可拆卸连接的支撑板，匀流板的四周均设置有支撑板且前后均设有支撑槽杆。这种结构的缺陷在于，匀流板的长度需要与框架结构限定出的空间的长度相同，也就是说，该匀流装置不能兼容多种长度的匀流板，且由于匀流板的顶壁和底壁均插入在支撑板的卡槽，相对设置的两个侧壁插入到支撑槽杆内，当匀流板三个侧边都插入到卡槽中，与第四个侧边的支撑板或者支撑槽杆需要一次性把所有的匀流板卡进去，耗费时间长，操作难度较大，且当一个匀流板出现损坏时，需要将顶部的支撑板拆除，然后抽出匀流板，操作较为复杂，且在拆卸支撑板的同时还有可能造成其他匀流板损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种匀流装置，该匀流装置能够兼容多种长度的匀流板，且安装和拆卸匀流板的操作非常便捷。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种匀流装置，包括：匀流框架，所述匀流框架包括底板和连接在底板两端的支撑板；支撑杆，所述支撑杆的两端可拆卸地连接于两个所述支撑板，所述底板和所述支撑杆中的至少一个上设有多个间隔设置的限位槽；匀流板，所述匀流板插接于所述限位槽。

在一些实施例中，所述支撑板设有安装槽，所述安装槽的一端敞开设置形成安装开口，所述支撑杆能够从所述安装开口卡入所述安装槽内。

在一些具体的实施例中，所述支撑杆具有止抵平面，所述止抵平面止抵于所述安装槽的底壁和/或顶壁上。

在一些具体的实施例中，所述安装开口形成为宽度逐渐变小的渐缩口，且所述安装开口的内壁形成有用于导向所述支撑杆的导向弧面。

在一些实施例中，所述支撑板的相对设置的两侧均设有至少一个所述支撑杆。

在一些具体的实施例中，所述支撑板两侧分别设有多个沿所述支撑板的高度方向间隔设置的所述支撑杆，且多个所述支撑杆中的至少一个上设有限位槽。

在一些实施例中，所述支撑杆包括支撑光杆和/或支撑齿杆，所述支撑光杆的外周壁止抵于所述匀流板的侧壁，所述支撑齿杆上设有所述限位槽。

在一些实施例中，所述底板的两端设有第一安装部，所述支撑板的两端设有与所述第一安装部配合的第二安装部。

在一些具体的实施例中，所述第一安装部和所述第二安装部均为安装孔，所述底板和所述支撑板通过穿设于所述安装孔的连接件相连；或者：所述第一安装部和所述第二安装部中的一个为插接凸起，所述第一安装部和所述第二安装部中的另一个为与所述插接凸起配合的插接凹槽。

在一些实施例中，所述支撑板上设有减重结构。

本实用新型的匀流装置的有益效果：由于匀流框架包括底板和支撑板，整个匀流框架形成为类似凵字型的框架，在实际安装过程中，只需要将匀流框架和支撑杆组装在一起，然后将匀流板从匀流框架的上方插入两个支撑板之间的空间内，并且保证匀流板卡入设在底板和/或支撑杆上的限位槽即可，安装较为方便，当某个匀流板出现损坏或者用于工艺需要更换长度不同的匀流板时，直接将其抽出更换即可，操作非常方便。由于匀流框架形成为类似凵字型的框架，并且由于支撑杆的存在，即使匀流板的长度大于或者小于匀流框架，支撑杆也能较好地限制匀流板，由此，本实施例的匀流装置就能够兼容多种长度的匀流板，兼容性较好。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的匀流装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一的匀流装置的局部结构示意图；

图3是本实用新型实施例一的匀流装置的另一个局部结构示意图；

图4是本实用新型实施例一的匀流装置的第一种支撑杆的结构；

图5是本实用新型实施例一的匀流装置的第二种支撑杆的结构；

图6是本实用新型实施例二的匀流装置的结构示意图。

附图标记：

100、匀流框架；110、底板；120、支撑板；121、安装槽；122、安装开口；123、导向弧面；124、减重结构；

200、支撑杆；201、止抵平面；210、支撑光杆；220、支撑齿杆；

300、匀流板；

400、限位槽。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图6描述本实用新型实施例的匀流装置的具体结构。

本实用新型公开了一种匀流装置，如图1及图6所示，该匀流装置包括匀流框架100、支撑杆200和匀流板300，匀流框架100包括底板110和连接在底板110上两端的支撑板120，支撑杆200的两端可拆卸地连接于两个支撑板120，底板110和支撑杆200中的至少一个上设有多个间隔设置的限位槽400，匀流板300插接于限位槽400。可以理解的是，由于匀流框架100包括底板110和支撑板120，整个匀流框架100形成为类似凵字型的框架，在实际安装过程中，只需要将匀流框架100和支撑杆200组装在一起，然后将匀流板300从匀流框架100的上方插入两个支撑板120之间的空间内，并且保证匀流板300卡入设在底板110和/或支撑杆200上的限位槽400即可，安装较为方便，当某个匀流板300出现损坏时，直接将其抽出更换即可，操作非常方便。由于匀流框架100形成为类似凵字型的框架，并且由于支撑杆200的存在，即使匀流板300的长度大于或者小于匀流框架100，支撑杆200也能较好地限制匀流板300，由此，本实施例的匀流装置就能够兼容多种长度的匀流板300，兼容性较好。

这里需要补充说明的是，在有的实施例中，限位槽400设在底板110上；在有的实施例中，限位槽400设在支撑杆200上；在有的实施例中，限位槽400设在底板110和支撑杆200上。

优选的，支撑板120垂直于底板110。当然，在本实用新型的其他实施例中，支撑板120和底板110的夹角还可以根据实际需要进行调整。

在一些实施例中，如图2所示，支撑板120设有安装槽121，安装槽121的一端敞开设置形成安装开口122，支撑杆200能够从安装开口122卡入安装槽121内。可以理解的是，在实际组装过程中，只需要使得支撑杆200的两端对准两个支撑板120上的安装槽121将支撑杆200卡入即可，无需连接件，安装非常方便。

在一些具体的实施例中，如图2所示，支撑杆200具有止抵平面201，止抵平面201止抵于安装槽121的底壁和/或顶壁上。可以理解的是，支撑杆200上设置的止抵平面201能够避免在使用过程中支撑杆200相对支撑板120转动，确保支撑杆200能够稳定地保持在支撑板120上，间接地保证匀流板300的安装稳定性。

在一些具体的实施例中，如图2所示，安装开口122形成为宽度逐渐变小的渐缩口，且安装开口122的内壁形成有用于导向支撑杆200的导向弧面123。可以理解的是，在实际安装支撑杆200时，导向弧面123能够起到导向支撑杆200的作用，使得支撑杆200较为便捷且准确地安装到安装槽121内，并且由于安装开口122的宽度逐渐变小，也能够对支撑杆200起到限制作用，避免支撑杆200从安装槽121内掉落的现象发生。

在一些实施例中，支撑板120的相对设置的两侧均设有至少一个支撑杆200。可以理解的是，支撑杆200的两侧均设置支撑杆200，使得匀流板300的底壁止抵在底板110上，沿其宽度方向的两个侧壁止抵于支撑杆200上，实现了匀流板300的三面定位，确保了匀流板300的安装稳定地性。

在一些具体的实施例中，如图2所示，支撑板120两侧分别设有多个沿支撑板120的高度方向间隔设置的支撑杆200，至少一个支撑杆200上设有限位槽400。可以理解的是，当匀流板300较长时，仅仅依靠一个支撑杆200可能不能稳定地支撑匀流板300，在本实施例中，支撑板120两侧分别设有多个沿支撑板120的高度方向间隔设置的支撑杆200，通过多个支撑杆200支撑匀流板300能够保证匀流板300的安装稳定性。与此同时，至少一个支撑杆200上设有限位槽400，在实际组装过程中，设置限位槽400的支撑杆200用于卡接匀流板300，其他不设置限位槽400的支撑杆200止抵于匀流板300，实现对匀流板300的限位，通过这种方式，一方面方便了安装，提升了组装效率，另一方面方提升了对匀流板300的限位作用，确保了匀流板300的安装稳定性。

在一些实施例中，如图4-图5所示，支撑杆200包括支撑光杆210和/或支撑齿杆220，支撑光杆210的外周壁止抵于匀流板300的侧壁，支撑齿杆220上设有限位槽400。可以理解的是，采用支撑光杆210作为支撑杆200，此时底板110上设有限位槽400，在安装过程中，支撑光杆210只需要止抵在匀流板300上即可，安装非常方便。采用支撑齿杆220作为支撑杆200，此时底板110上可以设置限位槽400，也可以不设置限位槽400，在安装过程中，需要将支撑齿杆220上的限位槽400与多个匀流板300一一对应插接，虽然操作相对复杂，但是能够提升匀流板300的稳定性，避免匀流板300在气体的碰撞下左右晃动，导致匀流装置的匀流作用下降。

这里需要说明的是，在有的实施例中，多个支撑杆200全部为支撑光杆210；在有的实施例中，多个支撑杆200全部为支撑齿杆220；在有的实施例中，多个支撑杆200中一部分为支撑光杆210，另一部分为支撑齿杆220，支撑杆200的具体结构可以根据实际需要做出调整。

在一些实施例中，底板110的两端设有第一安装部，支撑板120的两端设有与第一安装部配合的第二安装部。可以理解的是，通过第一安装部和第二安装部的配合，能够提升底板110和支撑板120的连接稳定性。

在一些具体的实施例中，第一安装部和第二安装部均为安装孔，底板110和支撑板120通过穿设于安装孔的连接件相连，可以理解的是，在实际安装过程中，只需要将两个安装孔对准，然后将连接件插入安装孔即可，安装非常方便，且底板110和支撑板120的连接稳定性较高。

在一些具体的实施例中，第一安装部和第二安装部中的一个为插接凸起，第一安装部和第二安装部中的另一个为与插接凸起配合的插接凹槽。可以理解的是，在实际安装过程中，只需要将插接凸起插入插接凹槽即可，无需使用连接件，组装操作非常方便。

优选的，底板110和支撑板120焊接或者粘接相连。可以理解的是，当插接凸起和插接凹槽配合完成后，底板110和支撑板120完成了预定位，再通过焊接或者粘接将二者相连能够提升底板110和支撑板120的连接稳定性。

在一些实施例中，支撑板120上设有减重结构124。可以理解的是，现有的匀流装置的框架结构采用实体的铝板，重量较大，不方便使用且制造成本较高，在本实施例中，支撑板120上设有减重结构124，使得整个匀流装置的质量较小，方便搬运和使用，且降低了制造成本。

实施例一：

如图1-图2，本实施例的匀流装置包括匀流框架100、支撑杆200和匀流板300，匀流框架100包括底板110和连接在底板110上两端的支撑板120，支撑板120上设有沿其长度方向间隔设置的四组安装槽121，每组安装槽121包括沿支撑板120宽度方向设置在两侧的安装槽121，安装槽121的一端敞开设置形成安装开口122，安装开口122形成为宽度逐渐变小的渐缩口，且安装开口122的内壁形成有用于导向支撑杆200的导向弧面123。支撑杆200具有两个止抵平面201，两个止抵平面201止抵于安装槽121底壁和顶壁上。底板110上设有用于安装匀流板300的限位槽400，支撑板120上还设有减重结构124，减重结构124形成为与其轮廓相似的减重槽。

本实施例的支撑杆200具有两种结构，一种如图5所示，支撑杆200形成为支撑光杆210，另一种如图4所示，支撑杆200形成为支撑齿杆220，支撑齿杆220上设有多个限位槽400。

实施例二：

图6所示，本实施例的匀流装置与实施例一的大致相同，所不同的是，本实施例的匀流板300的长度大于支撑板120的长度。

这里需要补充说明的是，在实际工艺进行中，当硅片的尺寸发生变化时，匀流板300的长度也可以根据实际需要随之变化，也就是说，在本实施例中，匀流板300的长度还可以小于支撑板120的长度，且匀流板300的长度和支撑板120的长度查可以根据实际需需要选择。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种匀流装置，其特征在于，包括：

匀流框架(100)，所述匀流框架(100)包括底板(110)和连接在所述底板(110)上两端的支撑板(120)；

支撑杆(200)，所述支撑杆(200)的两端可拆卸地连接于两个所述支撑板(120)，所述底板(110)和所述支撑杆(200)中的至少一个上设有多个间隔设置的限位槽(400)；

匀流板(300)，所述匀流板(300)插接于所述限位槽(400)。

2.根据权利要求1所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑板(120)设有安装槽(121)，所述安装槽(121)的一端敞开设置形成安装开口(122)，所述支撑杆(200)能够从所述安装开口(122)卡入所述安装槽(121)内。

3.根据权利要求2所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑杆(200)具有止抵平面(201)，所述止抵平面(201)止抵于所述安装槽(121)的底壁和/或顶壁上。

4.根据权利要求2所述的匀流装置，其特征在于，所述安装开口(122)形成为宽度逐渐变小的渐缩口，且所述安装开口(122)的内壁形成有用于导向所述支撑杆(200)的导向弧面(123)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑板(120)的相对设置的两侧均设有至少一个所述支撑杆(200)。

6.根据权利要求5所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑板(120)两侧分别设有多个沿所述支撑板(120)的高度方向间隔设置的所述支撑杆(200)，且多个所述支撑杆(200)中的至少一个上设有所述限位槽(400)。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑杆(200)包括支撑光杆(210)和/或支撑齿杆(220)，所述支撑光杆(210)的外周壁止抵于所述匀流板(300)的侧壁，所述支撑齿杆(220)上设有所述限位槽(400)。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的匀流装置，其特征在于，所述底板(110)的两端设有第一安装部，所述支撑板(120)的两端设有与所述第一安装部配合的第二安装部。

9.根据权利要求8所述的匀流装置，其特征在于，所述第一安装部和所述第二安装部均为安装孔，所述底板(110)和所述支撑板(120)通过穿设于所述安装孔的连接件相连；或者：

所述第一安装部和所述第二安装部中的一个为插接凸起，所述第一安装部和所述第二安装部中的另一个为与所述插接凸起配合的插接凹槽。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的匀流装置，其特征在于，所述支撑板(120)上设有减重结构(124)。