CN219326870U - 快拆式热炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种快拆式热炉，该快拆式热炉包括机架、热场和限位件，机架上设有至少一个托板，托板上设有配合槽，热场上设有配合于配合槽内的滑动件，限位件可拆卸地连接在机架上，且限位件用于限制热场在机架的运动。该快拆式热炉的更换和拆卸较为方便，安装和维护效果较高，降低了拆卸过程中的高温环境风险，减少了高空作业的时间。

Description

快拆式热炉

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种快拆式热炉。

背景技术

在光伏行业的扩散设备中，采用的是传统的单独安装的方式，即扩散炉安装上机架后，再将周围配套的零件进行安装。在扩散炉需要拆卸更换时，需先将扩散炉周围的所有零件拆除掉，然后才可以拆出扩散炉再进行更换。

扩散炉传统的安装方式，存在拆卸不方便、效率低的问题。随着扩散设备的发展，目前扩散设备均采用上下结构的多管扩散炉，在扩散炉更换的过程中，其它管的扩散炉仍在工作，周围温度较高，拆卸扩散炉周围零件存在高温环境的风险。另外，多管扩散炉结构的扩散设备，拆卸上层扩散炉存在高空作业的风险，拆卸扩散炉周围零件，作业不方便且时间长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种快拆式热炉，该快拆式热炉的更换和拆卸较为方便，安装和维护效果较高，降低了拆卸过程中的高温环境风险，减少了高空作业的时间。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种快拆式热炉，包括：机架，所述机架上设有至少一个托板，所述托板上设有配合槽；热场，所述热场上设有配合于所述配合槽内的滑动件；限位件，所述限位件可拆卸地连接在所述机架上，且所述限位件用于限制所述热场在所述机架的运动。

在一些实施例中，所述滑动件为多组，多组所述滑动件沿所述热场的长度方向间隔设置，每组所述滑动件的个数为至少一个，所述配合槽为多个，每个所述配合槽内配合有一组所述滑动件。

在一些实施例中，所述限位件为多个，且多个所述限位件沿所述热场的长度方向间隔设置。

在一些实施例中，所述托板上设有第一固定孔，所述限位件上设有第二固定孔，所述限位件通过穿设于所述第二固定孔及所述第一固定孔的连接件连接。

在一些实施例中，所述托板和所述限位件中的一个设有插接柱，所述托板和所述限位件中的另一个设有插接槽，所述插接柱能够插接在所述插接槽内。

在一些实施例中，所述托板为多个，多个所述托板沿所述机架的高度方向间隔设置。

在一些实施例中，所述机架上还设有对应所述热场一端设置的开口。

在一些实施例中，所述热场包括：框架结构，所述框架结构上设有所述滑动件；加热件，所述加热件设在所述框架结构内；保温件，所述保温件填充于所述框架结构和所述加热件之间。

在一些具体的实施例中，所述框架结构的侧壁上还设有接线端子，所述接线端子用于连接所述加热件和外部电源。

在一些实施例中，所述框架结构的截面为四边形。

本实用新型的快拆式热炉的有益效果：在安装过程中，将热场放置在托板上，并且使得滑动件配合在配合槽内，将热场推入机架后将限位件安装在机架上，避免热场在托板跑动甚至掉落的现象发生。在拆卸过程中，只需将限位件从机架上拆卸，然后将热场拉出托板即可。相比于现有技术中需先将热场周围的所有零件拆除掉，然后才可以拆出热场再进行更换，本实施例的快拆式热炉的更换和拆卸较为方便，安装和维护效果较高，降低了拆卸过程中的高温环境风险，减少了高空作业的时间。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例的快拆式热炉的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的热场在一个方向上的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的热场在另一个方向上的结构示意图。

附图标记：

100、机架；110、开口；

200、托板；210、配合槽；

300、热场；310、框架结构；311、滑动件；320、加热件；330、保温件；340、接线端子；

400、限位件。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图3描述本实用新型实施例的快拆式热炉的具体结构。

本实用新型公开了一种快拆式热炉，如图1所示，该快拆式热炉包括机架100、热场300和限位件400，机架100上设有至少一个托板200，托板200上设有配合槽210，热场300上设有配合于配合槽210内的滑动件311，限位件400可拆卸地连接在机架100上，且限位件400用于限制热场300在机架100的运动。可以理解的是，在安装过程中，将热场300放置在托板200上，并且使得滑动件311配合在配合槽210内，将热场300推入机架100后将限位件400安装在机架100上，避免热场300在托板200跑动甚至掉落的现象发生。在拆卸过程中，只需将限位件400从机架100上拆卸，然后将热场300拉出托板200即可。相比于现有技术中需先将热场周围的所有零件拆除掉，然后才可以拆出热场再进行更换，本实施例的快拆式热炉的更换和拆卸较为方便，安装和维护效果较高，降低了拆卸过程中的高温环境风险，减少了高空作业的时间。

可选的，滑动件311为滚轮。由此，方便用户推拉热场300，从而进一步方便热场300的安装和拆卸。

在一些实施例中，如图3所示，滑动件311为多组，多组滑动件311沿热场300的长度方向间隔设置，每组滑动件311的个数为至少一个，配合槽210为多个，每个配合槽210内配合有一组滑动件311。可以理解的是，配合槽210为多个，一方面能够保证热场300能够稳定地支撑在托板200上，另一方面方便用户推拉热场300，从而进一步方便热场300的安装和拆卸。

在一些实施例中，如图1所示，限位件400为多个，且多个限位件400沿热场300的长度方向间隔设置。可以理解的是，采用多个沿热场300的长度方向间隔设置的限位件400对热场300进行限制，能够确保对热场300的限制作用，从而最大限度避免热场300在托板200跑动甚至掉落的现象发生。这里需要说明的是，限位件400的具体形状可以根据热场300的外侧壁的形状选择，在此不对限位件400的形状做出限定。

在一些实施例中，托板200上设有第一固定孔，限位件400上设有第二固定孔，限位件400通过穿设于第二固定孔及第一固定孔的连接件连接。可以理解的是，通过穿设于第一固定孔及第二固定孔的连接件将托板200和限位件400连接在一起，一方面方便限位件400的安装和拆卸，另一方面能够确保限位件400和托板200的连接稳定性，从能够确保对热场300的限制作用，最大限度避免热场300在托板200跑动甚至掉落的现象发生。在本实用新型的实施例中，连接件可以根据实际需要选择螺钉、销钉等，在此不对连接件的具体类型做出限定。

在一些实施例中，托板200和限位件400中的一个设有插接柱，托板200和限位件400中的另一个设有插接槽，插接柱能够插接在插接槽内。可以理解的是，通过插接柱和插接槽的配合，能够方便限位件400的安装和拆卸，且确保限位件400和托板200的连接稳定性。这里需要说明的是，在有的实施例中，托板200上设有插接柱，限位件400上设有插接槽；在有的实施例中，托板200上设有插接槽，限位件400上设有插接柱，插接柱和插接槽可以根据实际需要设置。这里需要补充说明的是，在本实用新型的实施例中，限位件400还可以设置在机架100的其他位置，只需要能够限制热场300相对机架100的滑动即可。

在一些实施例中，如图1所示，托板200为多个，多个托板200沿机架100的高度方向间隔设置。可以理解的是，托板200为多个就能够放置多个热场300，从而提升快拆式热炉的产能。

在一些实施例中，如图1所示，机架100上还设有对应热场300一端设置的开口110。由此，可以从开口110朝向热场300输入片材，或者热场300内的片材从开口110输出。

在一些实施例中，如图1所示，热场300包括框架结构310、加热件320和保温件330，框架结构310上设有滑动件311，加热件320设在框架结构310内，保温件330填充于框架结构310和加热件320之间。可以理解的是，一方面保温件330能够降低加热件320的热量向外散发，从而降低了框架结构310在工作过程中的温度，另一方面使得加热件320的热量利用率较高，从而节约能源。

在一些具体的实施例中，如图2所示，框架结构310的侧壁上还设有接线端子340，接线端子340用于连接加热件320和外部电源。可以理解的是，框架结构310的侧壁上设有接线端子340能够方便将外部电源的引线与加热件320相连，从而确保加热件320在工作过程中能够稳定地供电。

在一些实施例中，框架结构310的截面为四边形。可以理解的是，相比于圆形的框架，四边形的框架方便加工，且能够降低热场300在托板200上晃动的几率。

实施例：

如图1-图3所示，该快拆式热炉包括机架100、热场300和限位件400，机架100上设有六个沿机架100高度方向间隔设置的托板200，托板200上设有两个间隔设置配合槽210，热场300包括框架结构310、加热件320和保温件330，框架结构310上设有两组间隔设置的滑动件311(本实施例的滑动件311为滚轮)，加热件320设在框架结构310内，保温件330填充于框架结构310和加热件320之间。滑动件311能够配合在配合槽210内。本实施例中，限位件400可以通过两种方式可拆卸地连接在托板200上：

第一种：托板200上设有第一固定孔，限位件400上设有第二固定孔，限位件400通过穿设于第二固定孔及第一固定孔的连接件连接；

第二种：托板200和限位件400中的一个设有插接柱，托板200和限位件400中的另一个设有插接槽，插接柱能够插接在插接槽内。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.快拆式热炉，其特征在于，包括：

机架(100)，所述机架(100)上设有至少一个托板(200)，所述托板(200)上设有配合槽(210)；

热场(300)，所述热场(300)上设有配合于所述配合槽(210)内的滑动件(311)；

限位件(400)，所述限位件(400)可拆卸地连接在所述机架(100)上，且所述限位件(400)用于限制所述热场(300)在所述机架(100)的运动。

2.根据权利要求1所述的快拆式热炉，其特征在于，所述滑动件(311)为多组，多组所述滑动件(311)沿所述热场(300)的长度方向间隔设置，每组所述滑动件(311)的个数为至少一个，所述配合槽(210)为多个，每个所述配合槽(210)内配合有一组所述滑动件(311)。

3.根据权利要求1所述的快拆式热炉，其特征在于，所述限位件(400)为多个，且多个所述限位件(400)沿所述热场(300)的长度方向间隔设置。

4.根据权利要求1所述的快拆式热炉，其特征在于，所述托板(200)上设有第一固定孔，所述限位件(400)上设有第二固定孔，所述限位件(400)通过穿设于所述第二固定孔及所述第一固定孔的连接件连接。

5.根据权利要求1所述的快拆式热炉，其特征在于，所述托板(200)和所述限位件(400)中的一个设有插接柱，所述托板(200)和所述限位件(400)中的另一个设有插接槽，所述插接柱能够插接在所述插接槽内。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的快拆式热炉，其特征在于，所述托板(200)为多个，多个所述托板(200)沿所述机架(100)的高度方向间隔设置。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的快拆式热炉，其特征在于，所述机架(100)上还设有对应所述热场(300)一端设置的开口(110)。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的快拆式热炉，其特征在于，所述热场(300)包括：

框架结构(310)，所述框架结构(310)上设有所述滑动件(311)；

加热件(320)，所述加热件(320)设在所述框架结构(310)内；

保温件(330)，所述保温件(330)填充于所述框架结构(310)和所述加热件(320)之间。

9.根据权利要求8所述的快拆式热炉，其特征在于，所述框架结构(310)的侧壁上还设有接线端子(340)，所述接线端子(340)用于连接所述加热件(320)和外部电源。

10.根据权利要求8所述的快拆式热炉，其特征在于，所述框架结构(310)的截面为四边形。

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