CN220637616U - 固定治具 - Google Patents

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CN220637616U
CN220637616U CN202322201345.0U CN202322201345U CN220637616U CN 220637616 U CN220637616 U CN 220637616U CN 202322201345 U CN202322201345 U CN 202322201345U CN 220637616 U CN220637616 U CN 220637616U
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adsorption
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刘向楠
南应斗
张阔
董勇永
蔡贵阳
王金帆
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Fulian Technology Jiyuan Co ltd
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Fulian Technology Jiyuan Co ltd
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Abstract

一种固定治具包括:治具本体,具有安装槽;吸附件,活动设于安装槽并具有吸附孔;及浮动支撑机构,包括:壳体,部分安装于安装槽内并具有收容腔体和气体流道,且两端分别设有第一开口和第二开口;活动件,穿过第一开口并活动穿设于收容腔体,活动件气密性地抵接于收容腔体的侧壁并连接吸附件,活动件设有通气槽;定位弹性件,套设于活动件并分别抵持吸附件和壳体;锁止组件,活动设于收容腔体内并气密性地抵接于收容腔体的侧壁。吸附件在工件的下压下带动活动件朝向收容腔体的底部运动并压缩定位弹性件,使得工件的下表面稳定地贴合至治具本体上,并通过吸附孔在真空发生器的导通下真空吸附贴合至治具本体上的工件,提高装夹精度。

Description

固定治具
技术领域
本实用新型涉及零部件装配技术领域,尤其涉及一种固定治具。
背景技术
由于工件被加工时会存在表面不平整的情况,将工件放在治具上,用压板将工件压紧到治具表面上时,会造成工件和治具表面贴合不严,如此工件被刀具进行加工时会产生振动,降低了工件的加工品质。
实用新型内容
鉴于上述状况,有必要提供一种固定治具,以浮动支撑固定工件,有效避免工件的表面不平整造成的工件和治具表面贴合不严,提高装夹精度。
本申请实施例提供一种固定治具,包括:治具本体,用于承载工件,所述治具本体具有一安装槽,所述安装槽贯穿所述治具本体的相对两侧;吸附件,活动设于所述安装槽,所述吸附件具有用于吸附所述工件的吸附孔;及浮动支撑机构,所述浮动支撑机构包括:壳体,部分安装于所述安装槽内,所述壳体具有收容腔体和气体流道,所述收容腔体设于所述壳体内,所述壳体靠近所述吸附件的一端设有与所述收容腔体连通的第一开口,所述壳体远离所述吸附件的一端设有与所述收容腔体连通的第二开口,所述气体流道开设于所述壳体的侧壁,所述气体流道的两端分别与所述收容腔体和一真空发生器连通;活动件,穿过所述第一开口并活动穿设于所述收容腔体内,所述活动件气密性地抵接于所述收容腔体的侧壁并连接于所述吸附件,且所述活动件设有分别与所述吸附孔和所述收容腔体连通的通气槽;定位弹性件,套设于所述活动件并分别弹性抵持所述吸附件和所述壳体;锁止组件,活动设于所述收容腔体内并气密性地抵接于所述收容腔体的侧壁,且所述锁止组件与所述活动件在所述壳体的延伸方向上间隔设置;其中,在所述气体流道的导通时,所述收容腔体在所述真空发生器的作用下产生负压,以使所述锁止组件在负压作用下靠近所述活动件运动,以锁止所述活动件。
上述固定治具中,当工件放置于治具本体上时,工件下压吸附件,吸附件带动活动件朝向收容腔体的底部运动并压缩定位弹性件,能够使工件的下表面稳定地贴合至治具本体上,有效避免工件的表面不平整造成的工件和治具表面贴合不严,并通过吸附孔在真空发生器的导通下真空吸附贴合至治具本体上的工件,实现浮动支撑固定工件,进而使固定治具稳定地且精准地装夹固定工件,提高了装夹精度。当工件被吸附件吸附固定工件时,真空发生器通过气体流道抽取真空,使收容腔体内产生负压,从而使得锁止组件在负压作用下靠近活动件运动以锁止活动件,从而使锁止组件对活动件及吸附有工件的吸附件进行支撑,避免真空发生器持续作业时使吸附件对工件产生向下的作用力而使被吸附的工件向下运动,导致工件的下表面与治具本体之间发生干涉而发生变形,进而提高了装夹稳定性。
在一些实施例中,所述吸附件还设有多个吸附气槽,多个所述吸附气槽开设于所述吸附件背离所述活动件的一侧并分别与所述吸附孔连通,多个所述吸附气槽用于在所述吸附孔的导通下同时吸附所述工件。
在一些实施例中,所述固定治具还包括:第一密封件,套设于所述活动件并抵接于所述收容腔体的侧壁,所述第一密封件用于对所述收容腔体进行密封;第二密封件,嵌设于所述吸附件背离所述活动件的一侧并围设所述吸附气槽,所述第二密封件用于对所述吸附气槽进行密封。
在一些实施例中,所述浮动支撑机构还包括:限位件,所述活动件的外周侧沿所述活动件的延伸方向设有限位槽,所述限位件沿垂直于所述活动件延伸方向的方向穿设于所述壳体并凸伸至所述限位槽内,用于限位所述活动件。
在一些实施例中,所述浮动支撑机构还包括:过滤件,嵌设于所述活动件朝向所述吸附件的一端并盖设于所述通气槽的槽口。
在一些实施例中,所述活动件远离所述吸附件的一端设有锁止槽和第三开口,所述第三开口开设于所述锁止槽朝向所述收容腔体的槽壁,所述锁止组件包括:锁止件,与所述活动件间隔设置,所述锁止件气密性地抵接于所述收容腔体的侧壁且朝向所述活动件的一端设有锁止部,所述锁止部与所述锁止槽相适配并用于在所述气体流道的导通时插设至所述锁止槽内;滚珠,设于所述锁止槽内并抵接于所述锁止部,所述滚珠用于在所述锁止部的抵推下凸伸出所述第三开口并抵接于所述收容腔体的侧壁以锁止所述活动件;复位弹性件,分别弹性抵持于所述锁止件和所述活动件,所述复位弹性件用于驱动所述锁止件复位。
在一些实施例中,所述锁止槽的槽底设有导向斜面,所述导向斜面与所述锁止部之间的间距沿垂直于所述锁止件延伸方向的方向逐渐增大,所述导向斜面用于对所述滚珠进行导向。
在一些实施例中,所述锁止组件还包括:第三密封件,套设于所述锁止件并抵接于所述收容腔体的侧壁,所述第三密封件用于对所述收容腔体进行密封。
在一些实施例中,所述气体流道包括直线流道及环形流道,所述直线流道开设于所述壳体的侧壁并与所述真空发生器连通,所述环形流道设置于所述收容腔体的侧壁并与所述直线流道连通;所述锁止件的外周侧设有导气槽,所述导气槽与所述环形流道和所述收容腔体连通,所述导气槽在所述环形流道的导通下使得所述收容腔体产生负压,以使所述锁止件在所述负压作用下靠近所述活动件运动。
在一些实施例中,所述通气槽包括容纳槽及连通气槽,所述容纳槽的内径大于所述连通气槽的内径,所述容纳槽的两端分别与所述收容腔体和所述连通气槽连通,所述容纳槽用于容纳并限位所述复位弹性件,所述连通气槽与所述吸附孔连通。
附图说明
图1为本申请实施例提供的固定治具与所适用的工件的立体结构示意图。
图2为图1所示固定治具的立体结构示意图。
图3为图1所示固定治具与工件沿Ⅲ-Ⅲ方向的剖面示意图。
图4为图3所示固定治具处于锁止状态的结构示意图。
图5为图1所示固定治具的分解结构示意图。
主要元件符号说明
工件 200
固定治具 100
治具本体 10
安装槽 11
吸附件 20
吸附孔 21
吸附气槽 22
浮动支撑机构 30
壳体 31
收容腔体 311
气体流道 312
直线流道 3121
环形流道 3122
第一开口 313
第二开口 314
收纳槽 315
活动件 32
通气槽 321
容纳槽 3211
连通气槽 3212
限位槽 322
锁止槽 323
导向斜面 3231
第三开口 324
定位弹性件 33
锁止组件 34
锁止件 341
锁止部 3411
导气槽 3412
滚珠 342
复位弹性件 343
第三密封件 344
限位件 35
过滤件 36
第一密封件 40
第二密封件 50
具体实施方式
下面为了能够更清楚地理解本申请的目的、特征和优点,下面结合附图和具体实施例对本申请进行详细描述。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请的实施例及实施例中的特征可以相互结合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请,所述描述的实施例仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。
下面结合附图,对本申请的实施例作进一步说明。
请参阅图1,本申请实施例提供一种固定治具100,固定治具100用于支撑及吸附固定待加工的工件200,工件200可以为手机中板、手机背板等。
请参阅图2和图3,固定治具100包括治具本体10、吸附件20及浮动支撑机构30,治具本体10用于承载工件200,吸附件20及浮动支撑机构30相配合以实现对工件200支撑及吸附固定。
请继续参阅图3,治具本体10具有一安装槽11,安装槽11贯穿治具本体10的相对两侧。吸附件20活动设于安装槽11,吸附件20具有用于吸附工件200的吸附孔21。浮动支撑机构30包括壳体31、活动件32、定位弹性件33及锁止组件34。壳体31部分安装于安装槽11内,壳体31具有收容腔体311和气体流道312,收容腔体311设于壳体31内,壳体31靠近吸附件20的一端设有与收容腔体311连通的第一开口313,壳体31远离吸附件20的一端设有与收容腔体311连通的第二开口314,气体流道312开设于壳体31的侧壁,气体流道312的两端分别与收容腔体311和一真空发生器连通。活动件32穿过第一开口313并活动设于收容腔体311内,活动件32气密性地抵接于收容腔体311的侧壁并连接于吸附件20,且活动件32设有分别与吸附孔21和收容腔体311连通的通气槽321。定位弹性件33套设于活动件32并分别弹性抵持吸附件20和壳体31。锁止组件34活动设于收容腔体311内并气密性地抵接于收容腔体311的侧壁,且锁止组件34与活动件32在壳体31的延伸方向上间隔设置。其中,在气体流道312的导通时,收容腔体311在真空发生器的作用下产生负压,以使锁止组件34在负压作用下靠近活动件32运动,以锁止活动件32。在本实施例中,定位弹性件33可以为弹簧。
上述固定治具100中,当工件200放置于治具本体10上时,工件200下压吸附件20,吸附件20带动活动件32朝向收容腔体311的底部运动并压缩定位弹性件33,能够使工件200的下表面稳定地贴合至治具本体10上,有效避免工件200的表面不平整造成的工件200和治具表面贴合不严,并通过吸附孔21在真空发生器的导通下真空吸附贴合至治具本体10上的工件200,实现浮动支撑固定工件200,进而使固定治具100稳定地且精准地装夹固定工件200,提高了装夹精度。请参阅图4,当工件200被吸附件20吸附固定工件200时,真空发生器通过气体流道312抽取真空,使收容腔体311内产生负压,从而使得锁止组件34在负压作用下靠近活动件32运动以锁止活动件32,从而使锁止组件34对活动件32及吸附有工件200的吸附件20进行支撑,避免真空发生器持续作业时使吸附件20对工件200产生向下的作用力而使被吸附的工件200向下运动,导致工件200的下表面与治具本体10之间发生干涉而发生变形,进而提高了装夹稳定性。
可以理解地,治具本体10开设有多个安装槽11,吸附件20及浮动支撑机构30的数量为多组,多组吸附件20分别设置于对应的安装槽11内,多组浮动支撑机构30也分别设置于对应的安装槽11内并分别与多组吸附件20连接,多组吸附件20及多组浮动支撑机构30相配合用于对工件200的多处不平整区域进行支撑,实现工件200与治具表面贴合,有效避免工件200的表面不平整造成的工件200和治具表面贴合不严,消除加工时产生的振动,有效提高装夹精度。
请参阅图5,在一些实施例中,吸附件20还开设有多个吸附气槽22,多个吸附气槽22开设于吸附件20背离活动件32的一侧并分别与吸附孔21连通,多个吸附气槽22用于在吸附孔21的导通下同时吸附工件200。在本实施例中,多个吸附气槽22呈工字型,也可以呈回字形。
如此,通过设置多个吸附气槽22在吸附孔21的导通下同时吸附工件200,这样可以增大吸附件20作用至工件200的吸附面积,从而提高吸附件20对工件200产生的吸附力,使得工件200被吸附件20稳定地吸附至治具本体10上,进而提高了吸附件20的吸附稳定性及固定治具100的装夹稳定性。
请参阅图3,在一些实施例中,固定治具100还包括第一密封件40和第二密封件50。第一密封件40套设于活动件32并抵接于收容腔体311的侧壁,第一密封件40用于对收容腔体311进行密封,避免外部气体由活动件32与收容腔体311的侧壁的连接处输送至收容腔体311内而破坏收容腔体311内的真空环境,进而提高吸附件20的吸附稳定性。第二密封件50嵌设于吸附件20背离活动件32的一侧并围设吸附气槽22,第二密封件50用于对吸附气槽22进行密封,使得吸附件20与工件200之间形成密封环境,从而使吸附件20通过吸附气槽22稳定地真空吸附工件200,进一步地提高了吸附稳定性及装夹稳定性。在本实施例中,第一密封件40和第二密封件50可以为密封圈、泡发条等。
在一些实施例中,浮动支撑机构30还包括限位件35,活动件32的外周侧沿活动件32的延伸方向设有限位槽322,限位件35沿垂直于活动件32延伸方向的方向穿设于壳体31并凸伸至限位槽322内,通过限位槽322的相对两槽底以及限位件35能够对活动件32的运动距离进行限位,防止活动件32远离收容腔体311的底部运动距离过大而脱离收容腔体311,或靠近收容腔体311的底部运动距离过大而使吸附件20与壳体31之间发生干涉,这样可以提高固定治具100的装夹稳定性。
在一些实施例中,浮动支撑机构30还包括过滤件36,过滤件36嵌设于活动件32朝向吸附件20的一端并盖设于通气槽321的槽口。在本实施例中,过滤件36可以为过滤网。
加工设备对被装夹固定的工件200进行机械加工时会产生大量的碎屑,如此,通过设置过滤件36,能够使过滤件36将碎屑隔离至通气槽321的外部,避免碎屑进入通气槽321的槽体内而封堵通气槽321或其他的气体流动通道,进而提高了吸附件20的吸附稳定性及固定治具100的装夹稳定性。
请参阅图3至图5,在一些实施例中,活动件32远离吸附件20的一端设有锁止槽323和第三开口324,第三开口324开设于锁止槽323朝向收容腔体311的槽壁。锁止组件34包括锁止件341、滚珠342及复位弹性件343。锁止件341与活动件32间隔设置,锁止件341气密性地抵接于收容腔体311的侧壁且朝向活动件32的一端设有锁止部3411,锁止部3411与锁止槽323相适配并用于在气体流道312的导通时插设至锁止槽323内。滚珠342设于锁止槽323内并抵接于锁止部3411,滚珠342用于在锁止部3411的抵推下凸伸出第三开口324并抵接于收容腔体311的侧壁以锁止活动件32。复位弹性件343分别弹性抵持于锁止件341和活动件32,复位弹性件343用于驱动锁止件341复位。在本实施例中,滚珠342可以为球形钢珠,复位弹性件343可以为弹簧。
请参阅图3,当真空发生器抽取收容腔体311内的气体达到成第一真空度时,吸附件20吸附固定工件200至治具本体10上,同时收容腔体311内产生第一负压,锁止件341在第一负压作用下靠近活动件32运动,由于复位弹性件343对锁止件341施加一驱动力,使得锁止部3411不能完全插入至锁止槽323内并将滚珠342凸伸出第三开口324。请参阅图4,当真空发生器继续抽取收容腔体311内的气体达到第二真空度时,收容腔体311内产生第二负压,锁止件341在第二负压作用下压缩复位弹性件343并带动锁止部3411完全插入锁止槽323内,以使滚珠342在锁止部3411的抵推下凸伸出第三开口324并抵接于收容腔体311的侧壁。如此,通过设置复位弹性件343,能够使复位弹性件343对锁止件341施加一驱动力,使得锁止件341在吸附件20完成吸附作业后再抵推滚珠342凸伸出第三开口324,防止锁止组件34在吸附件20吸附工件200的过程中锁止活动件32导致工件200与治具本体10之间形成间隙,这样有利于提高装夹精度。此外,复位弹性件343还能够在工件200完成装夹作业后驱动锁止件341复位至初始位置,便于固定治具100进行重复装夹作业。
可以理解地,锁止槽323和第三开口324的数量可以为多个,多个锁止槽323呈中心对称结构设置于活动件32的端部,多个第三开口324分别开设于对应的锁止槽323邻近收容腔体311的槽壁。此外,锁止部3411及滚珠342的数量也为多个并与锁止槽323的数量相一致,每个锁止部3411分别抵推对应的滚珠342移出对应的锁止槽323。
请参阅图4,在一些实施例中,锁止槽323的槽底设有导向斜面3231,导向斜面3231与锁止部3411之间的间距沿垂直于锁止件341延伸方向的方向逐渐增大,导向斜面3231用于对滚珠342进行导向,使得滚珠342在锁止部3411的抵推下沿导向斜面3231稳定地凸伸出第三开口324并抵接于收容腔体311的侧壁,以此实现稳定地锁止活动件32,提高了固定治具100的装夹稳定性。
请参阅图5,在一些实施例中,锁止组件34还包括第三密封件344,第三密封件344套设于锁止件341并抵接于收容腔体311的侧壁,第三密封件344用于对收容腔体311进行密封。在本实施例中,第三密封件344可以为密封圈。
由于锁止件341气密性地抵接于收容腔体311的侧壁,使得收容腔体311与第二开口314所连通的外部空间分隔形成两个独立空间,收容腔体311在气体流道312的导通下形成真空环境并与外部空间之间形成气压差,使得锁止件341在负压作用下靠近活动件32运动。如此,通过设置第三密封件344,能够使第三密封件344对收容腔体311进行密封,避免外部空间的气体穿过第二开口314并通过锁止件341与收容腔体311的侧壁连接处输送至收容腔体311内并破坏收容腔体311的真空环境,从而有利于维持收容腔体311的真空环境,进而提高了吸附稳定性和装夹稳定性。
在一些实施例中,气体流道312包括直线流道3121及环形流道3122,直线流道3121开设于壳体31的侧壁并与真空发生器连通,环形流道3122设置于收容腔体311的侧壁并与直线流道3121连通。锁止件341的外周侧设有导气槽3412,导气槽3412与环形流道3122和收容腔体311连通,导气槽3412能够在环形流道3122的导通下使得收容腔体311产生负压,以使锁止件341在负压作用下靠近活动件32运动。
如此,通过设置导气槽3412与环形流道3122和收容腔体311连通,能够使真空发生器通过相连通的环形流道3122和导气槽3412持续抽取收容腔体311内气体,以使收容腔体311产生负压,从而使锁止件341在负压作用下稳定地将滚珠342抵推至收容腔体311的槽壁,避免锁止件341靠近活动件32的过程中封堵气体流道312而使锁止件341无法压缩复位弹性件343至活动件32,进而防止滚珠342因锁止件341的运动距离过小而导致其无法凸伸出第三开口324,实现锁止件341稳定地抵推滚珠342凸伸出第三开口324,进一步地提高了装夹稳定性。
请参阅图3,在一些实施例中,通气槽321包括容纳槽3211及连通气槽3212,容纳槽3211的内径大于连通气槽3212的内径,容纳槽3211的两端分别与收容腔体311和连通气槽3212连通,容纳槽3211用于容纳并限位复位弹性件343,连通气槽3212与吸附孔21连通。
如此,通过设置容纳槽3211的内径大于连通气槽3212,能够将复位弹性件343容纳并限位至容纳槽3211内,避免复位弹性件343通过连通气槽3212与吸附件20发生干涉,使得复位弹性件343始终沿容纳槽3211的延伸方向提供弹力或被压缩,提高了复位弹性件343提供弹力的稳定性。
请参阅图3,壳体31靠近吸附件20的一端设置有用于收纳定位弹性件33的收纳槽315,收纳槽315与第一开口313和收容腔体311连通,收纳槽315收纳定位弹性件33,能够对定位弹性件33进行限位,使得定位弹性件33的相对两端分别稳定地抵接于收纳槽315的槽底和吸附件20,进而使定位弹性件33始终沿收纳槽315的延伸方向被压缩或复位,提高了定位弹性件33提供弹力的稳定性。
上述固定治具100的工作过程大致为:
首先,将工件200放置于治具本体10上,工件200下压吸附件20,吸附件20带动活动件32朝向收容腔体311的底部运动并压缩定位弹性件33至收纳槽315的槽底,能够使工件200的下表面稳定地贴合至治具本体10上,有效避免工件200的表面不平整造成的工件200和治具表面贴合不严,真空发生器抽取收容腔体311内的气体并达到第一真空度,同时收容腔体311内产生第一负压,使得吸附孔21在真空发生器的导通下真空吸附工件200,实现浮动支撑固定工件200,进而使固定治具100稳定地且精准地装夹固定工件200,提高了装夹精度;
然后,真空发生器继续抽取收容腔体311内的气体并达到第二真空度,同时收容腔体311内产生第二负压,使得锁止件341在第二负压作用下带动锁止部3411完全插设至锁止槽323内并压缩复位弹性件343至活动件32,使得滚珠342在锁止部3411的抵推下凸伸出第三开口324并抵接于收容腔体311的侧壁以此锁止活动件32,从而使锁止件341通过滚珠342对被锁止的活动件32及吸附件20进行支撑,避免真空发生器持续作业时使吸附件20产生的吸附力对工件200产生向下的作用力而使被吸附的工件200向下运动,导致工件200的下表面与治具本体10之前发生干涉而发生变形,进而提高了装夹稳定性;
最后,工件200完成装夹作业时,真空发生器停止抽取气体,复位弹性件343提供弹力并驱动锁止件341靠近收容腔体311的底部运动,使得锁止件341复位至初始位置,便于固定治具100进行重复装夹作业。
最后应说明的是,以上实施例仅用以说明本申请的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本申请进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换,而不脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种固定治具,其特征在于,包括:
治具本体,用于承载工件,所述治具本体具有一安装槽,所述安装槽贯穿所述治具本体的相对两侧;
吸附件,活动设于所述安装槽,所述吸附件具有用于吸附所述工件的吸附孔;及
浮动支撑机构,所述浮动支撑机构包括:
壳体,部分安装于所述安装槽内,所述壳体具有收容腔体和气体流道,所述收容腔体设于所述壳体内,所述壳体靠近所述吸附件的一端设有与所述收容腔体连通的第一开口,所述壳体远离所述吸附件的一端设有与所述收容腔体连通的第二开口,所述气体流道开设于所述壳体的侧壁,所述气体流道的两端分别与所述收容腔体和一真空发生器连通;
活动件,穿过所述第一开口并活动穿设于所述收容腔体内,所述活动件气密性地抵接于所述收容腔体的侧壁并连接于所述吸附件,且所述活动件设有分别与所述吸附孔和所述收容腔体连通的通气槽;
定位弹性件,套设于所述活动件并分别弹性抵持所述吸附件和所述壳体;
锁止组件,活动设于所述收容腔体内并气密性地抵接于所述收容腔体的侧壁,且所述锁止组件与所述活动件在所述壳体的延伸方向上间隔设置;
其中,在所述气体流道的导通时,所述收容腔体在所述真空发生器的作用下产生负压,以使所述锁止组件在负压作用下靠近所述活动件运动,以锁止所述活动件。
2.如权利要求1所述的固定治具,其特征在于,
所述吸附件还设有多个吸附气槽,多个所述吸附气槽开设于所述吸附件背离所述活动件的一侧并分别与所述吸附孔连通,多个所述吸附气槽用于在所述吸附孔的导通下同时吸附所述工件。
3.如权利要求2所述的固定治具,其特征在于,所述固定治具还包括:
第一密封件,套设于所述活动件并抵接于所述收容腔体的侧壁,所述第一密封件用于对所述收容腔体进行密封;
第二密封件,嵌设于所述吸附件背离所述活动件的一侧并围设所述吸附气槽,所述第二密封件用于对所述吸附气槽进行密封。
4.如权利要求1所述的固定治具,其特征在于,所述浮动支撑机构还包括:
限位件,所述活动件的外周侧沿所述活动件的延伸方向设有限位槽,所述限位件沿垂直于所述活动件延伸方向的方向穿设于所述壳体并凸伸至所述限位槽内,用于限位所述活动件。
5.如权利要求1所述的固定治具,其特征在于,所述浮动支撑机构还包括:
过滤件,嵌设于所述活动件朝向所述吸附件的一端并盖设于所述通气槽的槽口。
6.如权利要求1所述的固定治具,其特征在于,所述活动件远离所述吸附件的一端设有锁止槽和第三开口,所述第三开口开设于所述锁止槽朝向所述收容腔体的槽壁,
所述锁止组件包括:
锁止件,与所述活动件间隔设置,所述锁止件气密性地抵接于所述收容腔体的侧壁且朝向所述活动件的一端设有锁止部,所述锁止部与所述锁止槽相适配并用于在所述气体流道的导通时插设至所述锁止槽内;
滚珠,设于所述锁止槽内并抵接于所述锁止部,所述滚珠用于在所述锁止部的抵推下凸伸出所述第三开口并抵接于所述收容腔体的侧壁以锁止所述活动件;
复位弹性件,分别弹性抵持于所述锁止件和所述活动件,所述复位弹性件用于驱动所述锁止件复位。
7.如权利要求6所述的固定治具,其特征在于,
所述锁止槽的槽底设有导向斜面,所述导向斜面与所述锁止部之间的间距沿垂直于所述锁止件延伸方向的方向逐渐增大,所述导向斜面用于对所述滚珠进行导向。
8.如权利要求6所述的固定治具,其特征在于,所述锁止组件还包括:
第三密封件,套设于所述锁止件并抵接于所述收容腔体的侧壁,所述第三密封件用于对所述收容腔体进行密封。
9.如权利要求6所述的固定治具,其特征在于,
所述气体流道包括直线流道及环形流道,所述直线流道开设于所述壳体的侧壁并与所述真空发生器连通,所述环形流道设置于所述收容腔体的侧壁并与所述直线流道连通;
所述锁止件的外周侧设有导气槽,所述导气槽与所述环形流道和所述收容腔体连通,所述导气槽在所述环形流道的导通下使得所述收容腔体产生负压,以使所述锁止件在所述负压作用下靠近所述活动件运动。
10.如权利要求6所述的固定治具,其特征在于,
所述通气槽包括容纳槽及连通气槽,所述容纳槽的内径大于所述连通气槽的内径,所述容纳槽的两端分别与所述收容腔体和所述连通气槽连通,所述容纳槽用于容纳并限位所述复位弹性件,所述连通气槽与所述吸附孔连通。
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