CN220564163U - 一种可调节龙门吊 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种可调节龙门吊。本实用新型提供了一种可调节龙门吊，包括铝合金的横梁结构和铝合金的支架结构：所述横梁结构，为多段主梁可拆卸地连接组成；所述支架结构，数量为两个，分别与横梁结构的两端连接；所述支架结构，包括底座和立柱；所述立柱，底部设置若干个限位孔；所述底座，可选择地与立柱的若干限位孔中的一个或多个连接。本实用新型提出了一种可调节龙门吊，闲时拆卸以减少占地面积，用时组装，对于不同设备跨度可实现不同跨度调节，对机台适应性好，便于对半导体设备的维护。

Description

一种可调节龙门吊

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种用于半导体设备维护的便携无尘式的可调节龙门吊。

背景技术

半导体设备是当今电子科技领域中最重要的器件之一。在半导体芯片制造过程中，反应腔是至关重要的组成部分，它直接影响半导体器件的质量和产量。

图1揭示了现有技术的半导体反应腔的机械手更换示意图，如图1所示，当多个半导体反应腔之间需要吊装更换机械手时，例如在搭配高反应腔的平台在反应腔满配的情况下，由于吊装空间狭小，容易出现真空机械手更换困难的问题。

龙门式起重机，俗称龙门吊，龙门起重机。现有的龙门吊主要用于室外的货场、料场货、散货的装卸作业。门式起重机具有场地利用率高、作业范围大、适应面广、通用性强等特点。

图2揭示了现有技术的普通龙门吊的结构示意图，如图2所示，应用于fab(代工厂)的普通龙门吊通常是一体性不可调节的，适应性较差，因此当其在半导体设备领域应用时拆卸使用并不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可调节龙门吊，解决现有技术多个半导体反应腔直接真空机械手更换困难的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种可调节龙门吊，包括铝合金的横梁结构和铝合金的支架结构：

所述横梁结构，为多段主梁可拆卸地连接组成；

所述支架结构，数量为两个，分别与横梁结构的两端连接；

所述支架结构，包括底座和立柱；

所述立柱，底部设置若干个限位孔；

所述底座，可选择地与立柱的若干限位孔中的一个或多个连接。

在一实施例中，所述横梁结构，包括若干段主梁和若干个连接板：

所述若干段主梁之间，通过连接板进行连接。

在一实施例中，所述横梁结构，包括至少三段及以上主梁。

在一实施例中，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与支架结构或连接板连接；

每个连接板的两端均设置连接孔位，用于与主梁进行连接。

在一实施例中，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与立柱连接；

所述立柱顶部设置连接孔位，用于与主梁进行连接。

在一实施例中，所述连接孔位之间通过螺栓连接。

在一实施例中，所述底座通过螺栓与立柱的限位孔连接。

在一实施例中，所述底座为三角支架。

在一实施例中，所述立柱的若干限位孔，沿立柱的竖直方向等间隔设置。

在一实施例中，所述底座，底部设有移动装置。

在一实施例中，所述底座，底部设有万向脚轮。

针对半导体腔室狭小空间下的真空机械手更换问题，本实用新型提出了一种可调节龙门吊，闲时拆卸以减少占地面积，用时组装，对于不同设备跨度可实现不同跨度调节，并且无尘便于对半导体设备的维护。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。

附图说明

本实用新型上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显，在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征，其中：

图1揭示了现有技术的半导体反应腔的机械手更换示意图；

图2揭示了现有技术的普通龙门吊的结构示意图；

图3揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的立体示意图；

图4揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的主视图；

图5揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的零件爆炸图；

图6揭示了图2虚线部分的支架结构的局部示意图；

图7揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的第一安装示意图；

图8揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的第二安装示意图；

图9揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的第三安装示意图；

图10揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的第四安装示意图。

图中各附图标记的含义如下：

1横梁结构；

11主梁；

12主梁；

13主梁；

14连接板；

15连接板；

2支架结构；

21底座；

211侧边架；

212侧边架；

213底边架；

214万向脚轮；

215连接块；

22立柱；

221限位孔；

3半导体设备前端模块；

4半导体反应腔室。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释实用新型，并不用于限定实用新型。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

现有技术中多用单臂吊车更换机械手，在半导体反应腔满配下，单笔吊车的悬臂伸出长度太长，且受前方障碍物影响很大，长悬臂载重后的稳定性和移动性都较差。

本实用新型提出的可调节龙门吊，龙门吊结构的稳定性高，对工作场景的包容性大，整体跨度于应用设备外，垂直吊装的模式不易受设备水平面内物体的阻碍，载重后移动相对平稳。

图3揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的立体示意图，图4揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的主视图，图5揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的零件爆炸图，如图3至图5所示，本实用新型提出的一种可调节龙门吊，包括铝合金的横梁结构1和铝合金的支架结构2：

所述横梁结构1，为多段主梁11可拆卸地连接组成；

所述支架结构2，数量为两个，分别与横梁结构的两端连接；

所述支架结构2，包括底座21和立柱22；

所述立柱22，底部设置若干个限位孔；

所述底座21，可选择地与立柱22的若干限位孔中的一个或多个连接。

如图5所示，横梁结构1至少包括3段主梁，分别为主梁11、主梁12、和主梁13。

如图5所示，横梁结构1至少包括2个连接板，分别为连接板14和连接板15。

如图4所示，龙门吊具备可拆卸性，各部件通过螺栓连接，根据实际应用设备宽度的不同，可以组成四种主要应用的横向跨度(四种及以上)的龙门吊设备。

每段主梁的两端均设置连接孔位，即主梁11、主梁12、和主梁13的两端均设置有连接孔位；

每个连接板的两端均设置连接孔位，即连接板14和连接板15的两端均设置有连接孔位；

连接孔位之间通过螺栓连接：

作为一种连接方式，连接板14的一端通过连接孔位与主梁11连接，另一端通过连接孔位与主梁12连接；

作为一种连接方式，连接板15的一端通过连接孔位与主梁12连接，另一端通过连接孔位与主梁13连接。

作为一种连接方式，立柱22顶部设置连接孔位，即立柱22通过连接孔位与主梁连接。

如图4所示，当需要调整横梁长度或立柱高度时，可以选择部分主梁和连接板连接，调节立柱和底座的相对位置，组成不同规格龙门吊，对机台适应性好。

图6揭示了图2虚线部分的支架结构的局部示意图，如图2-图6所示，底座21为三角支架，为两条侧边架211、212与一条底边架213。

立柱22从两条侧边架的顶部插入；

侧边架211和侧边架212的顶部通过连接块215连接。

立柱22的底部的限位孔221沿着立柱竖直方向(如图6的箭头方向)等间隔设置，可根据应用设备的高度去调整龙门吊的高度和吊高。

如图2-图6所示，底座21的底边架213设有移动装置。更进一步的，移动装置为万向脚轮214。

如图2-图6所示，龙门吊采用四个万向脚轮214，方便在空间不够宽裕的情况下人为移动或电动控制移动。

现有技术的普通龙门吊多采用碳钢材料，碳钢材料会影响环境的洁净度，且重量较大、拆卸不便。

本实用新型提出的可调节龙门吊，采用铝合金主体，各部分的重量都便于1-2人独立或合力操作，且各部分可拆卸地相连，便于运输以及拆卸后可极大地减小该工具的占地面积，拆卸成分体部件也提高了便携性和转换场地的灵活性。

铝合金材料的无尘性有利于fab环境，可以保证该工具能够更好的融入fab的洁净空间，避免引入污染。

图7至图10分别揭示了根据本实用新型一实施例的可调节龙门吊的第一、第二、第三和第四安装示意图，如图7-图10所示，本实用新型提出的可调节龙门吊对半导体设备维护的实施具体包括以下步骤；

如图7所示，根据机台宽度和高度组装好可调节龙门吊工具并跨度于机台两侧；

如图8所示，确定好可调节龙门吊工具的位置，确保立柱距设备的距离合适，沿垂直于跨度方向将龙门吊移动到机台欲吊装物的上方，利用手拉葫芦(或电动葫芦)吊起目标物；

如图9所示，沿垂直跨度方向移动龙门吊，将吊起的目标物移动到半导体设备前端模块3(EFEM)和半导体反应腔室4(PM)的间隙处。

如图10所示，手动拖拉(或电动)移动龙门吊小车，沿跨度方向移出吊装的目标物。

本实用新型提出的可调节龙门吊，通过调节横梁结构的长度和支架结构的高度可组成不同规格龙门吊，对机台适应性好，且具有可拆卸性，便于运输以及减小占地面积。

如本申请和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连同。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本实用新型的，熟悉本领域的人员可在不脱离本实用新型的实用新型思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本实用新型的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。

Claims (10)

1.一种可调节龙门吊，其特征在于，包括铝合金的横梁结构和铝合金的支架结构：

所述横梁结构，为多段主梁可拆卸地连接组成；

所述支架结构，数量为两个，分别与横梁结构的两端连接；

所述支架结构，包括底座和立柱；

所述立柱，底部设置若干个限位孔；

所述底座，可选择地与立柱的若干限位孔中的一个或多个连接。

2.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述横梁结构，包括若干段主梁和若干个连接板：

所述若干段主梁之间，通过连接板进行连接。

3.根据权利要求2所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述横梁结构，包括至少三段及以上主梁。

4.根据权利要求2所述的可调节龙门吊，其特征在于，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与支架结构或连接板连接；

每个连接板的两端均设置连接孔位，用于与主梁进行连接。

5.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与立柱连接；

所述立柱顶部设置连接孔位，用于与主梁进行连接。

6.根据权利要求4或权利要求5所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述连接孔位之间通过螺栓连接；

所述底座通过螺栓与立柱的限位孔连接。

7.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述底座为三角支架。

8.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述立柱的若干限位孔，沿立柱的竖直方向等间隔设置。

9.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述底座，底部设有移动装置。

10.根据权利要求9所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述底座，底部设有万向脚轮。