CN220703101U - 一种炉体转运装卸装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种炉体转运装卸装置，包括：包括：固定框架和升降框架，所述固定框架中设有升降驱动组件，所述升降框架用于装载炉体，升降框架嵌套在固定框架内，并与升降驱动组件连接；在升降驱动组件的驱动下，升降框架升降并与炉体柜对接，升降框架带动炉体沿着固定框架升降至预设的装卸位置。本实用新型具有结构紧凑、移动便捷、机械强度高等优点，能够在狭小空间中实现对炉体装卸维护，解决了现有技术中仅通过人力操作来实现炉体转运装卸而导致炉体更换难度大、操作人员劳动强度大且存在较大安全隐患等问题，提高了炉体设备的维护效率。

Description

一种炉体转运装卸装置

技术领域

本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及一种炉体转运装卸装置。

背景技术

目前，半导体工用设备要求较高的产能，设备空间布局紧凑，同时整机高度可高达4.4米左右，炉体重量在300kg到400kg之间。在维护拆卸炉体时最少需要6到8人进行配合,并且在拆卸上端炉体时操作人员需要站在安装平台上，将炉体支撑组件拆下后，众人缓缓将炉体抬出。在空间有限的情况下，仅仅通过人力操作会增加更换炉体的时间和难度，势必会造成炉体设备的总维护时间和操作人员的工作量大大增加，同时也会存在一定的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、移动便捷、机械强度高、能够在狭小空间中实现对炉体装卸维护的炉体转运装卸装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种炉体转运装卸装置，包括：固定框架和升降框架，所述固定框架中设有升降驱动组件，所述升降框架用于装载炉体，升降框架嵌套在固定框架内，并与升降驱动组件连接；在升降驱动组件的驱动下，升降框架升降并与炉体柜对接，升降框架带动炉体沿着固定框架升降至预设的装卸位置。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定框架上设有第一连接板和导轨副；所述导轨副设置在固定框架的四个顶点处，所述第一连接板的一端与导轨副滑动连接，第一连接板的另一端与升降框架底部固定连接，以实现升降框架底部的四个顶点均连接相应的导轨副，所述导轨副用于辅助升降框架升降。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降驱动组件设置在相邻导轨副之间，且两组升降驱动组件对称设置在固定框架两侧部。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降驱动组件包括丝杆副和驱动电机，所述丝杆副与驱动电机的输出端连接，所述升降框架底部通过第三连接板与丝杆副连接；在驱动电机的驱动下，丝杆副带动升降框架进行往复升降。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定框架上还设有挡板，所述挡板设置在固定框架侧部并位于丝杆副外侧，驱动电机安装在挡板顶部。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定框架底部四个顶点均设有万向轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定框架底部四个顶点均设有支撑组件和定位件，以实现固定框架调平。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降框架两侧对称设有多组滑动连接组件，所述滑动连接组件用于实现炉体连接固定在升降框架内。

作为本实用新型的进一步改进，所述滑动连接组件包括第二连接板、滑轨和支撑板；所述滑轨两两为一组，对称设置在升降框架两侧，所述支撑板用于连接炉体；所述第二连接板的一端与滑轨滑动连接，第二连接板的另一端与支撑板固定连接；在外力作用下，支撑板和炉体沿滑轨滑动，以实现炉体沿水平方向进入或离开升降框架内部。

作为本实用新型的进一步改进，所述炉体侧部设有多个把手，拉动把手，以实现炉体沿水平方向移动。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的炉体转运装卸装置，由固定框架和升降框架两大主体组成，升降框架嵌套在固定框架内，固定框架与升降框架之间的配合与抽屉相似，在固定框架中设置了升降驱动组件，升降框架用于装载炉体，并与升降驱动组件连接；在升降驱动组件的驱动下，升降框架带动炉体沿着固定框架升降至预设的装卸位置，具有结构紧凑、移动便捷、机械强度高等优点，实现了狭小空间中的炉体安装和拆卸，也降低了操作人员的劳动强度。此外，炉体转运装卸装置在设备维护时也可作为一个中转车，实现了炉体的便捷转运，提高了炉体设备的维护效率。

附图说明

图1为本实用新型炉体转运装卸装置的结构原理示意图。

图2为本实用新型炉体转运装卸装置另一视角的结构原理示意图。

图3为本实用新型中支撑板的结构原理示意图。

图例说明：1、固定框架；11、第一连接板；12、丝杆副；13、导轨副；14、挡板；15、万向轮；16、驱动电机；17、支撑组件；18、定位件；2、升降框架；21、第二连接板；22、滑轨；23、支撑板；231、腰型孔；232、销孔；24、第三连接板；3、炉体柜；4、炉体；41、把手。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述，但并不因此而限制本实用新型的保护范围。

实施例

如图1至图3所示，本实用新型的炉体转运装卸装置，包括：固定框架1和升降框架2。固定框架1中设有升降驱动组件，升降框架2用于装载炉体4，升降框架2嵌套在固定框架1内，并与升降驱动组件连接。在升降驱动组件的驱动下，升降框架2升降并与炉体柜3对接，升降框架2带动炉体4沿着固定框架1升降至预设的装卸位置。

本实施例中，由固定框架1和升降框架2两大主体组成炉体转运装卸装置，升降框架2嵌套在固定框架1内，固定框架1与升降框架2之间的配合与抽屉相似，在固定框架1中设置了升降驱动组件，升降框架2用于装载炉体4，并与升降驱动组件连接。在升降驱动组件的驱动下，升降框架2带动炉体4沿着固定框架1升降至预设的装卸位置，具有结构紧凑、移动便捷、机械强度高等优点，实现了狭小空间中的炉体安装和拆卸，也降低了操作人员的劳动强度。此外，炉体转运装卸装置在设备维护时也可作为一个中转车，实现了炉体的便捷转运，提高了炉体设备的维护效率。

本实施例中，固定框架1和升降框架2整体呈方框形结构，固定框架1上设有第一连接板11和导轨副13。导轨副13设置在固定框架1的四个顶点处，即四组导轨副13沿着方框形结构的竖杆设置。第一连接板11的一端与导轨副13滑动连接，第一连接板11的另一端与升降框架2底部固定连接，以实现升降框架2底部的四个顶点均连接相应的导轨副13，导轨副13用于辅助升降框架2升降，以提高炉体4升降的平稳性。

进一步地，升降驱动组件设置在相邻导轨副13之间，且两组升降驱动组件对称设置在固定框架1两侧部。如图1中所示，两组升降驱动组件对称设置在方框形结构的两侧短边横梁上。

如图1所示，本实施例中，升降驱动组件包括丝杆副12和驱动电机16，丝杆副12与驱动电机16的输出端连接，升降框架2底部通过第三连接板24与丝杆副12连接。升降框架2底部四个顶点分别通过第一连接板11与导轨副13连接，升降框架2底部中间则通过第三连接板24与丝杆副12连接。在驱动电机16的驱动下，丝杆副12带动升降框架2进行往复升降。

进一步地，固定框架1上还设有挡板14，挡板14设置在固定框架1侧部并位于丝杆副12外侧，驱动电机16安装在挡板14顶部。利用挡板14对丝杆副12进行保护，避免丝杆副12受到撞击而产生形变。驱动电机16具体可以采用直流伺服电机。

如图1所示，本实施例中，固定框架1底部四个顶点均设有万向轮15。具体地，万向轮15为刹车式万向轮，以提高炉体转运装卸装置移动的便捷性和安全性，

如图1所示，本实施例中，固定框架1底部四个顶点均设有支撑组件17和定位件18，以实现固定框架1调平。

具体地，固定框架1底部横梁开螺纹孔以固定定位件18，底部横梁上焊接升降式支撑组件17；外框横梁底部开螺纹孔以安装固定刹车式万向轮。

本实施例中，升降框架2两侧对称设有多组滑动连接组件，滑动连接组件用于实现炉体4连接固定在升降框架2内，升降框架2可同时带动多个炉体4进行升降。

如图1所示，本实施例中，滑动连接组件包括第二连接板21、滑轨22和支撑板23。滑轨22两两为一组，沿着升降框架2的宽度方向对称设置在升降框架2两侧，支撑板23用于连接炉体4。第二连接板21的一端与滑轨22滑动连接，第二连接板21的另一端与支撑板23固定连接。在外力作用下，支撑板23和炉体4沿滑轨22滑动，以实现炉体4沿水平方向进入或离开升降框架2内部。如图3所示，本实施例中，支撑板23上设有2个腰型孔231，用于固定炉体4，还有设有两个销孔232，以固定圆锥销来定位炉体4。

如图2所示，本实施例中，炉体4侧部设有三个把手41，拉动把手41，以实现炉体4沿水平方向移动。

本实施例中炉体转运装卸装置的工作原理为：两名操作人员使用时，先将固定框架1与炉体柜3通过定位件18进行定位，调整升降式支撑组件17以确保装置整体平稳。固定框架1通过第一连接板11和第三连接板24与升降框架2连接，操作者通过点动来控制升降框架2上下方向运动。需要将炉体4从炉体柜3取出来时，首先把升降框架2移动到对应高度，用销钉与炉体定位，用螺钉锁住炉体4，再稍微抬高炉体4，将炉体支撑组件拆卸后，一人控制驱动电机16驱动升降框架2往下运动，另一人拉住炉体4上的把手41，形成一个YZ方向的联动，当炉体最高点通过升降框架2的骨架时，人往外拉把手41，从而实现炉体4的拆卸。

本实施例的炉体转运装卸装置由固定框架和升降框架两大主体组成，固定框架与升降框架之间的配合与抽屉相似，通过第一连接板将固定框架和升降框架相连，再用直流伺服电机驱动使升降框架沿竖直方向运动，升降框架上设有滑动连接组件与炉体固定连接，以实现炉体沿水平方向运动，以起到狭小空间中的炉体安装和拆卸。本实施例中，设备整体采用移动式电源驱动直流伺服电机，导向定位装置采用直线丝杆副与导轨副配合的形式，在保证了升降过程中的定位精度能够让同时丝杠副还具有自锁功能，确保操作人员的安全。

虽然本实用新型以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种炉体转运装卸装置，其特征在于，包括：固定框架(1)和升降框架(2)，所述固定框架(1)中设有升降驱动组件，所述升降框架(2)用于装载炉体(4)，升降框架(2)嵌套在固定框架(1)内，并与升降驱动组件连接；在升降驱动组件的驱动下，升降框架(2)升降并与炉体柜(3)对接，升降框架(2)带动炉体(4)沿着固定框架(1)升降至预设的装卸位置。

2.根据权利要求1所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述固定框架(1)上设有第一连接板(11)和导轨副(13)；所述导轨副(13)设置在固定框架(1)的四个顶点处，所述第一连接板(11)的一端与导轨副(13)滑动连接，第一连接板(11)的另一端与升降框架(2)底部固定连接，以实现升降框架(2)底部的四个顶点均连接相应的导轨副(13)，所述导轨副(13)用于辅助升降框架(2)升降。

3.根据权利要求2所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述升降驱动组件设置在相邻导轨副(13)之间，且两组升降驱动组件对称设置在固定框架(1)两侧部。

4.根据权利要求3所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括丝杆副(12)和驱动电机(16)，所述丝杆副(12)与驱动电机(16)的输出端连接，所述升降框架(2)底部通过第三连接板(24)与丝杆副(12)连接；在驱动电机(16)的驱动下，丝杆副(12)带动升降框架(2)进行往复升降。

5.根据权利要求4所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述固定框架(1)上还设有挡板(14)，所述挡板(14)设置在固定框架(1)侧部并位于丝杆副(12)外侧，驱动电机(16)安装在挡板(14)顶部。

6.根据权利要求4所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述固定框架(1)底部四个顶点均设有万向轮(15)。

7.根据权利要求4所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述固定框架(1)底部四个顶点均设有支撑组件(17)和定位件(18)，以实现固定框架(1)调平。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述升降框架(2)两侧对称设有多组滑动连接组件，所述滑动连接组件用于实现炉体(4)连接固定在升降框架(2)内。

9.根据权利要求8所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述滑动连接组件包括第二连接板(21)、滑轨(22)和支撑板(23)；所述滑轨(22)两两为一组，对称设置在升降框架(2)两侧，所述支撑板(23)用于连接炉体(4)；所述第二连接板(21)的一端与滑轨(22)滑动连接，第二连接板(21)的另一端与支撑板(23)固定连接；在外力作用下，支撑板(23)和炉体(4)沿滑轨(22)滑动，以实现炉体(4)沿水平方向进入或离开升降框架(2)内部。

10.根据权利要求9所述的炉体转运装卸装置，其特征在于，所述炉体(4)侧部设有多个把手(41)，拉动把手(41)，以实现炉体(4)沿水平方向移动。