CN219696406U - 不良硅片收料装置及硅片生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型的实施例提供了一种不良硅片收料装置及硅片生产线，应用硅片生产线中，所述装置至少包括料盘组件、连接组件、底座；其中，所述连接组件包括可相互卡接的第一连接件、第二连接件；所述第一连接件与料盘组件连接，所述第二连接件与底座连接，所述料盘组件通过连接组件可拆卸设置在底座上。本方案的有益效果是：通过设置连接组件，且第一连接件、第二连接件相互卡扣的，实现料盒的快速拆卸，更换方便，提高工作效率，维护方便。

Description

不良硅片收料装置及硅片生产线

技术领域

本实用新型涉及硅片制造设备领域，具体而言，涉及一种不良硅片收料装置及硅片生产线。

背景技术

在硅片制造设备中，不良品料盒是用大轴套小轴的方式，再用螺丝紧固的。不良品料盒是用来存储废弃硅片的，在设备运行的过程中，通过拆卸螺丝，拆卸不良品料盒步骤繁琐，且耗费人力；但如果人工直接拿取不良料盒内的硅片会将手划伤；且后期维修不便。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种不良硅片收料装置及硅片生产线，其能够料盘组件快速拆卸的问题。

本实用新型的目的还包括，提供了一种硅片生产线，其能够解决硅片生产效率低的问题。

本实用新型的实施例可以这样实现：

本实用新型的实施例提供了一种不良硅片收料装置，应用硅片生产线中，所述装置至少包括料盘组件、连接组件、底座；其中，所述连接组件包括可相互卡接的第一连接件、第二连接件；所述第一连接件与料盘组件连接，所述第二连接件与底座连接，所述料盘组件通过连接组件可拆卸设置在底座上。本方案的有益效果是：通过设置连接组件，且第一连接件、第二连接件相互卡扣的，实现料盒的快速拆卸，更换方便，提高工作效率，维护方便。

可选地，所述第一连接件、第二连接件均包括凸起结构、凹槽结构，且设置于所述第一连接件的凸起结构与设于第二连接件的凹槽结构相互配合连接。在本方案的有益效果是：可通过实现第一连接件的凸起结构与第二连接件的凹槽结构，第二连接件的凸起结构与第一连接件的凸起结构相连接，实现第一连接件、第二连接件的相互卡接或拆卸；实现快速拆装的技术效果。

可选地，所述凹槽结构包括第一区域、第二区域，所述第一区域开槽面积大于所述第二区域，所述第二区域设置有限位台阶；所述凸起结构包括凸起上部、凸起下部，所述凸起上部宽度大于凸起下部，所述凸起上部与所述第一区域像匹配；以使凸起上部沿所述第一区域伸入且卡接在限位台阶上。本方案的有益效果是：凸起结构的凸起上部沿凹槽结构的第一区域伸入凹槽结构内部，然后通过转动第一连接件或第二连接件，使凸起结构上部卡接在限位台阶上，实现第一连接件和第二连接件的固定。

可选地，所述凸起结构、凹槽结构的数量均为四个，且所述凸起结构、所述凹槽结构交替设置在第一连接件、第二连接件一表面。本方案的有益效果是：第一连接件、第二连接件的凸起结构和凹槽结构可恰好契合，在一定位置上，凸起结构可伸入凹槽结构内随之进行固定。

可选地，所述第一连接件、第二连接件还分别设置第一安装孔，以分别与料盘组件、底座固定连接。本方案的有益效果是：料盘组件、底座均设置在有与第一安装孔对应的安装孔，可通过将螺栓锁入料盘组件的安装孔、第一连接件的第一安装孔进行固定；同理，可通过将螺栓锁入底座的安装孔、第二连接件的第一安装孔进行固定。

可选地，所述料盘组件包括料盘本体、旋转底座、旋转摆臂；所述旋转摆臂一端固定设置在所述料盘本体底部，且旋转摆臂另一端与旋转底座转动连接；所述旋转底座下端固定设置在第一连接件上。本方案的有益效果是：料盘本体用于容置不良硅片，且料盘本体通过旋转摆臂在旋转底座进行转动，可用于调节料盘的入料角度，或者硅片的放置方式，使硅片更好堆叠在料盘上。

可选地，所述料盘本体包括底板、以及设置在所述底板两侧边的两挡板，且所述底板、所述挡板围合形成用于容置硅片的收料空间；所述底板还设置有取料槽。本方案的有益效果是：硅片堆叠在料盘本体的底板上，且由挡板将硅片限制料盘内。

可选地，所述料盘本体上还设置有到位传感器、反射光电传感器，所述到位传感器设置在挡板一侧，用于检测硅片堆叠高度；所述反射光电传感器设置在底板下端，用于检测是否有硅片。本方案的有益效果是：到位传感器可设置有一个或者两个，当到位传感器设置有一个时，可设置在挡板的上端，用于识别硅片是否叠满；当到位传感器设置有两个时，可在挡板的上端下端各设置一个，分别用于检测硅片的最少或最多情况。反射光电传感器与到位传感器配合使用，可用于检测料外部传输线是否有硅片。

可选地，所述旋转底座设置有U形槽，所述U形槽挖均设置有转动孔、固定孔，所述旋转摆臂设置有分别与转动孔、固定孔对应的第二安装孔、第三安装孔，旋转摆臂通过螺栓固定在旋转底座上。本方案的有益效果是：旋转摆臂可沿旋转底座的U形槽进行转动，转动孔用于将旋转摆臂转动连接设置在旋转底座上；固定孔用于将旋转摆臂固定在旋转底座上。

此外，本方案还提供一种硅片生产线，包括传输装置，上述的硅片下料装置设在所述传输装置的不良品下料端，用于收取不合格的硅片。本方案的有益效果是：底座可固定设置在传输装置不良出料端，当检测到不良硅片时，通过传输装置将不良硅片直接输送到料盘上，当料盘集满时，通过连接组件将其拆卸转移。实现料盒的快速拆卸，更换方便，提高工作效率，维护方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种不良硅片收料装置示意图一；

图2为本实用新型实施例提供的第一连接件或第二连接件立体图；

图3为本实用新型实施例提供的第一连接件或第二连接件俯视投影图；

图4为本实用新型实施例提供的料盘组件立体图；

图5为本实用新型实施例提供的料盘本体示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例中的特征可以相互结合。

下面结合图1至图5对本实施例提供的不良硅片收料装置进行详细描述。

请参照图1以及图5，本实用新型的实施例提供了一种不良硅片收料装置，应用硅片生产线中，本装置至少包括料盘组件1、连接组件2、底座3；其中，连接组件2包括可相互卡接的第一连接件21、第二连接件22；第一连接件21与料盘组件1连接，第二连接件22与底座3连接，料盘组件1通过连接组件2可拆卸设置在底座3上。通过设置连接组件2，且第一连接件21、第二连接件22相互卡扣的，在本实施例中，第一连接件21、第二连接件22可以是相互镜像的结构，在另一实施例中，第一连接件21、第二连接件22事相互匹配的结构，可通过第一连接件21、第二连接件22的卡接关系，将料盘组件1固定在底座3上；实现料盒的快速拆卸，更换方便，提高工作效率，维护方便。

在一种实施例中，参加图2-3，第一连接件21、第二连接件22均包括凸起结构211、凹槽结构212，且设置于第一连接件21的凸起结构211与设于第二连接件22的凹槽结构212相互配合连接。可通过实现第一连接件21的凸起结构211与第二连接件22的凹槽结构212，第二连接件22的凸起结构211与第一连接件21的凸起结构211相连接，实现第一连接件21、第二连接件22的相互卡接或拆卸；实现快速拆装的技术效果。在本实施例中，凸起结构211、凹槽结构212为相互配合结构，凸起结构211恰好可伸入凹槽结构212，且通过转动第一连接件21或第二连接件22进行固定，在本方案中，通过转动第一连接件21，使凸起结构211和凹槽结构212相互卡接。

在上述实施例的一种实施方式中，凹槽结构212包括第一区域2121、第二区域2122，第一区域2121开槽面积大于第二区域2122，第二区域2122设置有限位台阶；凸起结构211包括凸起上部2111、凸起下部2112，凸起上部2111宽度大于凸起下部，凸起上部2111与第一区域2121像匹配；以使凸起上部沿第一区域2121伸入且卡接在限位台阶上。凸起结构211的凸起上部2111沿凹槽结构212的第一区域2121伸入凹槽结构212内部，然后通过转动第一连接件21或第二连接件22，使凸起结构211上部卡接在限位台阶上，实现第一连接件21和第二连接件22的固定。在本实施例中，根据凹槽结构212的相连两部分面积大小，分别划分为第一区域2121、第二区域2122，第一区域2121挖槽面积大于第二区域2122，第一区域2121可供凸起结构211的凸起上部2111伸入设置；凸起结构211的凸起下部2112宽度小于凸起上部，且凸起下部2112恰好可从第一区域2121移动到第二区域2122内，其中，凸起下部的横截面积可小于第二区域2122的挖槽面积，从而实现凸起下部在第二区域2122活动。此外，第二区域2122设置有限位台阶。限位台阶与第一连接件21或第二连接件22表面一体成型设置，到凸起上部伸入第二区域2122时，恰好卡接在限位台阶上。

在上述实施例的一种实施方式中，凸起结构211、凹槽结构212的数量均为四个，且凸起结构211、凹槽结构212交替设置在第一连接件21、第二连接件22一表面。第一连接件21、第二连接件22的凸起结构211和凹槽结构212可恰好契合，在一定位置上，凸起结构211可伸入凹槽结构212内随之进行固定。在本实施例中，凸起结构211、凹槽结构212的数量为4个，且凸起结构211、凹槽结构212可沿一圆周环设在第一连接件21、第二连接件22一表面，是第一连接件21、第二连接件22相向一侧相互匹配。

在一种实施例中，第一连接件21、第二连接件22还分别设置第一安装孔213，以分别与料盘组件1、底座3固定连接。料盘组件1、底座3均设置在有与第一安装孔213对应的安装孔，可通过将螺栓锁入料盘组件1的安装孔、第一连接件21的第一安装孔213进行固定；同理，可通过将螺栓锁入底座3的安装孔、第二连接件22的第一安装孔2123进行固定。

在一种实施例中，参见图4-5，料盘组件1包括料盘本体11、旋转底座13、旋转摆臂12；旋转摆臂12一端固定设置在料盘本体11底部，且旋转摆臂12另一端与旋转底座13转动连接；旋转底座13下端固定设置在第一连接件21上。料盘本体11用于容置不良硅片，且料盘本体11通过旋转摆臂12在旋转底座13进行转动，可用于调节料盘的入料角度，或者硅片的放置方式，使硅片更好堆叠在料盘上。在本实施例中，旋转底座13与第一连接件21固定连接，料盘本体11通过旋转摆臂12可转动设置在旋转底座13上，实现料盘本体11固定设置在底座上，且料盘组件1沿旋转底座13进行旋转。

在上述实施例的一种实施方式中，料盘本体11包括底板111、以及设置在底板111两侧边的两挡板112，且底板111、挡板112围合形成用于容置硅片的收料空间；底板111还设置有取料槽113。硅片堆叠在料盘本体11的底板111上，且由挡板112将硅片限制料盘内。在本实施例中，挡板112数量为两个，两个挡板112和底板111围成了容置空间，用于盛放堆叠的硅片，其中，因为硅片质地较轻，可实现将硅片卡接在容置空间内。

在上述实施例的一种实施方式中，料盘本体11上还设置有到位传感器4、反射光电传感器5，到位传感器4设置在挡板112一侧，用于检测硅片堆叠高度；反射光电传感器5设置在底板111下端，用于检测是否有硅片。到位传感器可设置有一个或者两个，当到位传感器设置有一个时，可设置在挡板112的上端，用于识别硅片是否叠满；当到位传感器4设置有两个时，可在挡板112的上端下端各设置一个，分别用于检测硅片的最少或最多情况。反射光电传感器5与到位传感器配合使用，可用于检测料外部传输线是否有硅片。

在上述实施例的一种实施方式中，旋转底座13设置有U形槽，U形槽挖均设置有转动孔、固定孔，旋转摆臂12设置有分别与转动孔132、固定孔131对应的第二安装孔、第三安装孔，旋转摆臂12通过螺栓固定在旋转底座13上。旋转摆臂12可沿旋转底座13的U形槽进行转动，转动孔132用于将旋转摆臂12转动连接设置在旋转底座13上；固定孔131用于将旋转摆臂12固定在旋转底座13上。在本实施例中，转动孔132与第二安装孔对应设置，固定孔131与第三安装孔对应设置；将旋转摆臂12安装在旋转底座13时，将通过螺栓锁入固定孔131、第三安装孔上，将旋转摆臂12初步固定在旋转底座13上；再选择料盘的合适倾斜角度，通过将旋转摆臂12在U形槽上旋转实现；确定好角度，可通过在转动槽、第二安装孔锁入螺栓将旋转摆臂12固定在旋转底座13上。

此外，本方案还提供一种硅片生产线，包括传输装置，上述的硅片下料装置设在传输装置的不良品下料端，用于收取不合格的硅片。本方案的有益效果是：底座可固定设置在传输装置不良出料端，当检测到不良硅片时，通过传输装置将不良硅片直接输送到料盘上，当料盘集满时，通过连接组件2将其拆卸转移。实现料盒的快速拆卸，更换方便，提高工作效率，维护方便。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种不良硅片收料装置，其特征在于，应用硅片生产线中，所述装置至少包括料盘组件、连接组件、底座；

其中，所述连接组件包括可相互卡接的第一连接件、第二连接件；所述第一连接件与料盘组件连接，所述第二连接件与底座连接，所述料盘组件通过连接组件可拆卸设置在底座上。

2.根据权利要求1所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述第一连接件、第二连接件均包括凸起结构、凹槽结构，且设置于所述第一连接件的凸起结构与设于第二连接件的凹槽结构相互配合连接。

3.根据权利要求2所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述凹槽结构包括第一区域、第二区域，所述第一区域开槽面积大于所述第二区域，所述第二区域设置有限位台阶；

所述凸起结构包括凸起上部、凸起下部，所述凸起上部宽度大于凸起下部，所述凸起上部与所述第一区域像匹配；以使凸起上部沿所述第一区域伸入且卡接在限位台阶上。

4.根据权利要求3所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述凸起结构、凹槽结构的数量均为四个，且所述凸起结构、所述凹槽结构交替设置在第一连接件、第二连接件一表面。

5.根据权利要求2所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述第一连接件、第二连接件还分别设置第一安装孔，以分别与料盘组件、底座固定连接。

6.根据权利要求1所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述料盘组件包括料盘本体、旋转底座、旋转摆臂；

所述旋转摆臂一端固定设置在所述料盘本体底部，且旋转摆臂另一端与旋转底座转动连接；所述旋转底座下端固定设置在第一连接件上。

7.根据权利要求6所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述料盘本体包括底板、以及设置在所述底板两侧边的两挡板，且所述底板、所述挡板围合形成用于容置硅片的收料空间；所述底板还设置有取料槽。

8.根据权利要求7所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述料盘本体上还设置有到位传感器、反射光电传感器，所述到位传感器设置在挡板一侧，用于检测硅片堆叠高度；所述反射光电传感器设置在底板下端，用于检测是否有硅片。

9.根据权利要求6所述的不良硅片收料装置，其特征在于，所述旋转底座设置有U形槽，所述U形槽挖均设置有转动孔、固定孔，所述旋转摆臂设置有分别与转动孔、固定孔对应的第二安装孔、第三安装孔，旋转摆臂通过螺栓固定在旋转底座上。

10.一种硅片生产线，其特征在于，包括传输装置，权利要求1-9

任一项所述的不良硅片收料装置设在所述传输装置的不良品下料端，

用于收取不合格的硅片。