CN219590454U - 一种测试工件的固定装置及其形成的开封机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种测试工件的固定装置及其形成的开封机，其中，测试工件的固定装置包括两个夹块以及位于夹块之间的至少两个定位针；所述夹块相对的一侧设置有与定位针相适配的定位槽；所述夹块旁侧设置有带动两个夹块相向或者相背运动的驱动组件；测试工件中设置有与定位针相适配的定位孔。本实用新型提供的一种测试工件的固定装置，可针对不同尺寸的测试工件进行精准定位和固定，大大提高了开封机的解析效率。

Description

一种测试工件的固定装置及其形成的开封机

技术领域

本实用新型涉及开封机测试领域，尤其涉及一种测试工件的固定装置及其形成的开封机。

背景技术

在半导体封装行业中，半导体功率器件失效是不可避免的。对失效品进行失效分析也是半导体行业不可或缺的部分，通常需通过电性能测试、X光线对键合线的观察以及需要激光开封、化学开封来确认内部晶圆和键合线失效状态等等。

针对激光开封测试过程，目前的激光开封载物台无固定功能，每次摆放测试工件时需要操作员自己手动贴上测试工件相应尺寸的双面胶进行固定，防止在开封过程产品移动，导致产品损坏无法分析。操作不便，同时清洁双面胶较困难且不环保；也不具备定位功能，每次摆放固定好测试工件需要移动确保测试工件出现在摄像头画面中，同时需手动新建开封框并不断调整大小来确保开封位置，调整时间久影响开封效率，无法精准开封所需开封区域，存在较大偏差。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种测试工件的固定装置及其形成的开封机，可针对不同尺寸的测试工件进行精准定位和固定，用于开封机中，可以大大提高开封机的解析效率。

为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种测试工件的固定装置，包括两个夹块以及位于夹块之间的至少两个定位针；

所述夹块相对的一侧设置有与定位针相适配的定位槽；所述夹块旁侧设置有带动两个夹块相向或者相背运动的驱动组件；测试工件中设置有与定位针相适配的定位孔。

进一步的，所述定位针包括卡接部和定位部，所述卡接部与所述定位槽相适配，所述定位部与所述定位孔相适配。

进一步的，在垂直于夹块所在平面的方向上，所述卡接部的尺寸大于定位部的尺寸。

进一步的，所述卡接部和定位部均为圆柱状。

进一步的，所述定位孔为两个，分别位于测试工件的两端，所述夹块套设在滑杆上，且滑杆与夹块运动方向平行。

进一步的，所述驱动组件包括位于夹块外部的推动件以及位于夹块之间的滑杆。

进一步的，两个夹块之间还设置有导杆，所述导杆上嵌套有弹簧，所述弹簧的两端分别与两个夹块抵接；所述夹块套设在导杆上，且导杆与夹块运动方向平行。

进一步的，还包括沉台，所述沉台上表面设置有用于放置夹块的凹槽。

进一步的，两个夹块远离彼此一端的底部尺寸小于顶部尺寸。

一种开封机，包括如上所述的测试工件的固定装置。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请中两个夹块之间设置有与定位针适配的多个定位槽，在实际应用中，当两个夹块彼此远离的时候，定位针可以移动至不同的定位槽中，当两个夹块彼此靠近的时候，定位针被固定在定位槽中，且两个定位针之间的距离与测试工件的尺寸相适配，当定位针被固定之后，测试工件中定位孔穿过定位针被固定；本申请通过改变定位针的位置，可以实现不同尺寸测试工装的固定，且该固定装置拆卸固定方法简单，无残留，适用范围广，大大提高了测试工件的固定效率，当其适用在开封机中时，显著提高了开封机的解析效率。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

附图中：

图1为本申请中固定装置的整体透视意图；

图2为本申请中固定装置的正面示意图；

图3为图2中A-A面的剖面示意图；

图4为本申请中固定装置的俯视图；

图5为本申请中定位针的示意图；

附图标号：10、夹块；11、定位槽；12、定位针；121、定位部；122、卡接部；13、测试工件；21、沉台；22、滑杆；23、导杆；24、弹簧。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。

还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本实用新型实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。在其它情况中，省略对众所周知的系统、机构、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本实用新型的描述。

请参阅附图1-图5，本申请提供的一种测试工件的固定装置，包括两个夹块10以及位于夹块10之间的至少两个定位针12；夹块10相对的一侧设置有与定位针12相适配的定位槽11；夹块10旁侧设置有带动两个夹块相向或者相背运动的驱动组件；测试工件13中设置有与定位针12相适配的定位孔。

本申请中两个夹块10之间设置有与定位针12适配的多个定位槽11，在实际应用中，当两个夹块10彼此远离的时候，定位针12可以移动至不同的定位槽11中，当两个夹块10彼此靠近的时候，定位针12被固定在定位槽11中，且两个定位针12之间的距离与测试工件13的尺寸相适配，当定位针12被固定之后，测试工件13中定位孔穿过定位针12被固定；本申请通过改变定位针12的位置，可以实现不同尺寸测试工装的固定，且该固定装置拆卸固定方法简单，无残留，适用范围广，大大提高了测试工件13的固定效率，当其适用在开封机中时，显著提高了开封机的解析效率。

实施例1

请参阅附图1-图5，本申请提供的一种测试工件的固定装置，包括两个夹块10以及位于夹块10之间的至少两个定位针12；夹块10相对的一侧设置有与定位针12相适配的定位槽11；夹块10旁侧设置有带动两个夹块相向或者相背运动的驱动组件；测试工件13中设置有与定位针12相适配的定位孔。

本申请中夹块10所在的平面为水平面，即夹块10在水平方向上能够沿着彼此靠近或者远离的方向进行移动，当两个夹块10远离时，位于夹块10之间的定位针12可以取出放入或者移动，当两个夹块10靠近夹紧时，位于夹块10之间的定位针12被固定。为了便于对定位针12进行固定，本申请中两个夹块10相对的侧面上设置有定位槽11，定位槽11的形状与定位针12相适配，注意：定位槽11的数量可以大于定位针12的数量，放定位针12固定在不同定位槽11中时，可以对不同尺寸的测试工件13进行固定。

具体的，本申请中夹块10相对的两个侧面相互平行，在相互平行的侧面上设置凹陷的定位槽11，用于对定位针12进行固定。

如图5所示，本申请中定位针12具体可以包括卡接部122和定位部121，卡接部122与定位槽11相适配，定位部121与定位孔相适配。定位部121用于贯穿测试工件13中的定位孔，卡接部122用于在两个夹块10夹紧时，被固定在夹块10之间。

进一步的，为了避免被夹紧的定位针12发生位置偏移，本申请中在垂直于夹块10所在平面的方向上，卡接部122的尺寸大于定位部121的尺寸；也就是说定位针12中较大尺寸的卡接部122被固定在夹块10之间的定位槽11中，当定位针12中较小尺寸的定位部121收到外力时，卡接部122被定位槽11外部的夹块10限位不会发生移动，确保定位针12的稳定性。

由于定位针12在竖直方向上的尺寸不同，在定位针12调整位移过程中，可以将定位针12上下调节至定位部121与定位槽11齐平的位置，这样确保定位针12以较小的尺寸在夹块10之间移动。当需要对定位针进行固定的时候，再将定位针中较大尺寸调节至与定位槽齐平的位置处。

进一步的，为了避免定位针12在竖直方向上发生偏移，本申请中卡接部122可以设置为竖直方向上的两个，两个卡接部122处于不同的高度处，二者之间通过连接部连接，连接部的尺寸与定位部的尺寸相同。同时，夹块10侧面中的定位槽11也为对应的两个凹陷槽，用于从不同高度处对定位针12中的卡接部122进行定位，确保定位针12固定在夹块10之间时，不会发生竖直方向上的偏移。

作为一种具体的实施例，本申请中卡接部122和定位部121均为圆柱状，对应的，定位槽11也为圆柱状的凹槽，且两个夹块10中对称设置半圆形的定位槽11。

测试工装中定位孔的位置可以根据具体需求设计，通常设置在测试工装的两个端部，以避开内部的功率器件。根据测试工装的具体形状和功率器件的尺寸，定位孔可以设置为两个或多个，与此同时，用于对测试工装进行定位的定位针12可以为两个或多个。

实施例2

本实施例提供的一种测试工装的固定装置，包括实施例1中的固定装置，除此以外，本实施例中用于驱动夹块10移动的驱动组件具体包括位于夹块10外部的推动件以及位于夹块10之间的滑杆22和导杆23，如图1和图3所示，滑杆22和导杆23的延伸方向平行于夹块10的移动方向，且滑杆22的两个端部分别位于两个夹块10中，导杆23的两个端部分别位于两个夹块10中，使得夹块套设在滑杆和导杆上。

本申请中滑杆22的作用在于为夹块10的移动提供轨道，当夹块10移动时，沿着滑杆22进行移动，本申请中滑杆22为一个，位于夹块10的中心位置处。

本申请中导杆23外侧嵌套有弹簧24，弹簧24的两端分别与两个夹块10相抵接，弹簧24的设置便于夹块10进行复位，当推动件带动夹块10靠着彼此靠近的方向移动时，夹块10克服弹簧24的压缩力移动至夹紧位置处；当推动件撤掉对夹块10的力之后，夹块10在弹簧24的弹力作用下复位至夹块10远离彼此的位置处。本申请中弹簧24的设置可以加快夹块10的复位。

进一步的，为了确保夹块10复位时受力均匀，本申请中导杆23可以设置为沿着夹块10中心对称的两个，分别为夹块10的两端提供弹力，确保复位过程中夹块10受力均匀，稳定复位。在复位过程中，夹块10继续沿着滑杆22进行移动。

进一步的，两个夹块10靠近的一侧设置有容纳导杆23的腔室，为导杆23和弹簧的设置提供空间。

为了对夹紧之后的夹块10进行固定，本申请在夹块10下方设置有沉台21，沉台21上表面设置有用于放置夹块10的凹槽，同时，本申请中两个夹块10远离彼此一端的底部尺寸小于顶部尺寸，且当夹块10夹紧的时候，沉台21中凹槽的尺寸与两个夹块10顶部的尺寸相适配，也就是说，当夹块10夹紧的时候，两个夹块10的顶部刚好可以放置在沉台21的凹槽中。同时，由于夹块10顶部的尺寸大于底部的尺寸，当两个夹块10远离彼此时，两个夹块10的底部可以放置沉台21凹槽中，但是顶部无法放置在沉台21凹槽中，即夹块10的顶部是凸出于沉台21中凹槽的，只有夹块10的底部放置在沉台21中凹槽内，这里的顶部和底部指的是尺寸不一致的顶部和底部。

当夹块10需要复位的时候，只需要用力将夹块10底部从沉台21凹槽中拔出，夹块10在弹簧的弹力作用下即可实现复位。

本申请中推动件可以为具体的推力气缸或推力组件，也可以为人工手动的夹紧推力。

在初始阶段，两个夹块10处于远离彼此的状态，此时，两个夹块10的底部与沉台21中凹槽侧壁抵接，使得夹块10之间保持一定的距离，同时，定位针12的位置可以移动；当定位针12的位置确定之后，推动件给到夹块10朝着彼此移动的作用力，两个夹块10朝着靠近彼此的方向移动，直至夹块10夹紧，当夹块10夹紧时，两个夹块10的顶部尺寸与沉台21中凹槽适配，夹块10被放置在沉台21凹槽中，此时定位针12和夹块10被固定。将测试工装两端的定位孔穿过定位针12进行固定，固定之后可以采用固定螺栓对固定在定位针12中对测试工件13进行固定。

当测试工件13完成测试之后，将测试工件13拆卸；将夹块10从沉台21凹槽中垂直拔出直至夹块10的底部脱离沉台21，在弹簧的弹力作用下，夹块10沿着滑杆22和导杆23复位，恢复至初始位置。

本申请还提供了一种开封机，具体可以为激光开封机等，包括如上的固定装置，在开封机中，测试工件13可以为多种类型的半导体功率器件模块。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种测试工件的固定装置，其特征在于，包括两个夹块以及位于夹块之间的至少两个定位针；

所述夹块相对的一侧设置有与定位针相适配的定位槽；所述夹块旁侧设置有带动两个夹块相向或者相背运动的驱动组件；测试工件中设置有与定位针相适配的定位孔。

2.根据权利要求1所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，所述定位针包括卡接部和定位部，所述卡接部与所述定位槽相适配，所述定位部与所述定位孔相适配。

3.根据权利要求2所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，在垂直于夹块所在平面的方向上，所述卡接部的尺寸大于定位部的尺寸。

4.根据权利要求3所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，所述卡接部和定位部均为圆柱状。

5.根据权利要求1所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，所述定位孔为两个，分别位于测试工件的两端。

6.根据权利要求1所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，所述驱动组件包括位于夹块外部的推动件以及位于夹块之间的滑杆，所述夹块套设在滑杆上，且滑杆与夹块运动方向平行。

7.根据权利要求6所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，两个夹块之间还设置有导杆，所述导杆上嵌套有弹簧，所述弹簧的两端分别与两个夹块抵接；所述夹块套设在导杆上，且导杆与夹块运动方向平行。

8.根据权利要求1所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，还包括沉台，所述沉台上表面设置有用于放置夹块的凹槽。

9.根据权利要求8所述的一种测试工件的固定装置，其特征在于，两个夹块远离彼此一端的底部尺寸小于顶部尺寸。

10.一种开封机，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的测试工件的固定装置。