CN219534491U - 一种旋转校正摆臂 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种旋转校正摆臂，属于芯片自动化加工领域，主要应用于对吸附芯片带动其转运，并在转运过程中实现对芯片的角度校正，其包括用于与移料转运件固定设置的摆臂主体、用于吸取芯片的吸附件、用于反馈视觉处理元件感应信号的驱动电机以及连通驱动电机及吸附件的传动件，驱动电机可通过传动件带动吸附件转动，从而无需等待即可抓料转运并在转运过程中同步实现对芯片的角度校正，节约了等待时间，提高了转运效率。

Description

一种旋转校正摆臂

技术领域

本申请涉及芯片自动化加工领域，尤其是涉及一种旋转校正摆臂。

背景技术

芯片是半导体元件的统称，随着3C行业的发展，芯片的应用愈加广泛。因其高精密性的特点，芯片的自动化加工设备在转运工序中，常会设置校正装置对芯片进行角度校正。

相关技术手段中，常将用于吸附芯片的取晶摆臂固定设置于做直线运动或θ轴旋转运动的移料转运件，用于实现对芯片的抓取及转运。为了实现芯片的角度校正，常于抓料位或于抓料位与取料位之间设置角度校正平台，此角度校正平台电信号联接有用于感应放料位的待装件角度位置的视觉处理元件。芯片于角度旋转平台进行角度校正后，以对芯片进行角度校正。角度校正平台接收视觉处理元件的感应信号后，带动芯片转动以对其进行角度校正，而后，移料转运件驱动取晶摆臂吸附芯片进行转运。

针对上述中的相关技术手段，因取晶摆臂需等待角度校正平台对芯片进行角度校正后才可进行抓料及转运的动作，从而存在转运效率较低的问题。

实用新型内容

为了改善相关技术手段中需等待芯片角度校正完成才可进行抓料及转运的动作，从而存在转运效率较低而影响生产效率的问题，本申请提供一种旋转校正摆臂。

本申请提供的一种旋转校正摆臂，采用如下的技术方案。

一种旋转校正摆臂，包括用于与移料转运件固定设置的摆臂主体、用于吸取芯片的吸附件、用于接收视觉处理元件感应信号的驱动电机以及连通设置所述驱动电机与所述吸附件的传动件；所述驱动电机设置于所述摆臂主体；所述吸附件转动设置于所述摆臂主体，所述驱动电机的旋转轴与所述传动件同轴固定设置。

通过采用上述技术方案，驱动电机接收视觉处理元件的感应信号后，驱动传动件而带动吸附件转动，从而无需等待即可实现对芯片的抓料动作，同时在摆臂主体随移料转运件转运过程中，同步实现对芯片的角度校正，节省了时间，继而提高了芯片的生产效率。改善了相关技术手段中，因需等待角度校正平台对芯片进行角度校正后才可进行抓料及转运的动作，从而存在转运效率较低而影响生产效率的问题。

可选的，所述摆臂主体一体设置有安装锁固块及延伸于所述安装锁固块的抓料臂，所述安装锁固块用于与所述移料转运件固定设置，所述吸附件固定设置于所述抓料臂远离所述安装锁固块的一端。

通过采用上述技术方案，抓料臂的设置提高了本申请整体结构的功能性，使其可适配做直线运动或θ轴旋转运动的移料转运件；当移料转运件做θ轴旋转运动转运芯片时，通过延伸设置的抓料臂即可带动吸附件以移料转运件的旋转轴为中心做摆臂运动，从而实现对芯片θ轴摆动转运的效果

可选的，所述传动件包括所述驱动电机的旋转轴同轴固定设置的主动轮、与所述吸附件同轴固定设置的从动轮以及套设于所述主动轮与所述从动轮的传动带。

通过采用上述技术方案，吸附件与驱动电机通过带传动结构进行传动，从而具有更高的传动效率，进一步提高了对芯片进行角度校正的效率。

可选的，所述吸附件包括同轴固定设置于所述从动轮的中空轴、固定设置于所述中空轴顶端的气控元件以及设置于所述中空轴底端的吸嘴，所述吸嘴与所述中空轴可拆卸设置。

通过采用上述技术方案，气控元件通过中空轴的内部气道而控制吸嘴对芯片进行真空吸附。同时，因吸嘴与中空轴可拆卸设置，故当更换不同的芯片时，无需对吸附件整体进行拆卸，仅需拆卸及更换新的吸嘴即可，操作简便。

可选的，所述中空轴穿设有两个相对设置的滚动轴承，两个所述滚动轴承均转动设置于所述摆臂主体。

通过采用上述技术方案，两个滚动轴承同时上下支撑中空轴，从而对中空轴的转动提供了双向支撑，使得吸嘴可带动芯片进行稳定的角度旋转，以角度校正的精度。

可选的，所述抓料臂开设有中空腔室，所述传动件设置于所述中空腔室内。

通过采用上述技术方案，传动件设置于中空腔室中，节省空间的同时，无需另外设置防护罩即可实现对传动件安全防护的效果。

可选的，所述抓料臂外周壁开设有多个减重孔。

通过采用上述技术方案，减重孔的设置可减少本申请中的旋转校正摆臂整体的重量，从而减少移料转运件的负载，以提高转运稳定性及芯片校正的精度。

可选的，所述摆臂主体底壁开设有供所述传动件通过的通槽，所述通槽宽度方向通过多个加强筋连通设置。

通过采用上述技术方案，通槽的设置提供了工具的使用及摆动空间，便于安装传动件，同时加强筋的设置保证了本申请整体结构的刚性。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.具有较高的转运效率。本申请中旋转校正摆臂无需等待芯片角度完成即可对芯片的抓料转运，在随移料转运件转运芯片的过程中，驱动电机反馈视觉处理元件的感应信号，并同步驱动传动件带动吸附件转动而实现对芯片的角度校正，节省了等待时间，从而可具备较高的转运效率。同时，本申请中的传动件的结构形式优选为带传动结构，从而具备较高的传动效率。

2.具备较高的校正稳定性。抓料臂外周开设的减重孔与通槽，皆可实现自重的减少，从而实现移料转运件的负载，以提高芯片转运时的稳定性。同时，相对设置的两个滚动轴承对中空轴上下进行支撑，从而提高了吸附件旋转时的稳定性。

附图说明

图1绘示了本申请实施例中整体结构的示意图；

图2绘示了本申请实施例中去除摆臂主体的结构示意图；

图3绘示了本申请实施例中摆臂主体的下视图。

附图标记说明：

100、摆臂主体；110、安装锁固块；120、抓料臂；121、中空腔室；122、减重孔；123、通槽；124、加强筋；200、吸附件；210、中空轴；220、气控元件；230、吸嘴；240、滚动轴承；300、驱动电机；400、传动件；410、主动轮；420、从动轮；430、传动带。

具体实施方式

以下结合附图对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种旋转校正摆臂。参照图1，一种旋转校正摆臂包括用于与移料转运件固定设置的摆臂主体100、用于吸取芯片的吸附件200以及用于接收视觉处理元件感应信号的驱动电机300。驱动电机300与吸附件200连通设置有传动件400，吸附件200转动设置于摆臂主体100；驱动电机300固定安装于摆臂主体100且驱动电机300的旋转轴与传动件400同轴固定设置，从而可在接收视觉处理元件的感应信号后，反馈驱动传动件400转动而带动吸附件200转动，并在随移料转运件转运过程中同步实现对芯片的角度校正。继而无需等待即可实现对芯片的抓料转运，效率较高，改善了相关技术手段中，因需等待角度校正平台对芯片进行角度校正后才可进行抓料及转运的动作，从而存在转运效率较低而影响整体生产效率的问题。

参照图1，摆臂主体100包括一体设置的安装锁固块110以及延伸于安装锁固块110的抓料臂120，安装锁固块110开设有供螺钉通过的通孔，从而可实现摆臂主体100与移料转运件的固定安装；吸附件200固定设置于抓料臂120远离安装锁固块110的一端，从而在移料转运件做θ轴旋转运动转运芯片时，可通过抓料臂120带动吸附件200以移料转运件的旋转轴为中心做摆臂运动，并可根据实际位移设置抓料臂120的长度，使得本申请中的旋转校正摆臂可兼容做直线运动或做θ轴旋转运动的移料转运件。

参照图2，传动件400包括与驱动电机300的旋转轴同轴固定设置的主动轮410、与吸附件200同轴固定设置的从动轮420以及套设于主动轮410与从动轮420的传动带430，从而使得吸附件200与驱动电机300通过带传动结构进行传动，传动效率较高，从而进一步提高了对芯片进行角度校正的效率。

参照图1和图3，需要说明的是，上述抓料臂120开设有中空腔室121，传动件400设置于中空腔室121内，节省空间且无需另外设置防护罩即可实现对传动件400的防护。进一步说明的是，抓料臂120外周壁开设有多个减重孔122；抓料臂120俯视呈楔形，两侧边沿远离安装锁固块110的方向沿相互靠近的方向朝下延伸设置，从而以减少自重的形式而减少移料转运件的负载，以提高转运时的稳定性，继而提高芯片校正的精度。

参照图1和图2，吸附件200包括同轴固定设置于从动轮420的中空轴210、固定设置于中空轴210顶端的气控元件220以及设置于中空轴210底端的吸嘴230，气控元件220通过中空轴210的内部气道而控制吸嘴230对芯片进行真空吸附。吸嘴230与中空轴210螺纹连接设置从而可拆卸，从而在更换不同尺寸或类型的芯片时，无需拆卸更换吸附件200整体，仅需拆卸其中的吸嘴230进行适配更换即可，简化了操作。

参照图1和图2，中空轴210穿设有两个相对设置的滚动轴承240，且两个滚动轴承240均转动设置于抓料臂120，从而可同时上下支撑中空轴210对其转动提供双向支撑，以提高角度校正时稳定性继而进一步提高校正精度。

参照图1和图3，抓料臂120底壁开设有供上述主动轮410与传动带430通过的通槽123，从而为工具的使用及摆动提供了操作空间，便于主动轮410与传动带430的安装；值得说明的是，抓料臂120的左侧还开设有开口槽，以提供从动轮420的安装空间而便于从动轮420的安装。通槽123宽度方向通过多个加强筋124连通设置，以保证本申请中整体结构的强度和刚度。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围。其中，相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，上面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种旋转校正摆臂，其特征在于，包括用于与移料转运件固定设置的摆臂主体(100)、用于吸取芯片的吸附件(200)、用于接收视觉处理元件感应信号的驱动电机(300)以及连通设置所述驱动电机(300)与所述吸附件(200)的传动件(400)；所述驱动电机(300)设置于所述摆臂主体(100)；所述吸附件(200)转动设置于所述摆臂主体(100)，所述驱动电机(300)的旋转轴与所述传动件(400)同轴固定设置。

2.根据权利要求1所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述摆臂主体(100)一体设置有安装锁固块(110)及延伸于所述安装锁固块(110)的抓料臂(120)，所述安装锁固块(110)用于与所述移料转运件固定设置，所述吸附件(200)固定设置于所述抓料臂(120)远离所述安装锁固块(110)的一端。

3.根据权利要求2所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述传动件(400)包括所述驱动电机(300)的旋转轴同轴固定设置的主动轮(410)、与所述吸附件(200)同轴固定设置的从动轮(420)以及套设于所述主动轮(410)与所述从动轮(420)的传动带(430)。

4.根据权利要求3所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述吸附件(200)包括同轴固定设置于所述从动轮(420)的中空轴(210)、固定设置于所述中空轴(210)顶端的气控元件(220)以及设置于所述中空轴(210)底端的吸嘴(230)，所述吸嘴(230)与所述中空轴(210)可拆卸设置。

5.根据权利要求4所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述中空轴(210)穿设有两个相对设置的滚动轴承(240)，两个所述滚动轴承(240)均转动设置于所述摆臂主体(100)。

6.根据权利要求3所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述抓料臂(120)开设有中空腔室(121)，所述传动件(400)设置于所述中空腔室(121)内。

7.根据权利要求6所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述抓料臂(120)外周壁开设有多个减重孔(122)。

8.根据权利要求6所述的旋转校正摆臂，其特征在于，所述摆臂主体(100)底壁开设有供所述传动件(400)通过的通槽(123)，所述通槽(123)宽度方向通过多个加强筋(124)连通设置。