CN219226268U - 一种适用于晶圆的翻转装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种适用于晶圆的翻转装置，包括固定座，所述固定座上连接有支撑框架，所述支撑框架上连接有翻转装置，所述翻转装置的驱动轴穿过支撑框架与翻转固定框架相同步转动连接，所述与翻转固定框架内连接有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸，所述第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的驱动轴相向设置，所述第一伸缩气缸的驱动轴与第一伸缩固定板相连，所述第一伸缩固定板上连接有第一连接块，所述第一连接块上连接有用于晶圆夹取的第一夹爪，所述第二伸缩气缸的驱动轴与第二伸缩固定板相连，所述第二伸缩固定板上连接有第二连接块，所述第二连接块上连接有第二夹爪。本实用新型能提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种适用于晶圆的翻转装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在晶圆上电镀一层导电金属，并对导电金属层进行加工以制成导电线路。在半导体行业自动化制程中，经常需要让晶圆绕着其中心进行上下翻转，来对晶圆进行检测。
经检索，专利：一种适用于晶圆的外侧翻转装置(202222734461.4)，包括机架，机架内设置有翻转固定支撑板，翻转固定支撑板上连接有相对的带座轴承，带座轴承之间连接有升降丝杆，升降丝杆上套装有滑动的滑套块，翻转固定支撑板的第一驱动电机与升降丝杆相驱动连接，滑套块上连接有电机固定支撑板，电机固定支撑板的上端和下端通过第一转轴和第二转轴分别连接有第一同步轮和第二同步轮，在第一同步乱和第二同步轮之间套装有同步带，电机固定支撑板上连接有第二驱动电机，第二驱动电机的驱动轴通过联轴器与第二转轴相驱动连接，第一转轴的一端穿过电机固定支撑板与用于吸附产品的连接吸杆组件相同步旋转连接，该结构翻转效率降低。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种适用于晶圆的翻转装置。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种适用于晶圆的翻转装置，包括固定座，所述固定座上连接有支撑框架，所述支撑框架上连接有翻转装置，所述翻转装置的驱动轴穿过支撑框架与翻转固定框架相同步转动连接，所述与翻转固定框架内连接有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸，所述第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的驱动轴相向设置，所述第一伸缩气缸的驱动轴与第一伸缩固定板相连，所述第一伸缩固定板上连接有第一连接块，所述第一连接块上连接有用于晶圆夹取的第一夹爪，所述第二伸缩气缸的驱动轴与第二伸缩固定板相连，所述第二伸缩固定板上连接有第二连接块，所述第二连接块上连接有第二夹爪。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述第一夹爪上连接有辅助夹块，所述辅助夹块分设在第一夹爪的首尾两端。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述第二夹爪上连接有辅助夹块，所述辅助夹块分设在第二夹爪的首尾两端。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述辅助夹块上开设有与产品匹配的凹口。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述第一夹爪和第二夹爪上均开设有限位槽。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述辅助夹块为软性的塑料制成的夹块。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述辅助夹块通过螺栓连接在对应的夹爪上。
优选地，所述的一种适用于晶圆的翻转装置，所述翻转装置为伺服电机。
借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型结构简单，操作方便，通过同时控制伸缩气缸来对产品进行夹紧，并通过电机来实现对产品的快速翻转，提高工作效率，达到降低成本的目的。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的翻转机构的结构示意图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
实施例
如图1和图2所示，一种适用于晶圆的翻转装置，包括固定座1，所述固定座1上连接有支撑框架2，所述支撑框架2上连接有翻转装置3，所述翻转装置3的驱动轴穿过支撑框架2与翻转固定框架4相同步转动连接，所述与翻转固定框架4内连接有第一伸缩气缸5和第二伸缩气缸6，所述第一伸缩气缸5和第二伸缩气缸6的驱动轴相向设置，所述第一伸缩气缸5的驱动轴与第一伸缩固定板7相连，所述第一伸缩固定板7上连接有第一连接块8，所述第一连接块8上连接有用于晶圆夹取的第一夹爪9，所述第二伸缩气缸6的驱动轴与第二伸缩固定板10相连，所述第二伸缩固定板10上连接有第二连接块11，所述第二连接块11上连接有第二夹爪12。
本实用新型中所述第一夹爪9上连接有辅助夹块13，所述辅助夹块13分设在第一夹爪9的首尾两端，其中，所述第二夹爪12上连接有辅助夹块13，所述辅助夹块13分设在第二夹爪12的首尾两端。通过辅助夹块可以实现对产品(晶圆片)稳定的夹紧。
本实用新型中所述辅助夹块13上开设有与产品匹配的凹口，可以防止产品在翻转时掉落。
本实用新型中所述第一夹爪9和第二夹爪12上均开设有限位槽14。
本实用新型中所述辅助夹块13为软性的塑料制成的夹块，其中，所述辅助夹块13通过螺栓连接在对应的夹爪上。
本实用新型中所述翻转装置3为伺服电机。
本实用新型的工作原理如下：
具体工作时，在产品被放置在对应的位置后，在该位置处的产品上升至指定位置，该指定位置为本领域技术人员设定的高度，此时产品(晶圆片)位于第一夹爪和第二夹爪之间，通过第一伸缩气缸和第二伸缩气缸使第一夹爪和第二夹爪夹紧，然后下降接料台，紧接着通过电机的驱动下进行翻转，最后将翻转后的产品放置在接料台上。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或竖直，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：包括固定座(1)，所述固定座(1)上连接有支撑框架(2)，所述支撑框架(2)上连接有翻转装置(3)，所述翻转装置(3)的驱动轴穿过支撑框架(2)与翻转固定框架(4)相同步转动连接，所述与翻转固定框架(4)内连接有第一伸缩气缸(5)和第二伸缩气缸(6)，所述第一伸缩气缸(5)和第二伸缩气缸(6)的驱动轴相向设置，所述第一伸缩气缸(5)的驱动轴与第一伸缩固定板(7)相连，所述第一伸缩固定板(7)上连接有第一连接块(8)，所述第一连接块(8)上连接有用于晶圆夹取的第一夹爪(9)，所述第二伸缩气缸(6)的驱动轴与第二伸缩固定板(10)相连，所述第二伸缩固定板(10)上连接有第二连接块(11)，所述第二连接块(11)上连接有第二夹爪(12)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述第一夹爪(9)上连接有辅助夹块(13)，所述辅助夹块(13)分设在第一夹爪(9)的首尾两端。
3.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述第二夹爪(12)上连接有辅助夹块(13)，所述辅助夹块(13)分设在第二夹爪(12)的首尾两端。
4.根据权利要求2或3所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述辅助夹块(13)上开设有与产品匹配的凹口。
5.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述第一夹爪(9)和第二夹爪(12)上均开设有限位槽(14)。
6.根据权利要求4所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述辅助夹块(13)为软性的塑料制成的夹块。
7.根据权利要求6所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述辅助夹块(13)通过螺栓连接在对应的夹爪上。
8.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的翻转装置，其特征在于：所述翻转装置(3)为伺服电机。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202320265155.2U CN219226268U (zh) | 2023-02-21 | 2023-02-21 | 一种适用于晶圆的翻转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN219226268U true CN219226268U (zh) | 2023-06-20 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2023
- 2023-02-21 CN CN202320265155.2U patent/CN219226268U/zh active Active
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