CN216902860U - 一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池技术领域，且公开了一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，解决了目前扩散炉内的石英舟在传送的过程中，不便于对石英舟进行限位，石英舟在传送过程中稳定性较差，实际操作较为不便的问题，其包括安装板，所述安装板的顶部设有活动座，活动座和安装板通过驱动组件连接，活动座的顶部设有调节板，调节板的顶部固定连接有两个第一固定板，两个第一固定板相靠近的一侧均设有第一夹持限位板，两个第一夹持限位板之间设有载物台，载物台的底部与调节板的顶部固定连接；通过两个第一夹持限位板和两个第二夹持限位板限位石英舟的四个侧面，减少石英舟在传送过程中晃动的可能。

Description

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构

技术领域

本实用新型属于晶体硅太阳能电池技术领域，具体为一种用于扩散炉内的石英舟传送机构。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉由控制系统、石英舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业，石英舟是扩散时的常用工具。

目前扩散炉内的石英舟在传送的过程中，不便于对石英舟进行限位，石英舟在传送过程中稳定性较差，实际操作较为不便。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，有效的解决了上述背景技术中的问题。

为实现以上目的，本实用新型采用以下的技术方案：

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括安装板，所述安装板的顶部设有活动座，活动座和安装板通过驱动组件连接，活动座的顶部设有调节板，调节板的顶部固定连接有两个第一固定板，两个第一固定板相靠近的一侧均设有第一夹持限位板，两个第一夹持限位板之间设有载物台，载物台的底部与调节板的顶部固定连接，调节板的顶部设有与两个第一夹持限位板相配合的第一异向移动机构，载物台的两侧均设有第二夹持限位板，调节板的两侧均固定连接有第一支撑侧板，第一支撑侧板的顶部固定连接有第二固定板，两个第二固定板与两个第二夹持限位板通过第二异向移动机构连接，第一支撑侧板和活动座通过升降调节组件。

作为本实用新型所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述驱动组件包括设置于活动座一侧的第一螺纹柱，第一螺纹柱贯穿活动座，第一螺纹柱与活动座的连接方式为螺纹连接，安装板的两侧均固定连接有第三固定板，第一螺纹柱的一端与其中一个第三固定板通过第一轴承连接，第一螺纹柱的另一端贯穿另一个第三固定板，且第一螺纹柱的一端与其中一个第三固定板通过驱动电机连接，活动座与安装板通过滑行单元连接。

作为本实用新型所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述滑行单元包括开设于安装板顶部的滑槽，滑槽内设有滑块，滑块的顶部与活动座的底部固定连接。

作为本实用新型所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述升降调节组件包括对称设置于活动座两侧的第二支撑侧板，第二支撑侧板的一侧与活动座的一侧固定连接，其中一个第一支撑侧板的下方设有第二螺纹柱，另一个第一支撑侧板的下方设有定位柱，第二螺纹柱和定位柱分别贯穿两个第二支撑侧板，其中一个第二螺纹柱的一端与其中一个第一支撑侧板通过第二轴承连接，另一个定位柱的顶部与另一个第一支撑侧板固定连接，第二螺纹柱和第二支撑侧板的连接方式为螺纹连接。

作为本实用新型所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述第二螺纹柱上设有把手，两个第一夹持限位板相靠近的一侧和两个第二夹持限位板相靠近的一侧均设有防滑垫。

作为本实用新型所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述第一异向移动机构包括设置于载物台一侧的第一双向丝杆，第一双向丝杆贯穿两个第一夹持限位板，第一夹持限位板和第一双向丝杆的连接方式为螺纹连接，第一双向丝杆贯穿载物台，第一双向丝杆的一端与其中一个第一固定板通过第三轴承连接，第一双向丝杆的另一端贯穿另一个第一固定板，且第一双向丝杆的一端固定连接有第一转盘，第一夹持限位板的底部与调节板的顶部相接触。

作为本实用新型所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述第二异向移动机构包括设置于载物台一侧的第二双向丝杆，第二双向丝杆贯穿两个第二夹持限位板，第二夹持限位板和第二双向丝杆的连接方式为螺纹连接，第二双向丝杆贯穿载物台，第二双向丝杆的一端与其中一个第二固定板通过第四轴承连接，第二双向丝杆的另一端贯穿另一个第二固定板，且第二双向丝杆的一端固定连接有第二转盘，第二夹持限位板的底部与第一支撑侧板的顶部相接触。

本实用新型具有以下有益效果：

1、通过安装板、活动座和驱动组件的设计，通过滑槽和滑块的配合，使得活动座相对安装板平稳移动，通过驱动电机驱动第一螺纹柱转动，进而通过第一螺纹柱和活动座的配合，使得活动座在安装板上移动，进而使得调节板和载物台移动，石英舟放置于载物台的顶部，通过两个第一夹持限位板和两个第二夹持限位板限位石英舟的四个侧面，减少石英舟在传送过程中晃动的可能；

2、通过活动座、调节板、第一支撑侧板和升降调节组件的设计，通过驱动第二螺纹柱转动，使得第二螺纹柱相对第二支撑侧板上下移动，进而改变第一支撑侧板的高度，通过第二支撑侧板和定位柱的配合，使得第一支撑侧板和调节板平稳的上下移动，便于根据实际需求，改变载物台和石英舟的高度，通过第一异向移动机构的设计，通过旋转第一转盘驱动第一双向丝杆转动，使得两个第一夹持限位板异向移动，进而改变两个第一夹持限位板之间的距离，通过第二异向移动机构的设计，通过旋转第二转盘驱动第二双向丝杆转动，使得两个第二夹持限位板异向移动，进而改变两个第二夹持限位板之间的距离，可以对不同大小的石英舟进行限位固定，便于实际使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其它的附图。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型活动座的结构示意图；

图3为本实用新型调节板的结构示意图；

图4为本实用新型升降调节组件的结构示意图。

图中：1、安装板；2、活动座；3、调节板；4、第一固定板；5、第一夹持限位板；6、载物台；7、第二夹持限位板；8、第一支撑侧板；9、第一螺纹柱；10、滑槽；11、滑块；12、第二固定板；13、第一轴承；14、驱动电机；15、第二螺纹柱；16、第二支撑侧板；17、定位柱；18、第二轴承；19、把手；20、第一双向丝杆；21、第三轴承；22、第一转盘；23、第三固定板；24、第二双向丝杆；25、第四轴承；26、第二转盘；27、防滑垫。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

实施例一

由图1至图4给出，本实用新型包括安装板1，安装板1的顶部设有活动座2，活动座2和安装板1通过驱动组件连接，活动座2的顶部设有调节板3，调节板3的顶部固定连接有两个第一固定板4，两个第一固定板4相靠近的一侧均设有第一夹持限位板5，两个第一夹持限位板5之间设有载物台6，载物台6的底部与调节板3的顶部固定连接，调节板3的顶部设有与两个第一夹持限位板5相配合的第一异向移动机构，载物台6的两侧均设有第二夹持限位板7，调节板3的两侧均固定连接有第一支撑侧板8，第一支撑侧板8的顶部固定连接有第二固定板12，两个第二固定板12与两个第二夹持限位板7通过第二异向移动机构连接，第一支撑侧板8和活动座2通过升降调节组件。

实施例二

在实施例一的基础上，由图1和图2给出，驱动组件包括设置于活动座2一侧的第一螺纹柱9，第一螺纹柱9贯穿活动座2，第一螺纹柱9与活动座2的连接方式为螺纹连接，安装板1的两侧均固定连接有第三固定板23，第一螺纹柱9的一端与其中一个第三固定板23通过第一轴承13连接，第一螺纹柱9的另一端贯穿另一个第三固定板23，且第一螺纹柱9的一端与其中一个第三固定板23通过驱动电机14连接，活动座2与安装板1通过滑行单元连接，滑行单元包括开设于安装板1顶部的滑槽10，滑槽10内设有滑块11，滑块11的顶部与活动座2的底部固定连接，通过滑槽10和滑块11的配合，使得活动座2相对安装板1平稳移动，通过驱动电机14驱动第一螺纹柱9转动，进而通过第一螺纹柱9和活动座2的配合，使得活动座2在安装板1上移动。

实施例三

在实施例一的基础上，由图2和图4给出，升降调节组件包括对称设置于活动座2两侧的第二支撑侧板16，第二支撑侧板16的一侧与活动座2的一侧固定连接，其中一个第一支撑侧板8的下方设有第二螺纹柱15，另一个第一支撑侧板8的下方设有定位柱17，第二螺纹柱15和定位柱17分别贯穿两个第二支撑侧板16，其中一个第二螺纹柱15的一端与其中一个第一支撑侧板8通过第二轴承18连接，另一个定位柱17的顶部与另一个第一支撑侧板8固定连接，第二螺纹柱15和第二支撑侧板16的连接方式为螺纹连接，第二螺纹柱15上设有把手19，两个第一夹持限位板5相靠近的一侧和两个第二夹持限位板7相靠近的一侧均设有防滑垫27，通过驱动第二螺纹柱15转动，使得第二螺纹柱15相对第二支撑侧板16上下移动，进而改变第一支撑侧板8的高度，通过第二支撑侧板16和定位柱17的配合，使得第一支撑侧板8和调节板3平稳的上下移动，便于根据实际需求，改变载物台6和石英舟的高度。

实施例四

在实施例一的基础上，由图2和图3给出，第一异向移动机构包括设置于载物台6一侧的第一双向丝杆20，第一双向丝杆20贯穿两个第一夹持限位板5，第一夹持限位板5和第一双向丝杆20的连接方式为螺纹连接，第一双向丝杆20贯穿载物台6，第一双向丝杆20的一端与其中一个第一固定板4通过第三轴承21连接，第一双向丝杆20的另一端贯穿另一个第一固定板4，且第一双向丝杆20的一端固定连接有第一转盘22，第一夹持限位板5的底部与调节板3的顶部相接触，第二异向移动机构包括设置于载物台6一侧的第二双向丝杆24，第二双向丝杆24贯穿两个第二夹持限位板7，第二夹持限位板7和第二双向丝杆24的连接方式为螺纹连接，第二双向丝杆24贯穿载物台6，第二双向丝杆24的一端与其中一个第二固定板12通过第四轴承25连接，第二双向丝杆24的另一端贯穿另一个第二固定板12，且第二双向丝杆24的一端固定连接有第二转盘26，第二夹持限位板7的底部与第一支撑侧板8的顶部相接触，通过旋转第一转盘22驱动第一双向丝杆20转动，使得两个第一夹持限位板5异向移动，进而改变两个第一夹持限位板5之间的距离，通过旋转第二转盘26驱动第二双向丝杆24转动，使得两个第二夹持限位板7异向移动，进而改变两个第二夹持限位板7之间的距离，可以对不同大小的石英舟进行限位固定，便于实际使用。

工作原理：工作时，通过滑槽10和滑块11的配合，使得活动座2相对安装板1平稳移动，通过驱动电机14驱动第一螺纹柱9转动，进而通过第一螺纹柱9和活动座2的配合，使得活动座2在安装板1上移动，进而使得调节板3和载物台6移动，石英舟放置于载物台6的顶部，通过两个第一夹持限位板5和两个第二夹持限位板7限位石英舟的四个侧面，减少石英舟在传送过程中晃动的可能，通过驱动第二螺纹柱15转动，使得第二螺纹柱15相对第二支撑侧板16上下移动，进而改变第一支撑侧板8的高度，通过第二支撑侧板16和定位柱17的配合，使得第一支撑侧板8和调节板3平稳的上下移动，便于根据实际需求，改变载物台6和石英舟的高度，通过第一异向移动机构的设计，通过旋转第一转盘22驱动第一双向丝杆20转动，使得两个第一夹持限位板5异向移动，进而改变两个第一夹持限位板5之间的距离，通过第二异向移动机构的设计，通过旋转第二转盘26驱动第二双向丝杆24转动，使得两个第二夹持限位板7异向移动，进而改变两个第二夹持限位板7之间的距离，可以对不同大小的石英舟进行限位固定，便于实际使用。

当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部设有活动座(2)，活动座(2)和安装板(1)通过驱动组件连接，活动座(2)的顶部设有调节板(3)，调节板(3)的顶部固定连接有两个第一固定板(4)，两个第一固定板(4)相靠近的一侧均设有第一夹持限位板(5)，两个第一夹持限位板(5)之间设有载物台(6)，载物台(6)的底部与调节板(3)的顶部固定连接，调节板(3)的顶部设有与两个第一夹持限位板(5)相配合的第一异向移动机构，载物台(6)的两侧均设有第二夹持限位板(7)，调节板(3)的两侧均固定连接有第一支撑侧板(8)，第一支撑侧板(8)的顶部固定连接有第二固定板(12)，两个第二固定板(12)与两个第二夹持限位板(7)通过第二异向移动机构连接，第一支撑侧板(8)和活动座(2)通过升降调节组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述驱动组件包括设置于活动座(2)一侧的第一螺纹柱(9)，第一螺纹柱(9)贯穿活动座(2)，第一螺纹柱(9)与活动座(2)的连接方式为螺纹连接，安装板(1)的两侧均固定连接有第三固定板(23)，第一螺纹柱(9)的一端与其中一个第三固定板(23)通过第一轴承(13)连接，第一螺纹柱(9)的另一端贯穿另一个第三固定板(23)，且第一螺纹柱(9)的一端与其中一个第三固定板(23)通过驱动电机(14)连接，活动座(2)与安装板(1)通过滑行单元连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述滑行单元包括开设于安装板(1)顶部的滑槽(10)，滑槽(10)内设有滑块(11)，滑块(11)的顶部与活动座(2)的底部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述升降调节组件包括对称设置于活动座(2)两侧的第二支撑侧板(16)，第二支撑侧板(16)的一侧与活动座(2)的一侧固定连接，其中一个第一支撑侧板(8)的下方设有第二螺纹柱(15)，另一个第一支撑侧板(8)的下方设有定位柱(17)，第二螺纹柱(15)和定位柱(17)分别贯穿两个第二支撑侧板(16)，其中一个第二螺纹柱(15)的一端与其中一个第一支撑侧板(8)通过第二轴承(18)连接，另一个定位柱(17)的顶部与另一个第一支撑侧板(8)固定连接，第二螺纹柱(15)和第二支撑侧板(16)的连接方式为螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述第二螺纹柱(15)上设有把手(19)，两个第一夹持限位板(5)相靠近的一侧和两个第二夹持限位板(7)相靠近的一侧均设有防滑垫(27)。

6.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述第一异向移动机构包括设置于载物台(6)一侧的第一双向丝杆(20)，第一双向丝杆(20)贯穿两个第一夹持限位板(5)，第一夹持限位板(5)和第一双向丝杆(20)的连接方式为螺纹连接，第一双向丝杆(20)贯穿载物台(6)，第一双向丝杆(20)的一端与其中一个第一固定板(4)通过第三轴承(21)连接，第一双向丝杆(20)的另一端贯穿另一个第一固定板(4)，且第一双向丝杆(20)的一端固定连接有第一转盘(22)，第一夹持限位板(5)的底部与调节板(3)的顶部相接触。

7.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述第二异向移动机构包括设置于载物台(6)一侧的第二双向丝杆(24)，第二双向丝杆(24)贯穿两个第二夹持限位板(7)，第二夹持限位板(7)和第二双向丝杆(24)的连接方式为螺纹连接，第二双向丝杆(24)贯穿载物台(6)，第二双向丝杆(24)的一端与其中一个第二固定板(12)通过第四轴承(25)连接，第二双向丝杆(24)的另一端贯穿另一个第二固定板(12)，且第二双向丝杆(24)的一端固定连接有第二转盘(26)，第二夹持限位板(7)的底部与第一支撑侧板(8)的顶部相接触。

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