CN213340321U - 一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，包括花篮夹爪和连接花篮夹爪的夹爪臂；花篮夹爪包括支撑板和设置在支撑板两侧的伸缩装置；伸缩装置的推杆端连接花篮夹紧板；夹爪臂包括上基板和下基板；上基板和下基板间通过固定架连接；上基板上设有丝杆驱动电机，丝杆驱动电机连接丝杆；丝杆上设有丝杆螺母；丝杆螺母连接定位板；下基板上设有中空法兰盘减速机，中空法兰盘减速机的旋转面连接支撑板，中空法兰盘减速机可驱动支撑板旋转。针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，解决现有技术中，无针对半导体晶片花篮的结构，实现花篮稳定翻转的问题。

Description

一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂

技术领域

本实用新型涉及非标自动化的自动线输送领域，特别涉及一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂。

背景技术

半导体晶片的生产加工涉及多道工序，在现有半导体晶片生产过程中，半导体晶片通常由半导体晶片花篮承载后在各道工序之间运送。

图8为设置有半导体晶片93的半导体晶片花篮9，半导体晶片花篮9包括花篮底面90 和支撑杆92；花篮底面90上设有储蓄花篮定位孔91和储蓄花篮定位面901。

为了加快花篮在各到工序之间的运送速度及平稳度，在物料的过程中经常用到流水线，且会涉及到花篮水平放置半导体晶片，翻转后，竖直运输半导体晶片等角度变化。因此，需要设计一种针对半导体晶片储蓄花篮的特定机械手，用以完成半导体晶片储蓄花篮水平到竖直的角度转换。同时，需保证旋转角度精准、运动过程快以及产品结构简单稳定。

同时，需保证翻转过程平稳，不会因加持力过大或夹持部位不准确，导致臂夹持不到位或者夹持不牢固，造成半导体晶片的损坏。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题：本实用新型的目的是为了解决现有技术中的不足，提供一种为半导体晶片花篮提供稳定夹持，并带动半导体晶片花篮整体旋转的结构简单、装夹稳固的翻转臂。

本实用新型的技术方案：本实用新型所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，包括花篮夹爪和连接所述花篮夹爪的夹爪臂；

所述花篮夹爪包括支撑板和设置在所述支撑板两侧的伸缩装置；所述伸缩装置的推杆端连接花篮夹紧板；

所述夹爪臂包括上基板和下基板；所述上基板和下基板间通过固定架连接；

所述上基板上端面设有丝杆驱动电机，所述上基板下端面设有定位板；所述丝杆驱动电机下端连接丝杆；所述丝杆上设有丝杆螺母；所述丝杆螺母连接定位板；

所述下基板上设有中空法兰盘减速机，所述中空法兰盘减速机的旋转面连接所述支撑板，所述中空法兰盘减速机可驱动所述支撑板旋转。

进一步的，所述固定架的固定架前端面上设有盖板，所述盖板上设有用于防止所述支撑板绕所述中空法兰盘减速机转动超程的第一限位器。

进一步的，所述固定架的固定架后端面上设有直线导轨；

所述丝杆螺母包括螺母旋转端和定位板连接端；所述定位板连接端连接定位板；所述定位板上设有匹配所述直线导轨的滑块。

进一步的，所述花篮夹紧板上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销；所述花篮夹紧板上设有第二定位块，所述第二定位块到定位销垂直距离等于或略大于储蓄花篮定位孔到储蓄花篮定位面的垂直距离。

进一步的，所述下基板上设有第二限位器支架，所述第二限位器支架上设有第二限位器和原点定位器。

进一步的，所述上基板下端面设有滑块组件。

进一步的，所述丝杆驱动电机与所述上基板间设有电机固定板；所述丝杆驱动电机通过联轴器连接所述丝杆；所述固定架上设有加强筋，用于固定所述丝杆的丝杆固定座设置在所述加强筋上。

进一步的，所述支撑板上设有匹配所述中空法兰盘减速机的连接固定板。

本实用新型与现有技术相比的有益效果：

1.针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，花篮夹紧板上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销，可完成对半导体晶片花篮的有效夹紧，并通过中空法兰盘减速机，对花篮夹爪实现整体旋转，解决现有技术中，无针对半导体晶片花篮的结构，实现花篮稳定翻转的问题。

2.固定架的固定架前端面上设有盖板，盖板上设有用于防止支撑板绕中空法兰盘减速机转动超程的第一限位器，同时，固定架上设有加强筋，用于固定丝杆的丝杆固定座设置在加强筋上；丝杆螺母包括螺母旋转端和定位板连接端；在使用时，仅需固定主基板，即可完成翻转臂的整体固定，在丝杆驱动电机(10)的作用下，丝杆螺母3会带动固定架(13)及上下基板一起相对主基板往复运动，同时，不会影响花篮夹爪的工作，操作简单，实用性和适应性强。

3.设置第一限位器，可用于防止所述支撑板绕所述中空法兰盘减速机转动超程；设置第二限位器和原点定位器，设有第二限位器，用于防止花篮夹爪上下运动过程中，下降超程，保障装置安全性；设有原点定位器，消除积累误差和回原点。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1拆除定位板的结构示意图；

图3为图1拆除支撑板的正面结构示意图；

图4为本实用新型中丝杆螺母的结构示意图；

图5为本实用新型中花篮夹爪的结构示意图；

图6为本实用新型中支撑板的结构示意图；

图7为本实用新型中固定架的结构示意图；

图8为设置有半导体晶片的半导体晶片花篮。

具体实施方式

为了加深本实用新型的理解，下面我们将结合附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1-图7示出了本实用新型中翻转臂的具体实施方式，包括花篮夹爪和连接花篮夹爪的夹爪臂；花篮夹爪包括支撑板1和设置在支撑板1两侧的伸缩装置16；伸缩装置16的推杆端连接花篮夹紧板15；支撑板1上设有匹配中空法兰盘减速机4的连接固定板41；

夹爪臂包括上基板11和下基板12；主基板19下端面设有滑块组件111，在输送线转运设备上，方便主基板19带动夹爪臂整体移动；

上基板11和下基板12间通过固定架13连接；固定架13的固定架前端面130上设有盖板5，盖板5上设有用于防止支撑板1绕中空法兰盘减速机4转动超程的第一限位器81。下基板12上设有第二限位器支架7，第二限位器支架7上设有第二限位器82和原点定位器83。

固定架13的固定架后端面131上设有直线导轨2；

上基板11上设有丝杆驱动电机10，丝杆驱动电机10与上基板11间设有电机固定板100；丝杆驱动电机10通过联轴器连接丝杆21；固定架13上设有加强筋133，用于固定丝杆21的丝杆固定座22设置在加强筋133上。丝杆驱动电机10连接丝杆21；丝杆21上设有丝杆螺母3；丝杆螺母3连接定位板6；丝杆螺母3包括螺母旋转端30和定位板连接端31；定位板连接端31连接定位板6；定位板6上设有匹配直线导轨2的滑块；

下基板12上设有中空法兰盘减速机4，中空法兰盘减速机4的旋转面连接支撑板1，中空法兰盘减速机4可驱动支撑板1旋转。

花篮夹紧板15上设有匹配储蓄花篮定位孔91的定位销151；花篮夹紧板15上设有第二定位块152，第二定位块152到定位销151垂直距离等于或略大于储蓄花篮定位孔91到储蓄花篮定位面901的垂直距离。

其中，支撑板1上设有横向加强条101和竖向加强条102。

其中横向加强条101有两条，平行设置；竖向加强条102有两条，平行设置；

竖向加强条102设置在两平行的横向加强条101之间，将支撑板1分成左伸缩装置固定区1-1、右伸缩装置固定区1-2和臂机械臂连接区1-3；左伸缩装置固定区1-1和右伸缩装置固定区1-2内设有伸缩装置16；臂机械臂连接区1-3内设有连接固定板41，支撑板1通过连接固定板41连接空法兰盘减速机4，并在空法兰盘减速机4的驱动下实现旋转。由于本装置在装夹过程中，由于需夹紧半导体晶片花篮9，因此主要受到水平方向的力，横向加强条11 和竖向加强条12的设计，增强了支撑板1的刚性。

在使用时，仅需将主基板19安装在需要翻转臂的装置上，即可实现对半导体晶片花篮的整体升降控制以及翻转操作。定位板6上还设有加强板61，加强板61有三块，与定位板6 组成方形框，固定架13及花篮夹爪在丝杆驱动电机10的驱动下，随丝杆螺母沿设置在主基板19上的该方形框上下运动。

本实用新型具有针对半导体晶片花篮，结构简单、装夹稳固的特点，由于针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，花篮夹紧板上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销，可完成对半导体晶片花篮的有效夹紧，并通过中空法兰盘减速机4，对花篮夹爪实现整体旋转，解决现有技术中，无针对半导体晶片花篮的结构，实现花篮稳定翻转的问题；

其次，固定架13的固定架前端面130上设有盖板5，盖板5上设有用于防止支撑板1绕中空法兰盘减速机4转动超程的第一限位器81；同时，固定架13上设有加强筋133，用于固定丝杆的丝杆固定座设置在加强筋上；丝杆螺母包括螺母旋转端和定位板连接端；在使用时，仅需固定主基板，即可完成翻转臂的整体固定，在丝杆驱动电机10的作用下，丝杆螺母3会带动固定架13及上下基板一起相对主基板19往复运动，同时，不会影响花篮夹爪的工作，操作简单，实用性和适应性强；

最后，设置第一限位器81，可用于防止支撑板1绕中空法兰盘减速机4转动超程；设有第二限位器82，用于防止花篮夹爪上下运动过程中，下降超程，保障装置安全性；设有原点定位器83，消除积累误差和回原点。

上述具体实施方式，仅为说明本实用新型的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上内容并不限制本实用新型的保护范围，凡是依据本实用新型的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：包括花篮夹爪和连接所述花篮夹爪的夹爪臂；

所述花篮夹爪包括支撑板(1)和设置在所述支撑板(1)两侧的伸缩装置(16)；所述伸缩装置(16)的推杆端连接花篮夹紧板(15)；所述花篮夹紧板(15)上设有匹配储蓄花篮定位孔(91)的定位销(151)；

所述夹爪臂包括上基板(11)、下基板(12)和主基板(19)；所述主基板(19)内设有可供所述上基板(11)和下基板(12)穿过的通槽；所述主基板(19)下端面设有定位板(6)；

所述上基板(11)和下基板(12)间通过固定架(13)连接；

所述上基板(11)上端面设有丝杆驱动电机(10)；所述丝杆驱动电机(10)下端连接丝杆(21)；所述丝杆(21)上设有丝杆螺母(3)；所述丝杆螺母(3)连接所述定位板(6)；

所述下基板(12)上设有中空法兰盘减速机(4)，所述中空法兰盘减速机(4)的旋转面连接所述支撑板(1)，所述中空法兰盘减速机(4)可驱动所述支撑板(1)旋转。

2.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述固定架(13)的固定架前端面(130)上设有盖板(5)，所述盖板(5)上设有用于防止所述支撑板(1)绕所述中空法兰盘减速机(4)转动超程的第一限位器(81)。

3.根据权利要求1或2所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述固定架(13)的固定架后端面(131)上设有直线导轨(2)；

所述丝杆螺母(3)包括螺母旋转端(30)和定位板连接端(31)；所述定位板连接端(31)连接定位板(6)；所述定位板(6)上设有匹配所述直线导轨(2)的滑块。

4.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述花篮夹紧板(15)上设有第二定位块(152)，所述第二定位块(152)到定位销(151)垂直距离等于或略大于储蓄花篮定位孔(91)到储蓄花篮定位面(901)的垂直距离。

5.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述下基板(12)上设有第二限位器支架(7)，所述第二限位器支架(7)上设有第二限位器(82)和原点定位器(83)。

6.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述主基板(19)下端面设有滑块组件(111)。

7.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述丝杆驱动电机(10)与所述上基板(11)间设有电机固定板(100)；所述丝杆驱动电机(10)通过联轴器连接所述丝杆(21)；所述固定架(13)上设有加强筋(133)，用于固定所述丝杆(21)的丝杆固定座(22)设置在所述加强筋(133)上。

8.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，其特征在于：所述支撑板(1)上设有匹配所述中空法兰盘减速机(4)的连接固定板(41)。

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