CN213401130U - 一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，包括方形架，方形架包括横向架和竖向架；X轴输送单元用于带动Z轴输送单元沿X轴方向往复运动；Y轴输送单元用于带动X轴输送单元沿Y轴方向往复运动；Z轴输送单元用于带动设置在Z轴输送单元上的花篮卡爪沿Z轴方向往复运动；本装置将水平方向、竖直方向以及高度方向的综合运动划分成X轴输送单元、Y轴输送单元和Z轴输送单元，结构简单，维护方便。同时针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，花篮卡爪上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销，可完成对半导体晶片花篮的有效夹紧。

Description

一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置

技术领域

本实用新型涉及非标自动化的自动线输送领域，特别涉及一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置。

背景技术

半导体晶片的生产加工涉及多道工序，在现有半导体晶片生产过程中，半导体晶片通常由半导体晶片花篮承载后在各道工序之间运送。

图3为设置有半导体晶片93的半导体晶片花篮9，半导体晶片花篮9包括花篮底面90 和支撑杆92；花篮底面90上设有储蓄花篮定位孔91和储蓄花篮定位面901。

为了加快花篮在各到工序之间的运送速度及平稳度，在物料的过程中经常用到流水线，且会涉及到花篮水平放置半导体晶片，翻转后，竖直运输半导体晶片等角度变化。同时，当半导体晶片花篮被机械手抓起、翻转后，还需涉及到半导体晶片花篮的转运，将半导体晶片花篮在不同输送线间转运，因此，机械手抓起半导体晶片花篮后，还需进行水平方向、竖直方向以及高度方向的综合运动。

因此，需要设计一种针对半导体晶片储蓄花篮的特定机械手，用以完成半导体晶片储蓄花篮水平到竖直的角度转换，以及空间内的复杂运动。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题：本实用新型的目的是为了解决现有技术中的不足，提供一种针对半导体晶片花篮，可适用复杂空间运动，抓举转运过程可靠的半导体晶片储蓄花篮输送装置。

本实用新型的技术方案：本实用新型所述的一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，包括方形架，所述方形架包括横向架和竖向架；包括X轴输送单元、Y轴输送单元和Z轴输送单元；

所述X轴输送单元用于带动所述Z轴输送单元沿X轴方向往复运动；

所述Y轴输送单元用于带动所述X轴输送单元沿Y轴方向往复运动；

所述Z轴输送单元用于带动设置在所述Z轴输送单元上的花篮卡爪沿Z轴方向往复运动；

所述Y轴输送单元包括设置在所述横向架上的驱动器以及设置在所述横向架两侧的Y轴主动轮；所述Y轴从动轮设置在所述横向架远离所述驱动器一侧；所述Y轴主动轮与所述Y 轴从动轮间设有Y轴传动带；

所述X轴输送单元包括X轴桁架以及设置在所述X轴桁架上，可沿所述X轴桁架往复运动的输送基座；

所述输送基座上设有可相对所述输送基座上下往复运动的Z轴输送单元；所述X轴桁架两端分别设有左基座和右基座；

所述左基座上设有驱动电机；所述驱动电机电机轴连接X轴主动轮；所述右基座上设有 X轴从动轮；所述X轴主动轮与所述X轴从动轮间设有X轴传动带；

所述输送基座上端面设有固定所述X轴传动带的锁紧装置；所述左基座和右基座上设有固定所述Y轴传动带的锁紧装置。

进一步的，所述花篮卡爪包括机械手支撑板和设置在所述机械手支撑板两侧的伸缩装置；所述伸缩装置的推杆端连接花篮夹紧板；所述花篮夹紧板上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销。

进一步的，所述Z轴输送单元包括上基板和下基板；

所述输送基座内设有可供所述上基板和下基板穿过的通槽；所述输送基座下端面设有对接板；

所述上基板和下基板间通过固定架连接；

所述上基板上端面设有丝杆驱动电机；所述丝杆驱动电机下端连接丝杆；所述丝杆上设有丝杆螺母；所述丝杆螺母连接所述对接板；

所述下基板上设有中空法兰盘减速机，所述中空法兰盘减速机的旋转面连接所述机械手支撑板，所述中空法兰盘减速机可驱动所述机械手支撑板旋转。

进一步的，所述锁紧装置包括锁紧压板和设置在所述锁紧压板上的锁紧螺栓；所述锁紧压板与输送带接触面上设有匹配输送带上卡齿的波谷和波峰。

进一步的，所述伸缩装置的推杆端与所述夹紧板间设有连接板。

进一步的，所述驱动器通过连杆驱动所述X轴主动轮。

本实用新型与现有技术相比的有益效果：

1.将水平方向、竖直方向以及高度方向的综合运动划分成X轴输送单元、Y轴输送单元和Z轴输送单元，结构简单，维护方便。

2.针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，花篮卡爪上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销，可完成对半导体晶片花篮的有效夹紧。

3.通过中空法兰盘减速机，对花篮夹爪实现整体旋转，解决现有技术中，无针对半导体晶片花篮的结构，实现花篮稳定翻转的问题；在对花篮夹爪实现整体旋转的同时，配合X轴输送单元、Y轴输送单元和Z轴输送单元，可完成对花篮的任意角度调整，以及实现花篮在不同输送线间的转运。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构系统示意图；

图2为本实用新型中设置有Z轴输送单元的X轴输送单元的具体结构示意图；

图3为本实用新型中X轴输送单元的具体结构示意图；

图4为本实用新型中Z轴输送单元的具体结构示意图；

图5为本实用新型中Z轴输送单元的侧面结构示意图；

图6为本实用新型中花篮卡爪的具体结构示意图；

图7为本实用新型中锁紧装置的具体结构示意图；

图8为设置有半导体晶片的半导体晶片花篮。

具体实施方式

为了加深本实用新型的理解，下面我们将结合附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1-图7示出了本实用新型适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置的实施方式，包括方形架1，方形架1包括横向架11和竖向架12；其特征在于：包括X轴输送单元2、Y轴输送单元3和Z轴输送单元4；

X轴输送单元2用于带动Z轴输送单元4沿X轴方向往复运动；

Y轴输送单元3用于带动X轴输送单元2沿Y轴方向往复运动；

Z轴输送单元4用于带动设置在Z轴输送单元4上的花篮卡爪6沿Z轴方向往复运动；

Y轴输送单元3包括设置在横向架11上的驱动器30以及设置在横向架11两侧的Y轴主动轮31；Y轴从动轮32设置在横向架11远离驱动器30一侧；Y轴主动轮31与Y轴从动轮 32间设有Y轴传动带53；驱动器30通过连杆33驱动X轴主动轮251。

X轴输送单元2包括X轴桁架21以及设置在X轴桁架21上，可沿X轴桁架21往复运动的输送基座22；

输送基座22上设有可相对输送基座22上下往复运动的Z轴输送单元4；X轴桁架21两端分别设有左基座211和右基座212；

左基座211上设有驱动电机25；驱动电机25电机轴连接X轴主动轮251；右基座212上设有X轴从动轮252；X轴主动轮251与X轴从动轮252间设有X轴传动带52；

输送基座22上端面设有固定X轴传动带52的锁紧装置；左基座211和右基座212上设有固定Y轴传动带53的锁紧装置。

花篮卡爪6包括机械手支撑板61和设置在机械手支撑板61两侧的伸缩装置62；伸缩装置62的推杆端连接花篮夹紧板63；花篮夹紧板63上设有匹配储蓄花篮定位孔91的定位销 630。

Z轴输送单元4包括上基板411和下基板412；

输送基座22内设有可供上基板411和下基板412穿过的通槽；输送基座22下端面设有对接板26；

上基板411和下基板412间通过固定架413连接；

上基板411上端面设有丝杆驱动电机410；丝杆驱动电机410下端连接丝杆421；丝杆421 上设有丝杆螺母43；丝杆螺母43连接对接板26；

下基板412上设有中空法兰盘减速机44，中空法兰盘减速机44的旋转面连接机械手支撑板61，中空法兰盘减速机44可驱动机械手支撑板61旋转。

锁紧装置包括锁紧压板51和设置在锁紧压板51上的锁紧螺栓54；锁紧压板51与输送带接触面上设有匹配输送带上卡齿的波谷42和波峰43。

上述具体实施方式，仅为说明本实用新型的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上内容并不限制本实用新型的保护范围，凡是依据本实用新型的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，包括方形架(1)，所述方形架(1)包括横向架(11)和竖向架(12)；其特征在于：包括X轴输送单元(2)、Y轴输送单元(3)和Z轴输送单元(4)；

所述X轴输送单元(2)用于带动所述Z轴输送单元(4)沿X轴方向往复运动；

所述Y轴输送单元(3)用于带动所述X轴输送单元(2)沿Y轴方向往复运动；

所述Z轴输送单元(4)用于带动设置在所述Z轴输送单元(4)上的花篮卡爪(6)沿Z轴方向往复运动；

所述Y轴输送单元(3)包括设置在所述横向架(11)上的驱动器(30)以及设置在所述横向架(11)两侧的Y轴主动轮(31)；所述Y轴从动轮(32)设置在所述横向架(11)远离所述驱动器(30)一侧；所述Y轴主动轮(31)与所述Y轴从动轮(32)间设有Y轴传动带(53)；

所述X轴输送单元(2)包括X轴桁架(21)以及设置在所述X轴桁架(21)上，可沿所述X轴桁架(21)往复运动的输送基座(22)；

所述输送基座(22)上设有可相对所述输送基座(22)上下往复运动的Z轴输送单元(4)；所述X轴桁架(21)两端分别设有左基座(211)和右基座(212)；

所述左基座(211)上设有驱动电机(25)；所述驱动电机(25)电机轴连接X轴主动轮(251)；所述右基座(212)上设有X轴从动轮(252)；所述X轴主动轮(251)与所述X轴从动轮(252)间设有X轴传动带(52)；

所述输送基座(22)上端面设有固定所述X轴传动带(52)的锁紧装置；所述左基座(211)和右基座(212)上设有固定所述Y轴传动带(53)的锁紧装置。

2.根据权利要求1所述的一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，其特征在于：所述花篮卡爪(6)包括机械手支撑板(61)和设置在所述机械手支撑板(61)两侧的伸缩装置(62)；所述伸缩装置(62)的推杆端连接花篮夹紧板(63)；所述花篮夹紧板(63)上设有匹配储蓄花篮定位孔(91)的定位销(630)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，其特征在于：所述Z轴输送单元(4)包括上基板(411)和下基板(412)；

所述输送基座(22)内设有可供所述上基板(411)和下基板(412)穿过的通槽；所述输送基座(22)下端面设有对接板(26)；

所述上基板(411)和下基板(412)间通过固定架(413)连接；

所述上基板(411)上端面设有丝杆驱动电机(410)；所述丝杆驱动电机(410)下端连接丝杆(421)；所述丝杆(421)上设有丝杆螺母(43)；所述丝杆螺母(43)连接所述对接板(26)；

所述下基板(412)上设有中空法兰盘减速机(44)，所述中空法兰盘减速机(44)的旋转面连接所述机械手支撑板(61)，所述中空法兰盘减速机(44)可驱动所述机械手支撑板(61)旋转。

4.根据权利要求1所述的一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，其特征在于：所述锁紧装置包括锁紧压板(51)和设置在所述锁紧压板(51)上的锁紧螺栓(54)；所述锁紧压板(51)与输送带接触面上设有匹配输送带上卡齿的波谷(511)和波峰(512)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，其特征在于：所述驱动器(30)通过连杆(33)驱动所述X轴主动轮(251)。

Images