CN218808957U - 一种晶粒搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶粒搬运装置，包括：支座，所述支座连接至驱动模组；对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂，所述摆臂内部设置有负压管道；位于摆臂上端外侧壁的吸嘴；所述吸嘴与负压管道连通，吸嘴靠近支座的一侧设置有视觉模组。本实用新型提供的一种晶粒搬运装置，通过双工位吸嘴实现晶粒的同步吸取和放置，且通过驱动模组和视觉模组的相互配合，实现晶粒的精准定位。

Description

一种晶粒搬运装置

技术领域

本实用新型涉及晶粒搬运领域，尤其涉及一种晶粒搬运装置。

背景技术

晶粒的搬运机构用于将一张蓝膜上面同类型晶粒搬运到另外一张蓝膜上面，常规的搬运机构是采用导轨上面安装吸嘴，通过导轨滑动带动吸嘴上的晶粒滑动，再通过吸嘴对晶粒的吸取和放松，使得晶粒从一张蓝膜转移到另一张蓝膜上。

现有技术中这种搬运机构导轨滑动的机械误差较大，且整个机构的重量比较重，在高速搬晶时，惯性作用下会影响机械形变，从而影响晶粒搬运后的定位精度无法实现晶粒的精准和高效搬运。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种晶粒搬运装置，通过双工位吸嘴实现晶粒的同步吸取和放置，且通过驱动模组和视觉模组的相互配合，实现晶粒的精准定位。

为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种晶粒搬运装置，包括：

支座，所述支座连接至驱动模组；

对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂，所述摆臂内部设置有负压管道；

位于摆臂上端外侧壁的吸嘴；所述吸嘴与负压管道连通，吸嘴靠近支座的一侧设置有视觉模组。

进一步的，所述驱动模组位于支座下方，且所述支座和驱动模组通过固定平板固定连接。

进一步的，所述支座包括底板和立板，其中，底板固定在所述固定平板的上表面，所述立板为两个，对称设置在底板中心的两侧；所述摆臂固定在所述底板的两端，且摆臂与立板平行且相对设置。

进一步的，所述摆臂与底板通过弹片固定，所述弹片垂直于底板且平行于摆臂。

进一步的，所述摆臂的中心与立板通过限位杆连接，所述限位杆的一端固定连接摆臂内侧壁，另一端贯穿立板与弹力调节螺母连接。

进一步的，所述限位杆上嵌套限位弹簧，所述限位弹簧的一端与摆臂内侧壁抵接，另一端与立板外侧壁抵接。

进一步的，所述底板内部均为中空结构，所述负压管道分布在底板内部，且负压管道的端口位于底板中心，所述负压管道的端口连接负压体系。

进一步的，所述吸嘴位于摆臂上端的外侧壁，其中一个吸嘴与晶粒放置位相对设置，另外一个吸嘴与晶粒吸取位相对设置。

进一步的，所述摆臂上端的内侧壁设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片位于吸嘴和视觉模组之间，所述视觉模组为两个，分别与两个吸嘴相对设置。

进一步的，所述视觉模组包括相机。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请视觉模组用于定位晶粒中心和吸嘴中心，驱动模组带动支座移动至晶粒中心和吸嘴中心对准，负压管道内部形成负压使得吸嘴吸取晶粒，驱动模组带动支座和摆臂旋转180°，使得吸取晶粒的摆臂移动至晶粒放置位进行晶粒的放置，另一侧的摆臂移动至晶粒吸取位进行晶粒吸取，本申请通过两个摆臂带动吸嘴的移动可以实现一端摆臂吸取晶粒，另一端摆臂放置晶粒，提高了晶体搬运的效率；本申请通过视觉模组进行晶粒和吸嘴的定位，通过驱动模组带动吸嘴靠近或者远离吸嘴放置位和吸嘴吸取位的移动，能够快速准确实现晶粒的搬运。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

附图中：

图1为本申请中晶粒搬运装置的结构示意图；

附图标号：1、驱动模组；2、固定平板；31、底板；32、立板；4、摆臂；51、吸嘴；52、玻璃镜片；61、弹片；62、限位弹簧；63、限位杆；64、弹力调节螺母；7、视觉模组；8、负压管道的端口。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。

还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本实用新型实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。在其它情况中，省略对众所周知的系统、机构、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本实用新型的描述。

请参阅附图1，本申请提供的一种晶粒搬运装置，包括：

支座，支座连接至驱动模组1；

对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂4，摆臂4内部设置有负压管道；

位于摆臂4上端外侧壁的吸嘴51；吸嘴51与负压管道连通，吸嘴51靠近支座的一侧设置有视觉模组7

本申请视觉模组7用于定位晶粒中心和吸嘴中心，驱动模组1带动支座移动至晶粒中心和吸嘴51中心对准，负压管道内部形成负压使得吸嘴51吸取晶粒，驱动模组1带动支座和摆臂4旋转180°，使得吸取晶粒的摆臂4移动至晶粒放置位进行晶粒的放置，另一侧的摆臂4移动至晶粒吸取位进行晶粒吸取，本申请通过两个摆臂4带动吸嘴51的移动可以实现一端摆臂4吸取晶粒，另一端摆臂4放置晶粒，提高了晶体搬运的效率；本申请通过视觉模组7进行晶粒和吸嘴51的定位，通过驱动模组1带动吸嘴51靠近或者远离吸嘴51放置位和吸嘴51吸取位的移动，能够快速准确实现晶粒的搬运。

作为一种具体的实施例，本申请驱动模组1位于支座下方，且支座和驱动模组1通过固定平板2固定连接。本申请中驱动模组1可以为伺服电机，用于带动支座左右前后移动以及旋转，之所以要旋转是因为支座上为双工位吸嘴51，需要旋转支座以及吸嘴51，使得两个吸嘴51互换位置。

具体的，本申请中支座包括底板31和立板32，其中，底板31固定在固定平板2的上表面，立板32为两个，对称设置在底板31中心的两侧。立板32是与摆臂4对应设置的，摆臂4的底部与底板31连接，在摆动过程中，由于摆臂4较长，为了增加摆臂4摆动过程中的稳定性，需要在摆臂4中间位置处设定限位杆63，限位杆63将摆臂4与立板32连接。

具体的，摆臂4固定在底板31的两端，且摆臂4与立板32平行且相对设置。摆臂4与底板31通过弹片61固定，弹片61垂直于底板31且平行于摆臂4。在具体实施方式中，摆臂4的底部外侧壁固定在弹片61的一端，弹片61的另一端固定在底板31外侧壁上，弹片61为竖直的片状结构，通过弹片61的设置，使得摆臂4和底板31弹性连接。弹片61为具有一定弹性的片状结构，在摆臂4旋转以及与放置晶粒的蓝膜接触时，蓝膜对吸嘴51的反作用力使得摆臂4朝着靠近底板31中心的方向移动，防止摆臂4与蓝膜硬性接触，造成吸嘴51的碰撞损坏等。

为了进一步对摆臂4进行限位，摆臂4的中心与立板32通过限位杆63连接，限位杆63的一端固定连接摆臂4内侧壁，另一端贯穿立板32与弹力调节螺母64连接。本申请限位杆63上嵌套限位弹簧62，限位弹簧62的一端与摆臂4内侧壁抵接，另一端与立板32外侧壁抵接。具体的，本申请可以设置摆臂4和立板32之间的限位杆为两个，其中一个限位杆上嵌套限位弹簧62，另外一个限位杆仅设置有弹力调节螺母64即可。

弹力调节螺母64的位置可以调节限位弹簧62的松紧程度，进而调整摆臂的位置；摆臂4在蓝膜的反作用力下，能够朝着底板31中心轻微移动，避免吸嘴与顶晶粒机构硬接触 造成吸嘴51损伤等。

底板31内部均为中空结构，负压管道分布在摆臂4外部和底板31内部，且负压管道的端口8位于底板31中心，负压管道的端口8连接负压体系。负压体系可以为真空发生器，抽真空机等等装置。当真空管道为真空状态时，吸嘴51产生的负压吸附晶粒，当真空管道为标准大气压状态时，吸嘴51对晶粒无吸附作用，晶粒可以脱离吸嘴51。

本申请中负压管道的端口8可以为两个，分别通过负压管道连接至两个吸嘴51，负压体系也可以为两个，分别连接两个负压管道的端口8；用于分别控制两个吸嘴51对晶粒的吸取和放松。

吸嘴51位于摆臂4上端的外侧壁，其中一个吸嘴51与晶粒放置位相对设置，另外一个吸嘴51与晶粒吸取位相对设置。具体可以将晶粒搬运装置设置在两个蓝膜之间，这两个蓝膜即为本申请中晶粒放置位和晶粒吸取位。晶粒搬运装置将晶粒吸取位上的晶粒搬运至晶粒放置位上。

摆臂4上端的内侧壁设置有玻璃镜片52，玻璃镜片52位于吸嘴51和视觉模组7之间，视觉模组7为两个，分别与两个吸嘴51相对设置。视觉模组7包括相机和控制中心。本申请中视觉模组7与吸嘴51一一对应，视觉模组7可以固定设置，不随着支架进行旋转，也可以随着支架一起旋转。因为本申请中支架和吸嘴51的每次旋转都是180°，两个吸嘴51对应的视觉模组7可以互换使用。

相机拍摄吸嘴51和晶粒的图片，并将图片传输至控制中心，控制中心识别晶粒的位置或者吸嘴51中心的位置，并控制蓝膜移动，直至待搬运晶粒的中心与吸嘴51的中心重合，负压体系运行，使得吸嘴51对晶粒进行吸附，吸附之后支座旋转180°，使得吸附有晶粒的吸嘴51旋转至晶粒放置位，同时，空的吸嘴51旋转至晶粒吸取位，负压体系控制真空管道处于大气压状态，使得晶粒被放置在晶粒放置位。重复上述对准和吸附动作，完成下一个晶粒的吸附。本申请中两个吸嘴51同时进行，一边吸嘴51取晶粒，一边吸嘴51放置晶粒，稳定高效的完成搬晶动作。

本申请整个机构紧凑，安装两个蓝膜之间，双头吸嘴51设计，弹性摆臂4固定，加上中间安装的相机视觉模组7，能够准确、精准、高效的把晶粒从左边搬运到右边。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种晶粒搬运装置，其特征在于，包括：

支座，所述支座连接至驱动模组；

对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂，所述摆臂内部设置有负压管道；

位于摆臂上端外侧壁的吸嘴；所述吸嘴与负压管道连通，吸嘴靠近支座的一侧设置有视觉模组。

2.根据权利要求1所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述驱动模组位于支座下方，且所述支座和驱动模组通过固定平板固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述支座包括底板和立板，其中，底板固定在所述固定平板的上表面，所述立板为两个，对称设置在底板中心的两侧；所述摆臂固定在所述底板的两端，且摆臂与立板平行且相对设置。

4.根据权利要求3所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述摆臂与底板通过弹片固定，所述弹片垂直于底板且平行于摆臂。

5.根据权利要求3所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述摆臂的中心与立板通过限位杆连接，所述限位杆的一端固定连接摆臂内侧壁，另一端贯穿立板与弹力调节螺母连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述限位杆上嵌套限位弹簧，所述限位弹簧的一端与摆臂内侧壁抵接，另一端与立板外侧壁抵接。

7.根据权利要求3所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述底板内部为中空结构，所述负压管道分布在底板内部，且负压管道的端口位于底板中心，所述负压管道的端口连接负压体系。

8.根据权利要求1所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述吸嘴位于摆臂上端的外侧壁，其中一个吸嘴与晶粒放置位相对设置，另外一个吸嘴与晶粒吸取位相对设置。

9.根据权利要求8所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述摆臂上端的内侧壁设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片位于吸嘴和视觉模组之间，所述视觉模组为两个，分别与两个吸嘴相对设置。

10.根据权利要求1所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述视觉模组包括相机。

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