CN218471907U - 一种新型石英舟 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种新型石英舟,包括挡板、固板、槽棒装置以及舟齿,槽棒装置连接挡板和固板,槽棒装置连接挡板和固板,槽棒装置包括若干槽棒,舟齿可拆卸设置在至少一根槽棒上,本实用新型将舟齿可拆卸连接在槽棒上,当舟齿出现损坏时,解除损坏舟齿与槽棒的连接,对损坏舟齿进行更换,提高了石英舟的使用寿命,当需要调整支撑空间时,解除目标舟齿与槽棒的连接,从而可兼容不同硅片间距的工艺或/和产能要求。

Description

一种新型石英舟
技术领域
本实用新型属于光伏设备领域,涉及一种新型石英舟。
背景技术
晶体硅太阳能电池生产中,硅片高质量的传输是保证质量的重要一环。目前硅片通过石英舟进行传输,石英舟作为专门的传送装置存在以下问题:一是石英舟的寿命短,舟齿一旦发生断裂,会导致整个石英舟报废无法使用;二是舟齿通过一体式加工的槽式结构构成,舟齿的间距固定不可变,使同一个石英舟无法适应需要不同片间距的工艺要求变化,同一个石英舟也无法适应不同尺寸的硅片,另外受石英加工性能限制,舟齿的长度有限,当硅片尺寸变大时舟齿仅能支撑硅片边缘位置,硅片重心位置无支撑,导致水平放片时硅片出现中间下垂的问题;三是石英舟的舟齿与硅片之间为面接触,容易导致硅片与舟齿接触的位置留下卡槽印,造成工艺缺陷。
发明内容
本实用新型为了克服现有技术的不足,提供一种新型石英舟。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:一种新型石英舟,包括挡板、固板、槽棒装置以及舟齿,槽棒装置连接挡板和固板,槽棒装置包括若干槽棒,舟齿可拆卸设置在至少一根槽棒上。
进一步的,所述舟齿与硅片之间设为线接触或/和点接触。
进一步的,所述槽棒设置至少一列安装槽。
进一步的,多列所述安装槽平行设置,相邻列的安装槽位于同一平面或互为交错。
进一步的,所述舟齿设置在安装槽,与槽棒可拆卸连接。
进一步的,一根所述舟齿设置在至少一根槽棒的安装槽。
进一步的,所述安装槽设为通孔或盲孔结构,安装槽的轴线与槽棒的轴线垂直设置,或安装槽的轴线与槽棒的轴线倾斜设置。
进一步的,所述挡板、固板以及若干槽棒形成至少一个放置腔室。
进一步的,还包括限制槽棒,所述限制槽棒分别与挡板和固板连接,限制槽棒与槽棒设为平行。
进一步的,若干所述槽棒位于挡板和固板之间,或若干槽棒位于挡板和固板外部,槽棒的上下端分别与挡板以及固板固设连接,或若干所述槽棒分别与挡板和固板可调节连接。
综上所述,本实用新型的有益之处在于:
1)本实用新型将舟齿可拆卸连接在槽棒上,当舟齿出现损坏时,解除损坏舟齿与槽棒的连接,对损坏舟齿进行更换,提高了石英舟的使用寿命,当需要调整支撑空间时,解除目标舟齿与槽棒的连接,从而可兼容不同硅片间距的工艺或/和产能要求。
2)本实用新型设置多列式的安装槽,舟齿可任意设置在安装槽内,从而实现兼容不同硅片尺寸的目的。
3)本实用新型将槽棒与挡板以及固板的连接设置为可调节连接,调整槽棒与挡板以及固板的连接位置,调整放置腔室的尺寸,实现兼容不同硅片尺寸的目的。
4)本实用新型通过一根舟齿连接两根槽棒的安装槽对硅片进行支撑,加大对硅片的支撑位置,从而减小或消除大硅片水平放置时中间下垂的现象。
5)本实用新型将舟齿与硅片的接触设置为线接触或/和点接触,有效减少和硅片的接触面积,大幅度减少甚至消除卡槽印,保证硅片的工艺效果。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的石英舟轴测图。
图2为图1的石英舟俯视图。
图3为图2中A-A的剖切示意图。
图4为图3中B的放大示意图。
图5为本实用新型实施例二的石英舟轴测图。
图6为图5的石英舟俯视图。
图7为本实用新型实施例二的舟齿示意图。
图8为本实用新型实施例三的石英舟轴测图。
图9为本实用新型实施例四的石英舟轴测图。
图10为图9的石英舟俯视图。
图11为图10中C-C的剖切示意图。
图12为图11中D的放大示意图。
图13为本实用新型实施例四另一实施方式的石英舟轴测图。
图14为图13的石英舟俯视图。
图15为本实用新型实施例五的石英舟轴测图。
图16为图15的石英舟俯视图。
图17为图16中E-E的剖切示意图。
图18为图17中F的放大示意图。
图19为本实用新型实施例六的石英舟轴测图。
图20为本实用新型实施例七的石英舟轴测图。
图21为本实用新型实施例八的石英舟轴测图。
图22为本实用新型实施例九的第一种实施方式石英舟轴测图。
图23为本实用新型实施例九第二种实施方式的石英舟轴测图。
图24为本实用新型实施例九第三种实施方式的石英舟轴测图。
图25为本实用新型实施例九第三种实施方式的石英舟和硅片装配示意图。
图26为本实用新型实施例十的第一种实施方式石英舟和硅片装配示意图。
图27为本实用新型实施例十的第一种实施方式石英舟和硅片装配示意图。图中标识:挡板1、槽棒2、安装槽22、固板3、舟齿4、放置腔室5、硅片6、连接块7、把手71、限制槽棒8、挂耳9。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是,在不冲突的情况下,以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是,以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想,遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制,其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变,且其组件布局型态也可能更为复杂。
本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
因安装误差等原因,本实用新型实施例中所指的平行关系可能实际为近似平行关系,垂直关系可能实际为近似垂直关系。
实施例一:
如图1-4所示,一种新型石英舟,包括挡板1、固板3、槽棒装置以及舟齿4,槽棒装置连接挡板1和固板3,槽棒装置包括若干槽棒2,舟齿4可拆卸设置在至少一根槽棒2上。
本实施例中,将硅片的放置方向设置为x方向,硅片沿x方向放入或取出石英舟,将与硅片放置方向垂直且与挡板1和固板3平行的方向设置为y方向,本实施中x方向和y方向均为水平方向,将槽棒2的长度方向,即与挡板1和固板3的垂直方向设置为z方向,本实施例中硅片的放置方向为水平方向,且硅片与水平面平行。
挡板1以及固板3设置为平板结构,根据图1的视觉角度,挡板1和固板3位于上下方向,挡板1位于固板3的上方,硅片的放置方向为水平方向,挡板1与固板3优选平行设置,实现能最大化提供放置硅片的空间,因为挡板1与固板3非平行设置时,会使得部分空间无法用来水平放置硅片,从而浪费了不必要的空间。
若干槽棒2位于挡板1和固板3之间,槽棒2的上下端分别与挡板1以及固板3连接连接,若干槽棒2、挡板1以及固板3构成硅片放置的放置腔室5。
槽棒2设有安装面21,槽棒2的安装面21面向放置腔室5,安装面21设置至少一列安装槽22,一列安装槽22沿槽棒2的长度方向分布,多列安装槽22平行设置,相邻列的安装槽22交错或位于同一水平面,安装槽22的开口方向面向放置腔室5,安装槽2的轴线与槽棒2的长度方向垂直,相邻安装槽22的间距设为安装间距,一列安装槽22的安装间距相同。
安装槽22在z方向的截面形状可设置为圆形、方形等规则形状,也可设置为不规则形状,安装槽22在y方向的深度小于槽棒2在y方向的宽度,形成如图4所示的盲孔结构。
舟齿4设置在安装槽22,本实施例中,一根舟齿4设置在一个安装槽22内。
本实施例舟齿4与安装槽22的可拆卸设置包括过渡配合将舟齿4与槽棒2连接,或通过辅助粘合剂,辅助粘合剂在一定温度范围内将舟齿4与槽棒2连接,超过一定温度辅助粘合剂失效将舟齿4与槽棒2分离,或激光焊接将舟齿4与槽棒2连接,或其他能实现两者连接以及两者拆装的技术手段,当舟齿4出现损坏时,解除损坏舟齿4与槽棒2的连接,对损坏舟齿4进行更换,提高了石英舟的使用寿命,当需要调整支撑空间时,解除目标舟齿4与槽棒2的连接即可,从而可兼容不同硅片间距的工艺或/和产能要求。
舟齿4支撑硅片,舟齿4与硅片之间为线接触或/和点接触,具体来说,舟齿4用于支撑硅片部分的截面形状可设置为圆形、方形等规则形状,也可设置为不规则形状,如截面形状为圆形时,舟齿4与硅片之间为线接触,截面形状为方形时,方形的棱边与硅片接触,使舟齿4与硅片之间为线接触,如截面为带尖角的形状,尖角与硅片接触,使舟齿4与硅片之间为点接触,本实施例舟齿4与硅片之间设置为线接触或点接触,有效减少和硅片的接触面积,大幅度减少甚至消除卡槽印,保证硅片的工艺效果。
本实施例的石英舟材质可设置为石英材质,或碳化硅材质。
本实施例的舟齿4可拆卸设置在一体式大石英舟的槽棒。
本实施例一件石英舟用于承载相同尺寸的硅片,本实施例通过多列式的安装槽22以及舟齿4可拆卸设置在安装槽22的技术方案,可使相同规格的若干石英舟承载不同尺寸的硅片,实现兼容不同硅片尺寸的目的。
实施例二:
如图5-7所示,本实施例与实施一的区别在于,实施例一中,一根舟齿4设置在一个安装槽22内,本实施例中,一根舟齿4设置在两根槽棒2上的安装槽22。
舟齿4包括固定部40和支撑部41,固定部40设置在支撑部41的两端,支撑部41和两件固定部40形成U型结构,一根舟齿4的两件固定部40设置在两根槽棒2的安装槽22,硅片放置在支撑部41上方,支撑部41对硅片进行支撑,加大了对硅片的支撑位置,从而减小或消除大硅片水平放置时中间下垂的现象。
实施例三:
如图8所示,本实施例与实施一的区别在于,实施例一中,安装槽22为盲孔结构,本实施例中,安装槽22在y方向的深度不小于槽棒2在y方向的尺寸,形成通孔结构。
实施例四:
如图9-14所示,本实施例与实施一的区别在于,实施例一中,一根舟齿4设置在一个安装槽22内,本实施例中,一根舟齿4设置在两根槽棒2上的安装槽22。
如图9-12所示,一根舟齿4依次贯穿两根槽棒2上的安装槽22,硅片6位于舟齿4上方,舟齿4对硅片6进行支撑,加大了对硅片6的支撑位置,从而减小或消除大硅片6水平放置时中间下垂的现象。
如图13-14所示,舟齿4的结构与实施例二的舟齿4结构相同,舟齿4包括固定部40和支撑部41,固定部40设置在支撑部41的两端,一根舟齿4上的两端固定部40设置在两根槽棒2的安装槽22,硅片6放置在支撑部41上方,支撑部41对硅片6进行支撑,支撑部41对硅片6进行支撑,加大了对硅片6的支撑位置,从而减小或消除大硅片6水平放置时中间下垂的现象。
实施例五:
如图15-18所示,本实施例与实施例一的区别在于,实施例一中,安装槽22的轴线与槽棒2的长度方向垂直,本实施例中,安装槽22的轴线与槽棒2的轴线倾斜设置。
安装槽22设有两列,两列安装槽22位于槽棒2轴线的两侧,安装槽22的轴线与槽棒2的轴线形成夹角a,a设为锐角,安装槽22可为通槽或盲槽,如图所示,舟齿4设置在位于y方向两根槽棒2上的安装槽22,硅片6沿x方向放置在石英舟,舟齿4对硅片6进行支撑,加大了对硅片6的支撑位置,从而减小或消除大硅片6水平放置时中间下垂的现象,安装槽22的倾斜设置可防止槽棒2掉落。
实施例六:
如图19所示,本实施例与上述实施例的区别在于,上述实施例中,挡板1以及固板3设置为平板结构,本实施例中,挡板1或/和固板3设为中空结构。
本实施例中,石英舟还包括连接块7,连接块7设置在槽棒2,加强石英舟的稳固性,连接块7上设置有把手71,把手71可与石英舟的重心处于同一水平面,防止石英舟在运输中发生偏移,造成硅片的碰撞以及脱落,保证了石英舟的稳定性,通过把手71可方便移动石英舟,或/和通过把手71实现与舟托或桨的固定,连接块7与把手71设置为一体式结构或分体结构。
实施例七:
如图20所示,本实施例与上述实施例的区别在于,本实施例还包括限制槽棒8,限制槽棒8至少设置一根,限制槽棒8分别与挡板1和固板3连接,限制槽棒8与槽棒2平行设置,限制槽棒8位于硅片的放置方向,限制槽棒8在水平方向限制硅片6的移动。
实施例八:
如图21所示,本实施例与实施例七的区别在于,上述实施例中,若干槽棒2、挡板1以及固板3形成硅片放置的一个放置腔室5,而本实施例中若干槽棒2、挡板1以及固板3形成硅片放置的若干放置腔室5。
实施例九:
如图22-25所示,本实施例与上述实施例的区别在于,上述实施例中挡板1和固板3位于上下方向,挡板1位于固板3的上方,硅片的放置方向为水平方向,且硅片与水平面平行,而本实施例中,挡板1和固板3位于左右方向,硅片与竖直面平行。
本实施例中还包括限制槽棒8,本实施例限制槽棒8与实施例七中相同,在此做赘述,本实施例中槽棒2位于限制槽棒8的上方,槽棒2、限制槽棒8、挡板1和固板3形成硅片放置的一个放置腔室5。
如图22所示,槽棒2设置的舟齿4面向限制槽棒8,硅片沿x方向,即水平方向放置于放置腔室5,此时槽棒2位于硅片的上方,限制槽棒8位于硅片的下方,槽棒2和限制槽棒8在硅片的上下方向,即图示中的y方向对硅片进行限制。
如图23-25所示,槽棒2设置的舟齿4面向相邻的槽棒,硅片沿x方向,即竖直方向放置于放置腔室5,此时槽棒2位于硅片的侧方,槽棒2在硅片的前后方,即图示中y方向对硅片进行限制,限制槽棒8位于硅片的下方,限制槽棒8在硅片的下方向上支撑硅片,即图示中的x方向对硅片进行支撑。
本实施例限制槽棒8可设置安装槽22连接舟齿4也可无舟齿结构,限制槽棒8设置的舟齿4面向槽棒2。
本实施例中,相邻列的安装槽22交错或位于同一竖直面。
本实施例中,挡板1和固板3的外部端面连接有挂耳9,通过挂耳9可方便移动石英舟,或/和通过挂耳9实现与舟托或桨的固定。
实施例十:
如图26-27所示,本实施例与实施例九的区别在于,上述实施例中,若干槽棒2、挡板1以及固板3形成硅片放置的一个放置腔室5,而本实施例中若干槽棒2、挡板1以及固板3形成硅片放置的若干放置腔室5。
如图26所示,硅片的放置方向为竖直方向,若干放置腔室5沿图示中的y方向分布。
如图27所示,硅片的放置方向为水平方向,若干放置腔室5沿图示中的y方向分布。
实施例十一:
本实施例与上述实施例的区别在于,上述实施例中,若干槽棒2分别与挡板1和固板3连接连接,本实施例中,若干槽棒2分别与挡板1和固板3可调节连接。
若干槽棒2分别与挡板1和固板3可调节连接,可调整槽棒2与挡板1以及固板3的连接位置,例如挡板1以及固板3连接有若干连接孔(图未显示),槽棒2设置在连接孔,通过将槽棒2设置在不同位置的连接孔,可调整放置腔室5的尺寸,实现兼容不同硅片尺寸的目的。
实施例十二:
本实施例与上述实施例的区别在于,上述实施例中,若干槽棒2位于挡板1和固板3之间,槽棒2的上下端分别与挡板1与固板3连接,本实施例中,若干槽棒2位于挡板1和固板3的外部,槽棒2两端分别与挡板1和固板3连接。
实施例十三:
本实施例与上述实施例的区别在于,本实施例一件石英舟用于承载不同尺寸的硅片,本实施例通过多列式的安装槽22以及舟齿4可拆卸设置在安装槽22的技术方案,可使一件石英舟承载不同尺寸的硅片,实现兼容不同硅片尺寸的目的。比如在一列安装槽22内设置舟齿4,此时可放置的硅片尺寸为210x210,在其他列的安装槽22内设置舟齿4,延长在x方向的硅片放置空间,可满足尺寸为230x230的硅片放置,从而实现兼容不同硅片尺寸的目的。
显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种新型石英舟,其特征在于:包括挡板、固板、槽棒装置以及舟齿,槽棒装置连接挡板和固板,槽棒装置包括若干槽棒,舟齿可拆卸设置在至少一根槽棒上。
2.根据权利要求1所述的一种新型石英舟,其特征在于:所述舟齿与硅片之间设为线接触或/和点接触。
3.根据权利要求1所述的一种新型石英舟,其特征在于:所述槽棒设置至少一列安装槽。
4.根据权利要求3所述的一种新型石英舟,其特征在于:多列所述安装槽平行设置,相邻列的安装槽位于同一平面或互为交错。
5.根据权利要求3所述的一种新型石英舟,其特征在于:所述舟齿设置在安装槽,与槽棒可拆卸连接。
6.根据权利要求3所述的一种新型石英舟,其特征在于:一根所述舟齿设置在至少一根槽棒的安装槽。
7.根据权利要求3所述的一种新型石英舟,其特征在于:所述安装槽设为通孔或盲孔结构,安装槽的轴线与槽棒的轴线垂直设置,或安装槽的轴线与槽棒的轴线倾斜设置。
8.根据权利要求1所述的一种新型石英舟,其特征在于:所述挡板、固板以及若干槽棒形成至少一个放置腔室。
9.根据权利要求1所述的一种新型石英舟,其特征在于:还包括限制槽棒,所述限制槽棒分别与挡板和固板连接,限制槽棒与槽棒设为平行。
10.根据权利要求1所述的一种新型石英舟,其特征在于:若干所述槽棒位于挡板和固板之间,或若干槽棒位于挡板和固板外部,槽棒的上下端分别与挡板以及固板固设连接,或若干所述槽棒分别与挡板和固板可调节连接。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116393845A (zh) * 2023-06-08 2023-07-07 山东华美新材料科技股份有限公司 一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0322443A1 (en) * 1987-07-02 1989-07-05 Fluoroware, Inc. Reinforced carrier with embedded rigid insert
US6099645A (en) * 1999-07-09 2000-08-08 Union Oil Company Of California Vertical semiconductor wafer carrier with slats
CN207781558U (zh) * 2017-10-31 2018-08-28 汇隆电子(金华)有限公司 一种石英舟
CN112397425A (zh) * 2019-08-14 2021-02-23 江苏金晖光伏有限公司 一种硅片加工用石英舟
CN210640202U (zh) * 2019-09-10 2020-05-29 罗博特科智能科技股份有限公司 一种硅片导载装置
CN110610886A (zh) * 2019-10-17 2019-12-24 苏州博莱特石英有限公司 一种石英舟结构
CN213184239U (zh) * 2020-09-14 2021-05-11 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 一种螺纹立式组装硅舟
CN213583726U (zh) * 2020-12-31 2021-06-29 昆山佳鹿石英有限公司 一种可调节硅片石英舟

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116393845A (zh) * 2023-06-08 2023-07-07 山东华美新材料科技股份有限公司 一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备
CN116393845B (zh) * 2023-06-08 2023-08-15 山东华美新材料科技股份有限公司 一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备

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