CN116393845A - 一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及碳化硅陶瓷加工技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备。包括有底架，底架固定连接有过料架和对称分布的立板，对称的立板之间滑动连接有承载板，承载板转动连接有若干个横向排列的第一转柱，横向排列的第一转柱均固定连接有对称分布的支撑杆，底架设置有用于调节第一转柱高度的调节机构，承载板设置有夹持机构。本发明通过调节机构改变支撑杆转动时经过过料架的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量，以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距，增大装置的适用范围；利用夹持机构对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持，防止在切割过程末端还未完全切割完毕时出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。

Description

一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备
技术领域
本发明涉及碳化硅陶瓷加工技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备。
背景技术
碳化硅陶瓷晶舟又称碳化硅晶舟（碳化硅舟），因其具有耐磨损、耐腐蚀、耐高温冲击、耐电浆轰击、高导热、高散热以及长期使用不易弯曲等特点，所以被广泛用于光伏电池片和半导体圆片的生产工艺中。
碳化硅陶瓷晶舟上均匀地开设有若干个用于盛放半导体圆片的齿槽，而碳化硅陶瓷晶舟在不同的应用领域需要不同间距的齿槽，现有切割装置大都只能对碳化硅陶瓷进行单一齿距的切割，适用范围小，同时在切割过程末端，切割产生的废料由于自身重力对其上方完好的碳化硅陶瓷向下进行拉扯，从而出现毛刺，影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。
发明内容
为了克服现有切割装置大都只能对碳化硅陶瓷进行单一齿距的切割，适用范围小，切割时出现毛刺而影响碳化硅陶瓷后续使用的缺点，本发明的目的是提供了一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备。
技术方案为：一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，包括有底架，底架固定连接有过料架，过料架安装有用于将物料开齿的激光切割装置，底架固定连接有对称分布的立板，对称的立板之间滑动连接有承载板，承载板设置有螺纹通孔，承载板安装有第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴固定连接有缺齿轮，承载板转动连接有若干个横向排列的第一转柱，横向排列的第一转柱通过链轮链条连接，横向排列的第一转柱均固定连接有对称分布的支撑杆，靠近缺齿轮的第一转柱固定连接有直齿轮，直齿轮与缺齿轮配合，底架设置有用于调节第一转柱高度的调节机构，承载板设置有用于对物料进行夹持的夹持机构，底架固定连接有用于收集切割废料的收集壳，收集壳内的下侧面为倾斜面，收集壳位于夹持机构的下方。
作为上述方案的改进，支撑杆转动连接有支撑板，支撑杆与支撑板之间固定连接有第一弹性元件，支撑板远离相邻支撑杆的一端转动连接有转轮。
作为上述方案的改进，当对物料进行运送时，始终有两个以上的支撑板与物料接触，用于对物料进行支撑。
作为上述方案的改进，直齿轮的齿数是缺齿轮的齿数的整数倍。
作为上述方案的改进，调节机构包括有第二驱动电机，第二驱动电机安装于底架，第二驱动电机的输出轴固定连接有丝杠，丝杠与承载板的螺纹通孔配合。
作为上述方案的改进，夹持机构包括有第二转柱，第二转柱转动连接于承载板，第二转柱与第一转柱通过链轮链条连接，第二转柱固定连接有转筒，过料架固定连接有对称分布的限位板，对称的限位板均滑动连接有夹块，夹块靠近第二转柱的一端固定连接有限位杆，转筒设置有对称分布的第一限位槽，第一限位槽与相邻的限位杆滑动配合。
作为上述方案的改进，对称的第一限位槽均为曲形闭环槽，对称的第一限位槽在与第二转柱轴线重合的水平区域相互靠拢，且当支撑板处于水平状态时，对称的第一限位槽的弯曲区域亦处于水平状态。
作为上述方案的改进，还包括有上料机构，上料机构设置于底架，上料机构包括有上料壳，上料壳固定连接于底架，底架安装有用于转移物料的进料输送带，上料壳滑动连接有推板，推板与上料壳之间固定连接有第二弹性元件，推板设置有对称分布的把手，上料壳设置有对称分布的导向槽，导向槽与推板配合。
作为上述方案的改进，上料壳设置有对称分布的第二限位槽，第二限位槽由直槽和弯曲槽组成，且弯曲槽远离直槽的一端设置为磁性区域，把手固定连接有限位柱，限位柱与相邻的第二限位槽配合，且限位柱为磁性物质。
作为上述方案的改进，还包括有排料机构，排料机构设置于底架，排料机构包括有排料输送带，排料输送带安装于底架，排料输送带用于将切割完成的物料进行排放，底架固定连接有收料壳，收料壳内滑动连接有压板，压板与收料壳固定连接有第三弹性元件，第三弹性元件的弹性系数与单个物料的重量相匹配。
本发明具有以下优点：本发明通过改变支撑杆转动时经过过料架的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量，以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距，增大装置的适用范围；利用转轮与碳化硅陶瓷滚动接触，在一定程度上减少在加工过程对碳化硅陶瓷刮蹭，提高碳化硅陶瓷的表面光洁度，进而提高碳化硅陶瓷在后续使用时的性能；通过同时有三个支撑板的上侧面与碳化硅陶瓷的下侧面接触，增大了碳化硅陶瓷的受力面积，提高对碳化硅陶瓷进行运送时的稳定性；利用两个夹块对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持，防止在切割过程末端还未完全切割完毕时，切割产生的废料由于自身重力对其上方完好的碳化硅陶瓷向下进行拉扯，从而出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况；通过收集壳对废料进行收集，便于工作人员后续对废料统一处理；通过限位柱被第二限位槽弯曲槽的上端区域吸附，防止把手在限位柱的重力作用下向下翻转，影响工作人员工作的正常进行；利用上料壳对碳化硅陶瓷进行储存，而后再随着切割进程的变化适时再将碳化硅陶瓷向切割区域运送，降低工作人员在切割时的工作强度；通过收料壳将切割完成后的碳化硅陶瓷进行收集，便于工作人员后续对切割完成的碳化硅陶瓷统一处理，提高工作效率。
附图说明
图1为本发明的整体立体结构示意图。
图2为本发明的调节机构和夹持机构等零件立体结构示意图。
图3为本发明图2中A处的立体结构放大图。
图4为本发明的夹持机构等零件立体结构示意图。
图5为本发明的支撑杆、支撑板和转轮等零件立体结构示意图。
图6为本发明的夹持机构立体结构示意图。
图7为本发明的上料机构等零件立体结构示意图。
图8为本发明的推板、把手和限位柱立体结构示意图。
图9为本发明的排料机构等零件立体结构示意图。
图中标号名称：1-底架，201-过料架，202-激光切割装置，3-立板，4-承载板，5-第一驱动电机，6-缺齿轮，701-第一转柱，702-支撑杆，703-支撑板，704-第一弹性元件，705-转轮，8-直齿轮，9-调节机构，901-第二驱动电机，902-丝杠，10-夹持机构，1001-第二转柱，1002-转筒，1003-限位板，1004-夹块，1005-限位杆，1006-第一限位槽，11-收集壳，12-上料机构，1201-上料壳，1202-进料输送带，1203-推板，1204-第二弹性元件，1205-把手，1206-第二限位槽，1207-限位柱，1208-导向槽，13-排料机构，1301-排料输送带，1302-收料壳，1303-压板，1304-第三弹性元件。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明，在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
实施例1：一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，如图1-图4所示，包括有底架1，底架1中部的上侧固定连接有过料架201，过料架201中部的前侧固定安装有用于将物料开齿的激光切割装置202，底架1的上侧固定连接有左右对称分布的两个立板3，对称的两个立板3之间滑动连接有承载板4，承载板4的中部设置有螺纹通孔，承载板4的右端固定安装有第一驱动电机5，第一驱动电机5的输出轴固定连接有缺齿轮6，承载板4转动连接有若干个横向排列的第一转柱701，横向排列的第一转柱701通过链轮链条连接，横向排列的第一转柱701均固定连接有左右对称分布的两个支撑杆702，最右侧第一转柱701固定连接有直齿轮8，直齿轮8与缺齿轮6配合，直齿轮8的齿数是缺齿轮6的齿数的二倍，底架1设置有用于调节第一转柱701高度的调节机构9，调节机构9包括有第二驱动电机901，第二驱动电机901固定安装于底架1中部的上侧，第二驱动电机901的输出轴固定连接有丝杠902，丝杠902与承载板4的螺纹通孔配合，通过承载板4上下移动改变支撑杆702转动时经过过料架201的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量，以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距，增大装置的适用范围，承载板4的中部设置有用于对物料进行夹持的夹持机构10，底架1中部的上侧固定连接有用于收集切割废料的收集壳11，收集壳11内的下侧面为倾斜面，其后侧边缘高于其前侧边缘，用于将切割产生的废料排放，收集壳11位于夹持机构10的下方。
如图4和图5所示，对称支撑杆702的相背端均转动连接有支撑板703，支撑杆702与支撑板703之间固定连接有第一弹性元件704，第一弹性元件704为扭簧，对称支撑板703的相背端均转动连接有转轮705，通过转轮705与碳化硅陶瓷滚动接触，在一定程度上减少在加工过程对碳化硅陶瓷刮蹭，提高碳化硅陶瓷的表面光洁度，进而提高碳化硅陶瓷在后续使用时的性能，当对物料进行运送时，始终有三个支撑板703与物料接触，用于对物料进行支撑，利用同时有三个支撑板703与碳化硅陶瓷接触，增大了碳化硅陶瓷的受力面积，进一步提高对碳化硅陶瓷进行运送时的稳定性。
如图4和图6所示，夹持机构10包括有第二转柱1001，第二转柱1001转动连接于承载板4的中部，第二转柱1001与横向排列的第一转柱701通过链轮链条连接，第二转柱1001的外侧固定连接有转筒1002，过料架201的中部固定连接有前后对称分布的两个限位板1003，对称的两个限位板1003均滑动连接有夹块1004，夹块1004的下端固定连接有限位杆1005，转筒1002的外侧设置有前后对称分布的两个第一限位槽1006，第一限位槽1006与相邻的限位杆1005滑动配合，对称的第一限位槽1006均为曲形闭环槽，对称的第一限位槽1006在与第二转柱1001轴线重合的水平区域相互靠拢，且当支撑板703处于水平状态时，对称的第一限位槽1006的左右弯曲区域亦处于水平状态，利用两个夹块1004在相邻第一限位槽1006的作用下对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持，防止在切割过程末端还未完全切割完毕时，切割产生的废料由于自身重力对其上方完好的碳化硅陶瓷向下进行拉扯，从而出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。
当需要使用本设备对碳化硅陶瓷进行切割时，工作人员先确定待切割碳化硅陶瓷的齿距，然后启动第二驱动电机901，第二驱动电机901的输出轴开始转动，第二驱动电机901的输出轴带动丝杠902一同转动，在转动丝杠902的作用下承载板4开始移动，承载板4带动其上零件一同移动，通过改变支撑杆702转动时经过过料架201的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量，以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距，增大装置的适用范围，待将承载板4调节完毕后，工作人员关闭第二驱动电机901，将碳化硅陶瓷竖直放置于过料架201内，然后启动第一驱动电机5和激光切割装置202，第一驱动电机5的输出轴开始逆时针转动，第一驱动电机5的输出轴带动缺齿轮6一同顺时针转动，当缺齿轮6转动至与直齿轮8接触啮合后，受缺齿轮6的作用直齿轮8开始顺时针转动，直齿轮8带动相邻的第一转柱701一同顺时针转动，最右侧的第一转柱701带动链条开始顺时针转动，在链条的作用下其余第一转柱701和第二转柱1001亦开始顺时针转动，第一转柱701和第二转柱1001带动各自上的零件一同顺时针转动。
当第二转柱1001顺时针转动时，两个限位杆1005受相邻第一限位槽1006的作用开始背向移动，限位杆1005带动相邻的夹块1004分别于相邻的限位板1003上滑动，当转轮705转动至与碳化硅陶瓷接触后，随着第一转柱701持续转动，转轮705受碳化硅陶瓷的挤压开始使相邻的支撑板703发生逆时针偏转，第一弹性元件704开始形变，同时转轮705沿碳化硅陶瓷向右滚动，通过转轮705与碳化硅陶瓷滚动接触，在一定程度上减少在加工过程对碳化硅陶瓷刮蹭，提高碳化硅陶瓷的表面光洁度，进而提高碳化硅陶瓷在后续使用时的性能，随着支撑杆702持续运动，支撑板703受碳化硅陶瓷的挤压持续偏转，当支撑板703偏转至其上侧面与碳化硅陶瓷的下侧面贴合时，转动的支撑杆702持续运动，而后通过支撑板703将碳化硅陶瓷抬起，通过支撑板703的上侧面与碳化硅陶瓷的下侧面贴合增大二者之间的接触面积，进而提高运送碳化硅陶瓷时的稳定性，利用同时有三个支撑板703与碳化硅陶瓷接触，进一步增大了碳化硅陶瓷的受力面积，进一步提高对碳化硅陶瓷进行运送时的稳定性。
随着支撑杆702持续运动，碳化硅陶瓷开始向右移动，直至碳化硅陶瓷再次与过料架201内的下侧面接触，此时第一限位槽1006移动至其弯曲区域与限位杆1005接触，随着转筒1002持续转动，在第一限位槽1006的作用下两个限位杆1005开始对向移动，限位杆1005带动相邻的夹块1004一同移动，而后随着支撑杆702持续运动，支撑板703与碳化硅陶瓷脱离接触，随后支撑板703在第一弹性元件704扭力的作用下开始顺时针转动，同时转轮705沿碳化硅陶瓷向右滚动，直至转轮705与碳化硅陶瓷脱离，支撑板703在第一弹性元件704扭力的作用下复位，待支撑杆702转过180°后，此时缺齿轮6和直齿轮8失去啮合，两个夹块1004相对移动至最大距离，此时两个夹块1004对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持，防止在切割过程末端还未完全切割完毕时，切割产生的废料由于自身重力对其上方完好的碳化硅陶瓷向下进行拉扯，从而出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。
同时激光切割装置202开始对碳化硅陶瓷进行切割，在激光切割装置202将碳化硅陶瓷单次切割完毕后，此时缺齿轮6再次转动至与直齿轮8接触啮合，两个夹块1004再次背向移动，并失去对碳化硅陶瓷待切割的区域的夹持，切割产生的废料在自身重力的作用下向下掉落，直至进入收集壳11，废料再沿收集壳11内下侧的倾斜面向外移动，通过收集壳11对废料进行收集，便于工作人员后续对废料统一处理，以此往复循环直至将碳化硅陶瓷切割完毕，待将碳化硅陶瓷切割完毕后，工作人员关闭第一驱动电机5和激光切割装置202即可。
实施例2：在实施例1的基础之上，如图1、图7和图8所示，还包括有上料机构12，上料机构12设置于底架1上侧的左端，上料机构12包括有上料壳1201，上料壳1201固定连接于底架1上侧的左端，底架1安装有用于转移物料的进料输送带1202，上料壳1201滑动连接有推板1203，推板1203与上料壳1201之间固定连接有左右等距分布的三个第二弹性元件1204，第二弹性元件1204为弹簧，推板1203的左右两端分别转动连接有把手1205，上料壳1201设置有对称分布的导向槽1208，导向槽1208与推板1203配合，利用上料壳1201对碳化硅陶瓷进行储存，而后随着切割进程的变化，适时将碳化硅陶瓷向切割区域运送，降低工作人员在切割时的工作强度。
如图7和图8所示，上料壳1201设置有对称分布的两个第二限位槽1206，第二限位槽1206由直槽和弯曲槽组成，弯曲槽的前端向上弯曲，且弯曲槽的上端设置为磁性区域，对称的把手1205相对侧均固定连接有限位柱1207，限位柱1207与相邻的第二限位槽1206配合，且限位柱1207为磁铁，导向槽1208位于相邻第二限位槽1206的上方，利用第二限位槽1206弯曲槽的上端区域将相邻的限位柱1207吸附固定，防止把手1205由于重力的作用下向下翻转，从而导致推板1203向后移动，以此便于工作人员工作的正常进行，利用第二限位槽1206对相邻限位柱1207的限位，使推板1203保持静止，以此便于工作人员上料。
在对碳化硅陶瓷进行切割之前，工作人员先将两个把手1205向前拉扯，把手1205带动相邻的限位柱1207和推板1203一同向前移动，限位柱1207和推板1203分别在相邻的第二限位槽1206和导向槽1208内滑动，第二弹性元件1204被压缩，当推板1203向前移动至导向槽1208的前端后，工作人员将两个把手1205向后翻转，把手1205带动相邻的限位柱1207一同翻转，当限位柱1207在相邻的第二限位槽1206弯曲槽的上端时，限位柱1207被第二限位槽1206弯曲槽的上端区域吸附，防止把手1205由于重力的作用下向下翻转，从而导致推板1203向后移动，以此便于工作人员工作的正常进行，利用第二限位槽1206对相邻限位柱1207的限位，使推板1203保持静止，以此便于工作人员上料。
随后工作人员将碳化硅陶瓷依次放入上料壳1201内，将碳化硅陶瓷放置完毕后，工作人员启动激光切割装置202、第一驱动电机5和进料输送带1202，进料输送带1202开始顺时针转动，工作人员再将把手1205向前翻转，把手1205带动相邻的限位柱1207一同翻转，限位柱1207开始在相邻的第二限位槽1206弯曲槽内向下移动，推板1203受第二弹性元件1204弹力的作用对相邻的碳化硅陶瓷向后挤压，并将最后侧的碳化硅陶瓷挤压移动至进料输送带1202上，进料输送带1202将其上的碳化硅陶瓷向右运送，直至碳化硅陶瓷进入切割区域后与进料输送带1202脱离，利用上料壳1201对碳化硅陶瓷进行储存，而后再随着切割进程的变化适时再将碳化硅陶瓷向切割区域运送，降低工作人员在切割时的工作强度，待将碳化硅陶瓷切割完成后，工作人员关闭激光切割装置202、第一驱动电机5和进料输送带1202即可。
实施例3：在实施例2的基础之上，如图1和图9所示，还包括有排料机构13，排料机构13设置于底架1上侧的右部，排料机构13包括有排料输送带1301，排料输送带1301安装于底架1上侧的右部，排料输送带1301用于将切割完成的物料进行排放，底架1上侧的右端固定连接有收料壳1302，通过收料壳1302将切割完成后的碳化硅陶瓷进行收集，便于工作人员后续对切割完成的碳化硅陶瓷统一处理，提高工作效率，收料壳1302内滑动连接有压板1303，压板1303与收料壳1302固定连接有对称分布的两个第三弹性元件1304，第三弹性元件1304为弹簧，第三弹性元件1304的弹性系数与单个物料的重量相匹配，利用使位于收料壳1302碳化硅陶瓷的上侧始终与排料输送带1301的上侧齐平，以此使排料输送带1301后续运送的碳化硅陶瓷顺利进入收料壳1302，进而提高收集效果。
当对碳化硅陶瓷进行切割过程中，工作人员开启排料输送带1301，排料输送带1301开始顺时针转动，当支撑板703将切割完成的碳化硅陶瓷运送至排料输送带1301上侧时，排料输送带1301携带碳化硅陶瓷开始向右快速移动，当碳化硅陶瓷与压板1303接触后，压板1303受碳化硅陶瓷重力的作用开始向下移动，第三弹性元件1304被压缩，直至碳化硅陶瓷进入收料壳1302，当碳化硅陶瓷完全与压板1303接触后，第三弹性元件1304被压缩的长度为碳化硅陶瓷的高度，以此使位于收料壳1302碳化硅陶瓷的上侧始终与排料输送带1301的上侧齐平，以此使排料输送带1301后续运送的碳化硅陶瓷顺利进入收料壳1302，进而提高收集效果，当收料壳1302内的碳化硅陶瓷收集完成后，工作人员将压板1303向上抬起，然后将收料壳1302内的碳化硅陶瓷转移，通过收料壳1302将切割完成后的碳化硅陶瓷进行收集，便于工作人员后续对切割完成的碳化硅陶瓷统一处理，降低工作强度，提高工作效率，待碳化硅陶瓷切割完成后，工作人员关闭排料输送带1301即可。
以上对本申请进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：包括有底架（1），底架（1）固定连接有过料架（201），过料架（201）安装有用于将物料开齿的激光切割装置（202），底架（1）固定连接有对称分布的立板（3），对称的立板（3）之间滑动连接有承载板（4），承载板（4）设置有螺纹通孔，承载板（4）安装有第一驱动电机（5），第一驱动电机（5）的输出轴固定连接有缺齿轮（6），承载板（4）转动连接有若干个横向排列的第一转柱（701），横向排列的第一转柱（701）通过链轮链条连接，横向排列的第一转柱（701）均固定连接有对称分布的支撑杆（702），靠近缺齿轮（6）的第一转柱（701）固定连接有直齿轮（8），直齿轮（8）与缺齿轮（6）配合，底架（1）设置有用于调节第一转柱（701）高度的调节机构（9），承载板（4）设置有用于对物料进行夹持的夹持机构（10），底架（1）固定连接有用于收集切割废料的收集壳（11），收集壳（11）内的下侧面为倾斜面，收集壳（11）位于夹持机构（10）的下方。
2.如权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：支撑杆（702）转动连接有支撑板（703），支撑杆（702）与支撑板（703）之间固定连接有第一弹性元件（704），支撑板（703）远离相邻支撑杆（702）的一端转动连接有转轮（705）。
3.如权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：当对物料进行运送时，始终有两个以上的支撑板（703）与物料接触，用于对物料进行支撑。
4.如权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：直齿轮（8）的齿数是缺齿轮（6）的齿数的整数倍。
5.如权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：调节机构（9）包括有第二驱动电机（901），第二驱动电机（901）安装于底架（1），第二驱动电机（901）的输出轴固定连接有丝杠（902），丝杠（902）与承载板（4）的螺纹通孔配合。
6.如权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：夹持机构（10）包括有第二转柱（1001），第二转柱（1001）转动连接于承载板（4），第二转柱（1001）与第一转柱（701）通过链轮链条连接，第二转柱（1001）固定连接有转筒（1002），过料架（201）固定连接有对称分布的限位板（1003），对称的限位板（1003）均滑动连接有夹块（1004），夹块（1004）靠近第二转柱（1001）的一端固定连接有限位杆（1005），转筒（1002）设置有对称分布的第一限位槽（1006），第一限位槽（1006）与相邻的限位杆（1005）滑动配合。
7.如权利要求6所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：对称的第一限位槽（1006）均为曲形闭环槽，对称的第一限位槽（1006）在与第二转柱（1001）轴线重合的水平区域相互靠拢，且当支撑板（703）处于水平状态时，对称的第一限位槽（1006）的弯曲区域亦处于水平状态。
8.如权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：还包括有上料机构（12），上料机构（12）设置于底架（1），上料机构（12）包括有上料壳（1201），上料壳（1201）固定连接于底架（1），底架（1）安装有用于转移物料的进料输送带（1202），上料壳（1201）滑动连接有推板（1203），推板（1203）与上料壳（1201）之间固定连接有第二弹性元件（1204），推板（1203）设置有对称分布的把手（1205），上料壳（1201）设置有对称分布的导向槽（1208），导向槽（1208）与推板（1203）配合。
9.如权利要求8所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：上料壳（1201）设置有对称分布的第二限位槽（1206），第二限位槽（1206）由直槽和弯曲槽组成，且弯曲槽远离直槽的一端设置为磁性区域，把手（1205）固定连接有限位柱（1207），限位柱（1207）与相邻的第二限位槽（1206）配合，且限位柱（1207）为磁性物质。
10.如权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备，其特征在于：还包括有排料机构（13），排料机构（13）设置于底架（1），排料机构（13）包括有排料输送带（1301），排料输送带（1301）安装于底架（1），排料输送带（1301）用于将切割完成的物料进行排放，底架（1）固定连接有收料壳（1302），收料壳（1302）内滑动连接有压板（1303），压板（1303）与收料壳（1302）固定连接有第三弹性元件（1304），第三弹性元件（1304）的弹性系数与单个物料的重量相匹配。
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