CN117382001B - 光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备 - Google Patents
光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117382001B CN117382001B CN202311525699.9A CN202311525699A CN117382001B CN 117382001 B CN117382001 B CN 117382001B CN 202311525699 A CN202311525699 A CN 202311525699A CN 117382001 B CN117382001 B CN 117382001B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bearing frame
- sleeve
- plates
- sliding
- silicon carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 37
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 37
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 45
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 7
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 7
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 17
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/22—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
- B28D7/02—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for removing or laying dust, e.g. by spraying liquids; for cooling work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
- B28D7/04—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,所述床体的顶部中间开设有底槽,本发明涉及开齿设备技术领域。该光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,通过衔接板、驱动轮毂、切割线以及调节杆组件的配合,将调节套向后拉动,使齿环与齿条脱离,转动调节套使调节轴旋转,过程中滑杆沿着变距沟槽滑动,若干限位套筒组件随之相互靠近或相互远离,即若干切割线相互靠近或相互远离,过程中观察L型指针指向的刻度,旋转到所需角度后,将调节套向衔接板一侧推动,使齿环后移与齿条相啮合,对调节轴限位,操作便捷,能根据加工需求精准快速的调节相邻切割线之间的间距,提高加工效率。
Description
技术领域
本发明涉及开齿设备技术领域,具体为光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备。
背景技术
碳化硅陶瓷晶舟,又称碳化硅晶舟以及碳化硅扩散管被广泛应用于光伏电池片、半导体圆片的生产工艺中,具有耐磨损、耐腐蚀、耐高温冲击,耐电浆轰击、高温承载力大、高导热、高散热、长期使用不易弯曲变形等特点。
参考中国专利公开号为CN115972418B的晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备,通过一组齿轮齿条的传动结构,实现了三个方向上的限位,采用齿轮旋转带动两个活动套筒结构旋转的自动化结构,实现了另一个方向上的限位。整个装置的安装定位仅通过自动化机械结构实现,自动进行收紧以实现开齿设备的夹持,无需手动进行固定,操作更为便捷。
参考中国专利公开号为CN116393845A的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,通过调节机构改变支撑杆转动时经过过料架的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量,以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距,增大装置的适用范围,利用夹持机构对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持,防止在切割过程末端还未完全切割完毕时出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。
综合分析以上参考专利,可得出以下缺陷:
现有的光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,通常利用多根切割线对碳化硅陶瓷晶舟进行开齿,通过改变切割线之间的间距,来加工出不同间距的齿,但是由于切割线数量较多,难以根据加工需求精准快速的调节相邻切割线之间的间距,加工效率不高,因此,有必要提供一种光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备解决上述技术问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,解决了由于切割线数量较多,难以根据需求精准快速的调节相邻切割线之间的间距,加工效率不高的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,包括床体,所述床体的顶部中间开设有底槽,所述底槽的前后壁之间转动设置有第一丝杆,所述第一丝杆的外部螺纹套设有内螺纹套,内螺纹套的顶部固定设置有拖板,所述拖板的顶部左右两侧均开设有第一滑槽,两个所述第一滑槽的内部均滑动设置有承载架机构,两个所述承载架机构相互靠近的一侧均设置有切割线开齿机构,所述拖板的顶部左右两侧均固定设置有侧板,两个所述侧板相互远离的一侧上部均固定设置有第一液压杆,所述床体的顶部左右两侧均开设有第二滑槽,所述床体的前端中间固定设置有第一伺服电机,所述床体的顶部前后端均固定设置有竖板,两个所述竖板相互远离的一侧均固定设置有第二液压杆,两个所述第二液压杆相互靠近的一端均贯穿对应竖板固定连接有夹板,两个所述夹板之间设置有用于光伏电池片烧结、扩散的碳化硅陶瓷晶舟。
优选的,内螺纹套滑动连接在底槽的内部,两个所述承载架机构呈左右对称状态,两个所述切割线开齿机构呈左右对称状态,两个所述第一液压杆相互靠近的一端均贯穿对应侧板与相邻承载架机构固定连接,所述拖板的底部左右两侧分别滑动连接在对应第二滑槽的内部,所述第一伺服电机的输出端贯穿床体与第一丝杆的前端固定连接。
优选的,所述承载架机构包括承载架,所述承载架的底部滑动连接在对应第一滑槽的内部,所述承载架的顶部固定设置有第二伺服电机,所述承载架的内腔上下壁之间转动设置有第二丝杆,所述第二伺服电机的输出端贯穿承载架的顶壁且与第二丝杆的顶部固定连接,所述第二丝杆的外部螺纹套设有方形套块。
优选的,所述方形套块滑动连接在承载架的内壁上,所述方形套块远离承载架的一端固定设置有上U型架,所述上U型架的顶部前端固定设置有微型气泵,所述承载架的一侧底部且位于上U型架的正下方固定设置有下U型架,所述下U型架顶部远离承载架的一侧前后端均固定设置有凸柱。
优选的,所述切割线开齿机构包括两个衔接板,两个所述衔接板的顶部分别固定连接在上U型架底部远离承载架的一侧前后端上,两个所述衔接板远离承载架的一侧中部均固定设置有凸板,两个所述衔接板的上部之间、下部之间以及两个凸板之间均转动设置有驱动轮毂,三个所述驱动轮毂的外部之间均匀套设有若干切割线,两个所述衔接板的上部之间以及下部之间均设置有调节杆组件。
优选的,两个所述调节杆组件位于上下两个驱动轮毂之间,前部所述衔接板的前端固定设置有竖导管,所述竖导管的顶部与微型气泵的排气端固定连通,前部所述衔接板的前端上部固定设置有驱动电机,所述驱动电机的输出端贯穿衔接板的后壁且与上部驱动轮毂的前端固定连接,两个所述衔接板的底部均开设有与凸柱相适配的限位槽。
优选的,所述调节杆组件包括调节轴,所述调节轴转动连接在两个衔接板之间,所述调节轴的外壁均匀开设有若干变距沟槽,每个所述变距沟槽靠近承载架的一侧内部均滑动设置有滑杆,所述滑杆远离调节轴的一端固定设置有滑块,若干所述滑块的内部之间滑动贯穿有限位轴,所述限位轴的前后端固定连接在两个衔接板之间。
优选的,每个所述滑块远离调节轴的一端均固定设置有中空连杆,所述中空连杆远离调节轴的一端固定设置有限位套筒组件,相邻两个所述中空连杆之间以及最前端中空连杆与竖导管之间均通过高弹性软管固定连通,所述调节轴的后端固定设置有转动贯穿后部衔接板后壁的延长轴,所述延长轴的后端固定设置有方形块,所述延长轴和方形块的外部之间滑动套设有调节套。
优选的,所述延长轴的外部套设有弹簧,所述弹簧固定连接在方形块与调节套的内壁之间,所述调节套的外部固定套设有齿环,所述调节套的外壁一圈均匀开设有若干刻度,所述齿环的顶部啮合有齿条,所述齿条的前端与相邻衔接板的后壁固定连接,所述齿条的后端中间固定设置有L型指针。
优选的,所述限位套筒组件包括限位柱,所述限位柱的上部固定贯穿有内套筒,所述限位柱的内腔下部开设有锥形腔,所述限位柱的内腔中部开设有环形气腔,所述环形气腔的底部均匀开设有若干与锥形腔相连通的支气腔,所述环形气腔与对应中空连杆的内部相连通,所述内套筒与锥形腔的内部之间贯穿对应的切割线。
有益效果
本发明提供了光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备。与现有技术相比具备以下有益效果:
(1)、该光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,通过衔接板、驱动轮毂、切割线以及调节杆组件之间的相互配合,将调节套向后拉动,使齿环与齿条脱离,转动调节套使调节轴旋转,过程中滑杆沿着变距沟槽滑动,若干限位套筒组件随之相互靠近或相互远离,即若干切割线相互靠近或相互远离,过程中观察L型指针指向的刻度,旋转到所需角度后,将调节套向衔接板一侧推动,使齿环后移与齿条相啮合,对调节轴进行限位即可,操作简单便捷,能根据加工需求,精准快速的调节相邻切割线之间的间距,提高了加工效率。
(2)、该光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,通过两个承载架机构和两个切割线开齿机构之间的相互配合,能对碳化硅陶瓷晶舟待开齿的支撑杆部分同时进行开齿操作,又进一步提高加工效率,便于推广使用。
(3)、该光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,通过微型气泵、高弹性软管、锥形腔以及支气腔之间的相互配合,能对切割线经过的部分表面进行吹气,有效降低切割线的工作温度,防止切割线因温度过高产生变形。
(4)、该光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,通过下U型架、凸柱、衔接板以及限位槽之间的相互配合,能提高切割线开齿机构左右移动的稳定性,结构简单但是功能性强。
附图说明
图1为本发明工作状态下的立体图;
图2为本发明设备与碳化硅陶瓷晶舟分离状态下的立体图;
图3为本发明的分解图;
图4为本发明切割线开齿机构下移状态下的立体图;
图5为本发明切割线开齿机构上移状态下的立体图;
图6为本发明承载架机构的立体图;
图7为本发明切割线开齿机构的前部立体图;
图8为本发明切割线开齿机构的后部立体图;
图9为本发明驱动轮毂的立体图;
图10为本发明图8中A处的局部放大图;
图11为本发明调节杆组件的立体图;
图12为本发明调节杆组件的分解图;
图13为本发明调节轴的分解图;
图14为本发明调节轴的第一立体图;
图15为本发明调节轴的第二立体图;
图16为本发明调节套的立体图;
图17为本发明调节套的剖视图;
图18为本发明滑块的分解图;
图19为本发明图18中B处的局部放大图;
图20为本发明限位套筒组件的剖视图;
图21为本发明下U型架的立体图。
图中:1、床体;2、底槽;3、第一丝杆;4、拖板;5、第一滑槽;6、承载架机构;61、承载架;62、第二伺服电机;63、第二丝杆;64、方形套块;65、上U型架;66、微型气泵;67、下U型架;68、凸柱;7、切割线开齿机构;71、衔接板;72、凸板;73、驱动轮毂;74、切割线;75、调节杆组件;751、调节轴;752、变距沟槽;753、滑杆;754、滑块;755、限位轴;756、中空连杆;757、限位套筒组件;7571、限位柱;7572、内套筒;7573、锥形腔;7574、环形气腔;7575、支气腔;758、高弹性软管;759、延长轴;7510、方形块;7511、调节套;7512、弹簧;7513、齿环;7514、刻度;7515、齿条;7516、L型指针;76、竖导管;77、驱动电机;8、侧板;9、第一液压杆;10、第二滑槽;11、第一伺服电机;12、竖板;13、第二液压杆;14、夹板;15、碳化硅陶瓷晶舟。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供两种技术方案:
如图1-5示出了第一种实施方式:一种光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,包括床体1,床体1的顶部中间开设有底槽2,底槽2的前后壁之间转动设置有第一丝杆3,第一丝杆3的外部螺纹套设有内螺纹套,内螺纹套的顶部固定设置有拖板4,拖板4的顶部左右两侧均开设有第一滑槽5,两个第一滑槽5的内部均滑动设置有承载架机构6,两个承载架机构6相互靠近的一侧均设置有切割线开齿机构7,拖板4的顶部左右两侧均固定设置有侧板8,两个侧板8相互远离的一侧上部均固定设置有第一液压杆9,床体1的顶部左右两侧均开设有第二滑槽10,床体1的前端中间固定设置有第一伺服电机11,床体1的顶部前后端均固定设置有竖板12,两个竖板12相互远离的一侧均固定设置有第二液压杆13,两个第二液压杆13相互靠近的一端均贯穿对应竖板12固定连接有夹板14,两个夹板14之间设置有用于光伏电池片烧结、扩散的碳化硅陶瓷晶舟15。
通过两个承载架机构6和两个切割线开齿机构7之间的相互配合,能对碳化硅陶瓷晶舟15待开齿的支撑杆部分同时进行开齿操作,又进一步提高加工效率,便于推广使用。
如图6-21示出了第二种实施方式,与第一种实施方式的主要区别在于:一种光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,内螺纹套滑动连接在底槽2的内部,两个承载架机构6呈左右对称状态,两个切割线开齿机构7呈左右对称状态,两个第一液压杆9相互靠近的一端均贯穿对应侧板8与相邻承载架机构6固定连接,拖板4的底部左右两侧分别滑动连接在对应第二滑槽10的内部,第一伺服电机11的输出端贯穿床体1与第一丝杆3的前端固定连接,承载架机构6包括承载架61,承载架61的底部滑动连接在对应第一滑槽5的内部,承载架61的顶部固定设置有第二伺服电机62,承载架61的内腔上下壁之间转动设置有第二丝杆63,第二伺服电机62的输出端贯穿承载架61的顶壁且与第二丝杆63的顶部固定连接,第二丝杆63的外部螺纹套设有方形套块64,方形套块64滑动连接在承载架61的内壁上,方形套块64远离承载架61的一端固定设置有上U型架65,上U型架65的顶部前端固定设置有微型气泵66,承载架61的一侧底部且位于上U型架65的正下方固定设置有下U型架67,下U型架67顶部远离承载架61的一侧前后端均固定设置有凸柱68,切割线开齿机构7包括两个衔接板71,两个衔接板71的顶部分别固定连接在上U型架65底部远离承载架61的一侧前后端上,两个衔接板71远离承载架61的一侧中部均固定设置有凸板72,两个衔接板71的上部之间、下部之间以及两个凸板72之间均转动设置有驱动轮毂73,三个驱动轮毂73的外部之间均匀套设有若干切割线74,切割线74为现有金刚石线,两个衔接板71的上部之间以及下部之间均设置有调节杆组件75,两个调节杆组件75位于上下两个驱动轮毂73之间,前部衔接板71的前端固定设置有竖导管76,竖导管76的顶部与微型气泵66的排气端固定连通,前部衔接板71的前端上部固定设置有驱动电机77,驱动电机77的输出端贯穿衔接板71的后壁且与上部驱动轮毂73的前端固定连接,两个衔接板71的底部均开设有与凸柱68相适配的限位槽,调节杆组件75包括调节轴751,调节轴751转动连接在两个衔接板71之间,调节轴751的外壁均匀开设有若干变距沟槽752,若干变距沟槽752沿着调节轴751的轴向从中心向两侧延伸,并且对称地分布在调节轴751的两侧,其中若干变距沟槽752包括三个部分,位于调节轴751轴向中心的环形槽和对称分布在环形槽两侧的第一螺旋槽组和第二螺旋槽组,第一螺旋槽组和第二螺旋槽组的结构完全相同,第一螺旋槽组由多个螺旋槽构成,每个变距沟槽752之间的变化间距是相同的,若干变距沟槽752的数量与若干切割线74的数量相同,每个变距沟槽752靠近承载架61的一侧内部均滑动设置有滑杆753,滑杆753远离调节轴751的一端固定设置有滑块754,若干滑块754的内部之间滑动贯穿有限位轴755,限位轴755的前后端固定连接在两个衔接板71之间,每个滑块754远离调节轴751的一端均固定设置有中空连杆756,中空连杆756远离调节轴751的一端固定设置有限位套筒组件757,相邻两个中空连杆756之间以及最前端中空连杆756与竖导管76之间均通过高弹性软管758固定连通,调节轴751的后端固定设置有转动贯穿后部衔接板71后壁的延长轴759,延长轴759的后端固定设置有方形块7510,延长轴759和方形块7510的外部之间滑动套设有调节套7511,延长轴759的外部套设有弹簧7512,弹簧7512固定连接在方形块7510与调节套7511的内壁之间,调节套7511的外部固定套设有齿环7513,调节套7511的外壁一圈均匀开设有若干刻度7514,齿环7513的顶部啮合有齿条7515,齿条7515的前端与相邻衔接板71的后壁固定连接,齿条7515的后端中间固定设置有L型指针7516,限位套筒组件757包括限位柱7571,限位柱7571的上部固定贯穿有内套筒7572,限位柱7571的内腔下部开设有锥形腔7573,限位柱7571的内腔中部开设有环形气腔7574,环形气腔7574的底部均匀开设有若干与锥形腔7573相连通的支气腔7575,环形气腔7574与对应中空连杆756的内部相连通,内套筒7572与锥形腔7573的内部之间贯穿对应的切割线74,切割线74的直径与内套筒7572的内径大小相同。
通过衔接板71、驱动轮毂73、切割线74以及调节杆组件75之间的相互配合,将调节套7511向后拉动,使齿环7513与齿条7515脱离,转动调节套7511使调节轴751旋转,过程中滑杆753沿着变距沟槽752滑动,若干限位套筒组件757随之相互靠近或相互远离,即若干切割线74相互靠近或相互远离,过程中观察L型指针7516指向的刻度7514,旋转到所需角度后,将调节套7511向衔接板71一侧推动,使齿环7513后移与齿条7515相啮合,对调节轴751进行限位即可,操作简单便捷,能根据加工需求,精准快速的调节相邻切割线74之间的间距,提高了加工效率,通过微型气泵66、高弹性软管758、锥形腔7573以及支气腔7575之间的相互配合,能对切割线74经过的部分表面进行吹气,有效降低切割线的工作温度,防止切割线因温度过高产生变形,通过下U型架67、凸柱68、衔接板71以及限位槽之间的相互配合,能提高切割线开齿机构7左右移动的稳定性,结构简单但是功能性强。
同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
使用时,先根据加工需求,调节若干切割线74之间的间距,过程中先将调节套7511向后拉动,使齿环7513与齿条7515脱离,然后转动调节套7511,使调节轴751、延长轴759以及方形块7510进行旋转,过程中滑杆753始终沿着变距沟槽752滑动,由于若干变距沟槽752的一端之间相互靠近,另一端之间相互远离,若干滑杆753在变距沟槽752的限位作用下,随之相互靠近或相互远离,若干限位套筒组件757和若干切割线74随之相互靠近或相互远离,过程中观察L型指针7516指向的刻度7514,其中调节轴751转动的角度与相邻滑块754之间的变化间距呈线性变化关系,当旋转到所需角度后,将调节套7511向靠近衔接板71的一侧推动,使齿环7513后移与齿条7515相啮合,对调节轴751进行限位,即完成对若干切割线74之间的间距调整,然后将碳化硅陶瓷晶舟15拿至两个夹板14之间,接着同时启动两个第二液压杆13,推动两个夹板14相互靠近,将碳化硅陶瓷晶舟15进行夹紧,然后同时启动第二伺服电机62,带动第二丝杆63转动,方形套块64随之沿着承载架61的内部向下滑动,上U型架65和切割线开齿机构7随之下移,使两个切割线开齿机构7贯穿碳化硅陶瓷晶舟15的内部,直至使衔接板71底部的限位槽套在对应的凸柱68外部,然后使第二伺服电机62暂停工作,接着启动驱动电机77,带动上部驱动轮毂73转动,进而带动若干切割线74转动,同时启动两个第一液压杆9,拉动两个承载架机构6相互远离,使两个切割线开齿机构7相互远离,相互配合利用切割线74对碳化硅陶瓷晶舟15的支撑杆部分进行线切割,实现开齿操作,过程中切割线74在驱动轮毂73和限位套筒组件757的限位作用下,在高速运动过程中,始终保持精确的位置,过程中启动微型气泵66,微型气泵66通过竖导管76、高弹性软管758、中空连杆756、环形气腔7574以及支气腔7575,向切割线74经过的部分表面进行吹气,降低切割线74的工作温度。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,包括床体,其特征在于:所述床体的顶部中间开设有底槽,所述底槽的前后壁之间转动设置有第一丝杆,所述第一丝杆的外部螺纹套设有内螺纹套,内螺纹套的顶部固定设置有拖板,所述拖板的顶部左右两侧均开设有第一滑槽,两个所述第一滑槽的内部均滑动设置有承载架机构,两个所述承载架机构相互靠近的一侧均设置有切割线开齿机构,所述拖板的顶部左右两侧均固定设置有侧板,两个所述侧板相互远离的一侧上部均固定设置有第一液压杆,所述床体的顶部左右两侧均开设有第二滑槽,所述床体的前端中间固定设置有第一伺服电机,所述床体的顶部前后端均固定设置有竖板,两个所述竖板相互远离的一侧均固定设置有第二液压杆,两个所述第二液压杆相互靠近的一端均贯穿对应竖板固定连接有夹板,两个所述夹板之间设置有用于光伏电池片烧结、扩散的碳化硅陶瓷晶舟;
内螺纹套滑动连接在底槽的内部,两个所述承载架机构呈左右对称状态,两个所述切割线开齿机构呈左右对称状态,两个所述第一液压杆相互靠近的一端均贯穿对应侧板与相邻承载架机构固定连接,所述拖板的底部左右两侧分别滑动连接在对应第二滑槽的内部,所述第一伺服电机的输出端贯穿床体与第一丝杆的前端固定连接;
所述承载架机构包括承载架,所述承载架的底部滑动连接在对应第一滑槽的内部,所述承载架的顶部固定设置有第二伺服电机,所述承载架的内腔上下壁之间转动设置有第二丝杆,所述第二伺服电机的输出端贯穿承载架的顶壁且与第二丝杆的顶部固定连接,所述第二丝杆的外部螺纹套设有方形套块;
所述方形套块滑动连接在承载架的内壁上,所述方形套块远离承载架的一端固定设置有上U型架,所述上U型架的顶部前端固定设置有微型气泵,所述承载架的一侧底部且位于上U型架的正下方固定设置有下U型架,所述下U型架顶部远离承载架的一侧前后端均固定设置有凸柱;
所述切割线开齿机构包括两个衔接板,两个所述衔接板的顶部分别固定连接在上U型架底部远离承载架的一侧前后端上,两个所述衔接板远离承载架的一侧中部均固定设置有凸板,两个所述衔接板的上部之间、下部之间以及两个凸板之间均转动设置有驱动轮毂,三个所述驱动轮毂的外部之间均匀套设有若干切割线,两个所述衔接板的上部之间以及下部之间均设置有调节杆组件;
两个所述调节杆组件位于上下两个驱动轮毂之间,前部所述衔接板的前端固定设置有竖导管,所述竖导管的顶部与微型气泵的排气端固定连通,前部所述衔接板的前端上部固定设置有驱动电机,所述驱动电机的输出端贯穿衔接板的后壁且与上部驱动轮毂的前端固定连接,两个所述衔接板的底部均开设有与凸柱相适配的限位槽。
2.根据权利要求1所述的光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,其特征在于:所述调节杆组件包括调节轴,所述调节轴转动连接在两个衔接板之间,所述调节轴的外壁均匀开设有若干变距沟槽,每个所述变距沟槽靠近承载架的一侧内部均滑动设置有滑杆,所述滑杆远离调节轴的一端固定设置有滑块,若干所述滑块的内部之间滑动贯穿有限位轴,所述限位轴的前后端固定连接在两个衔接板之间。
3.根据权利要求2所述的光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,其特征在于:每个所述滑块远离调节轴的一端均固定设置有中空连杆,所述中空连杆远离调节轴的一端固定设置有限位套筒组件,相邻两个所述中空连杆之间以及最前端中空连杆与竖导管之间均通过高弹性软管固定连通,所述调节轴的后端固定设置有转动贯穿后部衔接板后壁的延长轴,所述延长轴的后端固定设置有方形块,所述延长轴和方形块的外部之间滑动套设有调节套。
4.根据权利要求3所述的光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,其特征在于:所述延长轴的外部套设有弹簧,所述弹簧固定连接在方形块与调节套的内壁之间,所述调节套的外部固定套设有齿环,所述调节套的外壁一圈均匀开设有若干刻度,所述齿环的顶部啮合有齿条,所述齿条的前端与相邻衔接板的后壁固定连接,所述齿条的后端中间固定设置有L型指针。
5.根据权利要求4所述的光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备,其特征在于:所述限位套筒组件包括限位柱,所述限位柱的上部固定贯穿有高硬度内套筒,所述限位柱的内腔下部开设有锥形腔,所述限位柱的内腔中部开设有环形气腔,所述环形气腔的底部均匀开设有若干与锥形腔相连通的支气腔,所述环形气腔与对应中空连杆的内部相连通,所述高硬度内套筒与锥形腔的内部之间贯穿对应的切割线。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311525699.9A CN117382001B (zh) | 2023-11-16 | 2023-11-16 | 光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311525699.9A CN117382001B (zh) | 2023-11-16 | 2023-11-16 | 光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117382001A CN117382001A (zh) | 2024-01-12 |
CN117382001B true CN117382001B (zh) | 2024-05-10 |
Family
ID=89437352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311525699.9A Active CN117382001B (zh) | 2023-11-16 | 2023-11-16 | 光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117382001B (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11238784A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-31 | Samsung Electronics Co Ltd | ウェーハローディングおよびアンローディング装置 |
JP2005072277A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理用縦型ボート及びその製造方法 |
KR20120032194A (ko) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | (주)리드엔지니어링 | 태양전지 제조용 확산장치의 기판 로딩장치 |
CN111152366A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-05-15 | 泰州市晨虹数控设备制造有限公司 | 一种双摆动线切割机床 |
CN116393845A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-07-07 | 山东华美新材料科技股份有限公司 | 一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备 |
CN116587450A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-08-15 | 西安中威新材料有限公司 | 晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法 |
-
2023
- 2023-11-16 CN CN202311525699.9A patent/CN117382001B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11238784A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-31 | Samsung Electronics Co Ltd | ウェーハローディングおよびアンローディング装置 |
JP2005072277A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理用縦型ボート及びその製造方法 |
KR20120032194A (ko) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | (주)리드엔지니어링 | 태양전지 제조용 확산장치의 기판 로딩장치 |
CN111152366A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-05-15 | 泰州市晨虹数控设备制造有限公司 | 一种双摆动线切割机床 |
CN116393845A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-07-07 | 山东华美新材料科技股份有限公司 | 一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备 |
CN116587450A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-08-15 | 西安中威新材料有限公司 | 晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN117382001A (zh) | 2024-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN210548512U (zh) | 一种高精度锯片磨齿机 | |
CN111605110A (zh) | 一种塑件端口旋转修切设备 | |
CN111251026A (zh) | 一种铝合金缸体制造cnc中心精加工处理工装夹具 | |
CN110014183A (zh) | 一种数控深孔键槽铣床 | |
CN117382001B (zh) | 光伏电池片烧结、扩散用碳化硅陶瓷晶舟双头开齿设备 | |
CN117900905A (zh) | 一种立卧两用数控机床 | |
CN107716808B (zh) | 切断机 | |
CN219521384U (zh) | 一种数控车床换刀机构 | |
CN116475791A (zh) | 一种数控机床的双端同步式定位夹具 | |
CN112756670A (zh) | 一种细长杆零件铣加工装置 | |
CN110303196B (zh) | 一种车桥桥壳两端切割机器人及其切割方法 | |
CN111775242A (zh) | 一种椅腿加工用移动式开槽装置 | |
CN216501976U (zh) | 封口机构 | |
CN101543914B (zh) | 加工一次包络、二次包络、锥面包络环面蜗杆的专用机床 | |
CN211590813U (zh) | 一种用于晶体实验研究的线具切割装置 | |
CN113385747A (zh) | 一种数控滚齿机夹持装置及其使用方法 | |
CN214870941U (zh) | 一种mv-spt中空复合管生产用切割装置 | |
CN221695115U (zh) | 一种高精度汽车线束加工用切割装置 | |
CN220029359U (zh) | 一种数控机床传动系统同步直驱装置 | |
CN221473726U (zh) | 一种便于调整工件位置的锯床 | |
CN118219438A (zh) | 一种石英棒一刀多槽加工用夹持系统 | |
CN116984764B (zh) | 激光切割机用于管件多面加工的送料机构 | |
CN221338040U (zh) | 一种铜管加工用斜切组件 | |
CN220680513U (zh) | 一种精密零件加工用的精密定位夹具 | |
CN220698426U (zh) | 一种模具钢生产用切割装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |