CN116587450A - 晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于晶舟制作设备技术领域，具体涉及一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法。所述装置包括金刚石线切割台，所述金刚石线切割台包括安装架，所述安装架上安装有主动转轮和从动转轮，围绕所述主动转轮和从动转轮的外周设有金刚石线，安装架上设有用于驱动所述主动转轮转动的驱动装置，所述主动转轮包括第一连接轴，所述第一连接轴转动连接在所述安装架上，所述第一连接轴上依次贯穿连接有第一转动轮、第一紧固头、第二转动轮；所述从动转轮的结构与所述主动转轮的结构相同。本发明能够调节金刚石线的数量，进而调节对碳化硅晶舟的开齿的数量。

Description

晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法

技术领域

本发明属于晶舟制作设备技术领域，具体涉及一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法。

背景技术

碳化硅陶瓷晶舟，又称碳化硅晶舟或者碳化硅舟，被广泛应用于光伏电池片、半导体圆片的生产工艺中。由于碳化硅材料具有耐磨损、耐腐蚀和耐高温冲击的特点，所以以碳化硅材料为原料制成的碳化硅晶舟也具有耐磨损、耐腐蚀和耐高温冲击的特点。

12寸晶圆，是以逻辑芯片为主，带宽比较窄，一般以手机IC芯片为例，通信IC芯片的主流制程是7nm，故而要求与其解除的所有物料都是高纯度的，尽可能的洁净，在高温情况下挥发更少的杂质。西安中威新材料有限公司制作的的碳化硅晶舟可以做到99.99％的纯度。

碳化硅晶舟的一个作用是承载晶圆，12寸晶圆也需要碳化硅晶舟来承载。所以碳化硅晶舟需要均匀的开设小齿，并且小齿开设的精度和尺寸要求都较高。一般会采用金刚石线切割的方式来开齿。比如西安中威新材料有限公司的专利CN115972418A记载的一种开齿设备，包括：两个互相连接的主板；对称设置的两个限位组件；每个限位组件包括：固定板，固定设置在主板的外侧；横向推板组件驱动推板横向移动；升降组件，架设在主板的内侧；升降组件驱动一个移动块上下移动；两个滑套，分别套设在固定板和推板上；两个滑套的一端通过伸缩杆连接；固定板上的滑套的一侧面与移动块转动连接；调节齿轮，与固定板上的滑套固定连接；固定齿条，竖向固定架设在升降组件下端的一侧；金刚石切割移动台，架设在两个固定板的滑套之间，在碳化硅陶瓷晶舟的切割空间移动；该专利的装置能够自动固定且限位于晶舟的待切割部分，无需人工拆卸定位，以及重复固定晶舟和该装置的位置，所以具有很好的开齿精度。

但是，上述专利的开齿设备还存在一个问题，就是无法调节碳化硅晶舟开齿的数量。碳化硅晶舟承载的晶圆的数量与其开齿的数量相关，也就是说，碳化硅晶舟所需的小齿的数量并不是特定规格，会根据实际情况以及碳化硅晶舟的特殊结构发生变化。所以，需要一个能够调节碳化硅晶舟开齿的数量的制作装置。

发明内容

为了解决“能够调节碳化硅晶舟开齿的数量”的技术问题，本发明提供了一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法，本发明的制作装置能够调节金刚石线的数量，进而调节对碳化硅晶舟的开齿的数量。

本发明的目的是提供一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，包括金刚石线切割台，所述金刚石线切割台包括安装架，所述安装架上安装有主动转轮和从动转轮，围绕所述主动转轮和从动转轮的外周设有金刚石线，安装架上设有用于驱动所述主动转轮转动的驱动装置，

所述主动转轮包括第一连接轴，所述第一连接轴转动连接在所述安装架上，所述第一连接轴上依次贯穿连接有第一转动轮、第一紧固头、第二转动轮，所述第一转动轮能固定在所述第一连接轴上，所述第一紧固头的一端可拆卸连接在所述第一转动轮上，另一端可拆卸连接在所述第二转动轮上，所述第二转动轮活动连接在所述第一连接轴上；

所述从动转轮的结构与所述主动转轮的结构相同。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述主动转轮还包括第二紧固头，所述第二紧固头可拆卸连接在所述第二转动轮上，所述第二紧固头与所述第一紧固头位于第二转动轮的异侧。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述第一转动轮、所述第二转动轮是横向设置的圆柱状结构，所述第一转动轮的朝向第一紧固头的端部具有凸出部，所述第一紧固头的朝向所述第一转动轮的一面设有凹陷部，所述凹陷部与所述凸出部可拆卸连接；

所述第一紧固头与所述第一连接轴活动连接，所述第一紧固头的朝向第二转动轮的一面具有凸起部，所述第二转动轮朝向所述第一紧固头的一面设有内凹部，内凹部与所述凸起部可拆卸连接。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述凸出部、凹陷部、凸起部、内凹部均是圆台形，这样第一转动轮、第一紧固头、第二转动轮连接后，主动转轮的外观是一个圆柱状。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述凸出部的外表面设有第一外螺纹，所述凹陷部设有第一内螺纹，所述凹陷部与所述凸出部匹配螺接；

所述第一紧固头还与第一连接轴螺接；

所述凸起部外表面与所述内凹部匹配螺接。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述凸出部的外表面、所述凹陷部的内表面、所述凸起部外表面、内凹部内表面均为光滑的表面，所述第一紧固头与所述第一连接轴滑动连接。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述第一紧固头、第二转动轮是一个重复单元，第一转动轮与第二紧固头之间设置多个所述重复单元。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述主动转轮还包括第一调节头，所述第一调节头设置于所述第一紧固头与所述第二转动轮之间，所述第一调节头转动连接在所述第一连接轴上。

优选的，上述晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，所述第二转动轮包括第一固定部、第二固定部和第一活动部，所述第一活动部滑动设置在所述第一固定部与第二固定部之间，所述第一固定部、第二固定部和第一活动部的外壁(不含端面)能够拼接成圆柱形状；

所述第一活动部内开设有活动空间，所述活动空间贯穿所述第一连接轴设置。所述第一固定部与所述第一活动部之间、第二固定部与所述第一活动部之间均设有卡位部件，所述卡位部件用于限制所述第一固定部与所述第一活动部之间、第二固定部与所述第一活动部之间的位置。

一种制作高纯碳化硅陶瓷晶舟的方法，包括：

制备出不含齿的高纯碳化硅晶舟本体；

根据所需开齿的数量选择用于开齿的重复单元的数量，这些用于开齿的重复单元依次连接在第一转动轮上，其余的重复单元不工作；

启动所述驱动装置，对碳化硅晶舟本体进行开齿，得到适用于晶圆的碳化硅。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

金刚石线用于切割碳化硅晶舟，产生小齿，以满足碳化硅晶舟承载晶圆的功能。主动转轮包括第一转动轮、第一紧固头、第二转动轮以及第一连接轴。通过合理安排第一紧固头的连接方式，就可调节主动转轮的长度。由于主动转轮的长度与金刚石线的数量相关，那么通过调节主动转轮的长度，就能调节工作的金刚石线的数量，进而调节在碳化硅晶舟上开齿的数量。

通过第二紧固头和第一紧固头两个部件来夹紧第二转动轮，传动效果更好。凸出部、凹陷部、凸起部、内凹部均是圆台形，这样第一转动轮、第一紧固头、第二转动轮连接后，主动转轮的外观是一个圆柱状，金刚石线依然是几乎均匀的分布在主动转轮上，相邻金刚石线的具体保持基本相等。

由于毕竟金刚石线的切割能力很强，且碳化硅晶舟开齿的时候，金刚石线与碳化硅晶舟的距离近，那么那些不用于开齿的金刚石线也会距离碳化硅晶舟很近，则机械振动就很容易造成碳化硅晶舟损伤。所以，本发明的一个实施例还具有金刚石线位置调整功能：将不用于开齿的金刚石线的位置调离其他金刚石线，避免不用于开齿的金刚石线对碳化硅晶舟造成损伤。

附图说明

图1为本发明实施例1晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置结构示意图；

图2为本发明实施例1主动转轮与安装架的连接示意图。

图3为本发明实施例1主动转轮的拆解图。

图4为本发明实施例2主动转轮的拆解图。

图5为本发明实施例2主动转轮与主支持部件的连接示意图。

图6为本发明实施例2主动转轮与从动转轮以及金刚石线连接结构的纵向剖面图一(从图1的右侧方向看)。

图7为本发明实施例2主动转轮与从动转轮以及金刚石线连接结构的纵向剖面图二。

图8是一种12寸晶圆的结构示意图。

图9是用于方式12寸晶圆的高纯碳化硅陶瓷晶舟的结构示意图(图9中附图标记10表示“齿”)。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案能予以实施，下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

实施例1

一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，参见图1-4，包括金刚石线切割台1，金刚石线切割台1的作用是开齿，金刚石线切割台1包括安装架11，安装架11上安装有主动转轮12和从动转轮13，围绕主动转轮12和从动转轮13的外周设有金刚石线14，安装架11上设有用于驱动主动转轮12转动的驱动装置15，在驱动装置15的作用下，主动转轮12发生转动，进而带动从动转轮13和金刚石线14动。动起来的金刚石线14用于切割碳化硅晶舟，产生小齿，以满足碳化硅晶舟承载晶圆的功能。

示例性的，安装架11包括架体111、主支持部件112和辅支持部件113。主支持部件112的一端固定安装在架体111上，主支持部件112的另一端转动连接有主动转轮12，辅支持部件113的一端固定安装在架体111上，辅支持部件113的另一端转动连接有从动转轮13。驱动装置15为电机，安装在主动转轮12与主支持部件112之间。

示例性的，主支持部件112是板、杆或者条等具有支撑作用的部件。辅支持部件113与主支持部件112的结构相同。

示例性的，从动转轮13的数量为两个，辅支持部件113的数量为两个，每个从动转轮13对应转动连接一个辅支持部件113。

示例性的，安装架11的数量为两个，对称安装在主动转轮12的两侧，主动转轮12的两端与其临近的安装架11通过主支持部件112连接，从动转轮13的两端与其临近的安装架11通过辅支持部件113连接。

参见图2-3，主动转轮12包括第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123、第二紧固头124以及第一连接轴125。第一连接轴125转动连接在主支持部件112上，比如主支持部件112开设有第一轴承槽，第一轴承槽内镶嵌有第一轴承，第一连接轴125连接在第一轴承上，第一连接轴125与主支持部件112在第一轴承的作用下实现转动连接。驱动装置15具有固定部和驱动轴，驱动装置15的固定部与主支持部件112连接，驱动装置15的驱动轴与第一连接轴125连接，利用驱动装置15驱动第一连接轴125的转动。第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123、第二紧固头124依次贯穿连接在第一连接轴125上。第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123、第二紧固头124、第一连接轴125的轴线重合。第一转动轮121固定在第一连接轴125上，当驱动装置15驱动第一连接轴125的转动时，第一转动轮121跟随者转动。第一紧固头122的一端可拆卸连接在第一转动轮121上，第一紧固头122的另一端可拆卸连接在第二转动轮123上。第二转动轮123活动连接在第一连接轴125上，即，当第二转动轮123不与第一紧固头122连接时，第二转动轮123并不跟随第一连接轴125的转动而转动，只有当第二转动轮123与第一紧固头122连接时，第二转动轮123并才跟随第一连接轴125的转动而转动。那么通过合理安排第一紧固头122的连接方式，就可调节主动转轮12的长度，又由于主动转轮12的长度与金刚石线14的数量相关，那么通过调节主动转轮12的长度，就能调节工作的金刚石线14的数量，进而调节在碳化硅晶舟上开齿的数量。

第二紧固头124可拆卸连接在第二转动轮123上。当第二紧固头124连接在第二转动轮123上后，能将第二转动轮123上紧固在第一连接轴125上。当第二紧固头124、第一紧固头122均从第二转动轮123上拆掉，第二转动轮123能相对于第一连接轴125活动。通过第二紧固头124和第一紧固头122两个部件来夹紧第二转动轮123，传动效果更好。

示例性的，第一转动轮121、第二转动轮123是横向设置的圆柱状结构，第一转动轮121的朝向第一紧固头122的端部具有凸出部1211，第一紧固头122的朝向第一转动轮121的一面设有凹陷部1221，凹陷部1221与凸出部1211可拆卸连接，第一紧固头122还与第一连接轴125连接，第一紧固头122的朝向第二转动轮123的一面具有凸起部，第二转动轮123朝向第一紧固头122的一面设有内凹部，内凹部与凸起部可拆卸连接。

示例性的，凸出部1211、凹陷部1221、凸起部、内凹部均是圆台形，这样第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123连接后，主动转轮12的外观(两端端面)是一个圆柱状，金刚石线14依然是几乎均匀的分布在主动转轮12上，相邻金刚石线14的具体保持基本相等。

示例性的，凸出部1211的外表面设有第一外螺纹，凹陷部1221设有第一内螺纹，凹陷部1221与凸出部1211匹配螺接。第一紧固头122还与第一连接轴125螺接，此时，第一紧固头122起到紧固螺母的紧固效果。凸起部外表面设有第二外螺纹，凸起部内壁设有第二内螺纹，内凹部与凸起部匹配螺接。优选的，凸起部的第二外螺纹走向和凸出部1211的第一外螺纹走向是相同的，当内凹部与凸起部旋紧的时候，如果凸出部1211与凹陷部1221是接触的，那么内凹部与凸起部旋紧时，凸出部1211与凹陷部1221也逐渐旋紧。即通过向一个方向螺旋，可同时将第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123旋紧。在上述的主动转轮12结构中，既可以调节需要开齿的金刚石线14的数量，又不用拆卸金刚石线14，操作简单。

示例性的，为了进一步的提高操作的便捷度，凸出部1211的外表面、凹陷部1221的内表面、凸起部外表面、内凹部内表面均为光滑的表面，第一紧固头122与第一连接轴125滑动连接。那么此时的第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123的拆卸与组装并不需要螺旋操作，而是通过直线运动即可实现。此时第二紧固头124起到了紧固作用。

需要说明的是，第一紧固头122、第二转动轮123是一个重复单元，在第一转动轮121与第二紧固头124之间设置多个这样的重复单元，则可以灵活性的调节所需开齿的数量。

为了保证开齿的精确度，从动转轮13的结构与主动转轮12的结构相同。具体的，从动转轮13包括第三转动轮、第三紧固头、第四转动轮、第四紧固头以及第二连接轴。第二连接轴转动连接在辅支持部件113上，比如辅支持部件113开设有第二轴承槽，第二轴承槽内镶嵌有第二轴承，第二连接轴连接在第二轴承上，第二连接轴与辅支持部件113在第二轴承的作用下实现转动连接。第三转动轮、第三紧固头、第四转动轮、第四紧固头依次贯穿连接在第二连接轴上。第三转动轮、第三紧固头、第四转动轮、第四紧固头、第二连接轴的轴线重合。第三转动轮固定在第二连接轴上，当驱动装置15驱动第一连接轴的转动时，经过主动转轮12和金刚石线14的传动，第三转动轮跟随者转动。第三转动轮与第一转动轮121的位置相对。第三紧固头的一端可拆卸连接在第三转动轮上，第三紧固头的另一端可拆卸连接在第四转动轮上。第四转动轮相活动连接在第二连接轴上，即，当第四转动轮不与第三紧固头连接时，第四转动轮并不跟随第二连接轴的转动而转动，只有当第四转动轮与第三紧固头连接时，第四转动轮并才跟随第二连接轴的转动而转动。

第四紧固头可拆卸连接在第四转动轮上。当第四紧固头连接在第四转动轮上后，能将第四转动轮上紧固在第二连接轴上。当第四紧固头、第三紧固头均从第四转动轮上拆掉，第四转动轮能相对于第二连接轴活动。通过第四紧固头和第三紧固头两个部件来夹紧第四转动轮，传动效果更好。

参见图1，金刚石线切割台1还包括立架2，立架2具有支撑作用，可将安装架11以及主动转轮12、从动转轮13的高度限定在特定的高度。比如立架2为立柱或者立板，安装架11的朝向其同侧立架2的一面固定设有连接部件3的一端，连接部件3的另一端可拆卸连接在立架2的任意高度。

示例性的，立架2上开设有多个插孔，这些插孔纵向排列，每个插孔内能对应的插入一个连接部件3的端部，并且连接部件3的端部插入插孔后，通过固定件来固定，比如固定件选择紧固螺母。

示例性的，连接部件3水平设置，方便将连接部件3插入插孔内。

实施例2

一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，在实施例1的基础上增加了金刚石线位置调整功能。将不用于开齿的金刚石线14的位置调离其他金刚石线14，避免不用于开齿的金刚石线14对碳化硅晶舟造成损伤。因为毕竟金刚石线14的切割能力很强，且碳化硅晶舟开齿的时候，金刚石线14与碳化硅晶舟的距离近，那么那些不用于开齿的金刚石线14也会距离碳化硅晶舟很近，则机械振动就很容易造成碳化硅晶舟损伤。

参见图4-7，主动转轮12不仅包括第一转动轮121、第一紧固头122、第二转动轮123、第二紧固头124以及第一连接轴125，还包括第一调节头126。第一调节头126设置在第一紧固头122与第二转动轮123之间，第一调节头126转动连接在第一连接轴125上。具体的，第一调节头126的围绕第一连接轴125一圈的位置设有环形的滑道，使第一调节头126相对于第一连接轴125转动连接，且滑道是光滑的表面，当第一调节头126与第二转动轮123连接的时候，第二转动轮123可相对于第一连接轴125转动，即，虽然第一连接轴125能在驱动装置15的作用下转动，但第二转动轮123可以不动。通过旋转第一调节头126与第二紧固头124的位置，可将第二转动轮123夹紧在第一连接轴125处，当从第二转动轮123上拆卸掉第二紧固头124，第二转动轮123可不动。

需要说明的是，在本实施例中，重复单元还包括第一调节头126。

示例性的，第二转动轮123的结构参见图5-7，包括第一固定部1231、第二固定部1232和第一活动部1233，第一活动部1233滑动设置在第一固定部1231与第二固定部1232之间，比如第一活动部1233的滑动方向为图5所示的纸面里外，第一固定部1231、第二固定部1232和第一活动部1233的外壁(不含端面)能够拼接成圆柱形状。第一活动部1233内开设有活动空间1234，活动空间1234贯穿第一连接轴125设置。第一固定部1231与第一活动部1233之间、第二固定部1232与第一活动部1233之间均设有卡位部件1235，卡位部件1235用于限制第一固定部1231与第一活动部1233之间、第二固定部1232与第一活动部1233之间的位置。优选的，活动空间1234在图5中的上下表面为平面。

示例性的，卡位部件1235为固定卡，参照图6，第一固定部1231、第二固定部1232和第一活动部1233的侧壁横向设有用于卡接固定卡的多个卡孔，固定卡卡入不同的卡孔内，则第一固定部1231与第一活动部1233之间、第二固定部1232与第一活动部1233之间的位置也相应的不同。

示例性的，主支持部件112上固定有用于固定第一活动部1233的固定装置1121，第一活动部1233的表面设有多个连接桩，固定装置1121的朝向第一活动部1233的一端能连接在任意连接桩上。

一种制备碳化硅晶舟的方法，包括：

S1，制备出不含齿的碳化硅晶舟本体，具体的碳化硅晶舟本体的制备原料，杂质较少的原料为高纯碳化硅晶舟；

S2，启动驱动装置15，利用实施例2设备对碳化硅晶舟本体进行开齿，得到适用于晶圆的碳化硅。

当需要调节开齿数量的时候，从拆卸掉一定数量的重复单元，其余的重复单元则依次连接在第一转动轮121上。

其中，拆掉的重复单元向远离碳化硅晶舟的方向移动，不进行切割工作。比如图6中，是未移动第一活动部1233的重复单元的位置，此时卡位部件1235卡住第一固定部1231、第二固定部1232和第一活动部1233，第二转动轮123的外表面为圆柱形，此时金刚石线14是比较靠近碳化硅晶舟的。图7中是重新安装了卡位部件1235的位置，并且移动了第一活动部1233的重复单元的位置，此时金刚石线14是远离碳化硅晶舟的，能避免碳化硅晶舟不必要的损伤。

图8是一种12寸晶圆的结构示意图。图9是用于方式12寸晶圆的高纯碳化硅陶瓷晶舟的结构示意图，图9中附图标记10表示开的“齿”。

需要说明的是，本发明中未特别提及的部件连接关系均默认采用现有技术，由于其不涉及发明点，且为现有技术普遍应用，故不详述结构连接关系。

需要说明的是，本发明中涉及数值范围时，应理解为每个数值范围的两个端点以及两个端点之间任何一个数值均可选用，由于采用的步骤方法与实施例相同，为了防止赘述，本发明描述了优选的实施例。尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，包括金刚石线切割台(1)，所述金刚石线切割台(1)包括安装架(11)，所述安装架(11)上安装有主动转轮(12)和从动转轮(13)，围绕所述主动转轮(12)和所述从动转轮(13)的外周设有金刚石线(14)，所述安装架(11)上设有用于驱动所述主动转轮(12)转动的驱动装置(15)，其特征在于，

所述主动转轮(12)包括第一连接轴(125)，所述第一连接轴(125)转动连接在所述安装架(11)上，所述第一连接轴(125)上依次贯穿连接有第一转动轮(121)、第一紧固头(122)、第二转动轮(123)，所述第一转动轮(121)能固定在所述第一连接轴(125)上，所述第一紧固头(122)的一端可拆卸连接在所述第一转动轮(121)上，另一端可拆卸连接在所述第二转动轮(123)上，所述第二转动轮(123)活动连接在所述第一连接轴(125)上；

所述从动转轮(13)的结构与所述主动转轮(12)的结构相同。

2.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述主动转轮(12)还包括第二紧固头(124)，所述第二紧固头(124)可拆卸连接在所述第二转动轮(123)上，所述第二紧固头(124)与所述第一紧固头(122)位于第二转动轮(123)的异侧。

3.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述第一转动轮(121)、所述第二转动轮(123)是横向设置的圆柱状结构，所述第一转动轮(121)的朝向第一紧固头(122)的端部具有凸出部(1211)，所述第一紧固头(122)的朝向所述第一转动轮(121)的一面设有凹陷部(1221)，所述凹陷部(1221)与所述凸出部(1211)可拆卸连接；

所述第一紧固头(122)与所述第一连接轴(125)活动连接，所述第一紧固头(122)的朝向第二转动轮(123)的一面具有凸起部，所述第二转动轮(123)朝向所述第一紧固头(122)的一面设有内凹部，所述内凹部与所述凸起部可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述凸出部(1211)、所述凹陷部(1221)、所述凸起部、所述内凹部均是圆台形，所述第一转动轮(121)、所述第一紧固头(122)、所述第二转动轮(123)连接后，所述主动转轮(12)的外观是一个圆柱状。

5.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述凸出部(1211)的外表面设有第一外螺纹，所述凹陷部(1221)设有第一内螺纹，所述凹陷部(1221)与所述凸出部(1211)匹配螺接；

所述第一紧固头(122)还与第一连接轴(125)螺接；

所述凸起部外表面与所述内凹部匹配螺接。

6.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述凸出部(1211)的外表面、所述凹陷部(1221)的内表面、所述凸起部外表面、所述内凹部内表面均为光滑的表面，所述第一紧固头(122)与所述第一连接轴(125)滑动连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述第一紧固头(122)、第二转动轮(123)是一个重复单元，所述第一转动轮(121)与所述第二紧固头(124)之间设置多个所述重复单元。

8.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述主动转轮(12)还包括第一调节头(126)，所述第一调节头(126)设置于所述第一紧固头(122)与所述第二转动轮(123)之间，所述第一调节头(126)转动连接在所述第一连接轴(125)上。

9.根据权利要求8所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置，其特征在于，所述第二转动轮(123)包括第一固定部(1231)、第二固定部(1232)和第一活动部(1233)，所述第一活动部(1233)滑动设置在所述第一固定部(1231)与第二固定部(1232)之间，所述第一固定部(1231)、所述第二固定部(1232)和所述第一活动部(1233)的外壁能够拼接成圆柱形状；

所述第一活动部(1233)内开设有活动空间(1234)，所述活动空间(1234)贯穿所述第一连接轴(125)设置，所述第一固定部(1231)与所述第一活动部(1233)之间、所述第二固定部(1232)与所述第一活动部(1233)之间均设有卡位部件(1235)，所述卡位部件(1235)用于限制所述第一固定部(1231)与所述第一活动部(1233)之间、第二固定部(1232)与所述第一活动部(1233)之间的位置。

10.一种制作高纯碳化硅陶瓷晶舟的方法，其特征在于，包括：

制备出不含齿的高纯碳化硅晶舟本体；

根据所需开齿的数量选择用于开齿的重复单元的数量，这些用于开齿的重复单元依次连接在第一转动轮(121)上，其余的重复单元不工作；

启动权利要求1制作装置的所述驱动装置(15)，对碳化硅晶舟本体进行开齿，得到适用于晶圆的碳化硅。