CN109082649A - 一种稳定镀膜的载片装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于硅片的表面镀减反射膜的稳定镀膜的载片装置，其包括：石英托架，设于该石英托架中的石墨舟片组件，该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。本发明使得石墨组件的石墨舟片垂直于石英托架的轴线设置。当该载片装置送入石英炉管时，石墨舟片与石英炉管的轴线垂直，有效地避免了左右两侧石墨舟片对加热炉管热量向中心辐射的阻挡，从而保证处于石墨舟片之间的硅片减反射膜镀膜均匀和工艺的稳定性，以提升PECVD反应炉的产能。
Description
技术领域
本发明涉及光伏行业硅片加工领域，尤其涉及一种将太阳能硅片送入石英炉管进行表面镀减反射膜的载片装置。
背景技术
在光伏行业，PECVD用于对单晶硅片、多晶硅片的表面镀减反射膜。随着光伏行业的不断发展，太阳能电池片生产已经进入精细化管理，客户对制造太阳能电池片设备的产能、减反射膜均匀性、制作工艺的稳定性要求越来越高。石墨舟是硅片的载具，其结构对设备的产能及工艺的稳定性起到至关重要的作用。如图2所示为原有石墨舟载硅片的结构示意图，图1所示为载有硅片的石墨舟放置于石英炉管的中的示意图。当石墨舟01送入与石英炉管04中时，石墨舟中的石墨舟片02和硅片03平面正好与石英炉管04截面的纵轴平行，而加热炉管的加热是由炉管外圆径向向中心辐射的，由图2可见，石墨舟01左右两侧的石墨舟片02阻挡了加热炉管的热量向中心辐射。随着产能的增加，装载在石墨舟两侧的硅片03与中心、炉口及炉尾位置的硅片03减反射膜镀膜均匀性变差，这也就限制了制作减反射膜的工艺窗口，最后导致工艺稳定性差。传统的PECVD反应炉石墨舟片排列方式限制了设备未来继续提升产能的空间。
因此，如何克服现有加热石英炉管的热量辐射受阻，以致石墨舟中的硅片减反射膜镀膜不均匀的缺陷是业界亟待解决的问题。
发明内容
本发明为了解决现有加热石英炉管的热量辐射受阻，以致石墨舟中的硅片减反射膜镀膜不均匀的技术问题，提出这一种不会阻挡加热炉管热量辐射的石墨舟片的排列方式，从而保证减反射膜镀膜均匀和工艺稳定的载片装置。
本发明提出的一种稳定镀膜的载片装置，其包括：石英托架，设于该石英托架中的石墨舟片组件，该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。
优选的，所述的石英托架包括两侧板、连接该两侧板上部的两根上槽棒，连接该两侧板下部的至少一根下槽棒，所述的上槽棒分别设于所述两侧板的横向两侧，所述侧板的下侧边设有对应卡入所述石墨舟片组件的卡槽。
其中，所述下槽棒的上表面设有支撑所述石墨舟片底边的下槽棒齿槽。
而所述上槽棒的内表面也设有支撑所述石墨舟片两侧边的上槽棒齿槽。
所述侧板的外侧面还设有把手。
优选的，所述的石墨舟片组件由正、负极石墨舟片间隔排列，并通过陶瓷杆将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接成具有间隙的排列；通过将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接的陶瓷杆引出正极舟脚、负极舟脚，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述的正极舟脚、负极舟脚。
较优的，所述石墨舟片组件上部两侧各有一根陶瓷杆和石墨舟片组件下部设有两根陶瓷杆将所述的正极石墨舟片、负极石墨舟片分别间隔串接起来。
较优的，所述的石墨舟片组件下部的一侧的两根陶瓷杆端引出所述的正极舟脚，其连通套在上方两根陶瓷杆上的导电套将所述的正极石墨舟片电性连接起来；所述的石墨舟片组件下部的另一侧的两根陶瓷杆端引出所述的负极舟脚，其连通套在下方两根陶瓷杆上的导电套将所述的负极石墨舟片电性连接起来。
较优的，所述的正、负极舟脚为固定连接于所述下部陶瓷杆端上的石墨U形块，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述U形块凹下的沟槽中。
较优的，所述正、负极石墨舟片的表面设有多个硅片卡点。
本发明将硅片载片装置先分成石英托架和石墨舟片组件来制作，再将石墨舟片组件组装固定于该石英托架中，并使得石墨组件的石墨舟片垂直于石英托架的轴线设置。当该载片装置送入石英炉管时，石墨舟片与石英炉管的轴线垂直，有效地避免了左右两侧石墨舟片对加热炉管热量向中心辐射的阻挡，从而保证处于石墨舟片之间的硅片减反射膜镀膜均匀和工艺的稳定性，以提升PECVD反应炉的产能。另外，还可以使得石墨舟片插入到石英托架的槽棒齿槽内，整个石墨舟片组件的重量通过石英托架来承担，还可以使得相邻石墨舟片之间的间距保持不变。而陶瓷杆起到将串连导电块和将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别间隔串接起来的作用，辉光反应的射频电源正、负极通过正、负石墨舟脚处引入。
附图说明
图1为现有石墨舟放置于石英炉管后的端面投影示意图；
图2为现有石墨舟的局部立体示意图；
图3为本发明石英托架较佳实施例的立体示意图；
图4为石英托架的端面图；
图5为本发明石墨舟组件较佳实施例的立体示意图；
图6为石墨舟组件侧面投影局部放大示意图；
图7为本发明载片装置较佳实施例的立体示意图；
图8为图7所示的载片装置放置于石英炉管后的端面投影示意图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步的说明。
如图3、图4、图5、图7所示，为本发明提出的一种稳定镀膜的载片装置，其包括：石英托架1，组装固定于该石英托架1中的石墨舟片组件2，该石墨组件由垂直所述石英托架1轴线的石墨舟片20间隔连接而成。本实施例中，石英托架1包括两侧板12、连接该两侧板上部的两根上槽棒13，连接该两侧板下部的两根下槽棒14。根据需要，要可以设置一根或多根下槽棒，只要托稳石墨舟片组件2便可。上槽棒13分别设于两侧板12的横向两侧，侧板12的下侧边设有对应卡入石墨舟片组件2的卡槽15。下槽棒14的上表面设有支撑石墨舟片2底边的下槽棒齿槽16。而上槽棒13的内表面也设有支撑石墨舟片21两侧边的上槽棒齿槽17。侧板2的外侧面还设有把手18。所述构成石英托架1的零部件均由石英材料制作。
请结合图5、图6，本实施例中，石墨舟片2组件由正极石墨舟21、负极石墨舟片22间隔排列，并通过陶瓷杆将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接成具有间隙的排列。通过将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接的陶瓷杆引出正极舟脚23、负极舟脚24。石英托架侧板12的下侧边的卡槽15对应卡入该正极舟脚23、负极舟脚23。进一步的石墨舟片组件2上部两侧各有一根陶瓷杆25将所述的正极石墨舟片21间隔串接起来；石墨舟片组件2下部设有两根陶瓷杆26将所述的负极石墨舟片22间隔串接起来。而且所述的正极石墨舟片21与负极石墨舟片22又是间隔穿插设置的。石墨舟片组件2下部的两根陶瓷杆26的左侧端引出所述的正极舟脚23，其连通套在上方两根陶瓷杆25上的导电套27将正极石墨舟片21电性连接起来；石墨舟片组件2下部的两根陶瓷杆26的右侧端引出所述的负极舟脚24，其连通套在下方两根陶瓷杆26上的导电套28将负极石墨舟片22电性连接起来。而且上方的两根陶瓷杆25和套在其上的导电套27只是穿过负极石墨舟片22的上部，不与负极石墨舟片22接触；下方的两根陶瓷杆26和套在其上的导电套28也不与正极石墨舟片21接触。详见图6，与正极舟脚23连接的第一块为正极石墨舟片21而相邻的第二块为负极石墨舟片22，正、负极两石墨舟片21、22 之间的陶瓷杆26上套有绝缘陶瓷套31。石墨舟片2的底边可以插入石英托架1的下槽棒14上表面的下槽棒齿槽16，支撑石墨舟片21两侧边插入上槽棒13的内表面的上槽棒齿槽17，如此可以保证相邻正极石墨舟21与负极石墨舟片22之间的间距，以便插入待加工的硅片。正、负极舟脚设计成石墨U形块23、24，由石墨螺母固定连接于下部陶瓷杆26的两端，石墨螺母还可以防止石墨舟片沿陶瓷杆长度方向串动。石英托架两侧板12的下侧边的卡槽15对应卡入两端的石墨U形块的凹下的沟槽中。
加工时，辉光反应的射频电源正极接入正极舟脚23，辉光反应的射频电源负极接入负极舟脚。由于正极舟脚与正极石墨舟片相互连接，负极舟脚与负极石墨舟片相互连接。所有的正极石墨舟片通过导电块相互连通，所有的负极石墨舟片通过导电块相互连通；所有导电块又通过连接陶瓷杆进行串接。
如图7、图8所示，将稳定镀膜的载片装置30放入石英炉管4时，石墨舟片20与石英炉4的轴线垂直，有效地避免了左右两侧石墨舟片20对加热石英炉管4的热量向中心辐射的阻挡，从而保证处于石墨舟片20之间的硅片3减反射膜镀膜均匀和工艺的稳定性，以提升PECVD反应炉的产能。
以上所述实施例主要是为了说明本发明的创作构思，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干具体结构的变形和改进，即不限硅片的承载数量和载片结构的具体结构形式，只要石墨舟片的排列方式与石英炉管的中轴线方向垂直均属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种稳定镀膜的载片装置，其特征在于，包括石英托架，设于该石英托架中的石墨舟片组件，该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。
2.如权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述的石英托架包括两侧板、连接该两侧板上部的两根上槽棒，连接该两侧板下部的至少一根下槽棒，所述的上槽棒分别设于所述两侧板的横向两侧，所述侧板的下侧边设有对应卡入所述石墨舟片组件的卡槽。
3.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述下槽棒的上表面设有支撑所述石墨舟片底边的下槽棒齿槽。
4.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述上槽棒的内表面设有支撑所述石墨舟片两侧边的上槽棒齿槽。
5.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述侧板的外侧面还设有把手。
6.如权利要求2~5所述的载片装置，其特征在于，所述的石墨舟片组件由正、负极石墨舟片间隔排列，并通过陶瓷杆将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接成具有间隙的排列；通过将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接的陶瓷杆引出正极舟脚、负极舟脚，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述的正极舟脚、负极舟脚。
7.如权利要求6所述的载片装置，其特征在于，所述石墨舟片组件上部两侧各有一根陶瓷杆和石墨舟片组件下部设有两根陶瓷杆将所述的正极石墨舟片、负极石墨舟片分别间隔串接起来。
8.如权利要求7所述的载片装置，其特征在于，所述的石墨舟片组件下部的一侧的两根陶瓷杆端引出所述的正极舟脚，其连通套在上方两根陶瓷杆上的导电套将所述的正极石墨舟片电性连接起来；所述的石墨舟片组件下部的另一侧的两根陶瓷杆端引出所述的负极舟脚，其连通套在下方两根陶瓷杆上的导电套将所述的负极石墨舟片电性连接起来。
9.如权利要求8所述的载片装置，其特征在于，所述的正、负极舟脚为固定连接于所述陶瓷杆端上的U形块，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述U形块凹下的沟槽中。
10.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述正、负极石墨舟片的表面设有多个硅片卡点。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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