CN112397425A - 一种硅片加工用石英舟 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片扩散技术领域，且公开了一种硅片加工用石英舟，包括挡板，所述挡板的数量为两个，两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架，两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆，所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽，两个所述挡板内表面的底部之间固定连接有下支撑杆，所述下支撑杆的顶部开设有大槽和小槽。该硅片加工用石英舟，通过在硅片上下支撑杆的开设两种槽长，两种槽交替分布，在插入方形硅片时，两种槽有利于擦作人方便辨识，避免误插错，此外由于两种槽长适应两种尺寸硅片，大硅片会发生因错位槽长小无法插入，小硅片错位会因槽长大而松动，方便操作人及时发现错误，避免了硅片的错位损害。
Description
技术领域
本发明涉及硅片扩散技术领域，具体为一种硅片加工用石英舟。
背景技术
硅片加工用石英舟，由于其耐高温耐腐蚀的特形，在硅片加工时用是作于硅片扩散的载具。
现有的硅片加工用石英舟，在进行大量硅片扩散时，将硅片放入到石英舟的槽孔中，由于槽孔密集且等间距分布，方形硅片插入时极易发生插入错位，插入的一对槽不在同一水平面上，造成硅片划伤或者边缘受损，影响扩散结果。
除此之外，现有的硅片加工用石英舟，在石英舟上开设的槽孔的槽长相同，只能适应一种尺寸的方形硅片，当需要加工其他常用尺寸时需要重新购买石英舟，降低了生产的经济效益。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种硅片加工用石英舟，具备了避免硅片错位插入以及适应两种硅片尺寸的优点，解决了上述背景技术中提到的问题。
本发明提供如下技术方案：一种硅片加工用石英舟，包括挡板，所述挡板的数量为两个，两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架，两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆，所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽，两个所述挡板内表面的底部之间固定连接有下支撑杆，所述下支撑杆的顶部开设有大槽和小槽。
优选的，所述上支撑杆的数量为两个，所述大卡槽和小卡槽均贯穿上支撑杆，所述大卡槽和小卡槽等间距交替分布在上支撑杆上。
优选的，所述大槽和小槽交替等间距分布在下支撑杆上，所述大槽和小槽的槽宽与大卡槽和小卡槽的槽宽相同，且大槽和小槽与大卡槽和小卡槽位于同一竖直平面上。
优选的，两个所述挡板外表面的中部均固定安装有位于舟挑架下方的通孔。
与现有技术对比，本发明具备以下有益效果：
1、该硅片加工用石英舟，通过在硅片上下支撑杆的开设两种槽长，两种槽交替分布，在插入方形硅片时，两种槽有利于擦作人方便辨识，避免误插错，此外由于两种槽长适应两种尺寸硅片，大硅片会发生因错位槽长小无法插入，小硅片错位会因槽长大而松动，方便操作人及时发现错误，避免了硅片的错位损害。
2、该硅片加工用石英舟，通过在硅片上下支撑杆的顶部开设两种槽长，两种槽长适应两种常用尺寸的硅片，当需要不同尺寸时，石英舟仍旧适用，有效避免了重新购买石英舟，提高生产的经济效益。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明结构图一的俯视图；
图3为本发明结构挡板的左视图；
图4为本发明结构图一的剖视图；
图5为本发明结构上支撑杆的示意图；
图6为本发明结构下支撑杆的示意图。
图中：1、挡板；2、上支撑杆；3、大卡槽；4、小卡槽；5、下支撑杆；6、舟挑架；7、通孔；8、小槽；9、大槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-6，一种硅片加工用石英舟，包括挡板1，挡板1的数量为两个，两个挡板1的外表面均固定安装有舟挑架6，舟挑架6是带有开孔的手把，通过舟叉插入舟挑架6的孔中，挑起石英舟放置在扩散桨上，两个挡板1内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆2，上支撑杆2的顶面开设有大卡槽3和小卡槽4，上支撑杆2的数量为两个，两个上支撑杆2上均开设了大卡槽3和小卡槽4，且都是沿着上支撑杆2的内侧开槽，槽孔贯穿上支撑杆2，两个挡板1内表面的底部之间固定连接有下支撑杆5，下支撑杆5的顶部开设有大槽9和小槽8。
进一步地，上支撑杆2的数量为两个，大卡槽3和小卡槽4均贯穿上支撑杆2，大卡槽3和小卡槽4等间距交替分布在上支撑杆2上。
进一步地，大槽9和小槽8交替等间距分布在下支撑杆5上，大槽9和小槽8的槽宽与大卡槽3和小卡槽4的槽宽相同，且大槽9和小槽8与大卡槽3和小卡槽4位于同一竖直平面上，大槽9和小槽8并没有贯穿下支撑杆5。
进一步地。两个挡板1外表面的中部均固定安装有位于舟挑架6下方的通孔7，通孔7数量为两个，扩散时用于扩大扩散流体与硅片的接触面积。
工作原理：当对小硅片进行扩散时，将石英舟放置在平整的平台上，使用工具将硅片对挡板1之间的上支撑杆2，将硅片沿着小卡槽4轻轻放入，并穿过上支撑杆2上的小卡槽4，继续放入硅片至下支撑杆5中的小槽8中，使用舟叉，穿过舟挑架6，轻轻挑起石英舟并放在扩散桨上；当对大硅片扩散时原理相同。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语″包括″、″包含″或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种硅片加工用石英舟，包括挡板(1)，其特征在于：所述挡板(1)的数量为两个，两个所述挡板(1)的外表面均固定安装有舟挑架(6)，两个所述挡板(1)内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆(2)，所述上支撑杆(2)的顶面开设有大卡槽(3)和小卡槽(4)，两个所述挡板(1)内表面的底部之间固定连接有下支撑杆(5)，所述下支撑杆(5)的顶部开设有大槽(9)和小槽(8)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用石英舟，其特征在于：所述上支撑杆(2)的数量为两个，所述大卡槽(3)和小卡槽(4)均贯穿上支撑杆(2)，所述大卡槽(3)和小卡槽(4)等间距交替分布在上支撑杆(2)上。
3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用石英舟，其特征在于：所述大槽(9)和小槽(8)交替等间距分布在下支撑杆(5)上，所述大槽(9)和小槽(8)的槽宽与大卡槽(3)和小卡槽(4)的槽宽相同，且大槽(9)和小槽(8)与大卡槽(3)和小卡槽(4)位于同一竖直平面上。
4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用石英舟，其特征在于：两个所述挡板(1)外表面的中部均固定安装有位于舟挑架(6)下方的通孔(7)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910751608.0A CN112397425A (zh) | 2019-08-14 | 2019-08-14 | 一种硅片加工用石英舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201910751608.0A CN112397425A (zh) | 2019-08-14 | 2019-08-14 | 一种硅片加工用石英舟 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112397425A true CN112397425A (zh) | 2021-02-23 |
Family
ID=74602704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910751608.0A Pending CN112397425A (zh) | 2019-08-14 | 2019-08-14 | 一种硅片加工用石英舟 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN112397425A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115116910A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-09-27 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 通用横式石英舟及同时对不同规格硅片的氧化热处理方法 |
| WO2023240811A1 (zh) * | 2022-06-15 | 2023-12-21 | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 | 石英舟 |
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2019
- 2019-08-14 CN CN201910751608.0A patent/CN112397425A/zh active Pending
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| WO2023240811A1 (zh) * | 2022-06-15 | 2023-12-21 | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 | 石英舟 |
| CN115116910A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-09-27 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 通用横式石英舟及同时对不同规格硅片的氧化热处理方法 |
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Legal Events
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