CN213583726U - 一种可调节硅片石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可调节硅片石英舟，包括底板、侧托板、活动杆、第一分隔条和第二分隔条；所述底板中部设有通槽，底板两侧设有第一转动轴，所述活动杆底端与第一转动轴两端铰接，所述侧托板连接于两个所述活动杆之间，活动杆顶端设有固定块，所述第一分隔条通过第二转动轴与固定块贯穿连接，第二转动轴端部设有第一拧块，所述第二分隔条通过第三转动轴连接于所述通槽上，第三转动轴端部设有第二拧块，所述第一分隔条和第二分隔条上均设有分隔槽。本实用新型可适用于不同规格的硅片，降低生产成本，避免损坏硅片表面，保证后续使用质量。

Description

一种可调节硅片石英舟

技术领域

本实用新型涉及石英舟技术领域，具体涉及一种可调节硅片石英舟。

背景技术

在硅片的生产加工过程中，需要使用专用的清洗剂对硅片进行清洗操作，以确保硅片表面的洁净度。

现有的对硅片进行清洗的操作多为将硅片放置在石英舟上，然后将整个石英舟浸入液态的清洗剂中进行清洗。但是现有的硅片石英舟均为一体式的结构体，单个硅片石英舟只能对特定大小的硅片进行装载，因此不同尺寸规格的硅片需要对应多种硅片石英舟，这样无疑会提高成本，而且一体式的结构在取用时也极其不方便，可能会出现损伤硅片表面的情况，给后续使用造成质量隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种可调节硅片石英舟，适用于不同规格的硅片，降低生产成本，避免损坏硅片表面，保证后续使用质量。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：

一种可调节硅片石英舟，包括底板、侧托板、活动杆、第一分隔条和第二分隔条；所述底板中部设有通槽，底板两侧设有第一转动轴，所述活动杆底端与第一转动轴两端铰接，所述侧托板连接于两个所述活动杆之间，活动杆顶端设有固定块，所述第一分隔条通过第二转动轴与固定块贯穿连接，第二转动轴端部设有第一拧块，所述第二分隔条通过第三转动轴连接于所述通槽上，第三转动轴端部设有第二拧块，所述第一分隔条和第二分隔条上均设有分隔槽。

进一步的，所述第一分隔条的数量具体为两个，呈对称状设置于所述底板两侧。

进一步的，所述第一分隔条和第二分隔条均为矩形，所述分隔槽具体包括第一分隔槽、第二分隔槽、第三分隔槽和第四分隔槽，第一分隔槽、第二分隔槽、第三分隔槽和第四分隔槽分别设于所述第一分隔条和所述第二分隔条的四侧面上；所述第一分隔槽、第二分隔槽、第三分隔槽和第四分隔槽的数量均为若干个，具体呈直线阵列状设置。

进一步的，所述第二分隔条上的分隔槽与所述第一分隔条上的分隔槽的位置相对应。

本实用新型的有益效果为：一种可调节硅片石英舟，可适用于不同规格的硅片，降低生产成本，避免损坏硅片表面，保证后续使用质量。

附图说明

图1为本实用新型一种可调节硅片石英舟的整体结构示意图；

图2为图1中第二分隔条的局部结构第一视角图；

图3为图2中第二分隔条的局部结构第二视角图；

图中：1、底板；11、通槽；2、侧托板；3、第一转动轴；4、活动杆；5、固定块；6、第一分隔条；7、第二分隔条；8、第二转动轴；9、第一拧块；10、分隔槽；100、第一分隔槽；101、第二分隔槽；102、第三分隔槽；103、第四分隔槽；12、第三转动轴；13、第二拧块。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参考图1至图3，一种可调节硅片石英舟，包括底板1、侧托板2、活动杆4、第一分隔条6和第二分隔条7；所述底板1中部设有通槽11，底板1两侧设有第一转动轴3，所述活动杆4底端与第一转动轴3两端铰接，所述侧托板2连接于两个所述活动杆4之间，活动杆4顶端设有固定块5，所述第一分隔条6通过第二转动轴8与固定块5贯穿连接，第二转动轴8端部设有第一拧块9，所述第二分隔条7通过第三转动轴12连接于所述通槽11上，第三转动轴12端部设有第二拧块13，所述第一分隔条6和第二分隔条7上均设有分隔槽10。

所述第一分隔条6的数量具体为两个，呈对称状设置于所述底板1两侧。

所述第一分隔条6和第二分隔条7均为矩形，所述分隔槽10具体包括第一分隔槽100、第二分隔槽101、第三分隔槽102和第四分隔槽103，第一分隔槽100、第二分隔槽101、第三分隔槽102和第四分隔槽103分别设于所述第一分隔条6和所述第二分隔条7的四侧面上；所述第一分隔槽100、第二分隔槽101、第三分隔槽102和第四分隔槽103的数量均为若干个，具体呈直线阵列状设置。

所述第二分隔条7上的分隔槽与所述第一分隔条6上的分隔槽10的位置相对应；所述第一分隔槽100、第二分隔槽101、第三分隔槽102和第四分隔槽103用于适应不同规格的硅片。

本实用新型的工作原理为：在放置硅片之前，根据硅片的实际尺寸规格调节两侧活动杆4的位置，从而使两个侧托板2之间的距离与硅片的尺寸相符，具体操作方式是人手持固定块5或者活动杆4绕第一转动轴3转动，从而使第一分隔条6和侧托板2整体与底板1的角度发生改变，从而适应硅片的尺寸，调节好后，再根据硅片的厚度尺寸调整分隔槽10的位置，具体操作是人工把住第一拧块9绕第二转动轴8转动，从而带动第一分隔条6转动，直至合适的分隔槽10与侧托板2相垂直，第一分隔条6的位置调整好后，按照上述方式将第二分隔条7上的分隔槽10调整至与第一分隔条6上正对的分隔槽10的规格一致即可，至此完成对整个石英舟的调节，此时可依次将硅片放置在分隔槽10上。

上述实施例用于对本实用新型作进一步的说明，但并不将本实用新型局限于这些具体实施方式。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种可调节硅片石英舟，其特征在于：包括底板(1)、侧托板(2)、活动杆(4)、第一分隔条(6)和第二分隔条(7)；所述底板(1)中部设有通槽(11)，底板(1)两侧设有第一转动轴(3)，所述活动杆(4)底端与第一转动轴(3)两端铰接，所述侧托板(2)连接于两个所述活动杆(4)之间，活动杆(4)顶端设有固定块(5)，所述第一分隔条(6)通过第二转动轴(8)与固定块(5)贯穿连接，第二转动轴(8)端部设有第一拧块(9)，所述第二分隔条(7)通过第三转动轴(12)连接于所述通槽(11)上，第三转动轴(12)端部设有第二拧块(13)，所述第一分隔条(6)和第二分隔条(7)上均设有分隔槽(10)。

2.根据权利要求1所述的一种可调节硅片石英舟，其特征在于：所述第一分隔条(6)的数量具体为两个，呈对称状设置于所述底板(1)两侧。

3.根据权利要求1所述的一种可调节硅片石英舟，其特征在于：所述第一分隔条(6)和第二分隔条(7)均为矩形，所述分隔槽(10)具体包括第一分隔槽(100)、第二分隔槽(101)、第三分隔槽(102)和第四分隔槽(103)，第一分隔槽(100)、第二分隔槽(101)、第三分隔槽(102)和第四分隔槽(103)分别设于所述第一分隔条(6)和所述第二分隔条(7)的四侧面上；所述第一分隔槽(100)、第二分隔槽(101)、第三分隔槽(102)和第四分隔槽(103)的数量均为若干个，具体呈直线阵列状设置。

4.根据权利要求1所述的一种可调节硅片石英舟，其特征在于：所述第二分隔条(7)上的分隔槽与所述第一分隔条(6)上的分隔槽(10)的位置相对应。

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