CN201264318Y - 硅片定位装置 - Google Patents

Abstract

硅片定位装置，具有一工作平面，其上设有一防震垫，和一接纳组件，它由两根支撑杆、两根升降杆，两根定位轴、两副夹件和四只工件座构成；支撑杆和升降杆对称状、竖直向设在防震垫四侧的工作平面上，两根定位轴分别搁置在支撑杆上，两副夹件分别搁置在升降杆上；所述支撑杆两端搭接在左右夹件上，由夹件上的定位件作松紧式固定；四只工件座以每二只为一作业单元，呈相向设置，每只工件座上具有所述整体件的接纳槽，紧固件和提柄。本实用新型在单晶锭被切割后，以两只工件座为一作业单元，即可接纳所述从工件夹具卸下的整体件，然后，方便地将整体件依次移至清洗槽、脱胶槽进行清洗、脱胶作业，并确保硅片在此过程中不受损伤，有利于提高成品率。

Description

硅片定位装置

【技术领域】

本实用新型属于硅片加工领域，尤其属于一种多线切割机切割硅单晶锭后，至清洗、脱胶、分片阶段使用的硅片定位装置。

【背景技术】

在硅片加工中，硅单晶锭固定在待加工工件夹具上，经多线切割机切割后移至清洗槽清洗，然后，再换至脱胶槽进行脱胶、分片后即得分离状态的硅片。

固定待加工工件夹具的结构如图1所示：工件即硅单晶锭6(一般为左右两块)粘接在切割垫块2(通常为玻璃制品)上，切割垫块2又粘接在夹具的连接件5上，使硅单晶锭6、切割垫块2和连接件5构成一个粘接的整体件。所述连接件5是夹具的一个部件，它与夹具的连接座7分体，两者的接触面为平面，但前后向具有燕尾槽71，由紧固螺栓3经紧固螺栓孔4及连接件5上对应的连接孔将两者紧固在一起。切割后，松开紧固螺栓3(具有多只)即可卸下所述的整体件。此时，由于硅单晶锭6，以及部分切割垫块2已经被切割，因此，所述整体件中的这两部分实际上是非常脆弱的，一是被切割后的硅片非常薄，二是所有硅片及被切割部分的切割垫块2仅以粘胶粘连在连接片5上，稍不小心就将导致硅片损坏。现有技术存在的问题是：整体件被卸下后，只能依靠一根定位轴穿过连接片5上的定位通孔1后进行移动，而在整个清洗、脱胶过程中，只能依靠人工用手指抵着连接件2，依次进行清洗、脱胶作业，尽管小心仔细、慎之又慎，但还是会时常造成对硅片的损伤，费工费时、成品率低。

【发明内容】

为解决现有技术存在的上述问题，本实用新型旨在提供一种硅片定位装置，采用该装置后，能够方便地将所述整体件依次移至清洗槽、脱胶槽，进行清洗、脱胶作业，又不损伤硅片，成品率高。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：这种硅片定位装置的结构要点是：具有，

一工作平面，由支架支撑而成，工作平面上设有一块水平状的防震垫；

一接纳组件，由两根支撑杆、两根升降杆，两根定位轴、两付夹件和四只工件座构成；支撑杆和升降杆对称状、竖直向设在防震垫四侧的工作平面上，两根定位轴分别搁置在支撑杆上，两付夹件分别搁置在升降杆上；所述支撑杆两端搭接在左右夹件上，由夹件上的定位件作松紧式固定；四只工件座以每二只为一作业单元，呈相向设置，每只工件座上具有所述整体件的接纳槽，紧固件和提柄。

如上所述的硅片定位装置，其结构要点是：每根升降杆由一控制机构控制升降，控制机构由设置在支架上的拉伸杆及其拉伸弹簧组成，拉伸杆端部与升降杆垂直相抵，拉伸杆水平伸缩与升降杆的上下升降相对应。

如上所述的硅片定位装置，其结构要点是：支架搁置在一底盘上，底盘的上平面为液体槽，底部设置滚动轮。

如上所述的硅片定位装置，其结构要点是：所述底盘的液体槽至外界有一可控的排液通道。

如上所述的硅片定位装置，其结构要点是：每只工件座的两侧设有竖直插槽。

有益效果：现有技术还未见有公开报道和使用。本实用新型在单晶锭被切割后，以两只工件座为一作业单元，即可接纳所述从工件夹具卸下的整体件，然后，通过工件座上的提柄，方便地将整体件依次移至清洗槽、脱胶槽进行清洗、脱胶作业，并利用装置结构，结合整体件以粘胶粘接的特点，确保硅片在整个清洗、脱胶过程不受损伤，使成品率大大提高。

【附图说明】

图1为现有技术中固定工件的夹具结构的立体示意图，该图主要用于说明所述整体件的结构。

图2为本实用新型一个实施例的结构示意图。

图1中：定位通孔1，切割垫块2，紧固螺栓3，紧固螺栓孔4，连接片5，工件6，连接座7，燕尾槽71。

图2中：工件座10，下提柄101，上提柄102，固定螺孔103，固定板104，水平插槽105，竖直插槽106。夹件20，合页201，轴销202，升降杆203，合页销204，定位轴205，支撑杆206，悬挂处207。底盘30，溢流孔301，溢流管302。支架40。拉伸杆50，弹簧501，弹簧座502，拉伸杆端部503。防震垫60，

【具体实施方式】

参见图2。底盘30位于最下方，其底面设有四只转向轮，方便移动。一根由阀门控制的溢流管302贴置在底面上。底盘30的上部形成一个容置槽，容置槽的作用主要起接液用，液体经溢流孔301、溢流管302与外界相通。

底盘30的容置槽面也是支架40的支撑平面。支架40实际上是一个柜形的框架式结构，上部形成一个水平状的工作平面，工作平面上平铺一层海棉防震垫50。

在工作平面的四侧，竖直向设置所述整体件的接纳组件。接纳组件由两根支撑杆206、两根升降杆203，两根定位轴205、两付夹件20和四只工件座10构成(图中左侧没画出升降杆203及其相关的部件，因为它与右侧为对称式结构，故作了省略)。支撑杆206呈前后向固定设置，升降杆203呈左右向对称、竖直向设置。两根定位轴205中部分别搁置在固定支撑杆206上，两端搭接在左右夹件20上。每付夹件20搁置在升降杆203上，夹件20上设有起定位作用的合页201，合页201绕合页销204可翻转，当定位轴205端部搭接后，轴销202上的旋件可对定位轴205作松紧式固定。

四只工件座10以每二只为一作业单元，呈相向设置，每只工件座10上具有所述整体件的接纳槽，紧固件和提柄。

为加深理解，下面结合附图，说明本装置的使用过程：

所述整体件需要从图1的夹具卸下时，首先将两根定位轴205穿在连接片5的定位通孔1上，旋松紧固螺栓3卸下整体件，然后依靠定位轴205将整体件移到接纳组件上。

移到接纳组件上的方法是：先将定位轴205搁置在支撑杆206上，并使定位轴205的两端分别搁置在两侧的夹件20上，通过夹件20上的合页201固定定位轴205。此时，所述整体件则被定位在悬挂处207上，且工件位于最低处。然后，将两只工件座10固定在连接片5上，即：将图2中的工件座10径向(绕图中中线)旋转180度后，移至所述整体件，将连接片5两侧插入水平插槽105内，用紧固件将固定板104固定在连接片5上。两根整体件固定好后待用。

当需要将其中一根整体件移到清洗槽清洗时，先拉动伸缩杆50，使拉伸杆端部503脱离升降杆203，升降杆203失去拉伸杆端部503的抵压力后下降，然后，旋松轴销202上的紧固件，卸下夹件20，由此，两手分别握住工件座10的上提柄102，即可抽出所述整体件，并将其移至清洗槽内进行清洗。防震垫50的作用是防止整体件中部分散片，因粘接不牢下落而损坏硅片。

清洗后，再两手分别握住工件座10的上提柄102，移至脱胶槽内进行脱胶，此时，应让下提柄101朝上。脱胶时，为防止脱胶后的硅片左右翻倒，利用工件座10两侧的竖直插槽106，插入两块挡板，档板之间再搁置几根挡条，使脱胶后的硅片在挡条作用下保持竖直状态。

脱胶后，双手分别握住工件座10的下提柄101，取出工件座10即可。

当需要将另一根整体件移到清洗槽清洗时，先使已拆卸的升降杆203、夹件20复位，再按上述程序操作，完成清洗、脱胶作业。

Claims (5)

1、一种硅片定位装置，其特征是：它具有：

一工作平面，由支架(40)支撑而成，工作平面上设有一块水平状的防震垫(60)；

一接纳组件，由两根支撑杆(206)、两根升降杆(203)，两根定位轴(205)、两付夹件(20)和四只工件座(10)构成；支撑杆(206)和升降杆(203)对称状、竖直向设在防震垫(60)四侧的工作平面上，两根定位轴(205)分别搁置在支撑杆(206)上，两付夹件(20)分别搁置在升降杆(203)上；所述支撑杆(206)两端搭接在左右夹件(20)上，由夹件(20)上的定位件作松紧式固定；四只工件座(10)以每二只为一作业单元，呈相向设置，每只工件座(10)上具有所述整体件的接纳槽，紧固件和提柄。

2、如权利要求1所述的硅片定位装置，其特征是：每根升降杆(203)由一控制机构控制升降，控制机构由设置在支架(40)上的拉伸杆(203)及其拉伸弹簧(501)组成，拉伸杆端部(503)与升降杆(203)垂直相抵。

3、如权利要求1或2所述的硅片定位装置，其特征是：支架(40)搁置在一底盘(30)上，底盘(30)的上平面为液体槽，底部设置滚动轮。

4、如权利要求3所述的硅片定位装置，其特征是：所述底盘(30)的液体槽至外界有一可控的排液通道。

5、如权利要求1所述的硅片定位装置，其特征是：每只工件座(10)的两侧设有竖直插槽(106)。

Images