CN213053309U - 一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，包括右安装板、螺杆、工作桌和左安装板,所述工作桌的底面左右两部分别垂直固定有左支撑板和右支撑板，且工作桌的中心开设有第二通孔,并且第二通孔内套置有螺杆，同时螺杆的上端设置有上连接头，且上连接头转动连接在加工台的底部内，所述工作桌的左部中间开设有左凹槽，且左凹槽内设置有左安装板，并且工作桌的右部中间开设有右凹槽，同时右凹槽内安装有右安装板。该晶圆激光切割用晶圆片固定结构，结构设置合理，左安装板和右安装板上均安装有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸,方便提高或是降低下安装板的高度位置，方便夹持住工件后翻转活动，更方便实用。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构。
背景技术
矽晶片是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，矽晶圆按其直径分为4寸、5寸、6寸、8寸、12寸，晶圆越大，同一圆片上可生产的芯片就多，可以降低成本，同时所要求材料技术和生产技术也更高，12寸晶圆主要用于高端产品，现有技术的切割结构并不方便固定住晶圆，导致切割不稳定，容易发生歪斜从而导致切割失败，过多浪费原材料，提高生产成本。
为了解决以上所提出的晶圆固定结构所存在的缺陷和不足，结构设置合理，左安装板和右安装板上均安装有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸,方便提高或是降低下安装板的高度位置，方便夹持住工件后翻转活动，更方便实用，从而提供一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的晶圆片固定结构的切割结构并不方便固定住晶圆，导致切割不稳定，容易发生歪斜从而导致切割失败，过多浪费原材料，提高生产成本的缺陷，提供一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构。所述一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构具有结构设置合理，左安装板和右安装板上均安装有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸,方便提高或是降低下安装板的高度位置，方便夹持住工件后翻转活动，更方便实用等特点。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，包括右安装板、螺杆、工作桌和左安装板,所述工作桌的底面左右两部分别垂直固定有左支撑板和右支撑板，且工作桌的中心开设有第二通孔,并且第二通孔内套置有螺杆，同时螺杆的上端设置有上连接头，且上连接头转动连接在加工台的底部内；
所述工作桌的左部中间开设有左凹槽，且左凹槽内设置有左安装板，并且工作桌的右部中间开设有右凹槽，同时右凹槽内安装有右安装板。
优选的，所述工作桌的正下方平行设置有底板，且底板的中心开设有第一通孔，并且螺杆的下部杆体套置有第一通孔中，同时底板的上端面左右两部均通过多组螺栓安装有底座。
优选的，所述左安装板上安装有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸，且第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的底端固定在下方的底座上，并且第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的上端固定在下安装板的底面，同时左安装板的左部内安装有两组连接杆。
优选的，所述左安装板和右安装板关于工作桌的中心左右对称设置，且左边的第一伸缩气缸、第二伸缩气缸与右边的第一伸缩气缸、第二伸缩气缸的上端均固定在各自上方的下安装板的底面，并且下安装板的上端面安装有滑轨,滑轨上滑动连接有滑板，同时左右两边的滑板均可左右水平移动活动。
优选的，所述滑板的上端面固定有后安装板，且后安装板的前端固定在电机的后侧面上，并且电机的前端转动连接有夹头，同时夹头的前侧面开设有夹口。
优选的，所述工作桌的中部下方安装有涡轮，且螺杆的杆体通过螺纹连接在涡轮内，并且涡轮的右部设置有蜗杆,同时蜗杆的中心转动活动有转轴，且转轴的外端头上安装有手轮。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.该晶圆激光切割用晶圆片固定结构，整体结构设置合理，本设备中工作桌的左右两部分别对称设置有左安装板和右安装板,左安装板和右安装板上均安装有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸,第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的上端顶在下安装板下，方便提高或是降低下安装板的高度位置；
2.滑板滑动连接在滑轨上，以便进行前后移动活动，同时夹头转动连接在电机的前端，以及夹头的前侧面设置有夹口，方便夹持住工件后翻转活动，更方便实用；
3.螺杆的杆体上安装有涡轮和蜗杆，方便转动蜗杆来转动涡轮,涡轮带动螺杆进行升降活动，从而可以使得提高或是降低加工台的位置，从而可以同步提高或是降低工件的高度。
附图说明
图1为本实用新型结构的正视示意图；
图2为本实用新型结构的俯视示意图；
图3为本实用新型结构的剖面结构示意图；
图4为本实用新型结构的螺杆安装结构示意图；
图5为本实用新型结构的左安装板结构示意图。
图中标号：1、左支撑板；2、第一伸缩气缸；3、底座；4、第二伸缩气缸；5、底板；6、第一通孔；7、右支撑板；8、右安装板；9、右凹槽；10、第二通孔；11、螺杆；12、上连接头；13、加工台；14、滑板；15、滑轨；16、下安装板；17、工作桌；18、左凹槽；19、连接杆；20、左安装板；21、后安装板；22、电机；23、夹头；24、夹口；25、转轴；26、手轮；27、蜗杆；28、涡轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，包括左支撑板1、第一伸缩气缸2、底座3、第二伸缩气缸4、底板5、第一通孔6、右支撑板7、右安装板8、右凹槽9、第二通孔10、螺杆11、上连接头12、加工台13、滑板14、滑轨15、下安装板16、工作桌17、左凹槽18、连接杆19、左安装板20、后安装板21、电机22、夹头23、夹口24、转轴25、手轮26、蜗杆27和涡轮28,工作桌17的底面左右两部分别垂直固定有左支撑板1和右支撑板7，且工作桌17的中心开设有第二通孔10,并且第二通孔10内套置有螺杆11，同时螺杆11的上端设置有上连接头12，且上连接头12转动连接在加工台13的底部内，工作桌17的左部中间开设有左凹槽18，且左凹槽18内设置有左安装板20，并且工作桌17的右部中间开设有右凹槽9，同时右凹槽9内安装有右安装板8，左安装板20上安装有第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4，且第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4的底端固定在下方的底座3上，并且第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4的上端固定在下安装板16的底面，同时左安装板20的左部内安装有两组连接杆19，左安装板20和右安装板8关于工作桌17的中心左右对称设置，且左边的第一伸缩气缸2、第二伸缩气缸4与右边的第一伸缩气缸2、第二伸缩气缸4的上端均固定在各自上方的下安装板16的底面，并且下安装板16的上端面安装有滑轨15,滑轨15上滑动连接有滑板14，同时左右两边的滑板14均可左右水平移动活动，滑板14的上端面固定有后安装板21，且后安装板21的前端固定在电机22的后侧面上，并且电机22的前端转动连接有夹头23，同时夹头23的前侧面开设有夹口24，工作桌17的正下方平行设置有底板5，且底板5的中心开设有第一通孔6，并且螺杆11的下部杆体套置有第一通孔6中，同时底板5的上端面左右两部均通过多组螺栓安装有底座3，工作桌17的中部下方安装有涡轮28，且螺杆11的杆体通过螺纹连接在涡轮28内，并且涡轮28的右部设置有蜗杆27,同时蜗杆27的中心转动活动有转轴25，且转轴25的外端头上安装有手轮26。
如图1-5所示，图中展示本设备的整体结构设置，本设备中工作桌17的左右两部分别对称设置有左安装板20和右安装板8,左安装板20和右安装板8上均安装有第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4,第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4的上端顶在下安装板16下，方便提高或是降低下安装板16的高度位置；
滑板14滑动连接在滑轨15上，以便进行前后移动活动，同时夹头23转动连接在电机22的前端，以及夹头23的前侧面设置有夹口24，方便夹持住工件后翻转活动，更方便实用；
螺杆11的杆体上安装有涡轮28和蜗杆27，方便转动蜗杆27来转动涡轮28,涡轮28带动螺杆11进行升降活动，从而可以使得提高或是降低加工台13的位置，从而可以同步提高或是降低工件的高度。
工作原理：在使用该晶圆激光切割用晶圆片固定结构时，将工件放置在加工台13的上端面，根据工件的大小，可以通过顺时针转动手轮26，带动转轴25转动蜗杆27，从而蜗杆27转动涡轮28，带动中心的螺杆11一起上移，以便提高加工台13的高度位置，之后利用工作桌17左部内的左安装板20上的第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4提高下安装板16的高度，利用工作桌17右部内的右安装板8上的第一伸缩气缸2和第二伸缩气缸4同步提高下安装板16的高度，在根据工件的宽度，滑板14在滑轨15上水平移动，带动夹头23左右水平移动，以便通过左右两边的夹头23将工件夹持住，方便稳定切割工件，同时夹头23在电机22上方便转动活动，以便带动工件翻转，切割更便利。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，包括右安装板（8）、螺杆（11）、工作桌（17）和左安装板（20）,其特征在于：所述工作桌（17）的底面左右两部分别垂直固定有左支撑板（1）和右支撑板（7），且工作桌（17）的中心开设有第二通孔（10）,并且第二通孔（10）内套置有螺杆（11），同时螺杆（11）的上端设置有上连接头（12），且上连接头（12）转动连接在加工台（13）的底部内；
所述工作桌（17）的左部中间开设有左凹槽（18），且左凹槽（18）内设置有左安装板（20），并且工作桌（17）的右部中间开设有右凹槽（9），同时右凹槽（9）内安装有右安装板（8）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述工作桌（17）的正下方平行设置有底板（5），且底板（5）的中心开设有第一通孔（6），并且螺杆（11）的下部杆体套置有第一通孔（6）中，同时底板（5）的上端面左右两部均通过多组螺栓安装有底座（3）。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述左安装板（20）上安装有第一伸缩气缸（2）和第二伸缩气缸（4），且第一伸缩气缸（2）和第二伸缩气缸（4）的底端固定在下方的底座（3）上，并且第一伸缩气缸（2）和第二伸缩气缸（4）的上端固定在下安装板（16）的底面，同时左安装板（20）的左部内安装有两组连接杆（19）。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述左安装板（20）和右安装板（8）关于工作桌（17）的中心左右对称设置，且左边的第一伸缩气缸（2）、第二伸缩气缸（4）与右边的第一伸缩气缸（2）、第二伸缩气缸（4）的上端均固定在各自上方的下安装板（16）的底面，并且下安装板（16）的上端面安装有滑轨（15）,滑轨（15）上滑动连接有滑板（14），同时左右两边的滑板（14）均可左右水平移动活动。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述滑板（14）的上端面固定有后安装板（21），且后安装板（21）的前端固定在电机（22）的后侧面上，并且电机（22）的前端转动连接有夹头（23），同时夹头（23）的前侧面开设有夹口（24）。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述工作桌（17）的中部下方安装有涡轮（28），且螺杆（11）的杆体通过螺纹连接在涡轮（28）内，并且涡轮（28）的右部设置有蜗杆（27）,同时蜗杆（27）的中心转动活动有转轴（25），且转轴（25）的外端头上安装有手轮（26）。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114236337A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-03-25 | 江苏威森美微电子有限公司 | 一种晶圆测试设备 |
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2020
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Cited By (2)
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