CN218123355U - 一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆几何形貌检测技术领域，具体为一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在机箱内部的滑动底座，滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，机箱内滑动底座一侧设置有用于检测晶圆片的第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头，晶圆片一侧设置有与第二摄像头相对应的用于照明的光源杆，第一摄像头设置在晶圆片正前方，第三摄像头设置在晶圆片右下方。本实用新型第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境。

Description

一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪

技术领域

本实用新型涉及晶圆几何形貌检测仪，特别是涉及一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，属于晶圆几何形貌检测技术领域。

背景技术

晶圆的表面形貌及关键尺寸对后续加工以及成品半导体器件的性能有着重要的影响，而形貌和关键尺寸测量是后续加工前必不可少的步骤，需要对缺口、倒角特征、崩边缺陷进行检测，而如果在对晶圆进行加工时未能对晶圆上的缺口、倒角特征以及缺陷发现在后续制备的高温过程中成为有害沾污物的聚集地并产生颗粒脱落，而现在目前工厂内大多使用的检测设备过于简陋，例如：在对晶圆进行检测时使用的检测设备过少不能对晶圆体进行全方位的检测导致缺陷未能及时的发现从而事故发生。

因此，亟需对晶圆几何形貌检测仪进行改进，以解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境。

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在所述机箱内部的滑动底座，所述滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，所述机箱内所述滑动底座一侧设置有用于检测所述晶圆片的第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头，所述晶圆片一侧设置有与所述第二摄像头相对应的用于照明的光源杆，所述第一摄像头设置在所述晶圆片正前方，所述第三摄像头设置在所述晶圆片右下方。

优选的，所述机箱内部底部固定设置有固定底座，所述第一摄像头、所述第二摄像头、所述第三摄像头、所述光源杆以及所述滑动底座均固定设置在所述固定底座上端。

优选的，所述移动底座的一侧通过连接板连接有用于稳固所述移动底座的传送链，所述连接板与所述移动底座固定连接。

优选的，所述移动底座上端通过电动伸缩杆转动连接有用于所述晶圆片放置的转动吸盘，所述滑动底座远离所述第一摄像头的一端设置有托盘，所述托盘下端通过托盘连接杆与所述固定底座上端固定连接。

优选的，所述机箱外侧一端固定设置有显示器，所述第一摄像头、所述第二摄像头以及所述第三摄像头均与所述显示器电性连接。

优选的，所述机箱一侧所述显示器同侧面固定设置有操作台，所述托盘设置在所述操作台上，所述转动吸盘与所述操作台上端滑动连接且靠近所述机箱开口处。

优选的，所述机箱内部设置有若干个用于提供照明的照明灯，所述第一摄像头、所述第二摄像头、所述第三摄像头、所述显示器、所述电动滑轮、所述电动伸缩杆、所述转动吸盘、所述照明灯以及所述光源杆均与外部电源电性连接。

本实用新型至少具备以下有益效果：

1、第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境，多个检测设备对晶圆体进行检测能够大大减小缺陷的遗漏更好的为后续工作提供良好的基础。

2、移动底座上端通过电动伸缩杆转动连接有用于晶圆片放置的转动吸盘，能够用于在检测中对晶圆片的高度进行调节，实现在晶圆片圆心与吸盘圆心未对准的情况下，对晶圆片进行二次定位与放置的功能大大提高了其检测精准度。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型的外部整体立体示意图；

图2为本实用新型的机箱内部晶圆片未放置示意图；

图3为本实用新型的机箱内部晶圆片放置示意图；

图4为本实用新型的机箱内部晶圆片放置补充示意图；

图5为本实用新型的电动滑轮连接示意图；

图6为本实用新型的机箱内部照明灯示意图。

图中，1-机箱，2-显示器，3-操作台，4-托盘，5-转动吸盘，6-固定底座，7-托盘连接杆，8-移动底座，9-连接板，10-传送链，11-滑动底座，12-第一摄像头，13-第二摄像头，14-第三摄像头，15-光源杆，16-晶圆片，17-电动滑轮，18-电动伸缩杆，19-照明灯。

具体实施方式

以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，借此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。

如图1-图6所示，本实施例提供的新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，机箱1以及设置在机箱1内部的滑动底座11，滑动底座11上端通过电动滑轮17滑动连接有用于移动晶圆片16的移动底座8，通过电动滑轮17能够将移动底座8进行横向位置移动，机箱1内滑动底座11一侧设置有用于检测晶圆片16的第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14，晶圆片16一侧设置有与第二摄像头13相对应的用于照明的光源杆15，第一摄像头12设置在晶圆片16正前方，第三摄像头14设置在晶圆片16右下方，通过电动滑轮17将晶圆片16进行移动使得晶圆片16能够移动至摄像头检测范围内进行检测，第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14的设置位置不同能够对晶圆片16进行全方位的检测同时光源杆15能够为摄像头提供更好的检测环境，机箱1内部底部固定设置有固定底座6，第一摄像头12、第二摄像头13、第三摄像头14、光源杆15以及滑动底座11均固定设置在固定底座6上端，移动底座8的一侧通过连接板9连接有用于稳固移动底座8的传送链10，连接板9与移动底座8固定连接，通过传送链10能够为移动底座8在进行移动时提供稳定作用避免移动时晃动幅度过大导致晶圆片掉落损坏，移动底座8上端通过电动伸缩杆18转动连接有用于晶圆片16放置的转动吸盘5，能够用于在检测中对晶圆片16的高度进行调节，实现在晶圆片16圆心与吸盘圆心未对准的情况下，对晶圆片16进行二次定位与放置的功能大大提高了其检测精准度，同时可使转动吸盘5进行转动能够使摄像头对晶圆片16进行转动检测，滑动底座11远离第一摄像头12的一端设置有托盘4，托盘4下端通过托盘连接杆7与固定底座6上端固定连接，托盘4能够将晶圆片16稳固在转动吸盘5上避免掉落损坏，机箱1外侧一端固定设置有显示器2，第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14均与显示器2电性连接，显示器2能够通过微型电脑处理图像后观察与记录晶圆片16的状况，机箱1一侧显示器2同侧面固定设置有操作台3，托盘4设置在操作台3上，转动吸盘5与操作台3上端滑动连接且靠近机箱1开口处，机箱1内部设置有若干个用于提供照明的照明灯19，照明灯19可以为机箱1内部提供更加全面的照明而不同于光源杆15，光源杆15能够为晶圆体提供更加精准的照明，第一摄像头12、第二摄像头13、第三摄像头14、显示器2、电动滑轮17、电动伸缩杆18、转动吸盘5，照明灯19以及光源杆15均与外部电源电性连接，能够为用电设备提供电力支持。

在本实施例中，如图1-2所示，机箱1外侧一端固定设置有显示器2，第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14均与显示器2电性连接，显示器2能够通过微型电脑处理图像后观察与记录晶圆片16的状况，机箱1一侧显示器2同侧面固定设置有操作台3，托盘4设置在操作台3上，转动吸盘5与操作台3上端滑动连接且靠近机箱1开口处。

在本实施例中，如图2-6所示，机箱1以及设置在机箱1内部的滑动底座11，滑动底座11上端通过电动滑轮17滑动连接有用于移动晶圆片16的移动底座8，通过电动滑轮17能够将移动底座8进行横向位置移动，机箱1内滑动底座11一侧设置有用于检测晶圆片16的第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14，晶圆片16一侧设置有与第二摄像头13相对应的用于照明的光源杆15，第一摄像头12设置在晶圆片16正前方，第三摄像头14设置在晶圆片16右下方，通过电动滑轮17将晶圆片16进行移动使得晶圆片16能够移动至摄像头检测范围内进行检测，第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14的设置位置不同能够对晶圆片16进行全方位的检测同时光源杆15能够为摄像头提供更好的检测环境，机箱1内部底部固定设置有固定底座6，第一摄像头12、第二摄像头13、第三摄像头14、光源杆15以及滑动底座11均固定设置在固定底座6上端，移动底座8的一侧通过连接板9连接有用于稳固移动底座8的传送链10，连接板9与移动底座8固定连接，通过传送链10能够为移动底座8在进行移动时提供稳定作用避免移动时晃动幅度过大导致晶圆片掉落损坏，移动底座8上端通过电动伸缩杆18转动连接有用于晶圆片16放置的转动吸盘5，能够用于在检测中对晶圆片16的高度进行调节，实现在晶圆片16圆心与吸盘圆心未对准的情况下，对晶圆片16进行二次定位与放置的功能大大提高了其检测精准度，同时可使转动吸盘5进行转动能够使摄像头对晶圆片16进行转动检测，滑动底座11远离第一摄像头12的一端设置有托盘4，托盘4下端通过托盘连接杆7与固定底座6上端固定连接，托盘4能够将晶圆片16稳固在转动吸盘5上避免掉落损坏，机箱1内部设置有若干个用于提供照明的照明灯19，照明灯19可以为机箱1内部提供更加全面的照明而不同于光源杆15，光源杆15能够为晶圆体提供更加精准的照明，第一摄像头12、第二摄像头13、第三摄像头14、显示器2、电动滑轮17、电动伸缩杆18、转动吸盘5，照明灯19以及光源杆15均与外部电源电性连接，能够为用电设备提供电力支持。

如图1-图6所示，本实施例提供的新型的多功能晶圆几何形貌检测仪的工作原理如下：通过电动滑轮将晶圆片进行移动使得晶圆片能够移动至摄像头检测范围内进行检测，第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境。

如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接收的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决技术问题，基本达到技术效果。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的商品或者系统中还存在另外的相同要素。

上述说明示出并描述了本实用新型的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于，包括机箱(1)以及设置在所述机箱(1)内部的滑动底座(11)；

所述滑动底座(11)上端通过电动滑轮(17)滑动连接有用于移动晶圆片(16)的移动底座(8)，所述机箱(1)内所述滑动底座(11)一侧设置有用于检测所述晶圆片(16)的第一摄像头(12)、第二摄像头(13)以及第三摄像头(14)，所述晶圆片(16)一侧设置有与所述第二摄像头(13)相对应的用于照明的光源杆(15)，所述第一摄像头(12)以及所述第三摄像头(14)分别设置在所述晶圆片(16)正前方以及右下方。

2.根据权利要求1所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述机箱(1)内部底部固定设置有固定底座(6)，所述第一摄像头(12)、所述第二摄像头(13)、所述第三摄像头(14)、所述光源杆(15)以及所述滑动底座(11)均固定设置在所述固定底座(6)上端。

3.根据权利要求1所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述移动底座(8)的一侧通过连接板(9)连接有用于稳固所述移动底座(8)的传送链(10)，所述连接板(9)与所述移动底座(8)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述移动底座(8)上端通过电动伸缩杆(18)转动连接有用于所述晶圆片(16)放置的转动吸盘(5)，所述滑动底座(11)远离所述第一摄像头(12)的一端设置有托盘(4)，所述托盘(4)下端通过托盘连接杆(7)与所述固定底座(6)上端固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述机箱(1)外侧一端固定设置有显示器(2)，所述第一摄像头(12)、所述第二摄像头(13)以及所述第三摄像头(14)均与所述显示器(2)电性连接。

6.根据权利要求5所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述机箱(1)一侧所述显示器(2)同侧面固定设置有操作台(3)，所述托盘(4)设置在所述操作台(3)上，所述转动吸盘(5)与所述操作台(3)上端滑动连接且靠近所述机箱(1)开口处。

7.根据权利要求6所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述第一摄像头(12)、所述第二摄像头(13)、所述第三摄像头(14)、所述显示器(2)、所述电动滑轮(17)、所述电动伸缩杆(18)、所述转动吸盘(5)以及所述光源杆(15)均与外部电源电性连接。

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