CN218012489U - 一种自动供应系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种自动供应系统，包括基座、自动添加机构、搅拌组件、研磨桶和控制系统，自动添加机构用于通过管路输入至少两种粉末状的物料至搅拌组件中；搅拌组件用于对物料进行搅拌以及用于将混合均匀后的物质输送至研磨桶；研磨桶包括桶体和水液自动控制组件，水液自动控制组件设于桶体内，水液自动控制组件用于发送液面高度信号至控制系统；控制系统用于接收液面高度信号信号，以控制自动添加机构和搅拌组件的工作。通过本申请，实现了自动化控制，不仅操作方便，无需人工干涉，且精度可控，同时还能够根据实际情况实时投入物料，有效地提升了生产效率和产品质量。

Description

一种自动供应系统

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种自动供应系统。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用。半导体的制备材料主要包括衬底、光刻胶、电子气体、掩模版、溅射靶材、掩模版、电镀液、封装基板、键合丝、塑封材料等。

目前，在蓝宝石衬底生产工序中，需要使用双面自动供应系统将衬底研磨光滑，而每台双面研磨机需要单独配备一套供应系统，且供应系统中的碳化硼和水需要以人工的方式，定时、定量以及停机手动更换，不易操作，也存在了物料新增数量不准、及时性不强的问题，严重影响了生产效率和产品品质。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种自动供应系统，以解决上述现有技术中的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种自动供应系统，包括基座，还包括设于所述基座上的自动添加机构、搅拌组件、研磨桶和控制系统，

所述自动添加机构，用于通过管路自动输入至少两种粉末状的物料至所述搅拌组件中；

所述搅拌组件，用于对来自所述自动添加机构的物料进行搅拌至混合均匀，以及用于通过出料口将混合均匀后的物质输送至所述研磨桶；

所述研磨桶，包括桶体和水液自动控制组件，所述桶体用于接收来自所述搅拌组件的物料，所述水液自动控制组件设于所述桶体内，所述水液自动控制组件用于监管所述桶体内的液面高度，并实时发送液面高度信号至所述控制系统；

所述控制系统，用于接收所述水液自动控制组件发送的液面高度信号，以控制所述自动添加机构和所述搅拌组件的工作。

本实用新型的有益效果是：通过在基座上设置自动添加机构、搅拌组件和研磨桶，利用自动添加机构自动输入至少两种物料至搅拌组件，再通过搅拌组件搅拌均匀后自动输送至研磨桶内，并利用水液自动控制组件监管研磨桶桶体内的液面高度，以使控制系统根据监管的液面高度情况来控制自动添加机构和搅拌组件工作，从而实现了自动化控制，不仅操作方便，无需人工干涉，且精度可控，同时还能够根据实际情况实时投入物料，有效地提升了生产效率和产品质量。

优选的，所述自动添加机构包括位于所述搅拌组件上方的第一添加组件和第二添加组件，所述第一添加组件和所述第二添加组件分别与所述搅拌组件连接，所述第一添加组件用于向所述搅拌组件输入第一物料，所述第二添加组件用于向所述搅拌组件输入第二物料。

优选的，所述第一添加组件包括第一加料口、第一存储箱和第一搅拌棒，所述第一加料口与所述第一存储箱的内腔贯通，所述第一搅拌棒位于所述第一存储箱内，所述第一搅拌棒通过第一电机控制转动，所述第一电机与所述第一存储箱的外侧壁连接。

优选的，所述第一存储箱上设置有第一出料口，所述第一出料口处设置有流量计和开关阀，所述流量计用于控制所述第一物料输出至所述搅拌组件的输出量，所述开关阀用于控制所述第一出料口的打开与关闭。

优选的，所述第二添加组件包括第二加料口、第二存储箱和称重器，所述第二物料通过所述第二加料口输送至所述第二存储箱内，所述第二存储箱的底部设置有一活动板，所述活动板通过第二电机带动旋转，所述称重器嵌设于所述活动板上。

优选的，所述搅拌组件包括寄存容器以及设于所述寄存容器内的第二搅拌棒，所述寄存容器位于所述第一存储箱和所述第二存储箱的下方，所述第一存储箱和所述第二存储箱分别通过不同所述管路与所述寄存容器连接，所述第二搅拌棒用于搅匀所述寄存容器内的物料。

优选的，所述研磨桶的数量为两个，两个所述研磨桶均位于所述搅拌组件的下方，且并列排布，所述搅拌组件通过切换组件将物料输送至任一所述研磨桶中。

优选的，所述切换组件包括输出管口、波纹管和驱动气缸，所述输出管口通过所述波纹管与所述寄存容器连接，所述驱动气缸通过承接杆带动所述输出管口进行转动，以调整所述输出管口的开口朝向。

优选的，所述水液自动控制组件包括设于所述桶体内的第一感应器和第二感应器，所述第一感应器位于所述第二感应器的上方，所述第一感应器用于感应所述桶体内液面的第一高度，所述第二感应器用于感应所述桶体内液面的第二高度。

优选的，所述自动供应系统还包括控制系统，所述控制系统用于控制所述自动供应系统工作，所述第一感应器和所述第二感应器分别与所述控制系统电性连接。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的自动供应系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的自动供应系统的截面示意图。

主要元件符号说明：

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图2，为本实用新型实施例中的自动供应系统，包括基座10、设于基座10上的自动添加机构、搅拌组件、研磨桶40及控制系统。

其中：自动添加机构、搅拌组件和研磨桶40依次从上到下设置，且自动添加机构通过管路与搅拌组件连接，搅拌组件与研磨桶40连接，可以理解的，自动添加机构能够通过管路自动输入至少两种粉末状的物料至搅拌组件中，再利用搅拌组件将来自自动添加机构的物料搅拌均匀后，再通过出料口将混合均匀后的物质输送至研磨桶40中。需要说明的是，控制系统为PLC控制。

在本实施例中，研磨桶40包括桶体和水液自动控制组件，桶体与搅拌组件连接，桶体用于接收来自搅拌组件的物料，水液自动控制组件设于桶体内，通过水液自动控制组件监管桶内的液面高度，并实时发送液面高度信号至控制系统，以使控制系统根据液面高度信号来控制自动添加机构和搅拌组件的工作。

在本实施例中，自动添加机构包括第一添加组件和第二添加组件，第一添加组件和第二添加组件分别位于搅拌组件的上方，且分别与搅拌组件连接，其中，第一添加组件和第二添加组件分别为研磨桶40提供不同的物料，具体地，第一添加组件用于向搅拌组件输入第一物料，所述第二添加组件用于向搅拌组件输入第二物料，通过在搅拌组件中提前将第一物料和第二物料搅拌均匀，以使输送至研磨桶40的物料为第一物料和第二物料的混合物料，当混合物料在研磨桶40中溶解后，相应的混合液更均匀，有更利于产品的生产。

在本实施例中，第一添加组件包括第一加料口21、第一存储箱22和第一搅拌棒23，第一加料口21与第一存储箱22的内腔贯通，外仓中的物料通过第一加料口21输送至第一存储箱22内，第一搅拌棒23位于第一存储箱22内，第一搅拌棒23用于搅拌第一存储箱22内的第一物料，可以理解的，第一物料可以为至少两种物料的混合物料，第一搅拌棒23通过第一电机24控制转动，第一电机24的驱动轴与第一搅拌棒23的一端固定连接，第一电机24安装于第一存储箱22的外侧壁上。

在本实施例中，第一存储箱22的底部设有第一出料口，第一出料口与第一存储箱22的内腔贯通，第一出料口处设置有开关阀和流量计，开关阀用于控制第一出料口的打开和关闭，开关阀与控制系统电性连接，流量计用于控制第一物料输出至搅拌组件的输出量，流量计与控制系统电性连接，需要说明的是，当研磨桶40内需要补充物料时，控制系统能够控制开关阀的打开以使第一物料通过第一出料口流向搅拌组件，当流量计监控到从开关阀中落入的输出量达到预设标准时，流量计会发送达标信号至控制系统，以使控制系统控制开关阀关闭第一出料口，实现定量补料。

在本实施例中，第二添加组件包括第二加料口25、第二存储箱27和称重器，第二物料通过第二加料口25输送至第二存储箱27内，第二存储箱27的底部设置有一活动板，活动板通过第二电机26带动旋转，以使第二存储箱27中的第二物料能够流向搅拌组件中，称重器嵌设于活动板上，称重器与控制系统电性连接，需要说明的是，当外仓中的第二物料通过第二加料口25输送至第二存储箱27内时，称重器能够实时将位于第二存储箱27内的第二物料的重量信号发送至控制系统，当重量达到预设重量时，控制系统会发送停止输送第二物料的信号，以使第二存储箱27中一直存储预设重量的第二物料，以便定量投入第二物料至研磨桶40中，实现定量补料。

具体地，第二电机26与控制系统电性连接，活动板通过旋转轴与第二存储箱27转动连接，第二电机26的驱动轴与旋转轴的一端固定连接，第二电机26 安装于第二存储箱27的外侧壁上，可以理解的，当需要投入第二物料时，控制系统会发送信号至第二电机26，以启动第二电机26，通过第二电机26带动活动板旋转，且旋转角度可以大于九十度，从而将第二存储箱27内的第二物料落入至搅拌组件中，从而投入研磨桶40中。

在本实施例中，搅拌组件包括寄存容器31和设于寄存容器31内的第二搅拌棒32，寄存容器31的底部与出料口连接，寄存容器31位于第一存储箱22和第二存储箱27的下方，第一存储箱22和第二存储想分别通过不同管路与寄存容器31连接，以将第一物料和第二物料输送至寄存容器31内进行搅拌并搅拌均匀，第二搅拌棒32用于将第一物料和第二部物料进行搅拌均匀，第二搅拌棒 32与寄存容器31转动连接，第二搅拌棒32通过第三电机33带动旋转，以进行搅拌操作，第三电机33安装于寄存容器31的外侧壁上，第三电机33与控制系统电性连接，以使控制系统控制第三电机33的启动与关闭。

在本实施例中，研磨桶40的数量为两个，两个研磨桶40均位于寄存容器 31的下方，且并列排布，搅拌组件通过切换组件将物料输送至任一研磨桶40内，具体地，切换组件包括输出管口53、波纹管52和驱动气缸51，输出管口53通过波纹管52与寄存容器31上的出料口连接，驱动气缸51通过承接杆带动输出管口53进行转动，以调整输出管口53的开口朝向。

可以理解的，驱动气缸51与控制系统电性连接，驱动气缸51安装于基座 10上，驱动气缸51的驱动杆水平设置，驱动气缸51的驱动杆连接有位移块，位移块与基座10滑动连接，位移块与承接杆的一端铰接，承接杆与输出管口53 铰接，当需要调整切换管口的开口朝向以为不同研磨桶40进行投料时，控制系统能够控制驱动气缸51工作，从而带动切换管口调整朝向。

在本实施例中，水液自动控制组件包括设于桶体内的第一感应器和第二感应器，第一感应器位于第二感应器的上方，第一感应器用于感应桶体内液面的第一高度，第二感应器用于感应桶体内液面的第二高度，第一感应器和第二感应器分别与控制系统电性连接，需要说明的是，第一感应器和第二感应器均为超声波液面感应器。

可以理解的，通过第一感应器和第二感应器可以实时获取到桶体内液面的高度，使得控制系统能够实时判断是否需要补充物料至桶体内。

在本实施例中，水液自动控制组件还包括抽水泵，抽水泵与控制系统连接，抽水泵通过水管与外界水源连接，当第二感应器实时监测桶内的液面到达第二高度时，则控制系统会控制抽水泵工作，从而输送水液至桶体内，实时自动补水操作。

在本实施例中，自动供应系统还包括抽废液组件60，抽废液组件60包括蠕动泵，蠕动泵用于对桶体内的废液进行抽取，蠕动泵与控制系统电性连接。

在具体实施时，通过在基座10上设置自动添加机构、搅拌组件和研磨桶40，利用自动添加机构自动输入至少两种物料至搅拌组件，再通过搅拌组件搅拌均匀后自动输送至研磨桶40内，并利用水液自动控制组件监管研磨桶40桶体内的液面高度，以使控制系统根据监管的液面高度情况来控制自动添加机构和搅拌组件工作，从而实现了自动化控制，不仅操作方便，无需人工干涉，且精度可控，同时还能够根据实际情况实时投入物料，有效地提升了生产效率和产品质量。

需要说明的是，上述的实施过程只是为了说明本申请的可实施性，但这并不代表本申请的自动供应系统只有上述唯一一种实施流程，相反的，只要能够将本申请的自动供应系统实施起来，都可以被纳入本申请的可行实施方案。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种自动供应系统，包括基座，其特征在于，还包括设于所述基座上的自动添加机构、搅拌组件、研磨桶和控制系统，

所述自动添加机构，用于通过管路自动输入至少两种粉末状的物料至所述搅拌组件中；

所述搅拌组件，用于对来自所述自动添加机构的物料进行搅拌至混合均匀，以及用于通过出料口将混合均匀后的物质输送至所述研磨桶；

所述研磨桶，包括桶体和水液自动控制组件，所述桶体用于接收来自所述搅拌组件的物料，所述水液自动控制组件设于所述桶体内，所述水液自动控制组件用于监管所述桶体内的液面高度，并实时发送液面高度信号至所述控制系统；

所述控制系统，用于接收所述水液自动控制组件发送的液面高度信号，以控制所述自动添加机构和所述搅拌组件的工作。

2.根据权利要求1所述的自动供应系统，其特征在于，所述自动添加机构包括位于所述搅拌组件上方的第一添加组件和第二添加组件，所述第一添加组件和所述第二添加组件分别与所述搅拌组件连接，所述第一添加组件用于向所述搅拌组件输入第一物料，所述第二添加组件用于向所述搅拌组件输入第二物料。

3.根据权利要求2所述的自动供应系统，其特征在于，所述第一添加组件包括第一加料口、第一存储箱和第一搅拌棒，所述第一加料口与所述第一存储箱的内腔贯通，所述第一搅拌棒位于所述第一存储箱内，所述第一搅拌棒通过第一电机控制转动，所述第一电机与所述第一存储箱的外侧壁连接。

4.根据权利要求3所述的自动供应系统，其特征在于，所述第一存储箱上设置有第一出料口，所述第一出料口处设置有流量计和开关阀，所述流量计用于控制所述第一物料输出至所述搅拌组件的输出量，所述开关阀用于控制所述第一出料口的打开与关闭。

5.根据权利要求3所述的自动供应系统，其特征在于，所述第二添加组件包括第二加料口、第二存储箱和称重器，所述第二物料通过所述第二加料口输送至所述第二存储箱内，所述第二存储箱的底部设置有一活动板，所述活动板通过第二电机带动旋转，所述称重器嵌设于所述活动板上。

6.根据权利要求5所述的自动供应系统，其特征在于，所述搅拌组件包括寄存容器以及设于所述寄存容器内的第二搅拌棒，所述寄存容器位于所述第一存储箱和所述第二存储箱的下方，所述第一存储箱和所述第二存储箱分别通过不同所述管路与所述寄存容器连接，所述第二搅拌棒用于搅匀所述寄存容器内的物料。

7.根据权利要求6所述的自动供应系统，其特征在于，所述研磨桶的数量为两个，两个所述研磨桶均位于所述搅拌组件的下方，且并列排布，所述搅拌组件通过切换组件将物料输送至任一所述研磨桶中。

8.根据权利要求7所述的自动供应系统，其特征在于，所述切换组件包括输出管口、波纹管和驱动气缸，所述输出管口通过所述波纹管与所述寄存容器连接，所述驱动气缸通过承接杆带动所述输出管口进行转动，以调整所述输出管口的开口朝向。

9.根据权利要求1所述的自动供应系统，其特征在于，所述水液自动控制组件包括设于所述桶体内的第一感应器和第二感应器，所述第一感应器位于所述第二感应器的上方，所述第一感应器用于感应所述桶体内液面的第一高度，所述第二感应器用于感应所述桶体内液面的第二高度。

10.根据权利要求9所述的自动供应系统，其特征在于，所述第一感应器和所述第二感应器分别与所述控制系统电性连接。

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