CN217740505U - 一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构 - Google Patents

Abstract

一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，包括托板，其底部安装直线升降模组，托板的顶部间隔安装有平行的滑轨，两滑轨的顶部安装顶部连接板，两滑轨上分别安装滑动块，两滑动块通过紧固件同时固定一块升降板，直线升降模组的输出端伸出托板后通过转接件与升降板固定，直线升降模组的动力带动升降板上下移动，滑动块沿着滑轨移动；升降板的外侧固定底板，底板上安装有减速机，减速机的输出端连接转动轴，转动轴连接悬臂，悬臂的通过紧固件安装旋转模块，旋转模块的中部安装有转轴，转轴的顶部连接带轮，转轴的底部安装产品治具，所述悬臂的上顶面固定有旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动带与带轮连接，组成带传动机构，工作可靠。

Description

一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构

技术领域

本实用新型涉及旋转臂结构技术领域，尤其是一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构。

背景技术

半导体工件在加工过程中，通常需要浸锌这一操作步骤，操作过程中需要机械臂来辅助完成，利用机械臂来夹取工件进行浸锌操作，现有技术中的机械臂采用普通的机械臂，其悬臂比较长、体积大，运动起来需要较大的避让空间，且维护时难度较高，成本高。

实用新型内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，从而大大缩短了臂长，可以大大减少所需要的空间位置，提高了工作精度，减少制造成本。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，包括固定在工作台上的托板，所述托板的底部安装直线升降模组，所述托板的顶部间隔安装有平行的滑轨，两滑轨的顶部安装顶部连接板，两滑轨上分别安装滑动块，两滑动块通过紧固件同时固定一块升降板，所述直线升降模组的输出端伸出托板后通过转接件与升降板固定，直线升降模组的动力带动升降板上下移动，滑动块沿着滑轨移动；升降板的外侧固定底板，所述底板上安装有减速机，所述减速机的输出端连接转动轴，所述转动轴连接悬臂，所述悬臂的通过紧固件安装旋转模块，所述旋转模块的中部安装有转轴，所述转轴的顶部连接带轮，转轴的底部安装产品治具，所述悬臂的上顶面固定有旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动带与带轮连接，组成带传动机构，带传动机构带动转轴和产品治具旋转工作，转动轴带动悬臂摆动工作。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述升降板的结构为：包括升降板本体，所述升降板本体呈十字型结构，所述升降板本体的中部上下间隔开有方形孔。

所述悬臂的截面呈工字型结构，悬臂的顶部中间位置设置一块立板，所述悬臂的中部开有多个间隔的长圆孔，悬臂的一端固定有T型板，T型板通过紧固件与旋转模块固定，所述悬臂的另一端配合安装有转动轴，转动轴的底部与减速机连接，转动轴的顶部通过轴承支撑在顶板上。

所述T型板和转动轴焊接在悬臂的两端。

悬臂的顶面安装有防护罩。

所述底板上间隔安装有方板，两块方板的顶部固定中间板，中间板的顶部间隔安装C型板，两块C型板的顶部安装顶板。

所述悬臂的顶部安装有支撑板，所述支撑板的顶面连接旋转电机的法兰。

所述顶部连接板的两端分别通过紧固件固定有直角型的支撑架。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过升降板带动整体升降工作，减速机带动悬臂的摆动工作，带传动机构带动转轴和产品治具的旋转工作，可以方便的完成半导体工件浸锌工作，悬臂长度短，大大减少所需要的空间位置，提高了工作精度，减少制造成本。

本实用新型还包括如下优点：

(1)两根滑轨和滑块的设计，增加了运动过程中的稳定性；

(2)减速机带动悬臂摆动的同时，可以自由调节旋转速度；

(3)底板上各个板块的设计可以起到支撑和保护的作用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型另一视角的结构示意图。

图3为本实用新型的爆炸图。

图4为本实用新型升降板的结构示意图。

图5为本实用新型悬臂的结构示意图。

其中：1、带轮；2、传动带；3、旋转模块；4、转轴；5、产品治具；6、防护罩；7、旋转电机；8、悬臂；9、支撑板；10、顶板；11、顶部连接板；12、支撑架；13、C型板；14、升降板；15、滑轨；16、中间板；17、滑动块；18、减速机；19、底板；20、托板；21、方板；22、T型板；23、立板；24、长圆孔；25、转动轴；

1401、升降板本体；1402、方形孔。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1-图5所示，本实施例的用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，包括固定在工作台上的托板20，托板20的底部安装直线升降模组，托板20的顶部间隔安装有平行的滑轨15，两滑轨15的顶部安装顶部连接板11，两滑轨15上分别安装滑动块17，两滑动块17通过紧固件同时固定一块升降板14，直线升降模组的输出端伸出托板20后通过转接件与升降板14固定，直线升降模组的动力带动升降板14上下移动，滑动块17沿着滑轨15移动；升降板14的外侧固定底板19，底板19上安装有减速机18，减速机18的输出端连接转动轴25，转动轴25连接悬臂8，悬臂8的通过紧固件安装旋转模块3，旋转模块3的中部安装有转轴4，转轴4的顶部连接带轮1，转轴4的底部安装产品治具5，悬臂8的上顶面固定有旋转电机7，旋转电机7的输出端通过传动带2与带轮1连接，组成带传动机构，带传动机构带动转轴4和产品治具5旋转工作，转动轴25带动悬臂8摆动工作。

升降板14的结构为：包括升降板本体1401，升降板本体1401呈十字型结构，升降板本体1401的中部上下间隔开有方形孔1402。

悬臂8的截面呈工字型结构，悬臂8的顶部中间位置设置一块立板23，悬臂8的中部开有多个间隔的长圆孔24，悬臂8的一端固定有T型板22，T型板22通过紧固件与旋转模块3固定，悬臂8的另一端配合安装有转动轴25，转动轴25的底部与减速机18连接，转动轴25的顶部通过轴承支撑在顶板10上。

T型板22和转动轴25焊接在悬臂8的两端。

悬臂8的顶面安装有防护罩6。

底板19上间隔安装有方板21，两块方板21的顶部固定中间板16，中间板16的顶部间隔安装C型板13，两块C型板13的顶部安装顶板10。

悬臂8的顶部安装有支撑板9，支撑板9的顶面连接旋转电机7的法兰。

顶部连接板11的两端分别通过紧固件固定有直角型的支撑架12。

本实用新型的具体安装结构为：

托板20通过螺丝锁紧在工作台上，托板20的底部安装有直线升降模组(图中未画出)，直线升降模组(图中未画出)带动升降板14移动。

滑轨15竖直安装在托板20上方，左右各一根排布。

滑轨15上各自安装一个滑动块17，滑轨15末端通过顶部连接板11连接加固。

升降板14一面连接在滑动块17上，另外一面通过底板19安装有减速机18。

减速机18上方连接一个转动轴25，转动轴25前方为悬臂8，悬臂8绕着转动轴25发生转动。

悬臂8的顶部安装有带传动机构，带传动机构的输出端通过旋转模块3安装转轴4，转轴4上安装产品治具5。

本实用新型的工作原理如下：

该结构连接到外部设备及电源之后，首先直线升降模组(图中未画出)工作，控制托板20升降，托板20带动托板20以上的所有部件上下移动，移动到合适的位置，直线升降模组(图中未画出)暂停工作；然后驱动滑动块17沿着滑轨15上下移动，从而带动升降板14的上下移动，进而实现整个悬臂8的Z向运动；然后减速机18工作，带动转动轴25发生旋转，转动轴25的旋转带动悬臂8可实现0-180°的摆动工作，接着旋转电机7通电工作，通过带传动机构的作用，带动悬臂8前端旋转模块3和转轴4高速旋转，从而带动产品治具5高速旋转，放在产品治具5上的产品可以方便的完成浸锌的工作，其操作方便，可以任意调节在Z轴方向的位置，悬臂8的角度也可以任意调节，产品治具5的旋转工作可以提高产品的加工精度。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在本实用新型的保护范围之内，可以作任何形式的修改。

Claims (8)

1.一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：包括固定在工作台上的托板(20)，所述托板(20)的底部安装直线升降模组，所述托板(20)的顶部间隔安装有平行的滑轨(15)，两滑轨(15)的顶部安装顶部连接板(11)，两滑轨(15)上分别安装滑动块(17)，两滑动块(17)通过紧固件同时固定一块升降板(14)，所述直线升降模组的输出端伸出托板(20)后通过转接件与升降板(14)固定，直线升降模组的动力带动升降板(14)上下移动，滑动块(17)沿着滑轨(15)移动；升降板(14)的外侧固定底板(19)，所述底板(19)上安装有减速机(18)，所述减速机(18)的输出端连接转动轴(25)，所述转动轴(25)连接悬臂(8)，所述悬臂(8)的通过紧固件安装旋转模块(3)，所述旋转模块(3)的中部安装有转轴(4)，所述转轴(4)的顶部连接带轮(1)，转轴(4)的底部安装产品治具(5)，所述悬臂(8)的上顶面固定有旋转电机(7)，所述旋转电机(7)的输出端通过传动带(2)与带轮(1)连接，组成带传动机构，带传动机构带动转轴(4)和产品治具(5)旋转工作，转动轴(25)带动悬臂(8)摆动工作。

2.如权利要求1所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：所述升降板(14)的结构为：包括升降板本体(1401)，所述升降板本体(1401)呈十字型结构，所述升降板本体(1401)的中部上下间隔开有方形孔(1402)。

3.如权利要求1所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：所述悬臂(8)的截面呈工字型结构，悬臂(8)的顶部中间位置设置一块立板(23)，所述悬臂(8)的中部开有多个间隔的长圆孔(24)，悬臂(8)的一端固定有T型板(22)，T型板(22)通过紧固件与旋转模块(3)固定，所述悬臂(8)的另一端配合安装有转动轴(25)，转动轴(25)的底部与减速机(18)连接，转动轴(25)的顶部通过轴承支撑在顶板(10)上。

4.如权利要求3所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：所述T型板(22)和转动轴(25)焊接在悬臂(8)的两端。

5.如权利要求3所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：悬臂(8)的顶面安装有防护罩(6)。

6.如权利要求1所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：所述底板(19)上间隔安装有方板(21)，两块方板(21)的顶部固定中间板(16)，中间板(16)的顶部间隔安装C型板(13)，两块C型板(13)的顶部安装顶板(10)。

7.如权利要求1所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：所述悬臂(8)的顶部安装有支撑板(9)，所述支撑板(9)的顶面连接旋转电机(7)的法兰。

8.如权利要求1所述的一种用于半导体工件浸锌的旋转臂结构，其特征在于：所述顶部连接板(11)的两端分别通过紧固件固定有直角型的支撑架(12)。

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