CN217123027U - 拆卸装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种拆卸装置，其用于将与伺服主轴连接的轴连接件拆卸下来，拆卸装置包括拆卸用架和用于支承该拆卸用架的支承台，拆卸用架包括：横向延伸的操作杆；与操作杆连接的、纵向延伸的螺纹件，在该螺纹件的外周形成了阳螺纹；和支承螺纹件的支承架，在支承架中设置了供螺纹件插通其中的通孔，在该通孔内形成了与螺纹件的阳螺纹螺合的阴螺纹，在支承架的远离操作杆的一侧形成了向内侧突出的、用于支承轴连接件的第1突出部和第2突出部，支承台可在螺纹件的下端与支承台抵接的状态下支承拆卸用架。

Description

拆卸装置

技术领域

本实用新型涉及轴连接件的拆卸装置，尤其涉及化学气相沉积装置中与伺服主轴连接的轴连接件的拆卸装置。

背景技术

对晶片(晶圆)进行的处理包括CVD(Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积)处理。在CVD装置中，输送晶片的执行器通过轴连接件与伺服主轴(电动机的转动轴)连接。

根据零部件的维护检查要求，需要定期地对CVD装置的轴连接件进行拆卸检查或加以更换。由于该轴连接件位于CVD装置的反应腔室内，因此在CVD装置的反应腔室进行成膜处理后，容易在所述轴连接件形成覆盖膜，加大了轴连接件的拆卸难度。

现有技术中，在进行轴连接件的维护时，通常手动从CVD装置中拆下轴连接件。但是由于如上所述的原因，在拆卸轴连接件时，存在难以拆卸、所需拆卸时间多的问题。并且在拆卸动作过大时，还会存在损坏CVD装置的反应腔室中的陶瓷部件、夹伤操作员的问题。

实用新型内容

本实用新型就是用来解决上述技术问题的。本使用新型的目的在于提供一种容易拆卸轴连接件的拆卸装置。

本实用新型的第1方式是一种拆卸装置，其用于将与伺服主轴连接的轴连接件拆卸下来，所述拆卸装置的特征在于：包括拆卸用架和支承该拆卸用架的支承台，所述拆卸用架包括：横向延伸的操作杆；与所述操作杆连接的、纵向延伸的螺纹件，在该螺纹件的外周形成了阳螺纹；和支承所述螺纹件的支承架，在所述支承架中设置了供所述螺纹件插通其中的通孔，在该通孔内形成了与所述螺纹件的阳螺纹螺合的阴螺纹，

在所述支承架的远离所述操作杆的一侧形成了向内侧突出的、用于支承所述轴连接件的第1突出部和第2突出部，所述支承台在所述螺纹件的下端与所述支承台抵接的状态下支承所述拆卸用架。

在要拆卸轴连接件时，使第1突出部、第2突出部从下方支承轴连接件，并操作操作杆使螺纹件沿第1方向转动，支承架以及该支承架支承的轴连接件随螺纹件的转动而上升。本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，能够容易地拆卸下轴连接件，所需拆卸时间少。

本实用新型的第2方式是第1方式的拆卸装置，所述支承架包括横向延伸的横架部以及在两侧纵向延伸的第1纵架部和第2纵架部，所述通孔形成在所述横架部的中央，所述第1突出部形成在所述第1纵架部的远离所述横架部的一端，所述第2突出部形成在所述第2纵架部的远离所述横架部的一端。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，能够获得与第1方式的拆卸装置同样的效果。

本实用新型的第3方式是第2方式的拆卸装置，所述支承架还包括倾斜地延伸的第1倾斜部和第2倾斜部，所述第1倾斜部连接在所述横架部与所述第1纵架部之间，所述第2倾斜部连接在所述横架部与所述第2纵架部之间。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够容易地拆卸下轴连接件之外，还能够防止拆卸装置与反应腔室碰撞而损坏反应腔室中的陶瓷部件，并且还能够防止发生拆卸装置夹伤操作员。

本实用新型的第4方式是第3方式的拆卸装置，所述第1倾斜部以可绕所述横架部的一端转动的方式与所述横架部的一端活动地连接，所述第2倾斜部以可绕所述横架部的另一端转动的方式与所述横架部的另一端活动地连接。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够获得第3方式的拆卸装置的效果之外，还能够针对尺寸不同的轴连接件进行拆卸。例如，在轴连接件的尺寸(具体而言，横向尺寸)大的情况下，可使第1倾斜部、第2倾斜部向外侧转动，扩大第1纵架部与第2纵架部之间的距离；在轴连接件的尺寸小的情况下，可使第1倾斜部、第2倾斜部向内侧转动，减小第1纵架部与第2纵架部之间的距离，由此能够拆卸不同尺寸的轴连接件。

本实用新型的第5方式是第4方式的拆卸装置，关于在第4方式中所述的活动地连接的结构，具体地构成为，在所述横架部的一端配置了第1连接片和第2连接片，第1连接片位于所述横架部的正面侧，第2连接片位于所述横架部的背面侧，第1螺钉依次贯穿所述第1连接片、所述横架部和所述第2连接片，第2螺钉依次贯穿所述第1连接片、所述第1倾斜部和所述第2连接片，所述第1连接片与所述第2连接片平行地配置，在所述横架部的另一端配置了第3连接片和第4连接片，第3连接片位于所述横架部的正面侧，第4连接片位于所述横架部的背面侧，第3螺钉依次贯穿所述第3连接片、所述横架部和所述第4连接片，第4螺钉依次贯穿所述第3连接片、所述第2倾斜部和所述第4连接片，所述第3连接片与所述第4连接片平行地配置。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，能够获得与第4方式的拆卸装置同样的效果。

本实用新型的第6方式是第3方式～第5方式中的任一方式的拆卸装置，所述第1倾斜部与所述第1纵架部一体地形成，所述第2倾斜部与所述第2纵架部一体地形成。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，能够获得与第3方式～第5方式的拆卸装置同样的效果。

本实用新型的第7方式是第1方式的拆卸装置，所述第1突出部具有用于与所述轴连接件的底面接触的第1平面部，所述第2突出部具有用于与所述轴连接件的底面接触的第2平面部。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够获得与第1方式的拆卸装置同样的效果之外，还能够使拆卸装置与轴连接件实现良好的接触，从而使得容易拆卸下轴连接件。

本实用新型的第8方式是第1方式的拆卸装置，所述操作杆与所述螺纹件固定地连接，俯视时，从所述螺纹件的中心至所述操作杆的一端的距离、与从所述螺纹件的中心至所述操作杆的另一端的距离相同。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够获得与第1方式的拆卸装置同样的效果之外，还能够对拆卸装置的操作杆均匀地施力，从而使得容易拆卸下轴连接件。

本实用新型的第9方式是第1方式的拆卸装置，所述支承台包括：长方体；和分别位于所述长方体的两端下方的第1基台和第2基台。优选长方体固定在第1基台和第2基台的上表面。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，能够获得与第1方式的拆卸装置同样的效果。

本实用新型的第10方式是第9方式的拆卸装置，所述第1基台和所述第2基台具有与所述轴连接件所处的反应腔室的底部的棱形件嵌合的凹部。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够获得与第9方式的拆卸装置同样的效果之外，还能够确保将支承台牢固地固定在反应腔室的底部，从而能够稳定地进行轴连接件的拆卸。

本实用新型的第11方式是第9方式或第10方式的拆卸装置，在所述螺纹件的靠所述支承台的一端的顶端形成了锥形部，在所述长方体的上表面形成了与所述锥形部的形状匹配的凹部。在要用支承台支承拆卸用架时，将螺纹件的锥形部插入至形成在长方体的上表面的凹部内。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够获得与第9方式、第10方式的拆卸装置同样的效果之外，还能够确保螺纹件与支承台稳定地接触(即，支承台稳定地支承拆卸用架)，两者之间不容易发生相对移动，从而能够稳定地进行轴连接件的拆卸。

本实用新型的第12方式是第11方式的拆卸装置，所述长方体包括长方体主体和位于该长方体主体的上表面且体积小于该长方体主体的附属件，所述凹部形成在所述附属件的上表面。在俯视时，该附属件可以为圆形、多边形、椭圆形或其他形状。

本实用新型通过采用上述结构的拆卸装置，除了能够获得与第11方式的拆卸装置同样的效果之外，还能够使长方体主体和附属件由不同的材料形成，例如使长方体主体由轻质量材料(例如，铝)形成，附属件由不容易产生碎屑的材料(例如，不锈钢)形成。由此，不仅能够实现支承台的轻量化，并且能够防止在反应腔室内产生碎屑而污染环境。

附图说明

图1是本实用新型的拆卸装置的立体图。

图2是本实用新型的拆卸装置拆卸轴连接件时的立体图。

图3是一种CVD装置的反应腔室的底部的立体图。

图4是图3的CVD装置的反应腔室的底部的部分放大图。

图5是作为本实用新型的拆卸装置的拆卸对象的轴连接件的立体图。

图6是将轴连接件的一个爪形件安装到轴连接件主体上时的图。

图7是图5的轴连接件的俯视图。

图8是本实用新型的拆卸装置的拆卸用架的立体图。

图9是图8的拆卸装置的拆卸用架的分解立体图。

图10是图8的拆卸装置的拆卸用架的正视图。

图11是本实用新型的拆卸装置的支承台的立体图。

图12是图11的支承台的俯视图。

图13是仰视图11的支承台时的立体图。

图14是图11的支承台的仰视图。

图15是表示图11的支承台的基台的尺寸的图。

具体实施方式

为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

除非另有定义，本申请所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本申请中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面，对实施本实用新型的优选的方式进行说明。其中，下面的实施方式仅仅为例示，本实用新型不限于下面的实施方式。

图1是本实用新型的拆卸装置的立体图。图2是本实用新型的拆卸装置拆卸轴连接件时的立体图。图3是一种CVD装置的反应腔室的底部的立体图。图4是图3的CVD装置的反应腔室的底部的部分放大图。图5是作为本实用新型的拆卸装置的拆卸对象的轴连接件的立体图。图6是将轴连接件的一个爪形件安装到轴连接件主体上时的图。

图7是图5的轴连接件的俯视图。图8是本实用新型的拆卸装置的拆卸用架的立体图。图9是图8的拆卸装置的拆卸用架的分解立体图。

图10是图8的拆卸装置的拆卸用架的正视图。图11是本实用新型的拆卸装置的支承台的立体图。图12是图11的支承台的俯视图。图13是仰视图11的支承台时的立体图。图14是图11的支承台的仰视图。

本实用新型的拆卸装置100用于将CVD装置的反应腔室内的与伺服主轴连接的轴连接件2拆卸下来。

关于CVD装置的反应腔室的底部1的结构，可参照图2～4。关于安装在CVD装置的反应腔室的底部1的轴连接件2，可参照图2、5～7。轴连接件2包括轴连接件主体2A和4个爪形部2B。轴连接件主体2A安装在反应腔室的底部，与伺服主轴连接。爪形部2B用于输送晶片(也称为晶圆)。

由于CVD装置以及其中设置的轴连接件2均属于现有技术，本说明书中省略对他们的具体说明。

如图1、2、8～14所示，本实用新型的拆卸装置100包括拆卸用架10和用于支承该拆卸用架10的支承台20。拆卸用架10包括：横向延伸的操作杆11；与操作杆11连接的、纵向延伸的螺纹件12，在螺纹件12的外周形成了阳螺纹12A；和支承螺纹件12的支承架13。

支承架13包括横向延伸的横架部14以及在两侧纵向延伸的第1纵架部15A和第2纵架部15B。在横架部14的中央设置了供螺纹件12插通其中的通孔14H，在通孔14H内形成了与螺纹件12的阳螺纹12A螺合的阴螺纹(未图示)。在第1纵架部15A的远离横架部14的一端形成了向内侧突出的第1突出部16A，在第2纵架部15B的远离横架部14的一端形成了向内侧突出的第2突出部16B。支承台在螺纹件12的下端与支承台20的表面抵接的状态下支承拆卸用架10。

在要拆卸轴连接件2时，如图2所示，使第1突出部16A、第2突出部16B从下方支承轴连接件2，用户用两只手分别握住操作杆11的两端使操作杆11以螺纹件12为轴心沿顺时针方向(相当于第1方向)转动，与操作杆11固定连接的螺纹件12也随之沿顺时针方向转动。

在此情况下，因为螺纹件12与支承台20的上表面抵接，所以螺纹件12本身相对于支承台20不会在上下方向上移动，而使得支承架13以及由第1突出部16A、第2突出部16B支承的轴连接件2随螺纹件12的转动而上升。从而能够容易地使轴连接件2与伺服主轴分开，将轴连接件2拆卸下来。

当用户使操作杆11沿逆时针方向转动时，螺纹件12也随之沿逆时针方向转动。因为螺纹件12与支承台20的上表面抵接，所以螺纹件12本身相对于支承台20不会在上下方向上移动，而使包括第1突出部16A、第2突出部16B在内的支承架13随螺纹件12的转动而下降。

如上所述，通过使操作杆11沿顺时针方向或逆时针方向转动，能够调节支承架13相对于支承台20的高度。

如图1、2、8～10所示，支承架13还包括倾斜地延伸的第1倾斜部17A和第2倾斜部17B，第1倾斜部17A连接在横架部14与第1纵架部15A之间，第2倾斜部17B连接在横架部14与第2纵架部15B之间。

本实用新型通过采用上述的结构，能够防止拆卸装置100与反应腔室碰撞而损坏反应腔室中的陶瓷部件，并且还能够防止发生拆卸装置夹伤操作员。

但是第1倾斜部17A和第2倾斜部17B并不是比不可少的。也可以省略第1倾斜部17A和第2倾斜部17B的设置。在此情况下，左右两侧的纵架部与横架部直接相连。并且，也可以将左右两侧的纵架部与横架部形成为一体。

如图8～10所示，第1倾斜部17A以可绕横架部14的一端转动的方式与横架部14的一端活动地连接，第2倾斜部17B以可绕横架部14的另一端转动的方式与横架部14的另一端活动地连接。

通过采用上述的结构，能够适当地调节第1纵架部15A与第2纵架部15B之间的距离，从而能够拆卸尺寸大小不同的轴连接件2。例如，在轴连接件2的尺寸大的情况下，可使第1倾斜部17A、第2倾斜部17B向外侧转动，扩大第1纵架部15A与第2纵架部15B之间的距离；在轴连接件2的尺寸小的情况下，可使第1倾斜部17A、第2倾斜部17B向内侧转动，减小第1纵架部15A与第2纵架部15B之间的距离。由此能够拆卸不同尺寸的轴连接件。

作为将第1倾斜部17A与横架部14活动地连接、以及将第2倾斜部17B与横架部14活动地连接的具体结构(下面简称为“活动连接结构”)的一例，在横架部14的一端平行地配置了第1连接片18A1和第2连接片18A2，第1连接片18A1位于横架部14的正面侧，第2连接片18A2位于横架部14的背面侧，第1螺钉19A1依次贯穿第1连接片18A1、横架部14和第2连接片18A2，第2螺钉19A2依次贯穿第1连接片18A1、第1倾斜部17A和第2连接片18A2，在横架部14的另一端平行地配置了第3连接片和第4连接片，第3连接片位于横架部14的正面侧，第4连接片位于横架部14的背面侧，第3螺钉依次贯穿第3连接片、横架部14和第4连接片，第4螺钉依次贯穿第3连接片、第2倾斜部17B和第4连接片。

上面说明了第1倾斜部17A及第2倾斜部17B与横架部14的活动连接结构。但是对本实用新型的拆卸装置而言，上述的活动连接结构并不是并不可少的。为了使本实用新型的拆卸装置的结构简单，也可以将第1倾斜部17A及第2倾斜部17B与横架部14固定连接，甚至还可以将第1倾斜部17A及第2倾斜部17B与横架部14形成为一体。

此外，如图8～10所示，在本实用新型的拆卸装置100中，第1倾斜部17A与第1纵架部15A一体地形成，第2倾斜部17B与第2纵架部15B一体地形成。

此外，如图8～10所示，在本实用新型的拆卸装置100中，第1突出部16A具有用于与轴连接件2(更具体而言，轴连接件主体2A)的底面接触的第1平面部16AH，第2突出部16B具有用于与轴连接件2的底面接触的第2平面部16BH。

此外，如图8～10所示，在本实用新型的拆卸装置100中，操作杆11与螺纹件12固定地连接，俯视时，从螺纹件12的中心至操作杆11的一端的距离、与从螺纹件12的中心至操作杆11的另一端的距离相同。

通过采用上述的结构，能够对拆卸装置100的操作杆11均匀地施力，从而容易拆卸轴连接件2。

在图8～10中，在螺纹件12的靠上方的一侧，形成了贯通孔，操作杆11插通在该贯通孔中。但是并不限定于此，只要将操作杆11与螺纹件12固定地连接在一起即可。例如，也可以在操作杆11形成通孔，将螺纹件12插在该通孔中。

此外，如图11～14所示，在本实用新型的拆卸装置100中，支承台20包括：长方体21；和分别位于长方体21的两端下方的第1基台24和第2基台25。第1基台24和第2基台25具有与反应腔室的底部1的棱形件1A嵌合的凹部24A、25A。其中，长方体21与基台24、25固定地连接。双方的连接方式没有特别限定，只要能够将双方固定地连接即可，例如可以是粘接固定，也可以是螺钉固定。

在要从反应腔室的底部1拆卸轴连接件2时，如图2所示，以使基台24、25与反应腔室的底部1的棱形件1A嵌合的方式将支承台20放置在轴连接件2的上方。本实用新型通过采用这样的结构，能够将支承台20稳定地固定在反应腔室的底部，从而能够稳定地进行轴连接件的拆卸。

此外，如图1、2、10～12所示，在本实用新型的拆卸装置100中，在螺纹件12的靠支承台20的一端的顶端形成了锥形部12B，在长方体21的上表面形成了与锥形部12B的形状匹配的凹部23A。在将拆卸用架10放置在支承台20上进行轴连接件的拆卸动作时，能够确保螺纹件12与支承台20稳定地接触(即，支承台20稳定地支承拆卸用架10)，两者之间不会相对地滑动，从而能够稳定地进行轴连接件的拆卸。

其中，锥形部12B和凹部23A的设置并不是比不可少的，也可以省略锥形部12B和凹部23A的设置。在此情况下，在将拆卸用架10放置在支承台20上时，使螺纹件12的下侧的端部直接与支承台20的上表面抵接即可。

此外，如图11所示，长方体21包括长方体主体22和体积小于该长方体主体22的附属件23，凹部23A形成在附属件23的表面。在俯视时，附属件23为圆形。但是并不限定于此，附属件23也可以为其他形状，例如为多边形或椭圆形。

其中，长方体主体22由轻质量材料(例如，铝)形成，附属件23由与螺纹件12接触时不容易产生碎屑的材料(例如，不锈钢)形成。附属件23被固定在长方体主体22上。由此，能够实现支承台的轻量化，使得容易搬运支承台，并且能够防止因螺纹件12与附属件23的接触而在反应腔室内产生碎屑，进而污染环境。

也可以省略附属件23的设置，仅由长方体主体22构成长方体21。在此情况下，在长方体主体22的上表面设置与螺纹件12的锥形部12B的形状匹配的凹部23A。

图15是表示对支承台20的基台24进行仰视时该基台24在平面中的尺寸的图。

在图15中，表示基台24的凹部24A的面E1A1A2E2夹在面A1～E1与面A2～E2之间。面A1～E1与面A2～E2为关于两者之间的中心线(未图示)左右对称的形状。其中，点A1、A2之间的距离为106mm，点B1、B2之间的距离为120mm，点E1、E2之间的距离为42mm，点A1、D1之间的距离为100mm，曲线A1E1的半径为220mm，曲线C2D2的半径为10mm。此外，曲线A1E1、A2E2各自在上下方向上的中心点之间的距离为56mm。

在以上说明中，关于反应腔室和轴连接件，说明了图2～4所示的反应腔室和图5～7所示的轴连接件，但是本实用新型的拆卸装置的应用不仅限于此，也可以用于对其他结构的反应腔室内的轴连接件进行拆卸。

例如，反应腔室也可以构成为底部不具有棱形件1A。本实用新型的拆卸装置也可以对安装在这样的反应腔室内的轴连接件进行拆卸。作为拆卸对象的轴连接件也不限于图5～7所示的轴连接件。只要轴连接件构成为可供本实用新型的拆卸装置的第1突出部、第2突出部支承，本实用新型的拆卸装置就可以对这样的轴连接件进行拆卸。

最后应说明的是：以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施方式对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，但这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请的实施方式技术方案的精神和范围。

Claims (12)

1.一种拆卸装置，其用于将与伺服主轴连接的轴连接件拆卸下来，所述拆卸装置的特征在于：

包括拆卸用架和用于支承该拆卸用架的支承台，

所述拆卸用架包括：

横向延伸的操作杆；

与所述操作杆连接的、纵向延伸的螺纹件，在该螺纹件的外周形成了阳螺纹；和

支承所述螺纹件的支承架，

在所述支承架中设置了供所述螺纹件插通其中的通孔，在该通孔内形成了与所述螺纹件的阳螺纹螺合的阴螺纹，

在所述支承架的远离所述操作杆的一侧形成了向内侧突出的、用于支承所述轴连接件的第1突出部和第2突出部，

所述支承台可在所述螺纹件的下端与所述支承台抵接的状态下支承所述拆卸用架。

2.如权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：

所述支承架包括横向延伸的横架部以及在两侧纵向延伸的第1纵架部和第2纵架部，

所述通孔形成在所述横架部的中央，

所述第1突出部形成在所述第1纵架部的远离所述横架部的一端，所述第2突出部形成在所述第2纵架部的远离所述横架部的一端。

3.如权利要求2所述的拆卸装置，其特征在于：

所述支承架还包括倾斜地延伸的第1倾斜部和第2倾斜部，

所述第1倾斜部连接在所述横架部与所述第1纵架部之间，

所述第2倾斜部连接在所述横架部与所述第2纵架部之间。

4.如权利要求3所述的拆卸装置，其特征在于：

所述第1倾斜部以可绕所述横架部的一端转动的方式与所述横架部的一端活动地连接，

所述第2倾斜部以可绕所述横架部的另一端转动的方式与所述横架部的另一端活动地连接。

5.如权利要求4所述的拆卸装置，其特征在于：

在所述横架部的一端配置了第1连接片和第2连接片，第1连接片位于所述横架部的正面侧，第2连接片位于所述横架部的背面侧，第1螺钉依次贯穿所述第1连接片、所述横架部和所述第2连接片，第2螺钉依次贯穿所述第1连接片、所述第1倾斜部和所述第2连接片，所述第1连接片与所述第2连接片平行地配置，

在所述横架部的另一端配置了第3连接片和第4连接片，第3连接片位于所述横架部的正面侧，第4连接片位于所述横架部的背面侧，第3螺钉依次贯穿所述第3连接片、所述横架部和所述第4连接片，第4螺钉依次贯穿所述第3连接片、所述第2倾斜部和所述第4连接片，所述第3连接片与所述第4连接片平行地配置。

6.如权利要求3～5中任一项所述的拆卸装置，其特征在于：

所述第1倾斜部与所述第1纵架部一体地形成，

所述第2倾斜部与所述第2纵架部一体地形成。

7.如权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：

所述第1突出部具有用于与所述轴连接件的底面接触的第1平面部，

所述第2突出部具有用于与所述轴连接件的底面接触的第2平面部。

8.如权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：

所述操作杆与所述螺纹件固定地连接，

俯视时，从所述螺纹件的中心至所述操作杆的一端的距离、与从所述螺纹件的中心至所述操作杆的另一端的距离相同。

9.如权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：

所述支承台包括：长方体；和分别位于所述长方体的两端下方的第1基台和第2基台。

10.如权利要求9所述的拆卸装置，其特征在于：

所述第1基台和所述第2基台具有与所述轴连接件所处的反应腔室的底部的棱形件嵌合的凹部。

11.如权利要求9或10所述的拆卸装置，其特征在于：

在所述螺纹件的靠所述支承台的一端的顶端形成了锥形部，

在所述长方体的上表面形成了与所述锥形部的形状匹配的凹部。

12.如权利要求11所述的拆卸装置，其特征在于：

所述长方体包括长方体主体和位于该长方体主体的上表面且体积小于该长方体主体的附属件，

所述凹部形成在所述附属件的表面。

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