CN216597538U - 一种硅片花篮的定位装置及插片机 - Google Patents
一种硅片花篮的定位装置及插片机 Download PDFInfo
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Abstract
本申请公开了一种硅片花篮的定位装置以及插片机,涉及硅片加工技术领域。硅片花篮的定位装置包括:基座、微调结构和夹持机构;基座具有承载硅片花篮的底架,以及与底架相连的安装板;夹持机构分别可活动连接于底架和安装板,夹持机构、底架和安装板形成容纳硅片花篮的容置空间;微调结构可活动设置于夹持机构上;所述夹持机构通过所述微调结构对所述硅片花篮进行夹持定位。本申请实施例中,定位装置可以兼容对多种尺寸硅片花篮的定位夹持,进而有效降低插片成本。
Description
技术领域
本申请属于硅片加工技术领域,具体涉及一种硅片花篮的定位装置及插片机。
背景技术
随着光伏技术的发展,太阳能作为绿色、环保、可再生能源受到了大范围推广。单晶硅是太阳能光伏组件的核心材料,因此,市场对单晶硅或者说是对硅片的需求日益增多。
现有技术中,单晶硅切片后的硅片通常会层叠粘附在一起,这就需要经过插片机进行分片、插片,将硅片一片片分开后装入硅片花篮中,以方便后续的硅片清洗等工序。随着单晶硅制备工艺的发展,单晶硅片的尺寸也在不断更新,这就使得承载硅片的硅片花篮的尺寸也日益增多。
然而,现有插片机上用于对硅片花篮进行安装固定的定位装置,无法兼容多种尺寸的硅片花篮,这就导致每更换一种尺寸的硅片花篮就需要更换一套对应的定位装置,会造成插片成本的浪费。
实用新型内容
本申请实施例的目的是提供一种硅片花篮的定位装置及插片机,能够解决现有硅片花篮的定位装置无法兼容多种尺寸的硅片花篮的问题。
第一方面,本申请实施例提供了一种硅片花篮的定位装置,所述定位装置包括:基座、微调结构和夹持机构;
所述基座具有承载所述硅片花篮的底架,以及与所述底架相连的安装板;
所述夹持机构分别可活动连接于所述底架和所述安装板,所述夹持机构、所述底架和所述安装板形成容纳所述硅片花篮的容置空间;
所述微调结构可活动设置于所述夹持机构上;
所述夹持机构通过所述微调结构对所述硅片花篮进行夹持定位。
可选的,所述夹持机构包括:相对设置的第一夹持组件和第二夹持组件;
所述第一夹持组件可活动连接于所述底架,所述第二夹持组件可活动连接于所述安装板远离所述底架的一端;
其中,所述第一夹持组件和所述第二夹持组件均设有微调结构,在所述硅片花篮设置于所述容置空间的情况下,所述第一夹持组件的所述微调结构夹持于所述硅片花篮一端的端板上,所述第二夹持组件的所述微调结构夹持于所述硅片花篮另一端的所述端板上。
可选的,所述第一夹持组件包括:相对设置于所述底架两侧的基准件和第一夹持件;
所述基准件固定连接于所述底架;
所述微调结构可活动设置于所述第一夹持件上,所述微调结构可朝向靠近或远离所述基准件的方向移动;
所述第一夹持件可活动连接于所述底架,所述第一夹持件带动所述微调结构朝向靠近所述基准件的方向移动,以使所述微调结构夹持于所述端板上,或所述第一夹持件带动所述微调结构朝向远离所述基准件的方向移动,以解除对所述端板的夹持。
可选的,所述第一夹持件上还设有定位件;
所述定位件上设有定位槽,所述定位槽的槽口朝向所述基准件,在所述第一夹持件带动所述微调结构夹持于所述端板上的情况下,所述硅片花篮的支撑杆嵌设于所述定位槽内。
可选的,所述定位槽为V型槽结构。
可选的,所述第二夹持组件包括:两个相对设置的第二夹持件;
两个所述第二夹持件分别可转动设置于所述安装板的两侧;
所述微调结构可活动设置于所述第二夹持件上,两个所述第二夹持件上的所述微调结构可相互靠近或远离;
所述第二夹持件具有夹持状态和松开状态;所述第二夹持件处于所述夹持状态时,所述第二夹持件可转动至与所述端板所在平面相平行,以通过所述微调结构夹持于所述端板的两侧;所述第二夹持件处于松开状态时,所述第二夹持件转动至与所述安装板所在平面相平行,以解除对所述端板的夹持。
可选的,所述定位装置还包括:防撞架;
所述防撞架沿所述安装板的长度方向延伸,且所述防撞架可活动连接于所述安装板,所述防撞架可朝向远离所述安装板的方向,移动至两个所述端板之间的硅片容纳槽内,或所述防撞架可朝向靠近所述安装板的方向,移动至所述硅片容纳槽外。
可选的,所述定位装置还包括:缓冲垫,所述缓冲垫覆盖于所述防撞架远离所述安装板的侧面。
可选的,所述微调结构包括:活动杆,以及设置于所述活动杆一端的顶头;
所述活动杆可活动设置于所述夹持机构上,所述活动杆可朝向靠近或远离所述端板的方向移动,所述活动杆通过所述顶头抵接于所述端板上。
第二方面,本申请实施例还提供了一种插片机,包括上述硅片花篮的定位装置。
在本申请实施例中,由于夹持机构分别可活动连接于底架和安装板,夹持机构、底架和安装板形成容纳硅片花篮的容置空间;微调结构可活动设置于夹持机构上;夹持机构通过微调结构对硅片花篮进行夹持定位,因此,在实际应用中,通过微调结构不但可以夹持于硅片花篮的端板上,有效避免硅片花篮发生变形,而且还可以通过调节微调结构调节容置空间的大小,从而使夹持机构可以兼容对多种尺寸硅片花篮的定位夹持,进而有效降低插片成本。
附图说明
图1是本申请实施例所述硅片花篮的定位装置一种状态的结构示意图;
图2是本申请实施例所述硅片花篮的定位装置另一种状态的结构示意图;
图3是本申请实施例所述硅片花篮的定位装置的应用结构示意图;
图4是本申请实施例所述底架的结构示意图;
图5是本申请实施例所述定位件的结构示意图;
图6是本申请实施例所述第二夹持件处于夹持状态的结构示意图;
图7是本申请实施例所述防撞架的结构示意图。
附图标记说明:
10:基座;20:微调结构;30:夹持机构;40:硅片花篮;41:端板;42:支撑杆;43:硅片容纳槽;11:底架;110:底板;111:支撑座;12:安装板;13:防撞架;31:第一夹持组件;32:第二夹持组件;311:基准件;312:第一夹持件;313:定位件;3131:定位槽;321:第二夹持件。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图,通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的硅片花篮的定位装置及插片机进行详细地说明。
参照图1,示出了本申请实施例所述硅片花篮的定位装置一种状态的结构示意图。参照图2,示出了本申请实施例所述硅片花篮的定位装置另一种状态的结构示意图。参照图3,示出了本申请实施例所述硅片花篮的定位装置的应用结构示意图。
本申请实施例中,硅片花篮的定位装置具体可以包括:基座10、微调结构20和夹持机构30;基座10具有承载硅片花篮40的底架11,以及与底架11相连的安装板12;夹持机构30分别可活动连接于底架11和安装板12,夹持机构30、底架11和安装板12形成容纳硅片花篮40的容置空间;微调结构20可活动设置于夹持机构30上;夹持机构30通过微调结构20对硅片花篮40进行夹持定位。
本申请实施例中,夹持机构30通过微调结构20对硅片花篮40进行夹持定位时,微调结构20夹持于硅片花篮40的端板上。
在本申请实施例中,由于夹持机构30分别可活动连接于底架11和安装板12,夹持机构30、底架11和安装板12形成容纳硅片花篮40的容置空间;微调结构20可活动设置于夹持机构30上;夹持机构30通过微调结构20对硅片花篮40进行夹持定位,因此,在实际应用中,通过微调结构20夹持于硅片花篮40的端板41上,不但可以有效避免硅片花篮40发生变形,而且还可以通过调节微调结构20,使夹持机构30可以兼容对多种尺寸硅片花篮40的定位夹持,进而有效降低插片成本。
需要说明的是,在硅片花篮40设置于容置空间时,其一端的端板41与底架11相接触,且硅片花篮40内硅片的堆叠方向与安装板12的延伸方向一致。
现有技术中,硅片花篮40通常由相对设置的两端板41,以及连接于两个端板41之间的支撑杆42(或底杆或齿杆)组成;端板41、支撑杆42围合成用于容纳硅片的硅片容纳槽43。本申请实施例中,支撑杆42又可以称之为底杆、侧杆或齿杆等,支撑杆42可以起到支撑硅片的作用。本申请实施例中,夹持机构30通过微调结构20夹持于硅片花篮40的端板41上,从而可以有效避免夹持机构30夹持于硅片花篮40的支撑杆42上导致支撑杆42发生变形,进而可以有效提升硅片花篮40的使用寿命。
参照图4,示出了本申请实施例所述底架的结构示意图。
本申请实施例中,底架11具体可以包括底板110和支撑座111;其中,底板110用于支撑硅片花篮40一端的端板41,具体的,底板110上还可以设有用于与端板41上的固定部相配合的固定槽或固定孔等,以便于对硅片花篮40的安装起到定位和导向的作用。支撑座111可以与底板110相连,用于起到支撑底板110和加强底板110强度的作用,支撑座111还可以用于与插片机对接,以将定位装置安装固定于插片机上。
本申请实施例中,夹持机构30具体可以包括:相对设置的第一夹持组件31和第二夹持组件32;第一夹持组件31可活动连接于底架11,第二夹持组件32可活动连接于安装板12远离底架11的一端;其中,第一夹持组件31和第二夹持组件32均设有微调结构20,在硅片花篮40设置于容置空间的情况下,第一夹持组件31的微调结构20夹持于硅片花篮40一端的端板41上,第二夹持组件32的微调结构20夹持于硅片花篮40另一端的端板41上。
本申请实施例中,通过第一夹持组件31和第二夹持组件32分别夹持于硅片花篮40的端板41上,可以使对硅片花篮40的夹持定位更加稳定和牢固。
具体的,第一夹持组件31可以包括:相对设置于底架11两侧的基准件311和第一夹持件312;基准件311固定连接于底架11;微调结构20可活动设置于第一夹持件312上,微调结构20可朝向靠近或远离基准件311的方向移动;第一夹持件312可活动连接于底架11,第一夹持件312带动微调结构20朝向靠近基准件311的方向移动,以使微调结构20夹持于端板41上,或第一夹持件312带动微调结构20朝向远离基准件311的方向移动,以解除对端板41的夹持。本申请实施例中,通过将基准件311固定连接于底架11上,对硅片花篮40的安装固定起到基准的作用。
本申请实施例中,第一夹持件312可以与气缸、电机等驱动件的驱动轴相连,从而通过驱动件驱动第一夹持件312夹持于端板41或解除对硅片花篮40的夹持,使第一夹持件312对硅片花篮40的夹持更加自动化、智能化。可以理解的是,在驱动件为气缸时,第一夹持件312与气缸的活塞杆相连;在驱动件为电机时,第一夹持件312与电机的输出轴相连。
在实际应用中,由于第一夹持件312可活动连接于底架11,第一夹持件312带动微调结构20朝向靠近基准件311的方向移动,因此,在硅片花篮40的夹持固定过程中,可以首先将硅片花篮40放置于底架11上,然后通过第一夹持件312带动微调结构20夹持于端板41,进而带动硅片花篮40朝向基准件311的方向偏移,使端板41的一侧可以被微调结构20夹持,另一侧可以抵接于基准件311上,这样就可以通过第一夹持件312和基准件311将硅片花篮40一端的端板41夹持固定。在解除对硅片花篮40的夹持固定时,可以使第一夹持件312带动微调结构20朝向远离基准件311的方向移动,从而使微调结构20、基准件311可以解除对端板41的夹持,这样,就可以通过机械手等将硅片花篮40进行搬运转移。
本申请实施例中,第一夹持件312上还设有定位件313;定位件313上设有定位槽3131,定位槽3131的槽口朝向基准件311,在第一夹持件312带动微调结构20夹持于端板41上的情况下,硅片花篮40的支撑杆42嵌设于定位槽3131内。
参照图5,示出了本申请实施例所述定位件的结构示意图。本申请实施例中,定位槽3131为V型槽结构,即V型槽的槽口朝向基准件311,这样,在第一夹持件312带动微调结构20夹持于端板41上的过程中,如图5所示,硅片花篮40的支撑杆42在定位槽3131由槽口移动至槽底位置。本申请实施例中,通过定位槽3131既可以起到对硅片花篮40的夹持固定作用,又能起到对硅片花篮40前后方向上定位作用。本申请实施例中,硅片花篮40的前后方向即与第一夹持件312和基准件311的夹持方向相垂直的方向。
本申请实施例中,第二夹持组件32具体可以包括:两个相对设置的第二夹持件321;两个第二夹持件321分别可转动设置于安装板12的两侧;微调结构20可活动设置于第二夹持件321上,两个第二夹持件321上的微调结构20可相互靠近或远离;第二夹持件321具有夹持状态和松开状态;第二夹持件321处于夹持状态时,第二夹持件321可转动至与端板41所在平面相平行,以通过微调结构20夹持于端板41的两侧;第二夹持件321处于松开状态时,第二夹持件321转动至与安装板12所在平面相平行,以解除对端板41的夹持。
在本申请实施例中,每个第二夹持件321上可以相对设置两个微调结构20,这样,第二夹持件321通过微调结构20夹持于硅片花篮40的端板41时,可以更加稳定。在实际应用中,可以通过微调结构20调节两个第二夹持件321之间的间距,从而使第二夹持件321可以夹持于不同尺寸的硅片花篮40的端板41上,结构简单、操作便利。
参照图6,示出了本申请实施例所述第二夹持件处于夹持状态的结构示意图。本申请实施例中,第二夹持件321处于夹持状态时,也可以理解为第二夹持件321由安装板12伸出并夹持于硅片花篮40的端板41两侧,或者,在一些使用场景中,可以理解为第二夹持件321水平放置;第二夹持件321处于松开状态时,可以理解为第二夹持件321收纳或缩回至安装板12上并解除对端板41的夹持,或者,在一些使用场景中,可以理解为第二夹持件321竖直向下放置。
本申请实施例中,第二夹持组件32和第一夹持组件31相互配合,可以使硅片花篮40在插片机上的安装定位更加准确,固定更加牢固和稳定,进而有效避免硅片花篮40晃动导致插片不准或碎片等问题。
在实际应用中,通过将第二夹持件321可转动连接于安装板12两侧,从而使第二夹持件321处于夹持状态时,可以有效对硅片花篮40的另一端的端板41进行夹持固定,第二夹持件321处于松开状态时,可以有效避免第二夹持件321对硅片花篮40遮挡,使硅片花篮40可以方便快捷的由定位机构上拆卸下来,并搬运转移。
在本申请实施例中,第二夹持件321可以通过转轴可转动连接于安装板12,结构更加简单。需要说明的是,本申请实施例中,第二夹持件321可以与气缸、电机等驱动件的驱动轴相连,从而通过驱动件驱动第二夹持件321旋转并夹持于硅片花篮40的端板41或解除对硅片花篮40的夹持,使第二夹持件321对硅片花篮40的夹持更加自动化、智能化。可以理解的是,在驱动件为气缸时,第二夹持件321与气缸的活塞杆相连;在驱动件为电机时,第二夹持件321与电机的输出轴相连。在实际应用中,驱动件的驱动轴可以为转轴直接与第二夹持件321相连,以减少零件数量,降低第二夹持件321的安装成本;或者,驱动件的驱动轴通过转轴与第二夹持件321相连,以提升第二夹持件321的安装拆卸便利性。
本申请实施例中,定位装置还包括:防撞架13;防撞架13沿安装板12的长度方向延伸,且防撞架13可活动连接于安装板12,防撞架13可朝向远离安装板12的方向,移动至两个端板41之间的硅片容纳槽43内,或防撞架13可朝向靠近安装板12的方向,移动至硅片容纳槽43外。
需要说明的是,两个端板41之间的硅片容纳槽43,即硅片花篮40中两个端板41之间用于承载硅片的容纳槽。
参照图7,示出了本申请实施例所述防撞架的结构示意图。
可以理解的是,在本申请实施例中,防撞架13的长度小于硅片花篮40的两个端板41之间的距离,且防撞架13的宽度小于硅片花篮40中相邻的两个支撑杆42之间的间隙。在实际应用中,在硅片入篮之前,防撞架13可以朝向远离安装板12的方向(即防撞架13伸出),移动至硅片容纳槽43内,从而在硅片入篮时防撞架13可以对硅片起到阻挡和定位的作用,避免硅片入篮时撞击到硅片花篮40的支撑杆42上;在硅片花篮40装满硅片后,再将防撞架13朝向靠近安装板12的方向移动(即防撞架13缩回),移动至硅片容纳槽43外,从而可以使硅片花篮40被转移搬运。
在本申请实施例中,为了避免硅片撞击到防撞架13导致破损,定位装置还包括:缓冲垫,缓冲垫覆盖于防撞架13远离安装板12的侧面。具体的,缓冲垫可以为橡胶、尼龙塑料、硅胶等材质制作,这样,在硅片碰触到防撞架13时,首先与缓冲垫相接触,缓冲垫可以起到弹性缓冲作用,可以有效避免硅片损伤。
本申请实施例中,防撞架13可以与气缸、电机等驱动件的驱动轴相连,从而通过驱动件驱动防撞架13朝向靠近或远离安装板12的方向移动。在驱动件为气缸时,防撞架13与气缸的活塞杆相连;在驱动件为电机时,防撞架13与电机的输出轴相连。
在实际应用中,插片机上搬运机械手将硅片花篮40搬运至底架11(容置空间)上后,先由第一夹持组件31对硅片花篮40进行前后、左右等多方向上的定位,并且第一夹持组件31夹持于硅片花篮40一侧的端板41两侧,然后,由第二夹持组件32对硅片花篮40进行二次夹持固定,最后,防撞架13伸出至硅片花篮40的硅片容纳槽43内,这样,就完成了整个硅片花篮40的夹装定位,可以进行后续硅片入篮等工序。
需要说明的是,本申请实施例中,防撞架13可以由钣金折弯而成,或者,防撞架还可以为一体成型的型材,本申请实施例对此不作限定。
本申请实施例中,微调结构20具体可以包括:活动杆,以及设置于活动杆一端的顶头;活动杆可活动设置于夹持机构30上,活动杆可朝向靠近或远离端板41的方向移动,活动杆通过顶头抵接于端板41上。
本申请实施例中,通过活动杆可活动设置于夹持机构30上从而可以带动顶头靠近或远离端板41,这样,就可以调整容置空间的大小,从而使定位机构可以适配不同尺寸的硅片花篮40的安装,有效提升定位装置的兼容性。本申请实施例中,通过顶头抵接于端板41上,可以有效增大微调结构20与端板41之间的接触面积,进而使微调结构20对端板41的夹持更加稳定。
在本申请实施例中,活动杆可以为螺钉、螺杆等,螺钉、螺杆可以与夹持机构30通过螺纹连接。例如,螺钉穿设于第一夹持件312或第二夹持件321的螺纹孔中,并通过螺母进行固定,螺钉的螺帽处即相当于顶头,螺钉的螺帽抵接于端板41上,螺钉远离螺帽的另一端通过螺母固定,这样,就形成了一个简单的微调结构20,通过旋转螺钉从而调整螺钉在第一夹持件312或第二夹持件321上的长度,进而调整螺钉与紧固件之间的尺寸,以及两个第二夹持件321上的螺钉之间的尺寸,满足不同尺寸的硅片花篮40的夹持定位。本申请实施例中,通过螺钉、螺母组成的微调结构20,具有结构简单、成本低廉、适用范围广等优点。
综上,本申请实施例所述的硅片花篮的定位装置至少包括以下优点:
在本申请实施例中,由于夹持机构分别可活动连接于底架和安装板,夹持机构、底架和安装板形成容纳硅片花篮的容置空间;微调结构可活动设置于夹持机构上;夹持机构通过微调结构对硅片花篮进行夹持定位,因此,在实际应用中,通过微调结构不但可以夹持于硅片花篮的端板上,有效避免硅片花篮发生变形,而且还可以通过调节微调结构调节容置空间的大小,从而使夹持机构可以兼容对多种尺寸硅片花篮的定位夹持,进而有效降低插片成本。
本申请实施例还提供了一种插片机,具体可以包括上述硅片花篮的定位装置。
需要说明的是,本申请实施例所述硅片花篮的定位装置与上述实施例中硅片花篮的定位装置的结构以及工作原理均相同,此处不再赘述。
在本申请实施例中,由于硅片花篮的定位装置中,夹持机构分别可活动连接于底架和安装板,夹持机构、底架和安装板形成容纳硅片花篮的容置空间;微调结构可活动设置于夹持机构上;夹持机构通过微调结构对硅片花篮进行夹持定位,因此,在实际应用中,通过微调结构不但可以夹持于硅片花篮的端板上,有效避免硅片花篮发生变形,而且还可以通过调节微调结构调节容置空间的大小,从而使夹持机构可以兼容对多种尺寸硅片花篮的定位夹持,进而有效降低插片成本。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述,但是本申请并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本申请的启示下,在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,均属于本申请的保护之内。
Claims (10)
1.一种硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述定位装置包括:基座、微调结构和夹持机构;
所述基座具有承载所述硅片花篮的底架,以及与所述底架相连的安装板;
所述夹持机构分别可活动连接于所述底架和所述安装板,所述夹持机构、所述底架和所述安装板形成容纳所述硅片花篮的容置空间;
所述微调结构可活动设置于所述夹持机构上;
所述夹持机构通过所述微调结构对所述硅片花篮进行夹持定位。
2.根据权利要求1所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述夹持机构包括:相对设置的第一夹持组件和第二夹持组件;
所述第一夹持组件可活动连接于所述底架,所述第二夹持组件可活动连接于所述安装板远离所述底架的一端;
其中,所述第一夹持组件和所述第二夹持组件均设有所述微调结构,在所述硅片花篮设置于所述容置空间的情况下,所述第一夹持组件的所述微调结构夹持于所述硅片花篮一端的端板上,所述第二夹持组件的所述微调结构夹持于所述硅片花篮另一端的所述端板上。
3.根据权利要求2所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述第一夹持组件包括:相对设置于所述底架两侧的基准件和第一夹持件;
所述基准件固定连接于所述底架;
所述微调结构可活动设置于所述第一夹持件上,所述微调结构可朝向靠近或远离所述基准件的方向移动;
所述第一夹持件可活动连接于所述底架,所述第一夹持件带动所述微调结构朝向靠近所述基准件的方向移动,以使所述微调结构夹持于所述端板上,或所述第一夹持件带动所述微调结构朝向远离所述基准件的方向移动,以解除对所述端板的夹持。
4.根据权利要求3所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述第一夹持件上还设有定位件;
所述定位件上设有定位槽,所述定位槽的槽口朝向所述基准件,在所述第一夹持件带动所述微调结构夹持于所述端板上的情况下,所述硅片花篮的支撑杆嵌设于所述定位槽内。
5.根据权利要求4所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述定位槽为V型槽结构。
6.根据权利要求2所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述第二夹持组件包括:两个相对设置的第二夹持件;
两个所述第二夹持件分别可转动设置于所述安装板的两侧;
所述微调结构可活动设置于所述第二夹持件上,两个所述第二夹持件上的所述微调结构可相互靠近或远离;
所述第二夹持件具有夹持状态和松开状态;所述第二夹持件处于所述夹持状态时,所述第二夹持件可转动至与所述端板所在平面相平行,以通过所述微调结构夹持于所述端板的两侧;所述第二夹持件处于松开状态时,所述第二夹持件转动至与所述安装板所在平面相平行,以解除对所述端板的夹持。
7.根据权利要求2所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述定位装置还包括:防撞架;
所述防撞架沿所述安装板的长度方向延伸,且所述防撞架可活动连接于所述安装板,所述防撞架可朝向远离所述安装板的方向,移动至两个所述端板之间的硅片容纳槽内,或所述防撞架可朝向靠近所述安装板的方向,移动至所述硅片容纳槽外。
8.根据权利要求7所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述定位装置还包括:缓冲垫,所述缓冲垫覆盖于所述防撞架远离所述安装板的侧面。
9.根据权利要求2所述的硅片花篮的定位装置,其特征在于,所述微调结构包括:活动杆,以及设置于所述活动杆一端的顶头;
所述活动杆可活动设置于所述夹持机构上,所述活动杆可朝向靠近或远离所述端板的方向移动,所述活动杆通过所述顶头抵接于所述端板上。
10.一种插片机,其特征在于,所述插片机包括:权利要求1至9任一项所述的硅片花篮的定位装置。
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GR01 | Patent grant | ||
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